一種直拉式單晶爐用取晶運晶裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種直拉式單晶爐用取晶運晶裝置，包括：固定單元、旋轉(zhuǎn)單元、平移單元和升降單元，所述固定單元能夠固定從直拉式單晶爐輸出的晶棒；所述旋轉(zhuǎn)單元與固定單元相連，能夠傾斜所述固定單元；所述平移單元與旋轉(zhuǎn)單元相連，能夠水平移動所述旋轉(zhuǎn)單元和固定單元；所述升降單元與平移單元相連，能夠垂直升降所述平移單元、旋轉(zhuǎn)單元和固定單元。本實用新型所述直拉式單晶爐用取晶運晶裝置既能減少取晶時間，又能減少操作人員的勞動強度。
【專利說明】一種直拉式單晶爐用取晶運晶裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及單晶硅制備【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種用于直拉式單晶爐的取晶運晶裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]單晶硅是硅的單晶體，其具有基本完整的點陣結(jié)構(gòu)，由于單晶硅在不同的方向具有不同的性質(zhì)(各向異性)，是一種良好的半導(dǎo)體材料，且單晶硅具有準(zhǔn)金屬的物理性質(zhì)和較弱的導(dǎo)電性，其電導(dǎo)率隨溫度的升高而增加，有顯著的半導(dǎo)電性，因此廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、太陽能電池的制造等。
[0003]目前，制備單晶硅的主要方法是直拉法，對應(yīng)的生產(chǎn)設(shè)備是直拉式單晶爐。隨著技術(shù)的創(chuàng)新，例如熱場的改進，高邦石英坩堝的應(yīng)用以及合理原料配比的設(shè)計等，單晶爐的單爐投料量不斷加大，導(dǎo)致單支單晶硅棒(以下簡稱為晶棒)的重量越來越大、長度越來越長，很難順利從單晶爐中取出。常規(guī)的取晶方法是，待晶棒完全冷卻后，由多人配合將晶棒傾斜取出。由于現(xiàn)有的取晶方法需要等晶棒完全冷卻后才能將其取出，故耗費了生產(chǎn)周期，而且，這種人工取晶方式不僅加大了操作人員的勞動強度，還存在一定的安全隱患。
[0004]因此，在單晶硅棒的取晶過程中，如何減少取晶時間以縮短生產(chǎn)周期，以及如何減少操作人員的勞動強度，成為了行業(yè)內(nèi)亟待解決的問題。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型所要解決的技術(shù)問題是針對現(xiàn)有技術(shù)中所存在的上述缺陷，提供一種既能減少取晶時間，又能減少操作人員的勞動強度的直拉式單晶爐用取晶運晶裝置。
[0006]解決本實用新型技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案:
[0007]所述直拉式單晶爐用取晶運晶裝置包括固定單元、旋轉(zhuǎn)單元、平移單元和升降單元，
[0008]所述固定單元能夠固定直拉式單晶爐輸出的晶棒；
[0009]所述旋轉(zhuǎn)單元與固定單元相連,能夠傾斜所述固定單元；
[0010]所述平移單元與旋轉(zhuǎn)單元相連，能夠水平移動所述旋轉(zhuǎn)單元和固定單元；
[0011]所述升降單元與平移單元相連，能夠垂直升降所述平移單元、旋轉(zhuǎn)單元和固定單
J Li ο
[0012]優(yōu)選地，所述固定單元包括容置子單元和第一緊固子單元，
[0013]所述容置子單元能夠容置所述晶棒；
[0014]所述第一緊固子單元與容置子單元的邊緣可拆卸地連接，能夠?qū)⑺鼍О魥A持在容置子單兀內(nèi)。
[0015]優(yōu)選地，所述第一緊固子單元的一端與容置子單元的邊緣通過鉸鏈連接，另一端為自由端，以使得所述第一緊固子單元能夠自由開合；
[0016]和/或，所述第一緊固子單元至少為兩個。
[0017]優(yōu)選地，所述容置子單元采用半弧形晶框；
[0018]和/或，所述第一緊固子單元采用半弧形緊固夾。
[0019]優(yōu)選地，所述半弧形緊固夾采用加厚鐵片制成，所述加厚鐵片的厚度范圍為3mm ?4mm ；
[0020]和/或，所述半弧形緊固夾的外表面均勻包裹有耐高溫材料；
[0021]和/或，所述半弧形緊固夾與晶棒接觸的一側(cè)設(shè)置有耐高溫橡膠。
[0022]優(yōu)選地,所述旋轉(zhuǎn)單元包括第一轉(zhuǎn)輪、轉(zhuǎn)軸和連接子單元，
[0023]所述第一轉(zhuǎn)輪套裝并固定在轉(zhuǎn)軸上，所述轉(zhuǎn)軸的一端與容置子單元相連且垂直設(shè)置，所述轉(zhuǎn)軸的另一端與連接子單元相連并能相對于連接子單元自由轉(zhuǎn)動，所述連接子單元還與平移單元相連。
[0024]優(yōu)選地，所述連接子單元包括套筒和軸承，所述軸承套裝在所述轉(zhuǎn)軸的另一端上，所述套筒套裝在軸承上，且所述軸承的內(nèi)圈與轉(zhuǎn)軸過盈配合，所述軸承的外圈與套筒過盈配合。
[0025]優(yōu)選地，所述旋轉(zhuǎn)子單元還包括設(shè)置在第一轉(zhuǎn)輪上的卡銷，和套裝在所述連接子單元上的齒輪卡槽，所述卡銷和齒輪卡槽能夠卡合以鎖定第一轉(zhuǎn)輪，使其無法旋轉(zhuǎn)。
[0026]優(yōu)選地，所述固定單元還包括第二緊固子單元，其一端與第一轉(zhuǎn)輪的外圈可拆卸地連接，其另一端與第一緊固子單元可拆卸地連接，用于保證所述第一轉(zhuǎn)輪和第一緊固子單元之間的距離恒定。
[0027]優(yōu)選地，所述第二緊固子單元包括緊繩器和安裝于緊繩器上的加韌鋼絲繩，且所述緊繩器的一端與第一轉(zhuǎn)輪的外圈通過螺栓連接，另一端與第一緊固子單元通過勾爪連接；所述加朝鋼絲繩的直徑為6mm ；
[0028]和/或，所述第二緊固子單元與第一緊固子單元的數(shù)量相同且一一對應(yīng)。
[0029]優(yōu)選地，所述平移單元包括箱體、第二轉(zhuǎn)輪、絲杠和方架，所述絲杠包括螺桿和螺母，
[0030]所述箱體固定在升降單元上；
[0031]所述絲杠和方架設(shè)置在箱體內(nèi)部，所述第二轉(zhuǎn)輪設(shè)置在箱體外部，且所述絲杠水平設(shè)置；
[0032]所述螺桿的一端伸出箱體，所述第二轉(zhuǎn)輪套裝并固定在螺桿伸出箱體的一端，所述方架套裝并固定在所述螺母上，并能在第二轉(zhuǎn)輪帶動螺桿旋轉(zhuǎn)時，隨螺母在箱體內(nèi)部沿所述螺桿的長度方向移動，所述方架還在與所述螺桿垂直的方向上與所述旋轉(zhuǎn)單元相連，以使得所述旋轉(zhuǎn)單元和固定單元能夠沿所述螺桿的長度方向平移。
[0033]優(yōu)選地，所述平移單元還包括滑軌和與滑軌配合使用的滾輪，
[0034]所述滑軌設(shè)置在箱體內(nèi)部并與所述螺桿平行設(shè)置，所述滾輪固定在方架上，所述方架通過滾輪能夠在滑軌上滑動。
[0035]優(yōu)選地，所述滑軌采用四條，分別設(shè)置在箱體內(nèi)頂部的兩側(cè)和底部的兩側(cè)，每條滑軌均與所述螺桿平行設(shè)置；
[0036]所述滾輪采用八個，每四個滾輪分別豎直固定在方架的與所述螺桿平行的兩側(cè)面上，且每四個滾輪分別豎直固定在一個所述側(cè)面的四個角的位置處。
[0037]有益效果:
[0038]本實用新型所述直拉式單晶爐用取晶運晶裝置通過固定單元、旋轉(zhuǎn)單元、平移單元和升降單元的協(xié)同作用，能夠?qū)崿F(xiàn)直拉式單晶爐輸出的晶棒的快速取出和及時運送，且不用等待晶棒完全冷卻之后再取，因此本實用新型所述裝置能實現(xiàn)過長、過熱晶棒的快速取出，減少了等待時間和取晶時間，從而縮短了生產(chǎn)周期。此外，采用本實用新型所述裝置取晶與現(xiàn)有采用人工取晶的方式相比，極大地減少了操作人員的勞動強度，降低了安全隱患，還提高了工作效率。
[0039]本實用新型所述直拉式單晶爐用取晶運晶裝置結(jié)構(gòu)簡單，操作方便。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0040]圖1為本實用新型實施例2所述直拉式單晶爐用取晶運晶裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0041]圖中:1_半弧形晶框；2_第一半弧形緊固夾；3_第二半弧形緊固夾；4_第一轉(zhuǎn)輪；5-轉(zhuǎn)軸；6-套筒；7-卡銷；8_齒輪卡槽；9_第一緊繩器；10-第二緊繩器；11_箱體；12_第二轉(zhuǎn)輪；13_螺桿；14_方架；15-升降車。

【具體實施方式】
[0042]為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步詳細(xì)描述。
[0043]實施例1:
[0044]本實施例提供一種直拉式單晶爐用取晶運晶裝置，包括固定單元、旋轉(zhuǎn)單元、平移單元和升降單元，上述單元協(xié)同作用能夠?qū)⒕О魪闹崩絾尉t中快速地傾斜取出，并運送至指定地點。需要說明的是，現(xiàn)有的直拉式單晶爐輸出晶棒時，晶棒的輸出方向與地面垂直。
[0045]具體地，所述固定單元能夠固定直拉式單晶爐輸出的晶棒。
[0046]本實施例中，所述固定單元可采用現(xiàn)有的任意一種能夠固定晶棒的裝置或結(jié)構(gòu)，不再贅述。
[0047]優(yōu)選地，所述固定單元包括容置子單元和第一緊固子單元，所述容置子單元能夠容置所述晶棒；所述第一緊固子單元與容置子單元的邊緣可拆卸地連接，能夠?qū)⑺鼍О魥A持在容置子單元內(nèi)，并能反復(fù)使用。所述第一緊固子單元優(yōu)選至少為兩個，以更好地將晶棒限制于容置子單元內(nèi)，防止其在取晶運晶過程中發(fā)生串動。當(dāng)然，考慮到生產(chǎn)成本，采用一個第一緊固子單元也是可以的。
[0048]進一步地，所述第一緊固子單元的一端與容置子單元的邊緣通過鉸鏈(合葉)連接，另一端為自由端，以使得所述第一緊固子單元能夠自由開合，從而使得第一緊固子單元更方便地拆卸。
[0049]其中，所述容置子單元采用現(xiàn)有的半弧形晶框，所述第一緊固子單元采用現(xiàn)有的半弧形緊固夾，且所述半弧形晶框和半弧形緊固夾的弧度均需要根據(jù)晶棒的直徑大小來加工，以保證對晶棒夾持的緊固性。當(dāng)然，所述容置子單元和第一緊固子單元還可以采用其它能容置并固定晶棒的裝置或結(jié)構(gòu)。為了進一步保證對晶棒夾持的緊固性和安全性，所述半弧形緊固夾可采用金屬材料制成，優(yōu)選采用加厚鐵片制成，所述加厚鐵片的厚度范圍為3mm?4_。而當(dāng)半弧形緊固夾采用金屬材料制成時,為防止晶棒與金屬直接接觸而影響晶棒外表面的質(zhì)量，優(yōu)選所述半弧形緊固夾的外表面均勻包裹有耐高溫材料(例如耐熱石棉)，更優(yōu)選所述半弧形緊固夾與晶棒接觸的一側(cè)設(shè)置(涂覆或粘貼)有耐高溫橡膠。
[0050]所述旋轉(zhuǎn)單元與固定單元中的容置子單元相連，能夠傾斜所述固定單元，也即能夠傾斜通過第一緊固子單元夾持在容置子單元內(nèi)的晶棒。
[0051]本實施例中，所述旋轉(zhuǎn)單元可采用現(xiàn)有的任意一種能夠使所述固定單元旋轉(zhuǎn)(傾斜)的裝置或結(jié)構(gòu)，不再贅述。
[0052]優(yōu)選地，所述旋轉(zhuǎn)單元包括第一轉(zhuǎn)輪、轉(zhuǎn)軸和連接子單元，所述第一轉(zhuǎn)輪套裝并固定在轉(zhuǎn)軸上，所述轉(zhuǎn)軸的一端與容置子單元相連且垂直設(shè)置，所述轉(zhuǎn)軸的另一端與連接子單元相連并能相對于連接子單元自由轉(zhuǎn)動，所述連接子單元還與平移單元相連?？梢?，在晶棒固定好后，需要傾斜晶棒時，只需轉(zhuǎn)動第一轉(zhuǎn)輪即可實現(xiàn)晶棒的自由旋轉(zhuǎn)。
[0053]其中，所述連接子單元包括套筒和軸承，所述軸承套裝在所述轉(zhuǎn)軸的另一端上，SP套裝在轉(zhuǎn)軸的遠(yuǎn)離容置子單元的一端上，所述套筒套裝在軸承上，且所述軸承的內(nèi)圈與轉(zhuǎn)軸過盈配合，所述軸承的外圈與套筒過盈配合，從而使得轉(zhuǎn)軸能夠相對于套筒轉(zhuǎn)動，因此當(dāng)?shù)谝晦D(zhuǎn)輪帶動轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動時，套筒并不會隨轉(zhuǎn)軸一起轉(zhuǎn)動。當(dāng)然，所述連接子單元還可以采用其它能夠使轉(zhuǎn)軸相對其自由轉(zhuǎn)動的裝置或部件。
[0054]當(dāng)旋轉(zhuǎn)單元使晶棒傾斜至合適位置時(例如，當(dāng)晶棒傾斜至水平位置時)，需要將晶棒的傾斜角度固定，因此，優(yōu)選地，所述旋轉(zhuǎn)子單元還包括設(shè)置在第一轉(zhuǎn)輪上的卡銷，和套裝在所述連接子單元的套筒上的齒輪卡槽，所述卡銷和齒輪卡槽能夠卡合以鎖定第一轉(zhuǎn)輪，使其無法旋轉(zhuǎn)，從而固定晶棒的傾斜角度。為了實現(xiàn)卡銷與齒輪卡槽更好地卡合，齒輪卡槽套裝在連接子單元的套筒上的位置接近于第一轉(zhuǎn)輪。
[0055]為了進一步防止晶棒在取晶運晶過程中發(fā)生串動，保證晶棒在運晶過程中的平衡性，優(yōu)選地，所述固定單元還包括第二緊固子單元，其一端與第一轉(zhuǎn)輪的外圈可拆卸地連接，其另一端與第一緊固子單元可拆卸地連接，以保證所述第一轉(zhuǎn)輪和第一緊固子單元之間的距離恒定。由于所述第二緊固子單元與第一緊固子單元可拆卸地連接，故第二緊固子單元最好與第一緊固子單元的數(shù)量相同，且一一對應(yīng)。
[0056]其中，所述第二緊固子單元包括緊繩器和安裝于緊繩器上的加韌鋼絲繩，且所述緊繩器的一端與第一轉(zhuǎn)輪的外圈通過螺栓連接，另一端與第一緊固子單元通過勾爪連接；所述加韌鋼絲繩的直徑優(yōu)選為6mm，以防止工作時斷裂，保證作業(yè)的安全性。所述緊繩器可采用現(xiàn)有的I噸功能緊繩器。可見，緊繩器能夠隨第一轉(zhuǎn)輪共同轉(zhuǎn)動，既方便作業(yè)，又能防止鋼絲繩出現(xiàn)纏繞。當(dāng)然，所述第二緊固子單元還可以采用其它能夠保證第一轉(zhuǎn)輪和第一緊固子單元之間距離恒定性的裝置或結(jié)構(gòu)。
[0057]所述平移單元與旋轉(zhuǎn)單元相連，能夠水平移動所述旋轉(zhuǎn)單元和固定單元。
[0058]本實施例中，所述平移單元可采用現(xiàn)有的任意一種能夠使所述固定單元和旋轉(zhuǎn)單元一起水平移動的裝置或結(jié)構(gòu)，不再贅述。
[0059]優(yōu)選地，所述平移單元包括箱體、第二轉(zhuǎn)輪、絲杠和方架，所述絲杠包括螺桿和螺母，
[0060]所述箱體固定在升降單元上，例如通過螺絲固定在升降單元上；
[0061]所述絲杠和方架設(shè)置在箱體內(nèi)部，所述第二轉(zhuǎn)輪設(shè)置在箱體外部，且所述絲杠水平設(shè)置；
[0062]所述螺桿的一端伸出箱體，所述第二轉(zhuǎn)輪套裝并固定在螺桿伸出箱體的一端，所述方架套裝并固定在所述螺母上，并能在第二轉(zhuǎn)輪帶動螺桿旋轉(zhuǎn)時，隨螺母在箱體內(nèi)部沿所述螺桿的長度方向移動，所述方架還在與所述螺桿垂直的方向上與所述旋轉(zhuǎn)單元的套筒相連，以使得所述旋轉(zhuǎn)單元和固定單元能夠沿所述螺桿的長度方向平移。需要說明的是，為節(jié)省材料以及便于方架帶動旋轉(zhuǎn)單元的套筒沿螺桿的長度方向移動，所述箱體的與螺桿平行且靠近旋轉(zhuǎn)單元的側(cè)面設(shè)有開口。
[0063]為了便于方架在箱體內(nèi)部移動，優(yōu)選所述平移單元還包括滑軌和與滑軌配合使用的滾輪，所述滑軌設(shè)置在箱體內(nèi)部并與所述螺桿平行設(shè)置，所述滾輪固定在方架上，所述方架通過滾輪能夠在滑軌上滑動。進一步地，所述滑軌采用四條，分別設(shè)置在箱體內(nèi)頂部的兩側(cè)和底部的兩側(cè)，每條滑軌均與所述螺桿平行設(shè)置；所述滾輪采用八個，每四個滾輪分別豎直固定在方架的與所述螺桿平行的兩側(cè)面上，且每四個滾輪分別豎直固定在一個所述側(cè)面的四個角的位置處。
[0064]所述升降單元與平移單元相連，能夠垂直升降所述平移單元、旋轉(zhuǎn)單元和固定單
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[0065]本實施例中，所述升降單元可采用現(xiàn)有的任意一種能夠使所述固定單元、旋轉(zhuǎn)單元和平移單元一起升降的裝置或結(jié)構(gòu)，例如采用現(xiàn)有的電動升降車，從而能自由升降晶棒，且便于晶棒的運送，這里不再贅述。
[0066]實施例2:
[0067]如圖1所示，本實施例提供一種直拉式單晶爐用取晶運晶裝置，包括半弧形晶框
1、第一半弧形緊固夾2、第二半弧形緊固夾3、第一轉(zhuǎn)輪4、轉(zhuǎn)軸5、套筒6、軸承(圖中未示出)、卡銷7、齒輪卡槽8、第一緊繩器9、第二緊繩器10、箱體11、第二轉(zhuǎn)輪12、螺桿13、螺母(圖中未示出)、方架14、滑軌(圖中未示出)、滾輪(圖中未示出)和升降車15。
[0068]半弧形晶框I內(nèi)可容置直拉式單晶爐輸出的晶棒，第一半弧形緊固夾2和第二半弧形緊固夾3均勻地設(shè)置在半弧形晶框I上，且一端均通過鉸鏈連接至半弧形晶框I的邊緣，另一端均為自由端，以實現(xiàn)自由開合，并能將晶棒夾持在半弧形晶框I內(nèi)；第一轉(zhuǎn)輪4套裝并固定在轉(zhuǎn)軸5上，轉(zhuǎn)軸5的一端與半弧形晶框I相連且垂直設(shè)置，另一端與套筒6的一端通過軸承相連，且軸承的內(nèi)圈與轉(zhuǎn)軸5過盈配合，軸承的外圈與套筒6過盈配合，套筒6的另一端固定在方架14上，卡銷7設(shè)置在第一轉(zhuǎn)輪4上，齒輪卡槽8套裝在套筒6上，卡銷7和齒輪卡槽8卡合后能鎖定第一轉(zhuǎn)輪4，使其無法旋轉(zhuǎn)；第一緊繩器9和第二緊繩器10的一端分別通過螺栓連接在第一轉(zhuǎn)輪4的外圈上的相對位置處，另一端分別通過勾爪連接至對應(yīng)的第一半弧形緊固夾2和第二半弧形緊固夾3 ;箱體11通過螺絲固定在升降車15上，螺桿13、螺母和方架14設(shè)置在箱體11內(nèi)部，第二轉(zhuǎn)輪12設(shè)置在箱體11外部，螺桿13水平設(shè)置且一端伸出箱體11，第二轉(zhuǎn)輪12套裝并固定在螺桿13伸出箱體11的一端，方架14套裝并固定在螺母上，滑軌采用四條，分別設(shè)置在箱體11內(nèi)頂部的兩側(cè)和底部的兩側(cè)并，每條滑軌均與螺桿13平行設(shè)置，滾輪采用八個，每四個滾輪分別豎直固定在方架14的與螺桿13平行的兩側(cè)面上，且每四個滾輪分別豎直固定在一個所述側(cè)面的四個角的位置處，方架14能夠通過滾輪在滑軌上沿螺桿13的長度方向水平滑動；升降車15能夠帶動上述所有部件垂直升降。
[0069]下面參照圖1詳細(xì)描述所述直拉式單晶爐用取晶運晶裝置的工作原理:
[0070]當(dāng)直拉式單晶爐輸出的晶棒降落至距地面一定距離后，使半弧形晶框I保持豎直狀態(tài)，將晶棒置于半弧形晶框I內(nèi)，然后通過第一半弧形緊固夾2和第二半弧形緊固夾3將晶棒夾持在半弧形晶框I內(nèi)，再將第一緊繩器9通過勾爪勾住第一半弧形緊固夾2、第二緊繩器10通過勾爪勾住第二半弧形緊固夾3，分別上緊第一緊繩器9和第二緊繩器10，從而將晶棒固定好，并剪斷籽晶；
[0071]旋轉(zhuǎn)第一轉(zhuǎn)輪4，使晶棒傾斜，同時旋轉(zhuǎn)第二轉(zhuǎn)輪12，使晶棒水平移動，同時控制升降車15下降，使晶棒向下移動，也即，一邊傾斜晶棒，一邊水平向下移動晶棒，從而將晶棒完全從直拉式單晶爐取出；待晶棒取出后，旋轉(zhuǎn)第一轉(zhuǎn)輪4，使晶棒呈水平狀態(tài)，此時將卡銷7與齒輪卡槽8卡合，以鎖定第一轉(zhuǎn)輪4，從而使晶棒保持水平狀態(tài)；最后通過旋轉(zhuǎn)第二轉(zhuǎn)輪12和控制升降車15升降使晶棒運送到指定地點或下道工序位置處。
[0072]本實施例中的其他結(jié)構(gòu)及作用都與實施例1相同，這里不再贅述。
[0073]可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本實用新型的原理而采用的示例性實施方式，然而本實用新型并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本實用新型的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本實用新型的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種直拉式單晶爐用取晶運晶裝置，其特征在于，包括固定單元、旋轉(zhuǎn)單元、平移單元和升降單元， 所述固定單元能夠固定直拉式單晶爐輸出的晶棒； 所述旋轉(zhuǎn)單元與固定單元相連，能夠傾斜所述固定單元； 所述平移單元與旋轉(zhuǎn)單元相連，能夠水平移動所述旋轉(zhuǎn)單元和固定單元； 所述升降單元與平移單元相連，能夠垂直升降所述平移單元、旋轉(zhuǎn)單元和固定單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于， 所述固定單元包括容置子單元和第一緊固子單元， 所述容置子單元能夠容置所述晶棒； 所述第一緊固子單元與容置子單元的邊緣可拆卸地連接，能夠?qū)⑺鼍О魥A持在容置子單元內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于， 所述第一緊固子單元的一端與容置子單元的邊緣通過鉸鏈連接，另一端為自由端，以使得所述第一緊固子單元能夠自由開合； 和/或，所述第一緊固子 單元至少為兩個。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的裝置，其特征在于， 所述容置子單元采用半弧形晶框； 和/或，所述第一緊固子單元采用半弧形緊固夾。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于， 所述半弧形緊固夾采用加厚鐵片制成，所述加厚鐵片的厚度范圍為3mm~4mm ； 和/或，所述半弧形緊固夾的外表面均勻包裹有耐高溫材料； 和/或，所述半弧形緊固夾與晶棒接觸的一側(cè)設(shè)置有耐高溫橡膠。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于， 所述旋轉(zhuǎn)單元包括第一轉(zhuǎn)輪、轉(zhuǎn)軸和連接子單元， 所述第一轉(zhuǎn)輪套裝并固定在轉(zhuǎn)軸上，所述轉(zhuǎn)軸的一端與容置子單元相連且垂直設(shè)置，所述轉(zhuǎn)軸的另一端與連接子單元相連并能相對于連接子單元自由轉(zhuǎn)動，所述連接子單元還與平移單元相連。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于， 所述連接子單元包括套筒和軸承，所述軸承套裝在所述轉(zhuǎn)軸的另一端上，所述套筒套裝在軸承上，且所述軸承的內(nèi)圈與轉(zhuǎn)軸過盈配合，所述軸承的外圈與套筒過盈配合。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于， 所述旋轉(zhuǎn)子單元還包括設(shè)置在第一轉(zhuǎn)輪上的卡銷，和套裝在所述連接子單元上的齒輪卡槽，所述卡銷和齒輪卡槽能夠卡合以鎖定第一轉(zhuǎn)輪，使其無法旋轉(zhuǎn)。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于， 所述固定單元還包括第二緊固子單元，其一端與第一轉(zhuǎn)輪的外圈可拆卸地連接，其另一端與第一緊固子單元可拆卸地連接，用于保證所述第一轉(zhuǎn)輪和第一緊固子單元之間的距離恒定。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于， 所述第二緊固子單元包括緊繩器和安裝于緊繩器上的加韌鋼絲繩，且所述緊繩器的一端與第一轉(zhuǎn)輪的外圈通過螺栓連接，另一端與第一緊固子單元通過勾爪連接；所述加韌鋼絲繩的直徑為6mm ； 和/或，所述第二緊固子單元與第一緊固子單元的數(shù)量相同且一一對應(yīng)。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于， 所述平移單元包括箱體、第二轉(zhuǎn)輪、絲杠和方架，所述絲杠包括螺桿和螺母， 所述箱體固定在升降單元上； 所述絲杠和方架設(shè)置在箱體內(nèi)部，所述第二轉(zhuǎn)輪設(shè)置在箱體外部，且所述絲杠水平設(shè)置； 所述螺桿的一端伸出箱體，所述第二轉(zhuǎn)輪套裝并固定在螺桿伸出箱體的一端，所述方架套裝并固定在所述螺母上，并能在第二轉(zhuǎn)輪帶動螺桿旋轉(zhuǎn)時，隨螺母在箱體內(nèi)部沿所述螺桿的長度方向移動，所述方架還在與所述螺桿垂直的方向上與所述旋轉(zhuǎn)單元相連，以使得所述旋轉(zhuǎn)單元和固定單元能夠沿 所述螺桿的長度方向平移。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的裝置，其特征在于， 所述平移單元還包括滑軌和與滑軌配合使用的滾輪， 所述滑軌設(shè)置在箱體內(nèi)部并與所述螺桿平行設(shè)置，所述滾輪固定在方架上，所述方架通過滾輪能夠在滑軌上滑動。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的裝置，其特征在于， 所述滑軌采用四條，分別設(shè)置在箱體內(nèi)頂部的兩側(cè)和底部的兩側(cè)，每條滑軌均與所述螺桿平行設(shè)置； 所述滾輪采用八個，每四個滾輪分別豎直固定在方架的與所述螺桿平行的兩側(cè)面上，且每四個滾輪分別豎直固定在一個所述側(cè)面的四個角的位置處。
【文檔編號】C30B15/30GK203923450SQ201420202347
【公開日】2014年11月5日 申請日期:2014年4月23日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月23日
【發(fā)明者】王保勝, 翟勝濤, 孫喜良 申請人:特變電工新疆新能源股份有限公司