技術(shù)編號(hào)：11547857
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)中的微機(jī)電系統(tǒng)工藝制造領(lǐng)域領(lǐng)域，尤其涉及一種微測(cè)輻射熱計(jì)參考像元的制備方法和結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)微測(cè)輻射熱計(jì)被廣泛的應(yīng)用于制作非制冷紅外探測(cè)器和太赫茲探測(cè)器。非制冷紅外探測(cè)器由于其能夠在室溫狀態(tài)下工作，并具有質(zhì)量輕、體積小、壽命長(zhǎng)、成本低、功率小、啟動(dòng)快及穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)，滿足了民用紅外系統(tǒng)和部分軍事紅外系統(tǒng)對(duì)長(zhǎng)波紅外探測(cè)器的迫切需要，近幾年來(lái)發(fā)展迅猛。太赫茲探測(cè)器是將波長(zhǎng)更長(zhǎng)的太赫茲波段(30～3000μm)的電磁波轉(zhuǎn)化為可檢測(cè)的電信號(hào)，從而觀測(cè)外部事物，在軍用和民用領(lǐng)域具有廣闊的...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。