本發(fā)明涉及光伏行業(yè)中的生產(chǎn)設(shè)備，更具體地說(shuō)是涉及一種用于擴(kuò)散爐內(nèi)的石英舟傳送機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

擴(kuò)散爐內(nèi)配備有一套傳送機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)的作用是實(shí)現(xiàn)石英舟在擴(kuò)散爐內(nèi)上下及前后方向各個(gè)位置上的傳輸。其中傳輸?shù)纳舷挛恢脼镾IC槳及各個(gè)暫存區(qū)位置，傳輸前后方向上位置依次為：暫存區(qū)、升降通道區(qū)和推舟機(jī)構(gòu)SIC槳區(qū)。機(jī)械手在暫存區(qū)或SIC槳上取放石英舟后，均需先退回升降通道區(qū)，上升或下降至需要的高度，再運(yùn)行下一步動(dòng)作。

如圖1，現(xiàn)有設(shè)計(jì)中，側(cè)向出舟機(jī)構(gòu)6的位置在機(jī)械手升降通道區(qū)5的正下方，假設(shè)側(cè)向出舟機(jī)構(gòu)6上傳輸?shù)氖⒅?已經(jīng)到達(dá)機(jī)械手抓取位或正在此區(qū)域附近運(yùn)行，而此時(shí)機(jī)械手又正傳送從SIC槳4上抓取石英舟8并退回升降通道區(qū)5，如果SIC槳4的取放舟位置較高，那么機(jī)械手在抓取SIC槳4上石英舟8并退回升降通道區(qū)5時(shí)不會(huì)與側(cè)向出舟機(jī)構(gòu)6上傳輸?shù)氖⒅?發(fā)生碰撞。如圖2，如果SIC槳4的取放舟位置較低或高度降低時(shí)，機(jī)械手在抓取SIC槳4上的石英舟8并退回升降通道區(qū)5時(shí)會(huì)與側(cè)向出舟機(jī)構(gòu)6上傳輸?shù)氖⒅?便會(huì)發(fā)生碰撞，對(duì)石英舟造成損壞。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，本發(fā)明提供一種用于擴(kuò)散爐內(nèi)的石英舟傳送機(jī)構(gòu)，在SIC槳的取放舟位置較低時(shí)，機(jī)械手在抓取SIC槳上的石英舟后傳輸?shù)缴低ǖ绤^(qū)時(shí)不會(huì)與側(cè)向出舟機(jī)構(gòu)上傳輸?shù)氖⒅郯l(fā)生碰撞。

本發(fā)明的技術(shù)方案為：一種用于擴(kuò)散爐內(nèi)的石英舟傳送機(jī)構(gòu)，包括固定于擴(kuò)散爐內(nèi)一側(cè)的豎直向上的立柱，固定于擴(kuò)散爐內(nèi)另一側(cè)的推舟機(jī)構(gòu)以及固定于擴(kuò)散爐底部的側(cè)向出舟機(jī)構(gòu)，所述立柱上由上至下固定有多個(gè)間隔開(kāi)的暫存區(qū)，所述推舟機(jī)構(gòu)上水平伸出一SIC槳，所述SIC槳與所述暫存區(qū)之間設(shè)有升降通道區(qū)，所述立柱上還設(shè)有一沿該立柱上下運(yùn)動(dòng)的機(jī)械手，所述側(cè)向出舟機(jī)構(gòu)固定于擴(kuò)散爐底部的位置位于所述暫存區(qū)的正下方。

所述機(jī)械手包括水平手臂和手抓，所述水平手臂的一端安裝在所述立柱上，另一端安裝所述手抓，所述手抓沿所述水平手臂左右運(yùn)動(dòng)。

所述側(cè)向出舟機(jī)構(gòu)通過(guò)固定座固定在所述擴(kuò)散爐底部，所述固定座包括連接板和設(shè)于所述連接板同側(cè)的間隔開(kāi)的至少兩個(gè)環(huán)形框體；所述擴(kuò)散爐底部設(shè)有橫梁，所述環(huán)形框體套在所述橫梁上并與該橫梁之間通過(guò)螺釘連接。

本發(fā)明提出的用于擴(kuò)散爐內(nèi)的石英舟傳送機(jī)構(gòu)，側(cè)向出舟機(jī)構(gòu)固定于擴(kuò)散爐底部的位置位于所述暫存區(qū)的正下方，在SIC槳的取放舟位置較低時(shí)，機(jī)械手在抓取SIC槳上的石英舟后傳輸?shù)缴低ǖ绤^(qū)時(shí)不會(huì)與側(cè)向出舟機(jī)構(gòu)上傳輸?shù)氖⒅郯l(fā)生碰撞。而且SIC槳的取舟位置的高度較低時(shí)，該擴(kuò)散爐的整體高度也會(huì)降低，這樣擴(kuò)散爐的適應(yīng)性能就會(huì)得到很大的提高。

附圖說(shuō)明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中SIC槳取舟位置較高時(shí)傳送石英舟的示意圖；

圖2為現(xiàn)有技術(shù)中SIC槳取舟位置較低時(shí)傳送石英舟的示意圖；

圖3為本發(fā)明的石英舟傳送機(jī)構(gòu)裝在擴(kuò)散爐內(nèi)的示意圖；

圖4為本實(shí)新型的石英舟傳送機(jī)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明中固定座的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本發(fā)明中擴(kuò)散爐底部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7為固定座與橫梁的連接示意圖；

圖8為圖6中A處的放大圖。

具體實(shí)施方式

如圖3和圖4，本發(fā)明提出的用于擴(kuò)散爐內(nèi)的石英舟傳送機(jī)構(gòu)，包括固定于擴(kuò)散爐9內(nèi)一側(cè)的豎直向上的立柱1，固定于擴(kuò)散爐9內(nèi)另一側(cè)的推舟機(jī)構(gòu)2以及固定于擴(kuò)散爐9底部的側(cè)向出舟機(jī)構(gòu)6。立柱1上由上至下固定有多個(gè)間隔開(kāi)的暫存區(qū)3，該暫存區(qū)3用來(lái)擺放已加工或待加工的石英舟，該暫存區(qū)3具有豎直方向的暫存區(qū)中心線31。立柱1上還設(shè)有一沿該立柱1上下運(yùn)動(dòng)的機(jī)械手7，機(jī)械手7包括水平手臂71和手抓72，水平手臂71的一端安裝在立柱1上，另一端安裝手抓72，手抓72用來(lái)抓取石英舟，手抓72沿該水平手臂71左右運(yùn)動(dòng)，從而來(lái)傳送石英舟。

推舟機(jī)構(gòu)2水平伸出一SIC槳4，該SIC槳4用于將已加工/待加工的石英舟從石英管內(nèi)取出/送入，SIC槳4取舟位置的高度通過(guò)推舟機(jī)構(gòu)2安裝在擴(kuò)散爐上的位置高度來(lái)調(diào)整。該SIC槳4具有豎直方向的SIC槳中心線41。

SIC槳4與暫存區(qū)3之間設(shè)有升降通道區(qū)5，該升降通道區(qū)5是機(jī)械手上升或下降的運(yùn)行區(qū)域，機(jī)械手在SIC槳4上抓取石英舟8后，需先水平退回升降通道區(qū)5，在升降通道區(qū)5上升或下降至需要的高度再運(yùn)行下一步動(dòng)作。該升降通道區(qū)5具有豎直方向的升降通道區(qū)中心線51。

本實(shí)施例中，側(cè)向出舟機(jī)構(gòu)6固定于擴(kuò)散爐9底部的位置位于暫存區(qū)3的正下方，這樣由于側(cè)向出舟機(jī)構(gòu)6位于升降通道區(qū)5的右側(cè)，這樣無(wú)論是SIC槳4的取舟位置較高或較低，手抓72抓取SIC槳4上的石英舟8后傳輸?shù)缴低ǖ绤^(qū)5內(nèi)的過(guò)程中都不會(huì)與側(cè)向出舟機(jī)構(gòu)6上的石英舟8發(fā)生碰撞。

如圖4，側(cè)向出舟機(jī)構(gòu)6通過(guò)固定座61固定在擴(kuò)散爐底部。如圖5，固定座61包括連接板611和設(shè)于連接板611同側(cè)的間隔開(kāi)的至少兩個(gè)環(huán)形框體612。如圖6，擴(kuò)散爐9底部設(shè)有橫梁91，橫梁91焊接在PECVD設(shè)備9底部。如圖7和圖8，環(huán)形框體612套在橫梁91上并與該橫梁之間通過(guò)螺釘連接。

本發(fā)明提出的用于擴(kuò)散爐內(nèi)的石英舟傳送機(jī)構(gòu)，側(cè)向出舟機(jī)構(gòu)固定于擴(kuò)散爐底部的位置位于暫存區(qū)的正下方，機(jī)械手在抓取SIC槳上的石英舟后傳輸?shù)缴低ǖ绤^(qū)時(shí)不會(huì)與側(cè)向出舟機(jī)構(gòu)上傳輸?shù)氖⒅郯l(fā)生碰撞。而且SIC槳的取舟位置的高度在很大程度上決定了擴(kuò)散爐的整體高度，因此在擴(kuò)散爐的管數(shù)相同的情況下，SIC槳的取舟位置的高度較低時(shí)，該擴(kuò)散爐的整體高度也會(huì)降低，這樣擴(kuò)散爐的適應(yīng)性能就會(huì)得到很大的提高。

以上的具體實(shí)施例僅用以舉例說(shuō)明本發(fā)明的構(gòu)思，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本發(fā)明的構(gòu)思下可以做出多種變形和變化，這些變形和變化均包括在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。