技術(shù)編號(hào)：11272731
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及石英陶瓷坩堝制備技術(shù)領(lǐng)域，提供一種超聲波振動(dòng)輔助下的石英坩堝陶瓷坯體的制備方法。背景技術(shù)晶體硅是目前主導(dǎo)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵材料，在晶體硅制備過程中，石英陶瓷坩堝又是晶硅鑄錠爐的關(guān)鍵部件。這種用于盛裝融熔硅并制成后續(xù)工序所需硅錠的容器，是拉制大直徑單晶硅和多晶硅的消耗性器皿，是多晶硅鑄錠和熔煉提純過程中不可替代的關(guān)鍵配套部件之一。其制作質(zhì)量不僅直接影響晶體硅的質(zhì)量和產(chǎn)量，也間接影響產(chǎn)品的轉(zhuǎn)換效率和穩(wěn)定性。石英陶瓷坩堝因?yàn)樯a(chǎn)技術(shù)難度大、原料純度要求高、使用環(huán)境苛刻，在過去只有法國、美國及日...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。