技術編號：10402105
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。半導體托盤(業(yè)界俗稱為Tray盤)是一種用以承載復數(shù)半導體芯片，以便這些半導體芯片被集體運載進行半導體制程的制程或測試程序；而在半導體制程的過程中無法避免處理溶劑或液體的接觸，因此一般的半導體托盤如圖1所示，該半導體托盤10是在一基底部11上設置復數(shù)乘載區(qū)12，各該乘載區(qū)12內設置一容槽121以容置半導體，而為兼具排水的效果，因此更會在該容槽121的槽底開設一開孔122，透過該開孔122提供排水的管道；然而，由于該開孔122是設置于容置半導體的容槽121的...
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