技術(shù)編號(hào)：10658210
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在WO 2011/047 894 Al中公開了一種用于化學(xué)處理硅襯底的裝置。該硅襯底首先在上側(cè)整個(gè)平面用保護(hù)液浸濕。接著在該硅襯底的下側(cè)施加處理流體，該處理流體對(duì)該硅襯底在下側(cè)進(jìn)行化學(xué)處理。通過該保護(hù)液來保護(hù)上側(cè)防止該處理流體。缺點(diǎn)是，一方面該保護(hù)液必須極其精確地確定劑量，以使保護(hù)液從該硅襯底表面滴下的可能性最小化，并且另一方面并不能完全避免保護(hù)液從表面滴下，如此使得要滴下的保護(hù)液影響了該處理液的質(zhì)量，并從而影響該裝置的經(jīng)濟(jì)性。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所基于的任務(wù)是...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。