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正型感光性樹脂組合物的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:10475818

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一般而言,在薄膜晶體管(TFT)型液晶顯示元件、有機(jī)化(electroluminescent)元 件等顯示元件中,設(shè)置有進(jìn)行了圖案形成的電極保護(hù)膜、平坦化膜、絕緣膜等。作為形成運(yùn) 些膜的材料,在感光性樹脂組合物中,一直W來大量使用了具有用于獲得所需要的圖案形 狀的工序數(shù)少而且具有充分的平坦性運(yùn)樣的特征的感光性樹脂組合物。 而且,在上述運(yùn)些膜中,要求下述各特性耐熱性、耐溶劑性、長時間燒成耐性、金 屬瓣射耐性等工藝耐性優(yōu)異;與基底的密合性良好;具有在與使用目...
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