布線形成裝置、維護(hù)方法以及布線形成方法
【專利摘要】提供一種能夠穩(wěn)定地形成布線圖案的布線形成裝置、維護(hù)方法以及布線形成方法。布線形成裝置(1)具有霧化裝置(2)、噴嘴(3)以及將它們連接的連通管(4)，從噴嘴(3)噴射霧化后的糊劑材料而在基板(W)上進(jìn)行布線圖案的形成。布線形成裝置(1)具備：第一氣體供給部(61)，其向連通管(4)內(nèi)供給第一維護(hù)氣體；吸引部(63)，其對(duì)連通管(4)內(nèi)進(jìn)行吸引；以及第二氣體供給部(65)，其向連通管(4)內(nèi)供給第二維護(hù)氣體。連通管(4)內(nèi)的吸引和第二維護(hù)氣體的供給同時(shí)進(jìn)行。而且，進(jìn)行控制使得在布線形成的空閑時(shí)間分別進(jìn)行第一維護(hù)氣體的供給以及第二維護(hù)氣體的供給和吸引，能夠與布線圖案的形成同時(shí)地實(shí)施布線形成裝置(1)的維護(hù)。
【專利說(shuō)明】布線形成裝置、維護(hù)方法以及布線形成方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種布線形成裝置、維護(hù)方法以及布線形成方法。更詳細(xì)地說(shuō)，涉及一種可形成精細(xì)圖案且能夠用于對(duì)形成在液晶顯示器等平板顯示器的基板上的布線等進(jìn)行修復(fù)的布線形成裝置、該布線形成裝置的維護(hù)方法以及布線形成方法。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來(lái)，隨著液晶顯示器、等離子顯示器以及有機(jī)EL顯示器等平板顯示器的大型化和高清晰化，推進(jìn)了形成在半導(dǎo)體基板等基板上的布線、電極等的圖案的精細(xì)化。而且，隨著圖案的精細(xì)化，在布線等、等離子顯示器的障肋等中產(chǎn)生的缺陷成為問(wèn)題。作為這樣的缺陷，例如在是布線的情況下，存在圖案的一部分發(fā)生缺失、斷線的開(kāi)路缺陷等。因此，尋求能夠抑制這種缺陷的產(chǎn)生來(lái)提高制造成品率的電極、布線等的形成技術(shù)的提高。同時(shí)尋求能夠在產(chǎn)生了缺陷的情況下對(duì)其進(jìn)行修復(fù)的修復(fù)技術(shù)。
[0003]作為對(duì)開(kāi)路缺陷等進(jìn)行修復(fù)的修復(fù)技術(shù)，已知有如下一種方法(例如，參照專利文獻(xiàn)I。):對(duì)基板上的布線發(fā)生斷線的缺陷部分涂布附著于涂布針前端的導(dǎo)電性糊劑，在使涂布位置在電極的長(zhǎng)度方向上移動(dòng)的同時(shí)多次涂布來(lái)進(jìn)行修復(fù)。
[0004]另外，已知有在基板上進(jìn)行布線圖案的形成等的噴霧方式的開(kāi)路修復(fù)裝置等布線形成裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)2。)。
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2000-299059號(hào)公報(bào)
[0006]專利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2007-152219號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

_7] 發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0008]但是，在如專利文獻(xiàn)I所記載的修復(fù)方法中，由于使涂布針多次往復(fù)于布線的缺陷部分與糊劑槽之間來(lái)一邊對(duì)涂布針補(bǔ)充導(dǎo)電性糊劑一邊進(jìn)行涂布，因此導(dǎo)致缺陷部分越長(zhǎng)則修復(fù)所花費(fèi)的時(shí)間越長(zhǎng)。另外，由于導(dǎo)電性糊劑被涂布成將圓形的涂布部配置成一列所形成的形狀，因此形成從布線的寬度溢出的部分等難以將修復(fù)部分控制成期望的形狀。
[0009]因此，在基板上進(jìn)行布線圖案的形成等的噴霧方式的開(kāi)路修復(fù)裝置等布線形成裝置受到了關(guān)注。
[0010]噴霧方式的布線形成裝置例如構(gòu)成為具有將布線形成用的糊劑材料霧化成霧狀的霧化裝置、向基板上的缺陷部分噴射由霧化裝置霧化后的糊劑材料的噴嘴以及將霧化裝置與噴嘴連接的連通管，使用霧化后的糊劑材料來(lái)進(jìn)行布線圖案的形成以修復(fù)基板上的缺陷部分。
[0011]在這樣的噴霧方式的布線形成裝置中，能夠一邊補(bǔ)充糊劑材料一邊進(jìn)行噴射，因此與涂布針多次往復(fù)于基板上的缺陷部分與糊劑槽之間的專利文獻(xiàn)I等所記載的修復(fù)方法相比，能夠迅速地修復(fù)缺陷部分。
[0012]然而，在以往的噴霧方式的布線形成裝置中，存在如下情況:在將霧化裝置與噴嘴連接的連通管內(nèi)附著有糊劑材料的霧，蓄積在連通管內(nèi)的霧變?yōu)榻Y(jié)露而流向噴嘴。其結(jié)果，在以往的噴霧方式的布線形成裝置中，存在噴嘴的噴射變得不穩(wěn)定、連通管內(nèi)的結(jié)露流動(dòng)而堵塞涂布噴嘴的情形等。
[0013]當(dāng)噴嘴的噴射變得不穩(wěn)定時(shí)，無(wú)法穩(wěn)定地形成布線圖案。并且，當(dāng)噴嘴堵塞時(shí)，無(wú)法形成布線圖案。因此，在以往的噴霧方式的布線形成裝置中，需要頻繁地更換連通管以抑制如上所述的結(jié)露和其流向噴嘴的情形。其結(jié)果，存在布線形成裝置的工作時(shí)間變短而使生產(chǎn)性下降的情形。
[0014]因此，尋求如下一種布線形成技術(shù):能夠控制將霧化裝置與噴嘴之間連接的連通管內(nèi)的結(jié)露，并抑制結(jié)露流向噴嘴，從而穩(wěn)定地形成布線圖案。
[0015]本發(fā)明是鑒于這樣的問(wèn)題而完成的。
[0016]即，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠穩(wěn)定地形成布線圖案的布線形成裝置。
[0017]另外，本發(fā)明的目的在于提供一種對(duì)布線形成裝置進(jìn)行維護(hù)以能夠穩(wěn)定地形成布線圖案的維護(hù)方法。
[0018]另外，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠穩(wěn)定地形成布線圖案的布線形成方法。
[0019]將從下面的記載中清楚本發(fā)明的其它目的和優(yōu)點(diǎn)。
[0020]用于解決問(wèn)題的方案
[0021]本發(fā)明的第一方式涉及一種布線形成裝置，具有:霧化裝置，其使糊劑材料霧化；噴嘴，其噴射由該霧化裝置霧化后的糊劑材料；以及連通管，其將該霧化裝置與該噴嘴連接，其中，通過(guò)涂布霧化后的糊劑材料來(lái)進(jìn)行布線形成，該布線形成裝置的特征在于，具有:
[0022]第一氣體供給部，其設(shè)置于連通管的與霧化裝置的連接部側(cè)，向該連通管內(nèi)供給第一維護(hù)氣體；
[0023]吸引部，其設(shè)置于連通管的與霧化裝置的連接部側(cè)和連通管的與噴嘴的連接部側(cè)中的某一方，對(duì)該連通管內(nèi)進(jìn)行吸引；以及
[0024]第二氣體供給部，其設(shè)置于連通管的與霧化裝置的連接部側(cè)和連通管的與噴嘴的連接部側(cè)中的、未設(shè)置吸引部的連接部側(cè)，向該連通管內(nèi)供給第二維護(hù)氣體。
[0025]在本發(fā)明的第一方式中，優(yōu)選的是，吸引部設(shè)置于連通管的與霧化裝置的連接部偵牝第二氣體供給部設(shè)置于該連通管的與噴嘴的連接部側(cè)。
[0026]在本發(fā)明的第一方式中，優(yōu)選的是，第一維護(hù)氣體是惰性氣體。
[0027]在本發(fā)明的第一方式中，優(yōu)選的是，第二維護(hù)氣體是空氣。
[0028]在本發(fā)明的第一方式中，優(yōu)選的是，具有控制部，該控制部分別對(duì)第一氣體供給部的第一維護(hù)氣體的供給、吸引部的吸引以及第二氣體供給部的第二維護(hù)氣體的供給進(jìn)行控制，該控制部以如下方式進(jìn)行控制:使該吸引與第二維護(hù)氣體的供給同時(shí)進(jìn)行，使第一維護(hù)氣體的供給、第二維護(hù)氣體的供給以及吸引分別在布線形成的空閑時(shí)間進(jìn)行。
[0029]在本發(fā)明的第一方式中，優(yōu)選的是，控制部進(jìn)行控制使得在進(jìn)行了吸引以及第二維護(hù)氣體的供給之后在布線形成之前進(jìn)行第一維護(hù)氣體的供給。
[0030]在本發(fā)明的第一方式中，優(yōu)選的是，控制部進(jìn)行控制使得在進(jìn)行了吸引以及第二維護(hù)氣體的供給之后在進(jìn)行第一維護(hù)氣體的供給之前進(jìn)行用于使霧化后的糊劑材料的涂布穩(wěn)定化的涂布。[0031]在本發(fā)明的第一方式中，優(yōu)選的是，控制部進(jìn)行控制使得在進(jìn)行了第一維護(hù)氣體的供給之后在布線形成之前進(jìn)行用于使霧化后的糊劑材料的涂布穩(wěn)定化的涂布。
[0032]本發(fā)明的第二方式涉及一種布線形成裝置維護(hù)方法，該布線形成裝置具有:霧化裝置，其使糊劑材料霧化；噴嘴，其噴射由該霧化裝置霧化后的糊劑材料；以及連通管，其將該霧化裝置與該噴嘴連接，其中，通過(guò)涂布霧化后的糊劑材料來(lái)進(jìn)行布線形成，該維護(hù)方法的特征在于，
[0033]在布線形成的空閑時(shí)間具有以下工序:
[0034]第一氣體供給工序，從連通管的與霧化裝置的連接部側(cè)向連通管內(nèi)供給第一維護(hù)氣體；以及
[0035]第二氣體供給工序，從連通管的與霧化裝置的連接部側(cè)和連通管的與噴嘴的連接部側(cè)中的某一方對(duì)連通管內(nèi)進(jìn)行吸引，并且從另一方向連通管內(nèi)供給第二維護(hù)氣體。
[0036]在本發(fā)明的第二方式中，優(yōu)選的是，第二氣體供給工序的吸弓I從連通管的與霧化裝置的連接部側(cè)進(jìn)行，第二維護(hù)氣體的供給從連通管的與噴嘴的連接部側(cè)進(jìn)行。
[0037]在本發(fā)明的第二方式中，優(yōu)選的是，第一維護(hù)氣體是惰性氣體。
[0038]在本發(fā)明的第二方式中，優(yōu)選的是，第二維護(hù)氣體是空氣。
[0039]在本發(fā)明的第二方式中，優(yōu)選的是，在第二氣體供給工序之后在布線形成之前設(shè)置有第一氣體供給工序。
[0040]在本發(fā)明的第二方式中，優(yōu)選的是，在第二氣體供給工序之后在第一氣體供給工序之前設(shè)置有使霧化后的糊劑材料的涂布穩(wěn)定化的穩(wěn)定化工序。
[0041]在本發(fā)明的第二方式中，優(yōu)選的是，在第一氣體供給工序之后在布線形成之前設(shè)置有使霧化后的糊劑材料的涂布穩(wěn)定化的穩(wěn)定化工序。
[0042]在本發(fā)明的第二方式中，優(yōu)選的是，第一氣體供給工序的頻率是第二氣體供給工序的頻率的2倍到10倍。
[0043]在本發(fā)明的第二方式中，優(yōu)選的是，第二氣體供給工序的第二維護(hù)氣體的流量是第一氣體供給工序的第一維護(hù)氣體的流量的100倍到1000倍。
[0044]本發(fā)明的第三方式涉及一種布線形成方法，其特征在于，具有以下工序:
[0045]布線形成工序，使用使糊劑材料霧化的霧化裝置、噴射由該霧化裝置霧化后的糊劑材料的噴嘴以及將該霧化裝置與該噴嘴連接的連通管，從噴嘴噴射由霧化裝置霧化后的糊劑材料來(lái)進(jìn)行涂布，從而進(jìn)行布線形成；
[0046]第一氣體供給工序，從連通管的與霧化裝置的連接部側(cè)向連通管內(nèi)供給第一維護(hù)氣體；以及
[0047]第二氣體供給工序，從連通管的與霧化裝置的連接部側(cè)和連通管的與噴嘴的連接部側(cè)中的某一方對(duì)連通管內(nèi)進(jìn)行吸引，并且從另一方向連通管內(nèi)供給第二維護(hù)氣體。
[0048]在本發(fā)明的第三方式中，優(yōu)選的是，第二氣體供給工序從連通管的與霧化裝置的連接部側(cè)進(jìn)行吸引，從連通管的與噴嘴的連接部側(cè)進(jìn)行第二維護(hù)氣體的供給。
[0049]在本發(fā)明的第三方式中，優(yōu)選的是，在第一氣體供給工序和第二氣體供給工序之后設(shè)置有使霧化后的糊劑材料的涂布穩(wěn)定化的穩(wěn)定化工序。
[0050]發(fā)明的效果
[0051]根據(jù)本發(fā)明的第一方式，提供一種能夠穩(wěn)定地形成布線圖案的布線形成裝置。[0052]另外，根據(jù)本發(fā)明的第二方式，提供一種對(duì)布線形成裝置進(jìn)行維護(hù)以能夠穩(wěn)定地形成布線圖案的維護(hù)方法。
[0053]另外，根據(jù)本發(fā)明的第三方式，提供一種能夠穩(wěn)定地形成布線圖案的布線形成方法。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0054]圖1是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置的圖。
[0055]圖2是表示作為本發(fā)明的比較例的布線形成裝置的圖。
[0056]圖3是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的布線形成方法的第一例的流程圖。
[0057]圖4是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的布線形成方法的第二例的流程圖。
[0058]圖5是將本發(fā)明的第二實(shí)施方式的布線形成方法的主要步驟中的自動(dòng)閥的開(kāi)關(guān)狀態(tài)匯總得到的表。
[0059]圖6是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式的布線形成裝置的圖。
[0060]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0061]1、100、1000:布線形成裝置；2:霧化裝置；3:噴嘴;4、24、41、104:連通管；11:霧化部；12:恒溫用液體 ；13:恒溫槽；14:混合物；15:材料容納容器；16:超聲波產(chǎn)生裝置；17:蓋體；18:流體導(dǎo)入口 ；19:流體導(dǎo)出口 ；20:內(nèi)部管；21:溶劑補(bǔ)給裝置；22:溶劑補(bǔ)給部；23:溫度控制部；25:溶劑；26:載氣源；32:霧沫流變換裝置；33:噴嘴部；34:鞘氣供給管；42:放出開(kāi)口 ；51、52、53、54、55、56、57:自動(dòng)閥；61:第一氣體供給部；62:第一氣體供給管；63:吸引部；64:吸引管；65:第二氣體供給部；66:第二氣體供給管；67:第一維護(hù)氣體源；68:吸引裝置；69:第二維護(hù)氣體源；70:鞘氣源。
【具體實(shí)施方式】
[0062]本發(fā)明的布線形成裝置是利用噴霧方式能夠在基板上形成精細(xì)圖案的布線形成
>J-U ρ?α裝直。
[0063]本發(fā)明的布線形成裝置能夠在半導(dǎo)體芯片、液晶顯示器等平板顯示器的基板上供給糊劑材料來(lái)形成布線圖案。而且，能夠優(yōu)選用于對(duì)布線圖案的一部分缺失的斷線部分等開(kāi)路缺陷部分進(jìn)行修復(fù)。本發(fā)明的布線形成裝置能夠優(yōu)選地作為噴霧方式的開(kāi)路修復(fù)裝置使用。
[0064]本發(fā)明所使用的噴霧方式是使糊劑材料附著于基板上的方法，是使糊劑材料為霧沫(mist)狀態(tài)(霧化狀態(tài))，與使用噴墨方式等的噴嘴的方式同樣地通過(guò)噴嘴的噴射來(lái)吹噴該霧狀的糊劑材料，從而形成期望的精細(xì)形狀的涂膜的方法。然后，通過(guò)利用例如激光等將所形成的基板上的涂膜進(jìn)行加熱燒制，能夠形成所期望的形狀的布線圖案。
[0065]在噴霧方式中，通過(guò)將從噴嘴的噴射設(shè)為例如呈螺旋狀地噴霧那樣的收縮的噴射，能夠形成精細(xì)的線狀的布線圖案。本發(fā)明的布線形成裝置為了使糊劑材料為霧沫狀態(tài)(霧化狀態(tài))，而使用后述結(jié)構(gòu)的霧化裝置。另外，本發(fā)明的布線形成裝置使用如使噴射的霧沫上的糊劑材料收斂而適合于形成精細(xì)的圖案那樣的噴嘴。作為該噴嘴，例如能夠使用日本特表2008-522814號(hào)公報(bào)所記載的那樣的構(gòu)成為形成由內(nèi)側(cè)的包含霧化后的糊劑材料的載氣氣流和從外側(cè)將該載氣氣流包含在里面的鞘氣氣流構(gòu)成的環(huán)狀擴(kuò)散噴射流的噴嘴。
[0066]而且，本發(fā)明的布線形成裝置還具有以往要求的對(duì)于穩(wěn)定地形成布線圖案有效的結(jié)構(gòu)。
[0067]下面，針對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的布線形成裝置進(jìn)行說(shuō)明，說(shuō)明對(duì)該裝置進(jìn)行維護(hù)以能夠利用該裝置穩(wěn)定地在基板上形成布線圖案的本發(fā)明的實(shí)施方式的維護(hù)方法，并針對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的布線形成方法進(jìn)行說(shuō)明。
[0068]實(shí)施方式1.[0069]圖1是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置的圖。
[0070]如圖1所示，本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I構(gòu)成為具有霧化裝置2、噴嘴3以及將霧化裝置2與噴嘴3連接的連通管4。而且，利用由霧化裝置2霧化后的糊劑材料，使其從噴嘴3噴射出，例如在基板W上形成糊劑材料的涂膜，從而能夠形成布線圖案。
[0071]圖2是表示作為本發(fā)明的比較例的布線形成裝置的圖。
[0072]圖2所示的作為比較例的布線形成裝置1000是利用現(xiàn)有技術(shù)的裝置，與本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I同樣地構(gòu)成為具有霧化裝置2、噴嘴3以及將霧化裝置2與噴嘴3連接的連通管4。而且，布線形成裝置1000利用由霧化裝置2霧化后的糊劑材料，從噴嘴3噴射出來(lái)進(jìn)行涂布，并在基板W上形成糊劑材料的涂膜，從而能夠形成布線圖案。此外，在圖2所示的作為比較例的布線形成裝置1000中，針對(duì)與本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I相同的結(jié)構(gòu)要素附加相同的附圖標(biāo)記。而且，關(guān)于其詳細(xì)內(nèi)容，設(shè)為與下面進(jìn)行的布線形成裝置I的對(duì)應(yīng)的結(jié)構(gòu)要素相同，省略重復(fù)的說(shuō)明。 [0073]而且，在將本 發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I與作為比較例的布線形成裝置1000進(jìn)行比較的情況下，可知在布線形成裝置I中，與連通管4連接的吸引部63、第一氣體供給部61、第二氣體供給部65以及自動(dòng)閥53、54等是特征性的結(jié)構(gòu)部分。本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I通過(guò)具有圖1所示的結(jié)構(gòu)，能夠在形成布線圖案的同時(shí)容易地執(zhí)行維護(hù)，由此能夠穩(wěn)定地形成布線圖案。
[0074]下面，關(guān)于本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置1，更詳細(xì)地說(shuō)明各結(jié)構(gòu)要素。
[0075]首先，作為本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I所使用的糊劑材料，除了金屬納米糊劑以外，還能夠使用使透明導(dǎo)電材料的微粒子分散于溶劑中得到的糊劑材料。在此，金屬納米糊劑是指由金屬納米粒子和用于保持該金屬納米粒子的納米狀態(tài)的溶劑構(gòu)成的糊劑狀的混合物，金屬納米粒子被抑制發(fā)生凝聚而呈現(xiàn)納米狀態(tài)(分散狀態(tài))被保持的狀態(tài)。此時(shí)，作為溶劑，能夠列舉石油系混合溶劑和脂系溶劑等。作為金屬納米糊劑，能夠列舉銀納米糊劑、金納米糊劑以及銅納米糊劑等。
[0076]接著，本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I的霧化裝置2是用于使上述的糊劑材料霧化而形成霧沫狀態(tài)(霧化狀態(tài))并供給到與噴嘴3連接的連通管4從而供給到噴嘴3的裝置。如圖1所示，霧化裝置2構(gòu)成為具有霧化部11和溶劑補(bǔ)給裝置21。
[0077]如圖1所示，霧化裝置2的溶劑補(bǔ)給裝置21具有溶劑補(bǔ)給部22和溫度控制部23。而且，是用于在溶劑補(bǔ)給部22中將使溶劑25霧化(氣化)后的氣體和由惰性氣體構(gòu)成的載氣混合后向霧化部11補(bǔ)給的裝置。從通過(guò)連通管24連接的載氣源26供給載氣。作為用作載氣的惰性氣體，例如能夠列舉氮?dú)?、氬氣以及氦氣等?br> [0078]溶劑補(bǔ)給裝置21的溶劑補(bǔ)給部22通過(guò)自動(dòng)閥51與連通管24連接，該連通管24與載氣源26相連。另外，另一方面，溶劑補(bǔ)給部22通過(guò)連通管41與霧化部11相連。溶劑補(bǔ)給裝置21的溶劑補(bǔ)給部22將從載氣源26供給的載氣和使溶劑25霧化(氣化)后的氣體混合后向霧化部11供給(補(bǔ)給溶劑25)。
[0079]溶劑補(bǔ)給裝置21的溫度控制部23是用于對(duì)溶劑補(bǔ)給部22進(jìn)行溫度控制的裝置。溫度控制部23將溶劑補(bǔ)給部22保持固定溫度使溶劑補(bǔ)給量保持固定量。溫度控制部23構(gòu)成為具備圍繞溶劑補(bǔ)給部22的加熱器等加熱單元和溫度傳感器(均未圖示)。由此，由溫度傳感器檢測(cè)溫度并由加熱單元對(duì)溫度進(jìn)行調(diào)整來(lái)將其保持固定，由此載氣濃度始終是固定的，即使外部溫度發(fā)生變化也不會(huì)受其影響，向霧化部11供給的溶劑補(bǔ)給量固定，從而能夠延長(zhǎng)霧化部11的壽命。另外，通過(guò)使溶劑補(bǔ)給部22的溫度可變，能夠改變?nèi)軇┭a(bǔ)給量，從而能夠應(yīng)對(duì)霧沫流的混合比的變化。
[0080]此外，在連通管41中能夠設(shè)置防止使其內(nèi)部冷卻的液化防止用加熱器(未圖示)。液化防止用加熱器防止處于霧化狀態(tài)的輸送途中的混合氣體中的溶劑25液化。
[0081]接著，霧化裝置2的霧化部11是用于使糊劑材料霧化后取入到來(lái)自溶劑補(bǔ)給部21的混合氣體中來(lái)形成霧沫流的裝置。如圖1所示，霧化部11通過(guò)連通管4與噴嘴3相連接，將霧化后的糊劑材料的霧沫流通過(guò)連通管4供給到噴嘴3。此外，能夠在連通管4中設(shè)置防止使其內(nèi)部冷卻的液化防止用加熱器(未圖示)。液化防止用加熱器防止處于霧化狀態(tài)的輸送途中的霧沫流中的后述溶劑液化。
[0082]霧化部11具有容納純水等規(guī)定溫度的恒溫水、即恒溫用液體12的恒溫槽13。將容納有上述糊劑材料(例如金納米糊劑)和溶解除了糊劑材料的金屬納米粒子以外的可溶性成分并使金屬納米粒子分散的溶劑、例如二甲苯等溶劑(以下有時(shí)稱為稀釋劑。)的混合物14的材料容納容器15浸泡在恒溫槽13的恒溫用液體12中。
[0083]在霧化部11中，利用超聲波使糊劑材料霧化，但是在糊劑材料是金屬納米糊劑的情況下，僅有金屬納米糊劑的話難以進(jìn)行霧化，因此使用與上述稀釋劑的混合物14。因此，優(yōu)選的是，在稀釋劑中選擇添加霧化特性好的溶液。
[0084]在霧化部11中，材料容納容器15在恒溫槽13內(nèi)例如被傾斜設(shè)置。另外，在恒溫槽13的內(nèi)部且在材料容納容器15的最低位置附近設(shè)置有超聲波產(chǎn)生裝置16。超聲波產(chǎn)生裝置16通過(guò)其超聲波振動(dòng)，經(jīng)由恒溫用液體12、材料容納容器15來(lái)向混合物14供給用于霧化的能量，從而使混合物14霧化，進(jìn)而使糊劑材料霧化。
[0085]即，在本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I中，霧沫產(chǎn)生的過(guò)程是由超聲波產(chǎn)生裝置16通過(guò)恒溫用液體12向由糊劑材料和稀釋劑構(gòu)成的混合物14照射超聲波，利用該超聲波的能量促進(jìn)霧沫化。在此，恒溫用液體12作為超聲波振動(dòng)的傳遞媒介和加熱媒介而發(fā)揮功能。
[0086]材料容納容器15的上部開(kāi)口被蓋體17塞住。蓋體17具有流體導(dǎo)入口 18和流體導(dǎo)出口 19。流體導(dǎo)出口 19中的材料容納容器15的內(nèi)部側(cè)與內(nèi)部管20相連，另外，材料容納容器15的外部側(cè)通過(guò)自動(dòng)閥53與連接于噴嘴3的連通管4相連。流體導(dǎo)入口 18中的材料容納容器15的外部側(cè)與連接于溶劑補(bǔ)給部22的連通管41相連，材料容納容器15的內(nèi)部側(cè)與放出開(kāi)口 42相連。
[0087]由此，從溶劑補(bǔ)給裝置21的溶劑補(bǔ)給部22供給的載氣和溶劑25的混合氣體(mixture gas)從流體導(dǎo)入口 18被導(dǎo)入到材料容納容器15內(nèi)部后，被導(dǎo)入到內(nèi)部管20的內(nèi)部，依次通過(guò)內(nèi)部管20、流體導(dǎo)出口 19、自動(dòng)閥53以及連通管4供給到噴嘴3側(cè)。此時(shí)，由于超聲波振動(dòng)能量而發(fā)生霧化的混合物14的氣體也被取入到該流動(dòng)中，從內(nèi)部管20的最下端的開(kāi)口導(dǎo)入到內(nèi)部管20的內(nèi)部，依次通過(guò)內(nèi)部管20、流體導(dǎo)出口 19、自動(dòng)閥53以及連通管4被供給到噴嘴3偵U。
[0088]接著，本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I的噴嘴3如圖1所示那樣由霧沫流變換裝置32和噴嘴部33構(gòu)成。噴嘴3在霧沫流變換裝置32的上游側(cè)通過(guò)自動(dòng)閥54與連通管4連接，從而與霧化裝置2連接。
[0089]噴嘴3的霧沫流變換裝置32在從噴嘴部33噴射由霧化裝置2霧化后的糊劑材料的霧沫流時(shí)，針對(duì)內(nèi)側(cè)為糊劑材料的霧沫流供給從外側(cè)將其包含在里面的鞘氣，從而形成鞘氣氣流。
[0090]如圖1所示，從通過(guò)自動(dòng)閥52與鞘氣源70連接的鞘氣供給管34向噴嘴3的霧沫流變換裝置32供給該鞘氣。然后，霧沫流變換裝置32將由霧化裝置2霧化后的糊劑材料的霧沫流變換成其流徑為規(guī)定值并且霧沫流呈螺旋狀旋轉(zhuǎn)。
[0091]噴嘴3的噴嘴部33設(shè)置于霧沫流變換裝置32的前端，從其前端噴射如上所述的變換后的霧沫流。噴嘴3將由霧化裝置2霧化后的糊劑材料吹噴到基板W上進(jìn)行涂布。
[0092]此外，關(guān)于霧沫流變換裝置32和噴嘴部33，能夠使用已有的裝置。
[0093]接著，在本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I中，針對(duì)將霧化裝置2與噴嘴3連接的連通管4進(jìn)行說(shuō)明。
[0094]在利用噴霧方式的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I中，將霧化裝置2與噴嘴3連接的連通管4如上述那樣是擔(dān)心附著有糊劑材料的霧并且所蓄積的霧變?yōu)榻Y(jié)露而流向噴嘴3的結(jié)構(gòu)部件。
[0095]如圖1所示，布線形成裝置I的連通管4在與霧化裝置2的連接部側(cè)具有用于向連通管4內(nèi)供給第一維護(hù)氣體的第一氣體供給部61。另外，連通管4在與霧化裝置2的連接部側(cè)具有用于對(duì)連通管4內(nèi)進(jìn)行吸引的吸引部63，在連通管4的與噴嘴3的連接部側(cè)具有用于向連通管4內(nèi)供給第二維護(hù)氣體的第二氣體供給部65。
[0096]優(yōu)選的是，第一氣體供給部61、吸引部63以及第二氣體供給部65分別設(shè)置于連通管4的末端附近。
[0097]即，本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I具有設(shè)置于連通管4的與霧化裝置2的連接部側(cè)并且向連通管4內(nèi)供給第一維護(hù)氣體的第一氣體供給部61。而且，布線形成裝置I具有設(shè)置于連通管4的與霧化裝置2的連接部側(cè)并且對(duì)連通管4內(nèi)進(jìn)行吸引的吸引部63。并且，布線形成裝置I具有設(shè)置于連通管4的未設(shè)置吸引部63的與噴嘴3的連接部側(cè)并且向連通管4內(nèi)供給第二維護(hù)氣體的第二氣體供給部65。
[0098]連通管4的第一氣體供給部61具有與第一維護(hù)氣體源67連接以向連通管4內(nèi)供給第一維護(hù)氣體的第一氣體供給管62和自動(dòng)閥57。而且，第一氣體供給部61構(gòu)成為通過(guò)自動(dòng)閥57連接于連通管4的與霧化裝置2的連接部側(cè)的末端附近。此時(shí)，作為第一維護(hù)氣體，優(yōu)選使用不擔(dān)心與糊劑材料之間發(fā)生反應(yīng)的惰性氣體。作為能夠用作第一維護(hù)氣體的惰性氣體，能夠列舉氮?dú)?、氬氣以及氦氣等?br> [0099]在本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I中，第一氣體供給部61向連通管4內(nèi)供給例如作為惰性氣體的第一維護(hù)氣體，由此使附著于連通管4內(nèi)的包含糊劑材料的霧的揮發(fā)成分揮發(fā)，能夠減少附著物的量。
[0100]另外，設(shè)置連通管4的吸引部63以對(duì)連通管4內(nèi)進(jìn)行吸引，例如使糊劑材料的霧附著所形成的結(jié)露在連通管4中移動(dòng)而從連通管4內(nèi)吸出。吸引部63為了對(duì)連通管4內(nèi)進(jìn)行吸引，例如具有與由吸引泵等構(gòu)成的吸引裝置68連接的吸引管64以及能夠控制吸引裝置68的吸引效果的自動(dòng)閥56。而且，吸引部63構(gòu)成為通過(guò)自動(dòng)閥56連接于連通管4的與霧化裝置2的連接部側(cè)的末端附近。
[0101]連通管4的第二氣體供給部65具有與第二維護(hù)氣體源69連接以向連通管4內(nèi)供給第二維護(hù)氣體的第二氣體供給管66以及自動(dòng)閥55。而且，第二氣體供給部65構(gòu)成為通過(guò)自動(dòng)閥55連接于連通管4的與噴嘴3的連接部側(cè)的末端附近。在本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I中，第二氣體供給部65被設(shè)置成能夠使吸引部63對(duì)連通管4內(nèi)的結(jié)露的吸出高效地進(jìn)行。即，在連通管4中，由第二氣體供給部65從噴嘴3側(cè)供給第二維護(hù)氣體，另一方面，由吸引部63在霧化裝置2側(cè)進(jìn)行吸引。其結(jié)果，布線形成裝置I利用第二維護(hù)氣體從噴嘴3側(cè)向霧化裝置2側(cè)的流動(dòng)來(lái)使結(jié)露移動(dòng)，高效地排出連通管4內(nèi)的結(jié)露。
[0102]此時(shí)，作為第二維護(hù)氣體，除了與上述的第一維護(hù)氣體相同的惰性氣體以外，還能夠使用空氣。而且，優(yōu)選使用入手容易、準(zhǔn)備簡(jiǎn)便并能夠低成本地使用的空氣，更優(yōu)選使用能夠抑制水分附著于連通管4內(nèi)的干燥空氣(dry air)。
[0103]此外，本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I能夠具有用于使涂布在基板W上的糊劑材料燒結(jié)的燒制處理裝置(未圖示)。燒制處理裝置優(yōu)選使用CW(Continuous Wave:連續(xù)波)激光器構(gòu)成。燒制處理裝置不使用脈沖激光器而使用CW激光器，來(lái)可靠地照射糊劑材料進(jìn)行燒制，能夠在基板W上形成布線圖案。
[0104]具備以上結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I針對(duì)擔(dān)心糊劑材料的霧附著并變?yōu)榻Y(jié)露而流向噴嘴3的連通管4，能夠通過(guò)供給第一維護(hù)氣體來(lái)進(jìn)行維護(hù)。而且，除此之外，布線形成裝置I能夠進(jìn)行第二維護(hù)氣體的供給和吸引，通過(guò)不同的方法來(lái)進(jìn)行連通管4的維護(hù)。即，本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I能夠使用第一氣體供給部61、吸引部63以及第二氣體供給部65進(jìn)行維護(hù)，從而能夠穩(wěn)定地形成布線圖案。
[0105]此時(shí)，本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I使用作為控制部的控制裝置(未圖示)，能夠自動(dòng)地進(jìn)行通過(guò)涂布糊劑材料所進(jìn)行的布線圖案的形成以及裝置的維護(hù)?？刂蒲b置上連接有上述的各自動(dòng)閥51?57。
[0106]S卩，作為布線形成裝置I的控制部的控制裝置上連接有將溶劑補(bǔ)給裝置21的溶劑補(bǔ)給部22與載氣源26之間相連的自動(dòng)閥51。另外，控制裝置上連接有將霧化部11的材料容納容器15與連通管4之間相連的自動(dòng)閥53。另外，控制裝置上連接有將噴嘴3與連通管4之間相連的自動(dòng)閥54。另外，控制裝置上連接有將鞘氣源70與噴嘴3的鞘氣供給管34之間相連的自動(dòng)閥52。另外，控制裝置上連接有將第一氣體供給管62與連通管4的末端附近之間相連的自動(dòng)閥57。另外，控制裝置上連接有將吸引管64與連通管4的末端附近之間相連的自動(dòng)閥56。另外，控制裝置上連接有將第二氣體供給部65與連通管4的末端附近之間相連的自動(dòng)閥55。
[0107]其結(jié)果，本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I能夠通過(guò)控制裝置的控制來(lái)分別獨(dú)立地自動(dòng)調(diào)整自動(dòng)閥51?57的閥門(mén)開(kāi)度。而且，布線形成裝置I能夠通過(guò)控制裝置的控制，將載氣、第一維護(hù)氣體、第二維護(hù)氣體以及鞘氣等的流量設(shè)定為期望的值。[0108]而且，布線形成裝置I通過(guò)控制裝置的控制，使用由霧化裝置2霧化后的糊劑材料從噴嘴3噴射來(lái)進(jìn)行涂布，在基板W上形成糊劑材料的涂膜來(lái)形成布線圖案。另一方面，布線形成裝置I能夠在該布線圖案形成與下一個(gè)布線圖案形成之間、即在布線形成的空閑時(shí)間進(jìn)行裝置的維護(hù)。
[0109]更具體地說(shuō)，本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I通過(guò)控制裝置控制自動(dòng)閥51?57的閥門(mén)開(kāi)度，能夠分別控制第一氣體供給部61的第一維護(hù)氣體的供給、吸引部63的吸引以及第二氣體供給部65的第二維護(hù)氣體的供給。其結(jié)果，布線形成裝置I能夠在布線形成的空閑時(shí)間，作為維護(hù)而進(jìn)行第一氣體供給部61的第一維護(hù)氣體的供給。然后，布線形成裝置I使附著于連通管4內(nèi)的包含糊劑材料的霧的揮發(fā)成分揮發(fā)，能夠減少付著物的量。
[0110]另外，布線形成裝置I能夠在布線形成的空閑時(shí)間，作為維護(hù)而將吸引部63的吸引與第二氣體供給部65的第二維護(hù)氣體的供給同時(shí)進(jìn)行。而且，布線形成裝置I利用第二維護(hù)氣體的流動(dòng)使連通管4內(nèi)的結(jié)露移動(dòng)，能夠從連通管4高效地排出結(jié)露。
[0111]而且，布線形成裝置I在進(jìn)行了作為維護(hù)而進(jìn)行的第一氣體供給部61的第一維護(hù)氣體的供給之后，為了使霧化后的糊劑材料的涂布穩(wěn)定化，而能夠進(jìn)行與布線形成不同的穩(wěn)定化涂布。即，能夠在供給第一維護(hù)氣體之后，使用由霧化裝置2霧化后的糊劑材料進(jìn)行穩(wěn)定化涂布，使通過(guò)從噴嘴3噴射來(lái)進(jìn)行的涂布穩(wěn)定化，之后進(jìn)行實(shí)際的布線形成。
[0112]另外，布線形成裝置I在進(jìn)行了作為維護(hù)而進(jìn)行的第二氣體供給部65的第二維護(hù)氣體的供給和吸引部63的吸引之后，為了使霧化后的糊劑材料的涂布穩(wěn)定化，而能夠進(jìn)行與布線形成不同的穩(wěn)定化涂布。即，在吸引和第二維護(hù)氣體的供給之后，使用由霧化裝置2霧化后的糊劑材料進(jìn)行穩(wěn)定化涂布，并使通過(guò)從噴嘴3噴射來(lái)進(jìn)行的涂布穩(wěn)定化。接著，例如能夠通過(guò)第一氣體供給部61的第一維護(hù)氣體的供給等其它的方法來(lái)進(jìn)行維護(hù)。
[0113]并且，本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I能夠通過(guò)控制裝置的控制來(lái)任意地設(shè)定在布線形成的空閑時(shí)間進(jìn)行的上述的維護(hù)的方法和頻率。即，布線形成裝置I能夠通過(guò)控制裝置的控制選擇在布線形成的空閑時(shí)間進(jìn)行通過(guò)第一氣體供給部61的第一維護(hù)氣體的供給進(jìn)行的維護(hù)以及通過(guò)吸引部63的吸引和第二氣體供給部65的第二維護(hù)氣體的供給進(jìn)行的維護(hù)中的哪一個(gè)，其結(jié)果，能夠設(shè)定這些維護(hù)各自的頻率。
[0114]S卩，本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I能夠?qū)⒃诓季€形成的空閑時(shí)間進(jìn)行的通過(guò)第一氣體供給部61的第一維護(hù)氣體的供給進(jìn)行的維護(hù)以及通過(guò)吸引部63的吸引和第二氣體供給部65的第二維護(hù)氣體的供給進(jìn)行的維護(hù)任意地組合實(shí)施。其結(jié)果，本實(shí)施方式的布線形成裝置I在布線形成中能夠穩(wěn)定地形成布線圖案。
[0115]接著，針對(duì)使用本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I進(jìn)行的本發(fā)明的實(shí)施方式的布線形成方法進(jìn)行說(shuō)明。
[0116]本發(fā)明的實(shí)施方式的布線形成方法使用上述的本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I來(lái)進(jìn)行布線形成。而且，本發(fā)明的實(shí)施方式的布線形成方法能夠包含通過(guò)使用布線形成裝置I來(lái)在布線圖案形成與下一個(gè)布線圖案形成之間、即布線形成的空閑時(shí)間對(duì)布線形成裝置I進(jìn)行維護(hù)的維護(hù)方法。
[0117]S卩，本發(fā)明的實(shí)施方式的布線形成方法構(gòu)成為包含對(duì)所使用的布線形成裝置I進(jìn)行維護(hù)的維護(hù)方法。具體地說(shuō)，本實(shí)施方式的布線形成方法在反復(fù)進(jìn)行的布線形成的空閑時(shí)間，作為維護(hù)而進(jìn)行布線形成裝置I的第一氣體供給部61的第一維護(hù)氣體的供給。即，本發(fā)明的實(shí)施方式的布線形成方法設(shè)置有向連通管4內(nèi)供給第一維護(hù)氣體的第一氣體供給工序作為維護(hù)。下面，將通過(guò)該第一氣體供給工序?qū)崿F(xiàn)的布線形成裝置I的維護(hù)稱為第一維護(hù)。而且，在本實(shí)施方式的布線形成方法中，通過(guò)該第一維護(hù)，使附著于布線形成裝置I的連通管4內(nèi)的包含糊劑材料的霧的揮發(fā)成分揮發(fā)，減少付著物的量，從而能夠穩(wěn)定地形成布線圖案。
[0118]另外，本實(shí)施方式的布線形成方法在反復(fù)進(jìn)行的布線形成的空閑時(shí)間，作為不同的維護(hù)，而將布線形成裝置I的吸引部63的吸引與第二氣體供給部65的第二維護(hù)氣體的供給同時(shí)進(jìn)行。即，本發(fā)明的實(shí)施方式的布線形成方法設(shè)置有在對(duì)連通管4內(nèi)吸引的同時(shí)向連通管4內(nèi)供給第二維護(hù)氣體的第二氣體供給工序作為維護(hù)。下面，將通過(guò)連通管4內(nèi)的吸引和第二氣體供給工序?qū)崿F(xiàn)的布線形成裝置I的維護(hù)稱為第二維護(hù)。而且，在本實(shí)施方式的布線形成方法中，利用該第二維護(hù)中的第二維護(hù)氣體的流動(dòng)來(lái)使布線形成裝置I的連通管4內(nèi)的結(jié)露移動(dòng)，能夠從連通管4高效地排出結(jié)露。
[0119]而且，本實(shí)施方式的布線形成方法能夠?qū)⒃诓季€形成的空閑時(shí)間進(jìn)行的上述的第一維護(hù)和第二維護(hù)兩種維護(hù)以各自的規(guī)定頻率組合來(lái)構(gòu)成，進(jìn)行布線形成和布線形成裝置I的維護(hù)。
[0120]例如，在反復(fù)進(jìn)行布線形成并實(shí)施了多天的情況下，能夠以24小時(shí)I次左右的頻率進(jìn)行第一維護(hù)。而且，能夠以其五分之一左右的頻率、例如120小時(shí)I次左右的頻率進(jìn)行
第二維護(hù)。
[0121]S卩，對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I進(jìn)行維護(hù)的維護(hù)方法能夠?qū)⑸鲜龅牡谝痪S護(hù)和第二維護(hù)兩種維護(hù)以各自的規(guī)定頻率組合來(lái)在布線形成方法中反復(fù)進(jìn)行的布線形成的空閑時(shí)間實(shí)施。
[0122]更具體地說(shuō)，能夠在本實(shí)施方式的布線形成方法中進(jìn)行的布線形成的空閑時(shí)間將通過(guò)第一氣體供給部61的第一維護(hù)氣體的供給進(jìn)行的維護(hù)以及通過(guò)吸引部63的吸引和第二氣體供給部65的第二維護(hù)氣體的供給進(jìn)行的維護(hù)以任意的頻率組合實(shí)施。
[0123]其結(jié)果，本發(fā)明的實(shí)施方式的布線形成方法能夠使用本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I進(jìn)行布線形成，并且在該布線形成的空閑時(shí)間實(shí)施本發(fā)明的實(shí)施方式的維護(hù)方法，進(jìn)行布線形成裝置I的維護(hù)，來(lái)穩(wěn)定地形成布線圖案。此時(shí)，本發(fā)明的實(shí)施方式的維護(hù)方法將上述的第一維護(hù)和第二維護(hù)兩種維護(hù)以各自的規(guī)定頻率組合構(gòu)成。
[0124]另外，本發(fā)明的實(shí)施方式的布線形成方法在上述第一維護(hù)之后在進(jìn)行布線形成之前，如上述那樣設(shè)置用于使霧化后的糊劑材料的涂布穩(wěn)定化的穩(wěn)定化工序，從而能夠進(jìn)行穩(wěn)定化涂布。同樣地，能夠在上述第二維護(hù)之后在例如進(jìn)行第一維護(hù)之前，如上述那樣設(shè)置用于使霧化后的糊劑材料的涂布穩(wěn)定化的穩(wěn)定化工序，從而進(jìn)行穩(wěn)定化涂布。
[0125]本發(fā)明的實(shí)施方式的布線形成方法能夠在第一維護(hù)和第二維護(hù)之后設(shè)置穩(wěn)定化工序，通過(guò)進(jìn)行用于使霧化后的糊劑材料的涂布穩(wěn)定化的穩(wěn)定化涂布，來(lái)在布線形成中穩(wěn)定地形成布線圖案。
[0126]下面，適當(dāng)?shù)貐⒄請(qǐng)D1來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式的布線形成方法。此外，本發(fā)明的實(shí)施方式的布線形成方法的說(shuō)明是利用流程圖對(duì)作為其主要部分的本實(shí)施方式的維護(hù)方法和繼其之后的布線形成進(jìn)行說(shuō)明。[0127]圖3是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的布線形成方法的第一例的流程圖。
[0128]在圖3所示的本發(fā)明的第二實(shí)施方式的布線形成方法的第一例中，在反復(fù)進(jìn)行的布線形成的空閑時(shí)間進(jìn)行上述第一維護(hù)。即，在第二實(shí)施方式的布線形成方法的第一例中，在布線形成之后，作為維護(hù)而進(jìn)行布線形成裝置I的第一氣體供給部61的第一維護(hù)氣體的供給。而且，在本實(shí)施方式的布線形成方法的第一例中，能夠使附著于布線形成裝置I的連通管4內(nèi)的包含糊劑材料的霧的揮發(fā)成分揮發(fā)，減少付著物的量，來(lái)穩(wěn)定地形成布線圖案。
[0129]如圖3所示，首先在圖1的霧化裝置2中停止超聲波(步驟I)。具體地說(shuō)，停止霧化裝置2的霧化部11的超聲波產(chǎn)生裝置16。此外，超聲波停止前的布線形成裝置I處于能夠進(jìn)行布線形成的狀態(tài)。即，由布線形成裝置I的控制裝置進(jìn)行控制，從而自動(dòng)閥51、
52、53、54處于接通狀態(tài)即開(kāi)啟狀態(tài)，自動(dòng)閥55、56、57處于斷開(kāi)狀態(tài)即關(guān)閉狀態(tài)。
[0130]接著，為了由第一氣體供給部61進(jìn)行第一維護(hù)氣體的供給，而進(jìn)行自動(dòng)閥操作(步驟2)。關(guān)于該自動(dòng)閥動(dòng)作，為了向連通管4內(nèi)供給第一維護(hù)氣體，而通過(guò)控制裝置的控制將自動(dòng)閥51、53、55、56設(shè)為斷開(kāi)狀態(tài)而形成關(guān)閉狀態(tài)，并且將自動(dòng)閥52、54、57設(shè)為接通狀態(tài)而形成開(kāi)啟狀態(tài)。其結(jié)果，載氣的供給被停止，霧化后的糊劑材料的霧沫流的供給也被停止。另一方面，能夠從第一氣體供給部61向連通管4供給第一維護(hù)氣體。
[0131]接著，向連通管4供給第一維護(hù)氣體(步驟3)。第一維護(hù)氣體優(yōu)選使用氮?dú)狻鍤庖约昂獾榷栊詺怏w，特別是優(yōu)選使用入手容易的氮?dú)狻?br> [0132]從第一氣體供給部61供給第一維護(hù)氣體的流量?jī)?yōu)選設(shè)為每分鐘Iml?100ml，為了在短時(shí)間內(nèi)高效地進(jìn)行充分的維護(hù)，而更優(yōu)選為每分鐘5ml?20ml。而且，第一維護(hù)氣體的供給時(shí)間優(yōu)選設(shè)為2分鐘至60分鐘，為了在短時(shí)間內(nèi)高效地進(jìn)行充分的維護(hù)，而優(yōu)選為10分鐘?30分鐘。
[0133]從第一氣體供給部61供給的第一維護(hù)氣體從噴嘴3的噴嘴部33排出。
[0134]通過(guò)像這樣由第一氣體供給部61供給第一維護(hù)氣體，能夠使附著于連通管4內(nèi)的包含糊劑材料的霧的揮發(fā)成分揮發(fā)，減少付著物的量。
[0135]接著，將第一維護(hù)氣體的供給停止，在布線形成之前，設(shè)置用于使霧化后的糊劑材料的涂布穩(wěn)定化的穩(wěn)定化工序，進(jìn)行用于穩(wěn)定地形成布線的準(zhǔn)備。即，通過(guò)控制裝置的控制來(lái)對(duì)自動(dòng)閥進(jìn)行操作(步驟4)，將自動(dòng)閥51、52、53、54設(shè)為接通狀態(tài)而形成開(kāi)啟狀態(tài)，并且將自動(dòng)閥55、56、57設(shè)為斷開(kāi)狀態(tài)而形成關(guān)閉狀態(tài)。該狀態(tài)如上述那樣是與布線形成的狀態(tài)相同的狀態(tài)，能夠進(jìn)行載氣的供給，能夠進(jìn)行霧化后的糊劑材料的霧沫流的供給。另一方面，停止從第一氣體供給部61向連通管4供給第一維護(hù)氣體。
[0136]接著，在霧化裝置2中產(chǎn)生超聲波(步驟5)。具體地說(shuō)，啟動(dòng)霧化裝置2的霧化部11的超聲波產(chǎn)生裝置16，開(kāi)始產(chǎn)生超聲波。其結(jié)果，開(kāi)始糊劑材料的霧化，向連通管4和噴嘴3供給霧化后的糊劑材料的霧沫流。
[0137]然后，為了使霧化后的糊劑材料從噴嘴3的噴射穩(wěn)定化來(lái)使霧化后的糊劑材料的涂布穩(wěn)定化，而將涂布狀態(tài)維持規(guī)定的時(shí)間，來(lái)進(jìn)行涂布(穩(wěn)定化涂布)(步驟6)。用于穩(wěn)定化的涂布的時(shí)間優(yōu)選設(shè)為5分鐘至60分鐘，為了在短時(shí)間內(nèi)高效地實(shí)現(xiàn)充分的穩(wěn)定化，而優(yōu)選設(shè)為10分鐘?30分鐘。
[0138]接著，確認(rèn)通過(guò)從噴嘴3噴射來(lái)進(jìn)行的霧化后的糊劑材料的涂布的狀態(tài)(步驟7)，判斷是否能夠進(jìn)行布線形成(步驟8)。在判斷為無(wú)法進(jìn)行布線形成的情況下，返回步驟6，再次進(jìn)行用于穩(wěn)定化的涂布。
[0139]另一方面，在步驟8中判斷為能夠進(jìn)行布線形成的情況下，進(jìn)入步驟9，進(jìn)行布線的形成。此時(shí)，自動(dòng)閥51?57的狀態(tài)如上述那樣通過(guò)控制裝置進(jìn)行控制，將自動(dòng)閥51、52、
53、54設(shè)為接通狀態(tài)而形成開(kāi)啟狀態(tài)，將自動(dòng)閥55、56、57設(shè)為斷開(kāi)狀態(tài)而形成關(guān)閉狀態(tài)。
[0140]這樣，在本實(shí)施方式的布線形成方法的第一例中，通過(guò)在步驟3中向連通管4內(nèi)供給第一維護(hù)氣體，能夠使附著于布線形成裝置I的連通管4內(nèi)的包含糊劑材料的霧的揮發(fā)成分揮發(fā)來(lái)減少付著物的量，之后穩(wěn)定地形成布線圖案。
[0141]如以上那樣，在圖3所示的本發(fā)明的第二實(shí)施方式的布線形成方法的第一例中，在反復(fù)進(jìn)行的布線形成的空閑時(shí)間，實(shí)施本發(fā)明的實(shí)施方式的維護(hù)方法的第一維護(hù)。在本實(shí)施方式的布線形成方法的第一例中，步驟I?步驟8相當(dāng)于本發(fā)明的實(shí)施方式的維護(hù)方法的第一維護(hù)。而且，本實(shí)施方式的布線形成方法的第一例進(jìn)行布線形成裝置I的維護(hù)，從而能夠穩(wěn)定地形成布線圖案。
[0142]接著，針對(duì)作為本發(fā)明的第二實(shí)施方式的布線形成方法的另一例的第二例進(jìn)行說(shuō)明。
[0143]本發(fā)明的第二實(shí)施方式的布線形成方法的第二例在反復(fù)進(jìn)行的布線形成的空閑時(shí)間進(jìn)行上述第二維護(hù)。在第二維護(hù)中，能夠利用第二維護(hù)氣體的流動(dòng)來(lái)使布線形成裝置I的連通管4內(nèi)的結(jié)露移動(dòng)，從而從連通管4高效地排出結(jié)露。
[0144]另外，優(yōu)選在第二維護(hù)之后在布線形成之前進(jìn)行上述第一維護(hù)。即，優(yōu)選向連通管4內(nèi)供給第一維護(hù)氣體。通過(guò)像這樣在第二維護(hù)之后進(jìn)行第一維護(hù)，在本發(fā)明的第二實(shí)施方式的布線形成方法中，在將吸引部63的吸引與第二氣體供給部65的第二維護(hù)氣體的供給同時(shí)進(jìn)行之后，能夠進(jìn)行霧化后的糊劑材料的穩(wěn)定的涂布，并能夠穩(wěn)定地進(jìn)行布線形成。
[0145]圖4是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的布線形成方法的第二例的流程圖。
[0146]在圖4所示的本發(fā)明的第二實(shí)施方式的布線形成方法的第二例中，在反復(fù)進(jìn)行的布線形成的空閑時(shí)間進(jìn)行上述第二維護(hù)。即，在第二實(shí)施方式的布線形成方法的第二例中，在布線形成之后，作為維護(hù)而進(jìn)行布線形成裝置I的吸引部63的吸引和第二氣體供給部65的第二維護(hù)氣體的供給。在本實(shí)施方式的布線形成方法中，利用該第二維護(hù)中的第二維護(hù)氣體的流動(dòng)來(lái)使布線形成裝置I的連通管4內(nèi)的結(jié)露移動(dòng)，能夠從連通管4高效地排出結(jié)露。
[0147]接著，本發(fā)明的第二實(shí)施方式的布線形成方法的第二例是在第二維護(hù)之后在布線形成之前結(jié)合第一維護(hù)進(jìn)行實(shí)施。其結(jié)果，本發(fā)明的第二實(shí)施方式的布線形成方法的第二例能夠穩(wěn)定地形成布線圖案。
[0148]在本發(fā)明的第二實(shí)施方式的布線形成方法的第二例中，如圖4所示，首先在圖1的霧化裝置2中停止超聲波(步驟I)。具體地說(shuō)，停止霧化裝置2的霧化部11的超聲波產(chǎn)生裝置16。此外，超聲波停止前的布線形成裝置I處于能夠進(jìn)行布線形成的狀態(tài)。即，由布線形成裝置I的控制裝置進(jìn)行控制，從而自動(dòng)閥51、52、53、54處于接通狀態(tài)即開(kāi)啟狀態(tài)，自動(dòng)閥55、56、57處于斷開(kāi)狀態(tài)即關(guān)閉狀態(tài)。
[0149]接著，為了進(jìn)行吸引部63的吸引和第二氣體供給部65的第二維護(hù)氣體的供給而進(jìn)行自動(dòng)閥操作(步驟2)。關(guān)于該自動(dòng)閥動(dòng)作，為了在對(duì)連通管4內(nèi)進(jìn)行吸引的同時(shí)供給第二維護(hù)氣體，而通過(guò)控制裝置的控制來(lái)將自動(dòng)閥51、52、53、54、57設(shè)為斷開(kāi)狀態(tài)而形成關(guān)閉狀態(tài)，將自動(dòng)閥55、56設(shè)為接通狀態(tài)而形成開(kāi)啟狀態(tài)。其結(jié)果，載氣的供給被停止，霧化后的糊劑材料的霧沫流的供給也被停止。而且，停止向噴嘴3的霧沫流變換裝置32供給鞘氣。另一方面，能夠進(jìn)行吸引部63對(duì)連通管4內(nèi)的吸引和從第二氣體供給部65的第二維護(hù)氣體的供給。
[0150]接著，進(jìn)行連通管4內(nèi)的吸引和第二維護(hù)氣體的供給(步驟3)。步驟3的連通管4內(nèi)的吸引和第二維護(hù)氣體的供給優(yōu)選進(jìn)行10秒鐘至5分鐘，為了實(shí)現(xiàn)結(jié)露的高效排出，而更優(yōu)選進(jìn)行30秒鐘至2分鐘。
[0151]第二維護(hù)氣體除了使用氮?dú)狻鍤庖约昂獾榷栊詺怏w以外，還能夠使用空氣。而且，優(yōu)選使用入手容易、準(zhǔn)備簡(jiǎn)便并能夠低成本地使用的空氣，更優(yōu)選使用能夠抑制水分附著于連通管4內(nèi)的干燥空氣(dry air)。第二維護(hù)氣體的流量?jī)?yōu)選設(shè)為每分鐘I升(I)?10升(1)，為了實(shí)現(xiàn)結(jié)露的高效排出，而優(yōu)選設(shè)為每分鐘2升(I)?6升(I)。
[0152]這樣，在本發(fā)明的第二實(shí)施方式的布線形成方法的第二例中，通過(guò)進(jìn)行吸引和第二維護(hù)氣體的供給，能夠在連通管4內(nèi)形成第二維護(hù)氣體的流動(dòng)，利用第二維護(hù)氣體的流動(dòng)來(lái)使布線形成裝置I的連通管4內(nèi)的結(jié)露移動(dòng)，從而能夠從連通管4高效地排出結(jié)露。
[0153]接著，在本發(fā)明的第二實(shí)施方式的布線形成方法的第二例中，為了能夠穩(wěn)定地進(jìn)行布線形成而進(jìn)行第一維護(hù)。然而，優(yōu)選在其之前設(shè)置用于使霧化后的糊劑材料的涂布穩(wěn)定化的穩(wěn)定化工序，進(jìn)行與上述的第二實(shí)施方式的布線形成方法的第一例同樣的用于使涂布狀態(tài)穩(wěn)定化的涂布(穩(wěn)定化涂布)。
[0154]即，通過(guò)控制裝置的控制來(lái)對(duì)自動(dòng)閥進(jìn)行操作(步驟4)，將自動(dòng)閥51、52、53、54設(shè)為接通狀態(tài)而形成開(kāi)啟狀態(tài)，將自動(dòng)閥55、56、57設(shè)為斷開(kāi)狀態(tài)而形成關(guān)閉狀態(tài)。該狀態(tài)如上述那樣是與布線形成的狀態(tài)相同的狀態(tài)，能夠進(jìn)行載氣的供給，能夠進(jìn)行霧化后的糊劑材料的霧沫流的供給。另一方面，吸引部63的吸引以及第二維護(hù)氣體從第二氣體供給部65向連通管4的供給被停止。
[0155]接著，在霧化裝置2中產(chǎn)生超聲波(步驟5)。具體地說(shuō)，啟動(dòng)霧化裝置2的霧化部11的超聲波產(chǎn)生裝置16，開(kāi)始產(chǎn)生超聲波。其結(jié)果，開(kāi)始糊劑材料的霧化，向連通管4和噴嘴3供給霧化后的糊劑材料的霧沫流，并從噴嘴3的噴嘴部33噴射。
[0156]接著，通過(guò)控制裝置的控制，來(lái)對(duì)自動(dòng)閥51、52進(jìn)行操作，從而調(diào)整載氣的流量和鞘氣的流量(步驟6)。此時(shí)，載氣的流量和鞘氣的流量?jī)?yōu)選設(shè)為比布線形成時(shí)的各流量大的流量以迅速地實(shí)現(xiàn)涂布狀態(tài)的穩(wěn)定化。例如，更優(yōu)選的是，與布線形成時(shí)相比，分別設(shè)定大10%?40%的流量。
[0157]然后，為了使霧化后的糊劑材料從噴嘴3的噴射穩(wěn)定化來(lái)使霧化后的糊劑材料的涂布穩(wěn)定化，而將涂布狀態(tài)維持規(guī)定的時(shí)間來(lái)進(jìn)行涂布(步驟7)。用于穩(wěn)定化的涂布的時(shí)間優(yōu)選設(shè)為5分鐘至60分鐘，為了在短時(shí)間內(nèi)高效地實(shí)現(xiàn)充分的穩(wěn)定化，而優(yōu)選設(shè)為10分鐘?30分鐘。
[0158]接著，在本實(shí)施方式的布線形成方法的第二例中，準(zhǔn)備進(jìn)行第一維護(hù)。
[0159]S卩，在圖1的霧化裝置2中，停止超聲波(步驟8)。具體地說(shuō)，停止霧化裝置2的霧化部11的超聲波產(chǎn)生裝置16。此時(shí)，布線形成裝置I處于能夠進(jìn)行布線形成的狀態(tài)。即，由布線形成裝置I的控制裝置進(jìn)行控制，從而自動(dòng)閥51、52、53、54處于接通狀態(tài)即開(kāi)啟狀態(tài)，自動(dòng)閥55、56、57處于斷開(kāi)狀態(tài)即關(guān)閉狀態(tài)。[0160]接著，為了進(jìn)行第一氣體供給部61對(duì)第一維護(hù)氣體的供給，而進(jìn)行自動(dòng)閥操作(步驟9)。關(guān)于該自動(dòng)閥動(dòng)作，為了向連通管4內(nèi)供給第一維護(hù)氣體，而通過(guò)控制裝置的控制，將自動(dòng)閥51、53、55、56設(shè)為斷開(kāi)狀態(tài)而形成關(guān)閉狀態(tài)，將自動(dòng)閥52、54、57設(shè)為接通狀態(tài)而變?yōu)殚_(kāi)啟狀態(tài)。其結(jié)果，載氣的供給被停止，霧化后的糊劑材料的霧沫流的供給也被停止。另一方面，能夠從第一氣體供給部61向連通管4供給第一維護(hù)氣體。
[0161]接著，向連通管4供給第一維護(hù)氣體(步驟10)。第一維護(hù)氣體優(yōu)選使用氮?dú)?、氬氣以及氦氣等惰性氣體，特別是優(yōu)選使用入手容易的氮?dú)狻?br> [0162]從第一氣體供給部61供給第一維護(hù)氣體的流量?jī)?yōu)選設(shè)為每分鐘Iml?100ml，為了在短時(shí)間內(nèi)高效地進(jìn)行充分的維護(hù)，而更優(yōu)選為每分鐘5ml?20ml。而且，第一維護(hù)氣體的供給時(shí)間優(yōu)選設(shè)為2分鐘至60分鐘，為了在短時(shí)間內(nèi)高效地進(jìn)行充分的維護(hù)，而優(yōu)選設(shè)為10分鐘?30分鐘。
[0163]從第一氣體供給部61供給的第一維護(hù)氣體從噴嘴3的噴嘴部33排出。
[0164]通過(guò)進(jìn)行這樣的第一氣體供給部61對(duì)第一維護(hù)氣體的供給，能夠使附著于連通管4內(nèi)的包含糊劑材料的霧的揮發(fā)成分揮發(fā)，來(lái)減少付著物的量。
[0165]接著，將第一維護(hù)氣體的供給停止，在布線形成之前設(shè)置用于使霧化后的糊劑材料的涂布穩(wěn)定化的穩(wěn)定化工序，進(jìn)行用于實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的布線形成的準(zhǔn)備。即，通過(guò)控制裝置的控制來(lái)進(jìn)行自動(dòng)閥操作(步驟11)，將自動(dòng)閥51、52、53、54設(shè)為接通狀態(tài)而形成開(kāi)啟狀態(tài)，將自動(dòng)閥55、56、57設(shè)為斷開(kāi)狀態(tài)而形成關(guān)閉狀態(tài)。該狀態(tài)如上述那樣是與布線形成時(shí)相同的狀態(tài)，能夠進(jìn)行載氣的供給，能夠進(jìn)行霧化后的糊劑材料的霧沫流的供給。另一方面，停止從第一氣體供給部61向連通管4供給第一維護(hù)氣體。
[0166]接著，通過(guò)控制裝置的控制來(lái)對(duì)自動(dòng)閥51、52進(jìn)行操作，調(diào)整載氣的流量和鞘氣的流量(步驟12)。此時(shí)，載氣的流量和鞘氣的流量被設(shè)定為與布線形成時(shí)的各流量相等的流量。
[0167]接著，在霧化裝置2中產(chǎn)生超聲波(步驟13)。具體地說(shuō)，啟動(dòng)霧化裝置2的霧化部11的超聲波產(chǎn)生裝置16，開(kāi)始產(chǎn)生超聲波。其結(jié)果，開(kāi)始糊劑材料的霧化，向連通管4和噴嘴3供給霧化后的糊劑材料的霧沫流。
[0168]然后，為了使霧化后的糊劑材料從噴嘴3的噴射穩(wěn)定化來(lái)使霧化后的糊劑材料的涂布穩(wěn)定化，而將涂布狀態(tài)維持規(guī)定的時(shí)間，來(lái)進(jìn)行涂布(步驟14)。用于穩(wěn)定化的涂布的時(shí)間優(yōu)選設(shè)為5分鐘至60分鐘。在這種情況下，為了在短時(shí)間內(nèi)高效地實(shí)現(xiàn)充分的穩(wěn)定化，而更優(yōu)選比步驟7、上述的圖3的本實(shí)施方式的布線形成方法的第一例的步驟6長(zhǎng)的時(shí)間，例如優(yōu)選設(shè)為20分鐘?40分鐘。
[0169]接著，確認(rèn)通過(guò)從噴嘴3噴射來(lái)進(jìn)行的霧化后的糊劑材料的涂布的狀態(tài)(步驟15)，判斷是否能夠進(jìn)行布線形成(步驟16)。在判斷為無(wú)法進(jìn)行布線形成的情況下，返回步驟10，再次進(jìn)行第一維護(hù)氣體的供給和用于穩(wěn)定化的涂布。
[0170]另一方面，在步驟16中判斷為能夠進(jìn)行布線形成的情況下，進(jìn)入步驟17，進(jìn)行布線形成。此時(shí)，自動(dòng)閥51?57的狀態(tài)如上述那樣通過(guò)控制裝置進(jìn)行控制，來(lái)將自動(dòng)閥51、52、53、54設(shè)為接通狀態(tài)而形成開(kāi)啟狀態(tài)，將自動(dòng)閥55、56、57設(shè)為斷開(kāi)狀態(tài)而形成關(guān)閉狀態(tài)。
[0171]這樣，在本實(shí)施方式的布線形成方法的第二例中，通過(guò)在步驟3中進(jìn)行連通管4內(nèi)的吸引和第二維護(hù)氣體的供給，由此能夠利用第二維護(hù)氣體的流動(dòng)來(lái)使布線形成裝置I的連通管4內(nèi)的結(jié)露移動(dòng)，從連通管4高效地排出結(jié)露。并且，之后，通過(guò)在步驟10中向連通管4內(nèi)供給第一維護(hù)氣體，能夠使附著于布線形成裝置I的連通管4內(nèi)的包含糊劑材料的霧的揮發(fā)成分揮發(fā)，來(lái)減少付著物的量，之后，能夠穩(wěn)定地形成布線圖案。
[0172]如以上那樣，在圖4所示的本發(fā)明的第二實(shí)施方式的布線形成方法的第二例中，在反復(fù)進(jìn)行的布線形成的空閑時(shí)間，實(shí)施本發(fā)明的實(shí)施方式的維護(hù)方法的第二維護(hù)，接著實(shí)施第一維護(hù)。在本實(shí)施方式的布線形成方法的第二例中，步驟I~步驟7相當(dāng)于本發(fā)明的實(shí)施方式的維護(hù)方法的第二維護(hù)。而且，步驟8~步驟16相當(dāng)于本發(fā)明的實(shí)施方式的維護(hù)方法的第一維護(hù)，將它們組合來(lái)構(gòu)成。其結(jié)果，第二實(shí)施方式的布線形成方法的第二例進(jìn)行布線形成裝置I的維護(hù)，從而能夠穩(wěn)定地形成布線圖案。
[0173]此外，在本發(fā)明的第二實(shí)施方式的布線形成方法中，在執(zhí)行布線形成處理的步驟、第一維護(hù)氣體供給的步驟、吸引和第二維護(hù)氣體供給的步驟以及穩(wěn)定化涂布的步驟各步驟時(shí)，將所設(shè)定的自動(dòng)閥51~57的開(kāi)關(guān)狀態(tài)匯總成圖5。
[0174]圖5是將本發(fā)明的第二實(shí)施方式的布線形成方法的主要步驟中的自動(dòng)閥的開(kāi)關(guān)狀態(tài)匯總得到的表。
[0175] 在圖5中，自動(dòng)閥51~57的欄所記載的開(kāi)的表述表不設(shè)定為各自動(dòng)閥51~57被開(kāi)啟的狀態(tài)，關(guān)的表述表不設(shè)定為各自動(dòng)閥51~57被關(guān)閉的狀態(tài)。
[0176]實(shí)施方式3.[0177]在作為本發(fā)明的實(shí)施方式的布線形成裝置中，將霧化裝置與噴嘴連接的連通管的結(jié)構(gòu)并不限于圖1所示的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I的連通管4的結(jié)構(gòu)。只要是能夠進(jìn)行連通管內(nèi)的吸引和第二維護(hù)氣體的供給來(lái)利用第二維護(hù)氣體的流動(dòng)使布線形成裝置的連通管內(nèi)的結(jié)露移動(dòng)從而從連通管高效地排出結(jié)露，就能夠設(shè)為其它的結(jié)構(gòu)。
[0178]例如還能夠在與霧化裝置的連接部側(cè)具有用于向連通管內(nèi)供給第一維護(hù)氣體的第一氣體供給部，并且在與噴嘴的連接部側(cè)具有用于對(duì)連通管內(nèi)進(jìn)行吸引的吸引部，在與霧化裝置的連接部側(cè)具有用于向連通管內(nèi)供給第二維護(hù)氣體的第二氣體供給部。
[0179]圖6是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式的布線形成裝置的圖。
[0180]此外，在圖6所示的本發(fā)明的第三實(shí)施方式的布線形成裝置100中，對(duì)于與本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I相同的結(jié)構(gòu)要素附加相同的附圖標(biāo)記并省略重復(fù)的說(shuō)明。
[0181]如圖6所示，本發(fā)明的第三實(shí)施方式的布線形成裝置100構(gòu)成為具有霧化裝置2、噴嘴3以及將霧化裝置2與噴嘴3連接的連通管104。而且，布線形成裝置100能夠與本發(fā)明的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I同樣地使用由霧化裝置2霧化后的糊劑材料并從噴嘴3噴射，例如在基板W上形成糊劑材料的涂膜，從而形成布線圖案。
[0182]而且，本發(fā)明的第三實(shí)施方式的布線形成裝置100在與霧化裝置2的連接部側(cè)具有用于向連通管104內(nèi)供給第一維護(hù)氣體的第一氣體供給部61，并且在與噴嘴3的連接部側(cè)具有用于對(duì)連通管104內(nèi)進(jìn)行吸引的吸引部63，在與霧化裝置2的連接部側(cè)具有用于向連通管104內(nèi)供給第二維護(hù)氣體的第二氣體供給部65。
[0183]在本實(shí)施方式的布線形成裝置100中，連通管104的第一氣體供給部61與圖1所示的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I同樣地具有與第一維護(hù)氣體源67連接以向連通管104內(nèi)供給第一維護(hù)氣體的第一氣體供給管62和自動(dòng)閥57。
[0184]在本實(shí)施方式的布線形成裝置100中，連通管104的第二氣體供給部65與圖1所示的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I同樣地具有與第二維護(hù)氣體源69連接以向連通管104內(nèi)供給第二維護(hù)氣體的第二氣體供給管66和自動(dòng)閥55。
[0185]在本實(shí)施方式的布線形成裝置100中，連通管104的吸引部63與圖1所示的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I同樣地具有將與例如由吸引泵等構(gòu)成的吸引裝置68連接以對(duì)連通管104內(nèi)進(jìn)行吸引的吸引管64和能夠控制吸引裝置68的吸引效果的自動(dòng)閥56。
[0186]具有以上結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的第三實(shí)施方式的布線形成裝置100能夠針對(duì)擔(dān)心糊劑材料的霧附著并變?yōu)榻Y(jié)露而流向噴嘴3的連通管104供給第一維護(hù)氣體來(lái)進(jìn)行維護(hù)。
[0187]而且，布線形成裝置100還能夠進(jìn)行第二維護(hù)氣體的供給和吸引，通過(guò)不同的方法來(lái)進(jìn)行連通管104的維護(hù)。即，本發(fā)明的第三實(shí)施方式的布線形成裝置100能夠與圖1所示的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I同樣地使用第一氣體供給部61、吸引部63以及第二氣體供給部65進(jìn)行維護(hù)，從而能夠穩(wěn)定地形成布線圖案。
[0188]而且，本發(fā)明的第三實(shí)施方式的布線形成裝置100能夠與圖1所示的第一實(shí)施方式的布線形成裝置I同樣地應(yīng)用于上述的本發(fā)明的第二實(shí)施方式的布線形成方法。
[0189]此外，本發(fā)明不限定于上述各實(shí)施方式，能夠在不脫離本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變形并實(shí)施。
[0190]例如，不僅能夠?qū)⒈景l(fā)明應(yīng)用于使用了利用金屬納米糊劑的糊劑材料的布線形成裝置以及布線形成方法，還能夠?qū)⒈景l(fā)明應(yīng)用于整個(gè)噴霧系統(tǒng)。
[0191]另外，在布線形成裝置中，霧化裝置的霧化部和溶劑補(bǔ)給裝置的結(jié)構(gòu)能夠應(yīng)用各種結(jié)構(gòu)，并能夠使用現(xiàn)有的所有裝置。
【權(quán)利要求】
1.一種布線形成裝置，具有:霧化裝置，其使糊劑材料霧化；噴嘴，其噴射由上述霧化裝置霧化后的上述糊劑材料；以及連通管，其將上述霧化裝置與上述噴嘴連接，該布線形成裝置通過(guò)涂布霧化后的上述糊劑材料來(lái)進(jìn)行布線形成，該布線形成裝置的特征在于，具有: 第一氣體供給部，其設(shè)置于上述連通管的與上述霧化裝置的連接部側(cè)，向上述連通管內(nèi)供給第一維護(hù)氣體； 吸引部，其設(shè)置于上述連通管的與上述霧化裝置的連接部側(cè)和上述連通管的與上述噴嘴的連接部側(cè)中的某一方，對(duì)上述連通管內(nèi)進(jìn)行吸引；以及 第二氣體供給部，其設(shè)置于上述連通管的與上述霧化裝置的連接部側(cè)和上述連通管的與上述噴嘴的連接部側(cè)中的、未設(shè)置上述吸引部的連接部側(cè)，向上述連通管內(nèi)供給第二維護(hù)氣體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的布線形成裝置，其特征在于， 上述吸引部設(shè)置于上述連通管的與上述霧化裝置的連接部側(cè)，上述第二氣體供給部設(shè)置于上述連通管的與上述噴嘴的連接部側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的布線形成裝置，其特征在于， 上述第一維護(hù)氣體是惰性氣體。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的布線形成裝置，其特征在于， 上述第二維護(hù)氣體是空氣。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的布線形成裝置，其特征在于， 還具有控制部，該控制部分別對(duì)上述第一氣體供給部的上述第一維護(hù)氣體的供給、上述吸引部的吸引以及上述第二氣體供給部的上述第二維護(hù)氣體的供給進(jìn)行控制，上述控制部以如下方式進(jìn)行控制:使上述吸引與上述第二維護(hù)氣體的供給同時(shí)進(jìn)行，使上述第一維護(hù)氣體的供給、上述第二維護(hù)氣體的供給以及上述吸引分別在上述布線形成的空閑時(shí)間進(jìn)行。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的布線形成裝置，其特征在于， 上述控制部進(jìn)行控制使得在進(jìn)行了上述吸引以及上述第二維護(hù)氣體的供給之后在上述布線形成之前進(jìn)行上述第一維護(hù)氣體的供給。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的布線形成裝置，其特征在于， 上述控制部進(jìn)行控制使得在進(jìn)行了上述吸引以及上述第二維護(hù)氣體的供給之后在進(jìn)行上述第一維護(hù)氣體的供給之前進(jìn)行用于使霧化后的上述糊劑材料的涂布穩(wěn)定化的涂布。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的布線形成裝置，其特征在于， 上述控制部進(jìn)行控制使得在進(jìn)行了上述第一維護(hù)氣體的供給之后在上述布線形成之前進(jìn)行用于使霧化后的上述糊劑材料的涂布穩(wěn)定化的涂布。
9.一種布線形成裝置的維護(hù)方法，該布線形成裝置具有:霧化裝置，其使糊劑材料霧化；噴嘴，其噴射由上述霧化裝置霧化后的上述糊劑材料；以及連通管，其將上述霧化裝置與上述噴嘴連接，該布線形成裝置構(gòu)成為通過(guò)涂布霧化后的上述糊劑材料來(lái)進(jìn)行布線形成，該布線形成裝置的維護(hù)方法的特征在于， 在上述布線形成的空閑時(shí) 間具有以下工序: 第一氣體供給工序，從上述連通管的與上述霧化裝置的連接部側(cè)向上述連通管內(nèi)供給第一維護(hù)氣體；以及 第二氣體供給工序，從上述連通管的與上述霧化裝置的連接部側(cè)和上述連通管的與上述噴嘴的連接部側(cè)中的某一方對(duì)上述連通管內(nèi)進(jìn)行吸引，并且從另一方向上述連通管內(nèi)供給第二維護(hù)氣體。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的布線形成裝置的維護(hù)方法，其特征在于， 上述第二氣體供給工序的上述吸引是從上述連通管的與上述霧化裝置的連接部側(cè)進(jìn)行，上述第二維護(hù)氣體的供給是從上述連通管的與上述噴嘴的連接部側(cè)進(jìn)行。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的布線形成裝置的維護(hù)方法，其特征在于， 上述第一維護(hù)氣體是惰性氣體。
12.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的布線形成裝置的維護(hù)方法，其特征在于， 上述第二維護(hù)氣體是空氣。
13.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的布線形成裝置的維護(hù)方法，其特征在于， 在上述第二氣體供給工序之后在上述布線形成之前設(shè)置有上述第一氣體供給工序。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的布線形成裝置的維護(hù)方法，其特征在于， 在上述第二氣體供給工序之后在上述第一氣體供給工序之前設(shè)置有使霧化后的上述糊劑材料的涂布穩(wěn)定化的穩(wěn)定化工序。
15.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的布線形成裝置的維護(hù)方法，其特征在于， 在上述第一氣體供給工序之后在上述布線形成之前設(shè)置有使霧化后的上述糊劑材料的涂布穩(wěn)定化的穩(wěn)定化工序。
16.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的布線形成裝置的維護(hù)方法，其特征在于， 上述第一氣體供給工序的頻率是上述第二氣體供給工序的頻率的2倍到10倍。
17.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的布線形成裝置的維護(hù)方法，其特征在于， 上述第二氣體供給工序中的上述第二維護(hù)氣體的流量是上述第一氣體供給工序中的上述第一維護(hù)氣體的流量的100倍到1000倍。
18.—種布線形成方法，其特征在于，具有以下工序: 布線形成工序，使用使糊劑材料霧化的霧化裝置、噴射由上述霧化裝置霧化后的上述糊劑材料的噴嘴以及將上述霧化裝置與上述噴嘴連接的連通管，從上述噴嘴噴射由上述霧化裝置霧化后的糊劑材料來(lái)進(jìn)行涂布，從而進(jìn)行布線形成； 第一氣體供給工序，從上述連通管的與上述霧化裝置的連接部側(cè)向上述連通管內(nèi)供給第一維護(hù)氣體；以及 第二氣體供給工序，從上述連通管的與上述霧化裝置的連接部側(cè)和上述連通管的與上述噴嘴的連接部側(cè)中的某一方對(duì)上述連通管內(nèi)進(jìn)行吸引，并且從另一方向上述連通管內(nèi)供給第二維護(hù)氣體。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的布線形成方法，其特征在于， 上述第二氣體供給工序從上述連通管的與上述霧化裝置的連接部側(cè)進(jìn)行上述吸引，從上述連通管的與上述噴嘴的連接部側(cè)進(jìn)行上述第二維護(hù)氣體的供給。
20.根據(jù)權(quán)利要求18或19所述的布線形成方法，其特征在于， 在上述第一氣體供給工序 和上述第二氣體供給工序之后設(shè)置有使霧化后的上述糊劑材料的涂布穩(wěn)定化的穩(wěn)定化工序。
【文檔編號(hào)】H05K3/14GK103906367SQ201310742866
【公開(kāi)日】2014年7月2日 申請(qǐng)日期:2013年12月27日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月27日
【發(fā)明者】奧村哲也, 齊藤健, 佐野雅規(guī) 申請(qǐng)人:日本麥可羅尼克斯股份有限公司