技術(shù)編號(hào)：11869516
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光伏行業(yè)中的生產(chǎn)設(shè)備，更具體地說是涉及一種用于擴(kuò)散爐內(nèi)的石英舟傳送機(jī)構(gòu)。背景技術(shù)擴(kuò)散爐內(nèi)配備有一套傳送機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)的作用是實(shí)現(xiàn)石英舟在擴(kuò)散爐內(nèi)上下及前后方向各個(gè)位置上的傳輸。其中傳輸?shù)纳舷挛恢脼镾IC槳及各個(gè)暫存區(qū)位置，傳輸前后方向上位置依次為：暫存區(qū)、升降通道區(qū)和推舟機(jī)構(gòu)SIC槳區(qū)。機(jī)械手在暫存區(qū)或SIC槳上取放石英舟后，均需先退回升降通道區(qū)，上升或下降至需要的高度，再運(yùn)行下一步動(dòng)作。如圖1，現(xiàn)有設(shè)計(jì)中，側(cè)向出舟機(jī)構(gòu)6的位置在機(jī)械手升降通道區(qū)5的正下方，假設(shè)側(cè)向出舟機(jī)構(gòu)6上傳輸?shù)氖?..
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。