專利名稱：清洗兆聲波換能器的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及設(shè)備清洗領(lǐng)域，特別涉及一種清洗兆聲波換能器的裝置。
背景技術(shù)：
兆聲波換能器具有很多優(yōu)點(diǎn)，被廣泛用于半導(dǎo)體領(lǐng)域清洗設(shè)備中。在清洗過程中，兆聲波換能器的工作面與晶片表面的距離很小(約為廣3_)，導(dǎo)致晶片表面的顆粒物質(zhì)極易附著在兆聲波換能器的底面及底部側(cè)面。一個(gè)工作行程結(jié)束后，需要對(duì)其工作面進(jìn)行沖洗，以免影響后續(xù)的清洗，進(jìn)而保證下一晶片的清洗質(zhì)量?，F(xiàn)有技術(shù)中采用簡(jiǎn)單水槽對(duì)兆聲波換能器進(jìn)行清洗，這種方法效率低，清洗速度慢，清洗質(zhì)量差。

實(shí)用新型內(nèi)容(一)要解決的技術(shù)問題本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是:如何提供一種清洗兆聲波換能器的裝置使得對(duì)兆聲波換能器的清洗速度快，清洗質(zhì)量好。(二)技術(shù)方案為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種清洗兆聲波換能器的裝置，該裝置包括清洗槽(I)、擋流板(6)和隔流板(8)，所述清洗槽的兩側(cè)面對(duì)應(yīng)設(shè)置有液體入口(2)和液體出口(3)，所述擋流板設(shè)置在清洗槽內(nèi)液體入口前，所述擋流板底部設(shè)置多個(gè)排流孔，所述隔流板設(shè)置在清洗槽內(nèi)液體出口前，所述隔流板底部與清洗槽底面(5)間存在間隙，所述隔流板上設(shè)置有用于排出清洗槽中過多液體的孔。優(yōu)選的，所述清洗槽為四邊形槽式結(jié)構(gòu)。優(yōu)選的，所述清洗槽底面由液體入口側(cè)向液體出口側(cè)傾斜。優(yōu)選的，所述液體出口大于或等于液體入口。優(yōu)選的，所述多個(gè)排流孔沿?fù)趿靼宓撞繖M向均勻分布。優(yōu)選的，所述擋流板上部與清洗槽液體入口側(cè)面連接，擋流板底部與清洗槽底面接觸，擋流板下部與清洗槽液體入口側(cè)面之間存在間隙。優(yōu)選的，所述液體入口側(cè)面設(shè)置有氣體入口(4)。優(yōu)選的，所述隔流板底部間隙的截面積小于或等于擋流板底端排流孔面積之和。優(yōu)選的，所述隔流板上用于排出清洗槽中過多液體的孔的位置根據(jù)兆聲波換能器的位置確定。優(yōu)選的，所述清洗槽的尺寸與兆聲波換能器的尺寸相適應(yīng)。(三)有益效果采用本實(shí)用新型清洗兆聲波換能器的裝置能夠快速的對(duì)兆聲波換能器進(jìn)行機(jī)械化清洗，清洗效率高，清洗均勻全面，清洗效果好。


[0018]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例清洗兆聲波換能器的裝置清洗槽的立體圖。圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例清洗兆聲波換能器的裝置擋流板的立體圖。圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例清洗兆聲波換能器的裝置隔流板的立體圖。圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例清洗兆聲波換能器的裝置的側(cè)視圖。圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例清洗兆聲波換能器的裝置的工作示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型，但不用來限制本實(shí)用新型的范圍。本實(shí)用新型實(shí)施例中采用槽式裝置清洗兆聲波換能器，該清洗裝置包括清洗槽、擋流板和隔流板，擋流板和隔流板分別布置在清洗槽中液體入口側(cè)和液體出口側(cè)。清洗液體快速流過兆聲波換能器使其得以清洗，此處清洗液體可以是純水。清洗槽為四邊形槽式結(jié)構(gòu)，在清洗槽的一側(cè)及其對(duì)側(cè)開設(shè)液體入口和液體出口，且使液體出口大于液體入口。為使液體順利流動(dòng)，清洗槽的底面由液體入口側(cè)向液體出口側(cè)傾斜一定角度。布置擋流板，使得其下端與清洗槽底面接觸，其下部?jī)?nèi)側(cè)面與清洗槽液體入口側(cè)面存在一定間隙(大約幾個(gè)毫米)，其上部側(cè)面與清洗槽液體入口側(cè)面接觸。擋流板平行于液體入口側(cè)面，且與清洗槽的寬度相等。在擋流板底端，沿著垂直于液體進(jìn)、出口方向，布置多個(gè)排流孔。這樣，進(jìn)入清洗槽的液體經(jīng)清洗槽側(cè)面和擋流板之間的間隙，由擋流板底端的排流孔流過。擋流板上排流孔使得液體在清洗槽寬度方向較均勻分布，避免兆聲波換能器邊緣清洗不佳。另外，為使液體快速流動(dòng)，在清洗槽液體入口的上方布置氣體入口，由此進(jìn)入的氣體壓力可以加速液體流動(dòng)。如圖1所示，液體入口 2、氣體入口 4和液體出口 3處可以連接接頭及供液、氣裝置。底面5為傾斜面，由液體入口端向液體出口端傾斜。如圖2所示，在擋流板6接近下端面沿寬度方向處布置有多個(gè)排流孔7。將隔流板固定在距離清洗槽液體出口側(cè)一定距離的位置，隔流板與清洗槽寬度相同，其底端面與清洗槽底面保持一間隙，該間隙的截面積小于或等于擋流板底端小孔面積之和。在隔流板上部合適的位置開有較大的孔，用于清洗槽中液體積聚較多時(shí)的排放，該位置根據(jù)兆聲波換能器的位置確定。如圖3所示，隔流板8上部的孔用于槽中液體較多時(shí)排流。兆聲波換能器的底面置于擋流板和隔流板之間，且與清洗槽底面有微小間距。由排流孔流過的液體，沖洗兆聲波換能器的底面后經(jīng)擋流板，由液體出口排出。如圖4所示，隔流板8的下端與清洗槽I的底面保持一定間隙，擋流板6的內(nèi)側(cè)面下部與清洗槽I液體入口內(nèi)側(cè)有較小間隙，擋流板6內(nèi)側(cè)面上部與液體入口內(nèi)側(cè)接觸，擋流板底面與清洗槽I底面接觸。如圖5所示，兆聲波換能器9的前端置于清洗槽I中，其底面與清洗槽底面5保持一定間距，擋流板6固定于清洗槽內(nèi)側(cè)液體入口側(cè)，隔流板8固定于清洗槽I中靠近液體出口的位置。工作時(shí)，清洗槽液體入口持續(xù)供給清洗液,氣體入口供入氣體，清洗液及氣體由擋流板和清洗槽之間的間隙經(jīng)排流孔流過，從兆聲波換能器的底部流過，通過隔流板和清洗槽底面之間間隙，由液體出口排出。清洗槽中的液體會(huì)逐漸增多時(shí)，液面達(dá)到一定高度，液體經(jīng)由隔流板上部的孔流過。在液體的持續(xù)沖洗下，兆聲波換能器底面和底部側(cè)面得以清洗。以上實(shí)施方式僅用于說明本實(shí)用新型，而并非對(duì)本實(shí)用新型的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本實(shí)用新型的范疇，本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求1.一種清洗兆聲波換能器的裝置，其特征在于，該裝置包括清洗槽(I)、擋流板(6)和隔流板(8)，所述清洗槽的兩側(cè)面對(duì)應(yīng)設(shè)置有液體入口(2)和液體出口(3)，所述擋流板設(shè)置在清洗槽內(nèi)液體入口前，所述擋流板底部設(shè)置多個(gè)排流孔(7)，所述隔流板設(shè)置在清洗槽內(nèi)液體出口前，所述隔流板底部與清洗槽底面(5)間存在間隙，所述隔流板上設(shè)置有用于排出清洗槽中過多液體的孔。
2.權(quán)利要求1所述的清洗兆聲波換能器的裝置，其特征在于，所述清洗槽為四邊形槽式結(jié)構(gòu)。
3.權(quán)利要求1所述的清洗兆聲波換能器的裝置，其特征在于，所述清洗槽底面由液體入口側(cè)向液體出口側(cè)傾斜。
4.權(quán)利要求1所述的清洗兆聲波換能器的裝置，其特征在于，所述液體出口大于或等于液體入口。
5.權(quán)利要求1所述的清洗兆聲波換能器的裝置，其特征在于，所述多個(gè)排流孔沿?fù)趿靼宓撞繖M向均勻分布。
6.權(quán)利要求1所述的清洗兆聲波換能器的裝置，其特征在于，所述擋流板上部與清洗槽液體入口側(cè)面連接，擋流板底部與清洗槽底面接觸，擋流板下部與清洗槽液體入口側(cè)面之間存在間隙。
7.權(quán)利要求6所述的清洗兆聲波換能器的裝置，其特征在于，所述液體入口側(cè)面設(shè)置有氣體入口(4)。
8.權(quán)利要求1所述的清洗兆聲波換能器的裝置，其特征在于，所述隔流板底部間隙的截面積小于或等于擋流板底端排流孔面積之和。
9.權(quán)利要求1所述的清洗兆聲波換能器的裝置，其特征在于，所述隔流板上用于排出清洗槽中過多液體的孔的位置根據(jù)兆聲波換能器的位置確定。
10.權(quán)利要求1所述的清洗兆聲波換能器的裝置，其特征在于，所述清洗槽的尺寸與兆聲波換能器的尺寸相適應(yīng)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種清洗兆聲波換能器的裝置，該裝置包括清洗槽、擋流板和隔流板，所述清洗槽的兩側(cè)面對(duì)應(yīng)設(shè)置有液體入口和液體出口，液體入口側(cè)設(shè)置有氣體入口，所述擋流板設(shè)置在清洗槽內(nèi)液體入口前，所述擋流板底部設(shè)置多個(gè)排流孔，所述隔流板設(shè)置在清洗槽內(nèi)液體出口前，所述隔流板底部與清洗槽底面間存在間隙，所述隔流板上設(shè)置有用于排出清洗槽中過多液體的孔。采用本實(shí)用新型清洗兆聲波換能器的裝置能夠快速的對(duì)兆聲波換能器進(jìn)行機(jī)械化清洗，清洗效率高，清洗均勻全面，清洗效果好。
文檔編號(hào)B08B3/04GK203002682SQ201220646249
公開日2013年6月19日 申請(qǐng)日期2012年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月29日
發(fā)明者姬丹丹, 王波雷, 李偉, 張享倩, 王浩 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司