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一種摻金二氧化釩納米片結(jié)構(gòu)室溫CH4氣敏傳感器的制備方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12466379

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本發(fā)明是關(guān)于氣敏傳感器元件的,具體涉及一種適用于室溫工作的檢測(cè)CH4氣體的摻金二氧化釩納米片結(jié)構(gòu)氣敏傳感器的可控制備方法。背景技術(shù)半導(dǎo)體金屬氧化物已被大量應(yīng)用于探測(cè)有毒易爆氣體。其中,二氧化錫、氧化鋅是被研究最多的材料。無(wú)可否認(rèn)他們擁有較高的探測(cè)靈敏度,但是較高的工作溫度(>200℃)限制了他們的實(shí)際應(yīng)用。為了降低傳感器的工作溫度,研究者們?cè)谏鲜黾{米結(jié)構(gòu)的表面摻雜適量的鈀(Pd)、鐵(Fe)和金(Au)等。然而,基于上述摻雜納米材料的氣敏傳感器的工作溫度依然高于100℃。因此,研制新型的納...
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