技術(shù)編號(hào)：12251397
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及顯示器制備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種蒸鍍?cè)O(shè)備。背景技術(shù)目前的有機(jī)電激光顯示(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)在制備時(shí)，一般采用真空蒸鍍技術(shù)形成膜層，即利用蒸鍍機(jī)，在真空環(huán)境下，升溫加熱材料，使材料熔化揮發(fā)或者升華，在玻璃基板上沉積一層層有機(jī)材料，形成OLED器件。在蒸鍍有機(jī)材料時(shí)需要控制蒸鍍速度，以控制形成的蒸鍍層的厚度，在點(diǎn)源式蒸鍍腔體中，點(diǎn)源的加熱絲和坩堝之間存在一定的縫隙，在對(duì)有機(jī)材料的速率進(jìn)行控制時(shí)，遮擋板需要往復(fù)擺動(dòng)，以防止蒸發(fā)材料蒸鍍到玻璃基板上...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。