控制籽晶桿升降的傳動裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種控制籽晶桿升降的傳動裝置，包括托板，在托板上固定支架，在支架上安裝絲桿箱體；在所述絲桿箱體內(nèi)部安裝絲桿，在絲桿的上段套設(shè)螺母座，螺母座與晶桿支撐板連接；特征是：在所述絲桿下方安裝轉(zhuǎn)接軸，在轉(zhuǎn)接軸上安裝渦輪，渦輪與蝸桿嚙合，蝸桿與伺服電機的動力輸出端連接；在所述轉(zhuǎn)接軸的上段套設(shè)諧波減速器，在絲桿的下段套設(shè)電磁離合器，諧波減速器與電磁離合器通過連接板連接。在所述絲桿的中段套設(shè)錐齒輪，錐齒輪外側(cè)的絲桿箱體上連接手輪，手輪的端部齒輪與錐齒輪嚙合。本實用新型傳動裝置結(jié)構(gòu)緊湊，不會出現(xiàn)提拉速度穩(wěn)定性差、傳導振動等問題，可穩(wěn)定控制籽晶桿的提拉速度。
【專利說明】控制籽晶桿升降的傳動裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種控制籽晶桿升降的傳動裝置，屬于晶體生長【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著科學技術(shù)的發(fā)展，對晶體材料的要求越來越高，這也意味著對晶體材料的生長工藝和生長設(shè)備的要求越來越高。晶體生長的提拉速度是人工晶體生長過程中的關(guān)鍵技術(shù)之一，特別是在等徑階段高精度且穩(wěn)定的提拉速度在高質(zhì)量晶體的生長中起著非常重要的作用。為避免晶體生長過程中拉速過大造成晶格的斷裂、因拉速不穩(wěn)定導致晶體中產(chǎn)生大量嚴重的生長條紋，影響晶體內(nèi)在質(zhì)量，這就要求籽晶桿具有超低速的拉速和較高的穩(wěn)定性。
[0003]傳統(tǒng)的晶體生長爐籽晶桿的升降采用結(jié)構(gòu)簡單的傳動裝置實現(xiàn)，由于傳動裝置的減速比小，導致籽晶桿提拉速度一直處在較高水平，且傳動裝置經(jīng)常會出現(xiàn)穩(wěn)定性差、易產(chǎn)生傳導振動等問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種控制籽晶桿升降的傳動裝置，減速比大、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定。
[0005]按照本實用新型提供的技術(shù)方案，一種控制籽晶桿升降的傳動裝置，包括托板，在托板上固定支架，在支架上安裝絲桿箱體；在所述絲桿箱體內(nèi)部安裝絲桿，在絲桿的上段套設(shè)螺母座，螺母座與晶桿支撐板連接；特征是:在所述絲桿下方安裝轉(zhuǎn)接軸，在轉(zhuǎn)接軸上安裝蝸輪，蝸輪與蝸桿嚙合，蝸桿與伺服電機的動力輸出端連接；在所述轉(zhuǎn)接軸的上段套設(shè)諧波減速器，在絲桿的下段套設(shè)電磁離合器，諧波減速器與電磁離合器通過連接板連接。
[0006]在所述絲桿的中段套設(shè)錐齒輪，錐齒輪外側(cè)的絲桿箱體上連接手輪，手輪的端部齒輪與錐齒輪嚙合。
[0007]在所述絲桿箱體上設(shè)有豎直方向的箱體導軌，晶桿支撐板設(shè)置在箱體導軌上，可沿箱體導軌上下滑動。
[0008]本實用新型傳動裝置通過設(shè)置蝸輪蝸桿、諧波減速器二級減速系統(tǒng)，使整套傳動裝置的減速比達到三十萬以上，使從伺服電機發(fā)出的高轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)換為超低的轉(zhuǎn)速輸出，實現(xiàn)精確控制籽晶桿超低提拉速度的目的，適于在晶體生長過程中提供籽晶桿的超低速提拉，從而提高晶體成品率。同時，本實用新型裝置還設(shè)置有手動控制裝置，通過手輪不經(jīng)過減速系統(tǒng)來控制籽晶桿實現(xiàn)較高的提拉速度，適于在晶體生長結(jié)束后控制籽晶桿的較高速提拉，提高生產(chǎn)效率。本實用新型傳動裝置結(jié)構(gòu)緊湊，不會出現(xiàn)提拉速度穩(wěn)定性差、傳導振動等問題，可穩(wěn)定控制籽晶桿的提拉速度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。[0010]圖2為圖1的B-B剖視圖。
【具體實施方式】
[0011]下面結(jié)合具體附圖對本實用新型作進一步說明。
[0012]如圖1?圖2所示:所述控制籽晶桿升降的傳動裝置包括托板1、支架2、絲桿箱體
3、絲桿4、轉(zhuǎn)接軸5、蝸輪6、蝸桿7、伺服電機8、諧波減速器9、電磁離合器10、連接板11、螺母座12、晶桿支撐板13、箱體導軌14、錐齒輪15、手輪16等。
[0013]如圖1所示，本實用新型包括托板1，在托板I上固定支架2，在支架2上安裝絲桿箱體3 ;在所述絲桿箱體3內(nèi)部安裝絲桿4，在絲桿4的上段套設(shè)螺母座12，螺母座12與晶桿支撐板13連接；在所述絲桿4下方安裝轉(zhuǎn)接軸5，在轉(zhuǎn)接軸5上安裝蝸輪6，蝸輪6與蝸桿7嚙合，蝸桿7與伺服電機8的動力輸出端連接；在所述轉(zhuǎn)接軸5的上段套設(shè)諧波減速器9，在絲桿4的下段套設(shè)電磁離合器10，諧波減速器9與電磁離合器10通過連接板11連接;
[0014]在所述絲桿4的中段套設(shè)錐齒輪15，錐齒輪15外側(cè)的絲桿箱體3上連接手輪16，手輪16通過齒輪與錐齒輪15嚙合，帶動錐齒輪15轉(zhuǎn)動，從而手動帶動絲桿4轉(zhuǎn)動；
[0015]在所述絲桿箱體3上設(shè)有豎直方向的箱體導軌14，晶桿支撐板13設(shè)置在箱體導軌14上，可沿箱體導軌14上下滑動。
[0016]本實用新型的工作過程:伺服電機8提供本實用新型所述傳動裝置的動力，通過蝸輪6和蝸桿7將動力傳至轉(zhuǎn)接軸5，轉(zhuǎn)接軸5上套設(shè)有諧波減速器9，蝸輪6蝸桿7、諧波減速器9的二級減速系統(tǒng)使整套傳動裝置的減速比達到三十萬以上，使從伺服電機發(fā)出的高轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)換為超低的轉(zhuǎn)速輸出，實現(xiàn)精確控制籽晶桿超低提拉速度的目的，適于在晶體生長過程中提供籽晶桿的超低速提拉，從而提高晶體成品率。同時，本實用新型裝置還設(shè)置有手動控制裝置，通過手輪16不經(jīng)過減速系統(tǒng)來控制籽晶桿實現(xiàn)較高的提拉速度，適于在晶體生長結(jié)束后控制籽晶桿的較高速提拉，提高生產(chǎn)效率。本實用新型傳動裝置結(jié)構(gòu)緊湊，不會出現(xiàn)提拉速度穩(wěn)定性差、傳導振動等問題，可穩(wěn)定控制籽晶桿的提拉速度。
【權(quán)利要求】
1.一種控制籽晶桿升降的傳動裝置，包括托板(1)，在托板(I)上固定支架(2)，在支架(2)上安裝絲桿箱體(3);在所述絲桿箱體(3)內(nèi)部安裝絲桿(4)，在絲桿(4)的上段套設(shè)螺母座(12)，螺母座(12)與晶桿支撐板(13)連接；其特征是:在所述絲桿(4)下方安裝轉(zhuǎn)接軸(5 )，在轉(zhuǎn)接軸(5 )上安裝蝸輪(6 )，蝸輪(6 )與蝸桿(7 )嚙合，蝸桿(7 )與伺服電機(8 )的動力輸出端連接；在所述轉(zhuǎn)接軸(5)的上段套設(shè)諧波減速器(9)，在絲桿(4)的下段套設(shè)電磁離合器(10 )，諧波減速器(9 )與電磁離合器(10 )通過連接板(11)連接。
2.如權(quán)利要求1所述的控制籽晶桿升降的傳動裝置，其特征是:在所述絲桿(4)的中段套設(shè)錐齒輪(15)，錐齒輪(15)外側(cè)的絲桿箱體(3)上連接手輪(16)，手輪(16)的端部齒輪與錐齒輪(15)嚙合。
3.如權(quán)利要求1所述的控制籽晶桿升降的傳動裝置，其特征是:在所述絲桿箱體(3)上設(shè)有豎直方向的箱體導軌(14)，晶桿支撐板(13)設(shè)置在箱體導軌(14)上，可沿箱體導軌(14)上下滑動。
【文檔編號】C30B15/20GK203411655SQ201320461145
【公開日】2014年1月29日 申請日期:2013年7月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月30日
【發(fā)明者】方建東, 楊寧, 孫曉曉, 黃小衛(wèi) 申請人:元亮科技有限公司