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一種柔性基板的裂紋檢測(cè)系統(tǒng)的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12004032

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本實(shí)用新型涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種柔性基板的裂紋檢測(cè)系統(tǒng)。背景技術(shù)目前,柔性基板中的阻擋層通常采用沉積氮化硅材料(SiNx)和氧化硅材料(SiOx)的方式形成,但是,由于SiNx和SiOx均為無(wú)機(jī)材料,在柔性基板彎折的過(guò)程中阻擋層容易產(chǎn)生裂縫(crack)。此外,為了防止水氧通過(guò)接觸孔(pinhole)滲入OLED器件內(nèi)部,需要SiNx和SiOx具有一定的厚度以達(dá)到阻水阻氧的作用,而SiNx和SiOx膜層厚度的增加,又進(jìn)一步加劇了阻擋層產(chǎn)生裂縫的可能性,因此,及時(shí)的檢測(cè)發(fā)現(xiàn)阻擋層上是否存在...
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