技術(shù)編號：1318141
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及適合清洗半導體晶片(例如硅、鎵-砷、鎵-磷和銦-磷)的清洗劑組合物、與電子器件有關(guān)的各種玻璃基底(例如液晶顯示器玻璃基底、太陽能電池玻璃基底和晶體基底)的清洗、以及由玻璃或陶瓷制成的需要高清潔度的精加工元件(例如光學玻璃透鏡、棱鏡、光學纖維、石英晶體振蕩器和用于半導體晶片的拋光板)的清洗。本發(fā)明還涉及使用該組合物清洗或制造半導體的方法以及由該制造方法制成的半導體晶片。背景技術(shù) 通過對硅片或例如鎵-砷、鎵-磷和銦-磷的化合物半導體晶片進行氣相生長、...
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