技術編號：11679645
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本揭露是關于一種半導體元件及其制造方法。背景技術電子工業(yè)已經(jīng)歷對更小且更快電子元件的不斷增強的需求，這些電子元件同時能支持更大量更復雜且尖端的功能。因此，在半導體工業(yè)中持續(xù)趨向制造低成本、高效能及低功率集成電路(ICs)。因此，目前已通過縮小半導體IC尺寸(例如，最小特征尺寸)及由此改良生產效率并降低相關成本達成大部分此等目的。然而，此縮小亦將增加復雜性引入半導體制造制程。因此，實現(xiàn)在半導體IC及元件中的持續(xù)進步需要在半導體制造制程及技術中的相似進步。近期，已引入多柵極元件來力圖通過增加柵極通道...
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