技術(shù)編號：11252588
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及顯示基板制作技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種掩膜版、過孔的制作方法及顯示基板的制作方法。背景技術(shù)目前，在顯示基板的制作工藝中，通常需要在某些薄膜中制作過孔?，F(xiàn)有技術(shù)中，制作過孔時，通常在待制作過孔的薄膜上形成光刻膠，然后用掩膜版對光刻膠進行曝光，然后對曝光后的光刻膠進行顯影，光刻膠內(nèi)形成與待制作的過孔對應(yīng)的孔狀結(jié)構(gòu)，然后對薄膜與光刻膠內(nèi)孔狀結(jié)構(gòu)對應(yīng)的區(qū)域進行刻蝕，形成過孔。采用上述方法制作過孔時，掩膜版上的透光孔的直徑與過孔的直徑相對應(yīng)，對光刻膠進行曝光和顯影后，光刻膠內(nèi)形成的孔狀結(jié)構(gòu)的孔壁相對...
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