專利名稱：具有升降機構的單晶爐熱場的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種具有升降機構的單晶爐熱場。
背景技術：
單晶爐拉制單晶硅棒時，盛裝多晶硅塊等原料的石英坩堝放入位于堝托之上的石墨坩堝托內，在保護性氣氛中加熱融化，調控到工藝溫度后，籽晶經導流罩插入溶融多晶硅液中，與坩堝作逆向旋轉并向上提升，使多晶硅液按籽晶的硅原子排列順序結晶凝固成單晶硅棒。加熱器是單晶爐熱場中很重要的部件，是直接的發(fā)熱體，現(xiàn)有的加熱器設計是固定不動的，當石英坩堝上升時會有一定的溫度差，加熱器中心最高溫度處遠離石英坩堝中心，形成縱向溫度梯度過大的不足。

實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是為了減小縱向溫度差，本實用新型提供一種具有升降機構的單晶爐熱場。本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是一種具有升降機構的單晶爐熱場，包括設置在單晶爐爐體內壁處的保溫筒，保溫筒內圈設有加熱器，加熱器的內腔設有由堝桿支撐的坩堝，所述的坩堝與堝桿之間安裝有貼于坩堝底面的堝托，所述的加熱器連接有穿設爐體底部的螺桿，所述的螺桿的另一端連接有升降機構。具體地，所述的升降機構采用伺服電機四桿升降機構，直線軸承做導軌。本實用新型的有益效果是，本實用新型的具有升降機構的單晶爐熱場，通過在加熱器底部連接升降機構，使得加熱器與石英坩堝可以同步上升，減小了縱向溫度差，保證了單晶爐內縱向溫度梯度的穩(wěn)定，提高了單晶生長效率。
以下結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型具有升降機構的單晶爐熱場的最優(yōu)實施例的結構示意圖。圖中1、保溫筒，2、加熱器，3、坩堝，3-1、堝托，4、堝桿，5、螺桿，6、升降機構。
具體實施方式
現(xiàn)在結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖， 僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。如圖1所示，是本實用新型具有升降機構的單晶爐熱場的最優(yōu)實施例，包括設置在單晶爐爐體內壁處的保溫筒1，保溫筒1內圈設有加熱器2，加熱器2的內腔設有由堝桿4 支撐的坩堝3，坩堝3與堝桿4之間安裝有貼于坩堝3底面的堝托3-1，加熱器2連接有穿設爐體底部的螺桿5，螺桿5的另一端連接有升降機構6，升降機構6采用伺服電機四桿升降，直線軸承做導軌。當坩堝3上升時，加熱器2通過升降機構6的抬升隨坩堝3同步上升，保持坩堝3 與加熱器2之間的高溫區(qū)域不變，減小了縱向溫度差，保證了溫度梯度穩(wěn)定的效果。以上述依據本實用新型的理想實施例為啟示，通過上述的說明內容，相關工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術思想的范圍內，進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術性范圍并不局限于說明書上的內容，必須要根據權利要求范圍來確定其技術性范圍。
權利要求1.一種具有升降機構的單晶爐熱場，包括設置在單晶爐爐體內壁處的保溫筒(1)，保溫筒⑴內圈設有加熱器0)，加熱器⑵的內腔設有由堝桿⑷支撐的坩堝(3)，所述的坩堝(3)與堝桿(4)之間安裝有貼于坩堝(3)底面的堝托(3-1)，其特征在于所述的加熱器( 連接有穿設爐體底部的螺桿(5)，所述的螺桿(5)的另一端連接有升降機構(6)。
2.如權利要求1所述的具有升降機構的單晶爐熱場，其特征在于所述的升降機構(6) 采用伺服電機四桿升降機構，直線軸承做導軌。
專利摘要本實用新型涉及一種具有升降機構的單晶爐熱場，包括設置在單晶爐爐體內壁處的保溫筒，保溫筒內圈設有加熱器，加熱器的內腔設有由堝桿支撐的坩堝，坩堝與堝桿之間安裝有貼于坩堝底面的堝托，加熱器連接有穿設爐體底部的螺桿，螺桿的另一端連接有升降機構，本實用新型的具有升降機構的單晶爐熱場，通過在加熱器底部連接升降機構，使得加熱器與石英坩堝可以同步上升，減小了縱向溫度差，保證了單晶爐內縱向溫度梯度的穩(wěn)定，提高了單晶生長效率。
文檔編號C30B15/14GK202297860SQ201120442559
公開日2012年7月4日 申請日期2011年11月10日 優(yōu)先權日2011年11月10日
發(fā)明者王煜輝 申請人:常州華盛恒能光電有限公司