技術(shù)編號：11434415
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在組件(模塊)間搬送基板的基板搬送裝置、基板搬送方法和存儲有用于執(zhí)行該基板搬送方法的程序的存儲介質(zhì)。背景技術(shù)例如半導(dǎo)體器件的制造工藝中，在裝置內(nèi)設(shè)置有多個對作為基板的晶片進(jìn)行處理的處理組件，通過在這些處理組件間利用基板搬送裝置依次搬送晶片，進(jìn)行規(guī)定的處理。上述基板搬送裝置具備保持晶片的保持部。為了對晶片進(jìn)行適當(dāng)?shù)奶幚?，要求高精度地將上述晶片交?移交)至組件的規(guī)定的位置。因此，討論利用檢測部(傳感器)對上述保持部中的晶片的周邊部的位置進(jìn)行檢測，并基于該檢測出的位置搬送晶片。例如在專利文...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。