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一種半導(dǎo)體芯粒的清洗裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:1419680

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一種半導(dǎo)體芯粒的清洗裝置本發(fā)明屬于微電子封裝,特別是一種可以進(jìn)行半導(dǎo)體芯粒批量清洗的裝置。背景技術(shù)目前半導(dǎo)體小芯粒(小于5mmX 5mm的芯粒)清洗沒有適用的專門設(shè)備,一般是手工逐一操作,很容易對芯粒造成損傷,而且體積過小的芯粒更是無法操作。傳統(tǒng)的清洗方法效率低、效果差。經(jīng)檢索,中國專利201010168264《一種二極管芯粒的清洗工藝》,公開了一種二極管芯粒清洗的方法。該方法中涉及清洗工藝中所用清洗液配方的改進(jìn),能進(jìn)一步減少芯粒側(cè)表面金屬離子,從而避免芯...
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