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高溫性能穩(wěn)定的氧敏薄膜及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):1857746

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本發(fā)明涉及一種。它屬于用在高溫氧傳感器上的無(wú)機(jī)氧敏薄膜制備技術(shù)。高溫氧傳感器可用于汽車(chē)尾氣及工業(yè)窯爐排放煙氣的電子自動(dòng)控制系統(tǒng),其上現(xiàn)有使用的氧敏材料多是采用ZrO2和TiO2基半導(dǎo)體陶瓷燒結(jié)塊體,這種塊體材料溫度穩(wěn)定性差,為提高穩(wěn)定性,需配置復(fù)雜的溫度補(bǔ)償系統(tǒng)。另外,材料對(duì)氧氣靈敏度也比較差,為提高其靈敏性,需要用昂貴的鉑金一類(lèi)貴金屬進(jìn)行修飾。上述的補(bǔ)償和修飾做法都給制造氧傳感器增加了難度和成本。本發(fā)明的目的,在于提供一種。所制備的薄膜,在高溫下性能穩(wěn)定...
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