技術(shù)編號:1476187
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種手動單片硅片清洗裝置。本實用新型一種單片硅片清洗機臺,用于硅片的清洗,包括基座和多個限位柱,所述基座上開設有進水口,多個限位柱圍繞進水口裝設在基座上,進水口進水使放置在進水口的硅片浮起。硅片正面受到不斷流出的水的保護,從而不與酸液進行接觸。本實用新型單片硅片清洗機臺利用水壓頂起硅片,硅片浮起在清洗機臺上,硅片背面在酸洗過程中,硅片正面一直處于水中,從而保護硅片正面不與酸液接觸,這樣硅片正面的金屬層不被腐蝕,從而提高了硅片的生產(chǎn)合格率。本實...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。