技術(shù)編號：1341092
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及設(shè)備清洗領(lǐng)域，特別涉及一種清洗兆聲波換能器的裝置。背景技術(shù)兆聲波換能器具有很多優(yōu)點，被廣泛用于半導(dǎo)體領(lǐng)域清洗設(shè)備中。在清洗過程中，兆聲波換能器的工作面與晶片表面的距離很小(約為廣3_)，導(dǎo)致晶片表面的顆粒物質(zhì)極易附著在兆聲波換能器的底面及底部側(cè)面。一個工作行程結(jié)束后，需要對其工作面進(jìn)行沖洗，以免影響后續(xù)的清洗，進(jìn)而保證下一晶片的清洗質(zhì)量。現(xiàn)有技術(shù)中采用簡單水槽對兆聲波換能器進(jìn)行清洗，這種方法效率低，清洗速度慢，清洗質(zhì)量差。實用新型內(nèi)容(一)要...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。