擴散爐的新型氣路的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種擴散爐的新型氣路，屬于太陽能光伏電池制造【技術領域】，主要特點是反應氣體在設置的混合裝置中充分混合后通過擴散爐爐門的進氣口從爐口的中間位置噴入石英管中，再通過石英管尾部中間位置的尾排將尾氣抽出。本實用新型在現(xiàn)有擴散爐設備的基礎上，只需對3個部件進行一定的改進，改造成本較?。辉谶M氣之前，將氣體充分混合，保證了反應的均勻性，從而改善了擴散方阻的均勻性，降低了人力成本；由于氣路的改變，改善了氣體分布的均勻性，提高了擴散方阻的均勻性，降低了人力成本由于氣路的改變，使爐管的定期維護變得更加簡單，成本也有所降低。
【專利說明】擴散爐的新型氣路
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種擴散爐的新型氣路，屬于太陽能光伏電池制造【技術領域】。
【背景技術】
[0002]目前晶體硅太陽能電池產(chǎn)業(yè)化技術已經(jīng)非常成熟，然而與常規(guī)能源相比，相對較高的成本與較低的效率制約了其發(fā)展，對于如何降低成本及提高轉換效率，人們進行了大量的研究。
[0003]在提高效率的各種方法當中，高方阻路線是應用最普遍，成本較低，也是可以進行持續(xù)改善的一種方法。伴隨著正面銀漿的不斷突破，擴散方阻已經(jīng)從之前40-50ohm逐漸提高到了目前的90-100ohm，效率也得到了明顯提升。
[0004]然而在這個過程中，隨著方阻的提升，擴散方阻的均勻性也逐漸惡化，會導致電池質(zhì)量下降，產(chǎn)生良率異常等問題。目前市場上的擴散設備均無法有效解決這一問題，其擴散方阻的標準偏差均在3-6ohm，無法滿足實際生產(chǎn)的需求，導致產(chǎn)線技術人員對工藝參數(shù)的調(diào)節(jié)十分頻繁，既耗費大量的人力，工藝水準的穩(wěn)定性也難以得到保證，無法滿足后續(xù)制程的需求。為了提高產(chǎn)品品質(zhì)，降低人力成本，需要對擴散設備進行改善。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型的目的是提供一種擴散爐的新型氣路，解決上述現(xiàn)有技術存在的缺陷，使擴散爐設備能夠滿足高方阻的均勻性需求，從而提高效率，優(yōu)化產(chǎn)品品質(zhì)，減少人力成本。
[0006]本實用新型的目的是通過以下技術方案實現(xiàn)的，一種擴散爐的新型氣路，包括擴散爐，擴散爐爐門，擴散爐內(nèi)的石英管，進氣管路，尾排管路，其特征是，反應氣體在混合裝置中充分混合后通過擴散爐爐門的進氣口從爐口的中間位置噴入石英管中，再通過石英管尾部中間位置的尾排將尾氣抽出。
[0007]所述的混合裝置由密封石英器皿，三根由一端外延伸到石英器皿內(nèi)部的進氣管和石英器皿另一端的一個出氣口構成，出氣口與中心軸重合，石英器皿內(nèi)部的進氣管壁上有若干均勻的小孔，進氣管末端封閉。
[0008]所述的進氣管呈等邊三角形分布。
[0009]所述的進氣管壁上的小孔密度為1-50個/cm，各進氣管的小孔均對著石英器皿的中心軸；
[0010]本實用新型具有如下優(yōu)點:1)在現(xiàn)有擴散爐設備的基礎上，只需對3個部件進行一定的改進，改造成本較??；2)在進氣之前，將氣體充分混合，保證了反應的均勻性，從而改善了擴散方阻的均勻性，降低了人力成本；3)由于氣路的改變，改善了氣體分布的均勻性，提高了擴散方阻的均勻性，降低了人力成本；4)由于氣路的改變，使爐管的定期維護變得更加簡單，成本也有所降低?！緦＠綀D】

【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型氣路結構示意圖，充分混合的氣體從石英管爐口中心位置進入，從爐尾中心位置被尾排抽出。
[0012]圖2為本實用新型中氣體混合裝置主視結構示意圖，氣體被分成許多等份，在密封石英器皿內(nèi)充分混合和抽出。
[0013]圖3為圖2的側視結構示意圖；
[0014]圖中，I石英管，2進氣口，3進氣管路，4氣體混合裝置，5尾排管路，6爐門，7石英器皿，8進氣管，9出氣口。
【具體實施方式】
[0015]結合附圖和實施例進一步說明本實用新型，本實用新型是在現(xiàn)有擴散設備基礎上對三個部件的改進，通過改進可改善擴散方阻的均勻性。進氣管路的原有構造是置于石英管尾部中間位置，將簡單混合的氣體噴入石英管中，如圖1所示，現(xiàn)在需要將進氣口 2置于爐門6中心位置，并通過軟管連接到進氣管路3，軟管置于爐門6夾層之中。爐口是一個圓口，爐門6的形狀也是圓形的，兩者的圓心是重合的，都在石英管I的中心軸上，進氣口 2位于爐門6的圓心位置，這樣氣體就會從爐口的中心位置進入。
[0016]本實用新型中的氣體混合裝置如圖2所示，在進氣管路3之前，氣體MFC之后加裝一個氣體混合裝置4，目的是將氣體在進入石英管I之前充分混合，以保證反應的均勻性，其基本構造如下:一個小型密封石英器皿7，一端通過三個進氣管8與氣體管路連接，進氣管8 —直延伸到石英器皿7內(nèi)部，各進氣管8的末端是封閉的，在進氣管8壁上有許多均勻的小孔，其密度為1-50個/cm,三個進氣管8的小孔均對著石英器皿的中心軸；三個進氣管8呈等邊三角形分布，在石英器皿的另一端有一個出氣口 9，出氣口 9與進氣管路3相連，出氣口 9與中心軸重合。
[0017]本實用新型中的尾排管路5如圖1所示，尾排管路5的原有構造是置于石英管尾部下方位置，通過一根尾氣管通到爐口位置，現(xiàn)在需要將其置于中間位置，直接接到尾排上。
[0018]綜上所述，本實用新型在設計的氣路中實現(xiàn)了氣體的充分混合，改善了氣體在石英管中的分布，從而改善了擴散方阻的均勻性，提高了產(chǎn)品品質(zhì)，降低了人力成本。
【權利要求】
1.一種擴散爐的新型氣路，包括擴散爐、擴散爐爐門、擴散爐內(nèi)的石英管，進氣管路，尾排管路，其特征是，反應氣體在設置的混合裝置中充分混合后通過擴散爐爐門的進氣口從爐口的中間位置噴入石英管中，再通過石英管尾部中間位置的尾排將尾氣抽出。
2.根據(jù)權利要求1所述的擴散爐的新型氣路，其特征是，所述的混合裝置由密封石英器皿,三根由一端外延伸到石英器皿內(nèi)部的進氣管和石英器皿另一端的一個出氣口構成，出氣口與中心軸重合，石英器皿內(nèi)部的進氣管壁上有若干均勻的小孔，進氣管末端封閉。
3.根據(jù)權利要求2所述的擴散爐的新型氣路，其特征是，所述的進氣管呈等邊三角形分布。
4.根據(jù)權利要求2或3所述的擴散爐的新型氣路，其特征是，所述的進氣管壁上的小孔密度為1-50個/cm,各進氣管的小孔均對著石英器皿的中心軸。
【文檔編號】C30B31/16GK203613307SQ201320752481
【公開日】2014年5月28日 申請日期:2013年11月26日 優(yōu)先權日:2013年11月26日
【發(fā)明者】趙建東, 鄭飛 申請人:中電電氣（揚州）光伏有限公司