專利名稱：熱場坩堝保溫裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體材料生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及ー種熱場坩堝保溫裝置。
背景技術(shù)：
保溫裝置是制備一些半導(dǎo)體材料時所用的熱場坩堝的重要組成部分，其保溫效果的優(yōu)劣直接決定著半導(dǎo)體材料拉晶效果的好壞和半導(dǎo)體制備成本的高低。一般的，該保溫裝置多為熱場坩堝的外部包有石墨保溫筒。其缺陷在于1、石墨材料易于急冷急熱，從而易 變形開裂，進而導(dǎo)致半導(dǎo)體材料拉晶過程中成晶較為困難。2、石墨材料耐高溫系數(shù)低，保溫效果較差。3、石墨材料尺寸穩(wěn)定性差，無法滿足變更エ藝下各種形狀、尺寸的加工。4、石墨材料長時間使用后會出現(xiàn)掉石墨及斷裂，嚴(yán)重影響單晶生長。因此有必要予以改迸。

實用新型內(nèi)容針對上述現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實用新型的目的是提供ー種熱場坩堝保溫裝置，它具有結(jié)構(gòu)穩(wěn)定不易變形、保溫效果較好、易于加工和不會影響單晶成長的特點。為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型所采用的技術(shù)方案是熱場坩堝保溫裝置，其包于坩堝本體的外部，所述熱場坩堝保溫裝置包括碳碳復(fù)合材料保溫筒，碳碳復(fù)合材料保溫筒的外部包纏有碳氈層。所述碳碳復(fù)合材料保溫筒從上至下依次包括上筒、中筒和下筒，且中筒上邊沿不低于本體的上邊沿、下邊沿不高于本體的下邊沿。采用上述結(jié)構(gòu)后，本實用新型和現(xiàn)有技術(shù)相比所具有的優(yōu)點是結(jié)構(gòu)穩(wěn)定不易變形、保溫效果較好、易于加工和不會影響單晶成長。本實用新型的保溫裝置采取坩鍋的外部設(shè)有碳碳復(fù)合材料保溫筒。由于碳碳復(fù)合材料相對于石墨而言1、強度較高，從而保溫筒結(jié)構(gòu)穩(wěn)定不易變形；2、耐高溫系數(shù)較高，從而保溫筒保溫效果較好；3、機械性能優(yōu)良，成型后尺寸穩(wěn)定，能夠隨同坩堝的尺寸進行及時變更；4、長時間使用后不會出現(xiàn)局部斷裂的情況，從而有助于坩堝中半導(dǎo)體的單晶成長。
以下結(jié)合附圖
和實施例對本實用新型進ー步說明圖I是本實用新型的實施例的主視剖視結(jié)構(gòu)示意圖。圖中10、本體；20、碳碳復(fù)合材料保溫簡，21、上筒，22、中筒，23、下筒；30、碳氈層。
具體實施方式
以下所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不因此而限定本實用新型的保護范圍。[0011]實施例，見圖I所示熱場坩堝保溫裝置，其包于坩堝本體10的外部，包括碳碳復(fù)合材料保溫筒20，且碳碳復(fù)合材料保溫筒20的外部包纏有碳氈層30。其中，碳氈層30可以使用西格里碳氈。進ー步優(yōu)化，碳碳復(fù)合材料保溫筒20從上至下依次包括上筒21、中筒22和下筒23，且中筒22上邊沿不低于本體10的上邊沿 、下邊沿不高于本體10的下邊沿。SP，中筒22的水平高度和熱場坩堝的本體10的水平高度相當(dāng)。當(dāng)然，此時上筒21的水平高度高于熱場坩堝10的水平高度；下筒23的水平高度低于熱場坩堝10的水平高度。這樣，采取分體式保溫筒的方式，且各個部分分別位于不同的高度，便于碳碳復(fù)合材料保溫筒20的安裝，以及便于碳氈層30的包纏。
權(quán)利要求1.熱場坩堝保溫裝置，其包于坩堝本體(10)的外部，其特征在干所述熱場坩堝保溫裝置包括碳碳復(fù)合材料保溫筒(20)，碳碳復(fù)合材料保溫筒(20)的外部包纏有碳氈層(30)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的熱場坩堝保溫裝置，其特征在于所述碳碳復(fù)合材料保溫筒(20)從上至下依次包括上筒(21)、中筒(22)和下筒(23)，且中筒(22)上邊沿不低于本體(10)的上邊沿、下邊沿不高于本體(10)的下邊沿。
專利摘要本實用新型公開了一種熱場坩堝保溫裝置，其包于坩堝本體的外部，所述熱場坩堝保溫裝置包括碳碳復(fù)合材料保溫筒，碳碳復(fù)合材料保溫筒的外部包纏有碳氈層。優(yōu)化后，碳碳復(fù)合材料保溫筒從上至下依次包括上筒、中筒和下筒，且中筒上邊沿不低于本體的上邊沿、下邊沿不高于本體的下邊沿。本實用新型所具有的優(yōu)點是結(jié)構(gòu)穩(wěn)定不易變形、保溫效果較好、易于加工和不會影響單晶成長。
文檔編號C30B15/10GK202595331SQ201220204570
公開日2012年12月12日 申請日期2012年5月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月9日
發(fā)明者唐旭輝, 高彬彬 申請人:江蘇聚能硅業(yè)有限公司