技術編號:12883648
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明提供了一種提高鑄錠質(zhì)量的方法,具體為通過改變坩堝的內(nèi)部結構來提高鑄錠質(zhì)量。背景技術在鑄錠過程中,坩堝作為消耗品充當容器的角色,由于市場競爭越來越激烈,對硅片品質(zhì)的要求也越來越高,從原料、鑄錠工藝、坩堝等多方面著手提高鑄錠質(zhì)量成為努力突破的幾大方向,從坩堝方面考慮,由于鑄錠期間硅料與坩堝內(nèi)壁直接接觸,且隨著化料時間的延長,硅料融化之后會進一步與坩堝實現(xiàn)緊密貼合,由于坩堝本身含有一定元素雜質(zhì),在高溫狀態(tài)下,坩堝呈現(xiàn)軟化狀態(tài),雜質(zhì)發(fā)生擴散,進入硅錠中,影響硅錠純度,因此對鑄錠質(zhì)量產(chǎn)生不良影響,加...
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