技術(shù)編號(hào)：11679482
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及感應(yīng)耦合型等離子體處理裝置等的等離子體處理裝置。背景技術(shù)在液晶顯示器等的平板顯示器(FPD)的制造工序中，對(duì)FPD用玻璃基板通過例如等離子體蝕刻、等離子體灰化、等離子體成膜等的進(jìn)行電路形成，作為進(jìn)行這樣的等離子體處理的裝置能夠使用感應(yīng)耦合型等離子體處理裝置(ICP處理裝置)。ICP處理裝置包括對(duì)FPD用玻璃基板進(jìn)行等離子體處理的腔室、高頻天線和向腔室內(nèi)供給處理氣體的氣體供給部件。在腔室內(nèi)的下部配置載置FPD用玻璃基板的載置臺(tái)，在腔室內(nèi)的上部以與載置臺(tái)的基板載置面相對(duì)的方式配置由電介質(zhì)體...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。