技術(shù)編號(hào):1857746
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種。它屬于用在高溫氧傳感器上的無(wú)機(jī)氧敏薄膜制備技術(shù)。高溫氧傳感器可用于汽車(chē)尾氣及工業(yè)窯爐排放煙氣的電子自動(dòng)控制系統(tǒng),其上現(xiàn)有使用的氧敏材料多是采用ZrO2和TiO2基半導(dǎo)體陶瓷燒結(jié)塊體,這種塊體材料溫度穩(wěn)定性差,為提高穩(wěn)定性,需配置復(fù)雜的溫度補(bǔ)償系統(tǒng)。另外,材料對(duì)氧氣靈敏度也比較差,為提高其靈敏性,需要用昂貴的鉑金一類(lèi)貴金屬進(jìn)行修飾。上述的補(bǔ)償和修飾做法都給制造氧傳感器增加了難度和成本。本發(fā)明的目的,在于提供一種。所制備的薄膜,在高溫下性能穩(wěn)定...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。