專利名稱：多晶鑄錠爐氣路分配裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種多晶鑄錠爐氣路分配裝置，屬于多晶鑄錠技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
目前，在太陽能光伏行業(yè)多晶硅錠的生產(chǎn)過程中，采用的是定向凝固法提純硅錠的生產(chǎn)工藝，所采用的設(shè)備為多晶鑄錠爐。利用多晶鑄錠爐生產(chǎn)多晶硅錠時，需要把硅料加熱至1420°C以上使其熔化，然后進(jìn)行定向凝固。在化料及定向凝固過程中，需要通入
0.6kgf/cm2壓力的高純I!氣，以便快速帶走娃料內(nèi)雜質(zhì)并減少娃蒸氣對熱場的污染?，F(xiàn)在較為普遍的裝置中，氬氣氣體通過進(jìn)氣管進(jìn)入坩堝后，在開始階段很難均勻分布到整個多晶硅生長環(huán)境中，氣體的流動不定向，容易產(chǎn)生紊流，進(jìn)而影響到多晶硅的質(zhì)量。
發(fā)明內(nèi)容針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述缺陷，本實用新型提供了一種能使氬氣氣體分布均勻的多晶鑄錠爐氣路分配裝置。本實用新型所采用的技術(shù)方案是一種多晶鑄錠爐氣路分配裝置，包括一端與進(jìn)氣管連接、另一端與多晶鑄錠爐的坩堝內(nèi)部相通的進(jìn)氣套管，其特殊之處是，所述進(jìn)氣套管與多晶鑄錠爐的坩堝內(nèi)部相通的一端伸入所述坩堝的內(nèi)部，該伸入端的下端沿其周向均勻連接有至少兩根與其內(nèi)部相通的導(dǎo)氣管，每根所述的導(dǎo)氣管上均設(shè)有一排沿其軸向排列的出氣孔，所有的出氣孔的軸線均位于同一水平面內(nèi)且所有的出氣孔的朝向同呈順時針方向排布或同呈逆時針方向排布。當(dāng)氬氣氣體由進(jìn)氣管進(jìn)入進(jìn)氣套管后，氬氣氣體在進(jìn)氣套管的下端分流進(jìn)入各導(dǎo)氣管，并由導(dǎo)氣管上的出氣孔噴出。氣體通過出氣孔后分別向同一平面內(nèi)的不同方向流動，這樣可以使氣體均勻地分布于整個空間中，達(dá)到氣體定向流動，均勻分布的效果。本實用新型中，所述導(dǎo)氣管可以采用耐高溫材料，如石墨或采用鎢、鑰等耐高溫材料，優(yōu)選的，所述導(dǎo)氣管為石墨管。為了便于安裝及維修，本實用新型中所述導(dǎo)氣管與進(jìn)氣套管連接的一端設(shè)有螺紋，其通過兩個螺母與所述進(jìn)氣套管固定連接。本實用新型中的導(dǎo)氣管的數(shù)量可以是兩根以上，考慮到結(jié)構(gòu)設(shè)計的簡單性及氣體分布的效果，所述導(dǎo)氣管最好為四根。本實用新型的有益效果是本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，其通過在進(jìn)氣套管的下端設(shè)置導(dǎo)氣管，使得進(jìn)入坩堝內(nèi)的氣體能夠均勻地分布于整個空間中，達(dá)到了氣體定向流動，均勻分布的效果，很好地解決了多晶鑄錠爐中氣體分布不均的的問題，形成了更有利于多晶硅生長的氣路，提升了多晶硅的質(zhì)量。

[0011]圖I是本實用新型具體實施方式
中的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖I中的A-A向放大示意圖；圖3是圖2中的B部放大示意圖；圖4是圖2中導(dǎo)氣管與進(jìn)氣套管連接結(jié)構(gòu)放大示意圖；圖中，I、進(jìn)氣管，2、進(jìn)氣 套管，3、蓋板，4、導(dǎo)氣管，5、坩堝，6、螺母A，7、螺母B，8、出氣孔。
具體實施方式
下面通過非限定性的實施例并結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步的說明如附圖1-4所示，是多晶鑄錠爐的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖，其氣路分配裝置包括進(jìn)氣套管2和導(dǎo)氣管4。其中，進(jìn)氣套管2的一端與多晶鑄錠爐的進(jìn)氣管I連接，其另一端穿過多晶鑄錠爐的坩堝5的蓋板3伸入坩堝5的內(nèi)部，該伸入端的下端沿其周向均均連接有至少兩根導(dǎo)氣管4，本實施例中所示的導(dǎo)氣管4為四根。導(dǎo)氣管4的內(nèi)部與進(jìn)氣套管2的內(nèi)部相通。本實施例中，導(dǎo)氣管4為石墨管，導(dǎo)氣管4與進(jìn)氣套管2連接端設(shè)有螺紋，該端通過螺母A6和螺母B7與進(jìn)氣套管2緊固連接。每根導(dǎo)氣管4的管壁上均設(shè)有一排沿導(dǎo)氣管軸向排列的出氣孔8，這些出氣孔8在導(dǎo)氣管上間隔均勻。所有的導(dǎo)氣管上的出氣孔8的軸線最好都在同一水平面內(nèi)，且所有的出氣孔8的朝向同呈順時針方向排布或同呈逆時針方向排布，保證氣體自出氣孔噴出時，氣體定向流動。本實用新型在實際使用時，氬氣氣體由進(jìn)氣管I進(jìn)入進(jìn)氣套管2后，氣體在進(jìn)氣套管2的下端分流進(jìn)入各導(dǎo)氣管4，并由導(dǎo)氣管4上的出氣孔8噴出，形成定向流動的氣流，這樣可以使氣體均勻地分布于整個空間中，達(dá)到均勻分布的效果，氣體通過出氣孔后的流向如圖2中箭頭所示。本實施例中的其他部分采用現(xiàn)有技術(shù)，在此不再贅述。上述實施例僅用作對本實用新型的說明，并非對其的限制，本領(lǐng)域的技術(shù)人員還可在此基礎(chǔ)上做出變動，如導(dǎo)氣管的數(shù)量、導(dǎo)氣管與進(jìn)氣套管的連接方式、導(dǎo)氣管的材質(zhì)等等，導(dǎo)氣管的材質(zhì)也可以是鎢鑰等金屬、C/C復(fù)合材料、陶瓷等。
權(quán)利要求1.一種多晶鑄錠爐氣路分配裝置，包括一端與進(jìn)氣管(I)連接、另一端與多晶鑄錠爐的坩堝內(nèi)部相通的進(jìn)氣套管(2)，其特征是所述進(jìn)氣套管(2)與多晶鑄錠爐的坩堝內(nèi)部相通的一端伸入所述坩堝的內(nèi)部，該伸入端的下端沿其周向均勻連接有至少兩根與其內(nèi)部相通的導(dǎo)氣管(4)，每根所述的導(dǎo)氣管(4)上均設(shè)有一排沿其軸向排列的出氣孔(8)，所有的出氣孔(8)的軸線均位于同一水平面內(nèi)且所有的出氣孔(8)的朝向同呈順時針方向排布或同呈逆時針方向排布。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多晶鑄錠爐氣路分配裝置，其特征是所述導(dǎo)氣管(4)為石墨管。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多晶鑄錠爐氣路分配裝置，其特征是所述導(dǎo)氣管(4)與進(jìn)氣套管(2)連接的一端設(shè)有螺紋，其通過兩個螺母與所述進(jìn)氣套管(2)固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或2或3所述的多晶鑄錠爐氣路分配裝置，其特征是所述導(dǎo)氣管(4)為四根。
專利摘要本實用新型公開了一種多晶鑄錠爐氣路分配裝置，屬于多晶鑄錠技術(shù)領(lǐng)域。其包括一端與進(jìn)氣管(1)連接、另一端與多晶鑄錠爐的坩堝內(nèi)部相通的進(jìn)氣套管(2)，其特征是所述進(jìn)氣套管(2)與多晶鑄錠爐的坩堝內(nèi)部相通的一端伸入所述坩堝的內(nèi)部，該伸入端的下端沿其周向均均連接有至少兩根與其內(nèi)部相通的導(dǎo)氣管(4)，每根所述的導(dǎo)氣管(4)上均設(shè)有一排沿其軸向排列的出氣孔(8)，所有的出氣孔(8)的軸線均位于同一水平面內(nèi)且所有的出氣孔(8)的朝向同呈順時針方向排布或同呈逆時針方向排布。本實用新型可使得進(jìn)入坩堝內(nèi)的氣體均勻地分布于整個空間中，達(dá)到了氣體定向流動，均勻分布的效果，有利于提升多晶硅的質(zhì)量。
文檔編號C30B29/06GK202786503SQ20122037563
公開日2013年3月13日 申請日期2012年7月31日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月31日
發(fā)明者劉添華, 張洪義, 孔令歆, 王永根 申請人:山東偉基炭科技有限公司