專利名稱：籽晶軸的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及藍(lán)寶石單晶生產(chǎn)領(lǐng)域，特別是一種籽晶軸。
技術(shù)背景藍(lán)寶石是一種簡(jiǎn)單配位型氧化物晶體。具有優(yōu)異的光學(xué)性能、機(jī)械性能和化學(xué)穩(wěn)定性，被廣泛的應(yīng)用于民用航天、半導(dǎo)體襯底、紅外軍事裝置、衛(wèi)星空間技術(shù)、高強(qiáng)度激光的窗口材料等，同時(shí)晶體生長(zhǎng)設(shè)備-單晶生長(zhǎng)爐也隨之得到了飛速的發(fā)展。通常藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐的籽晶運(yùn)動(dòng)裝置，包括爐體、溫場(chǎng)、籽晶運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、籽晶夾具。通過籽晶軸連接籽晶夾具及籽晶運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)籽晶在晶體生長(zhǎng)過程中的不同運(yùn)動(dòng)狀態(tài)。因籽晶軸屬于長(zhǎng)軸中空結(jié)構(gòu)，內(nèi)部有循環(huán)冷卻水，距離溫場(chǎng)距離近，外部溫度高。 根據(jù)晶體生長(zhǎng)的工藝要求，對(duì)籽晶的旋轉(zhuǎn)及升降運(yùn)動(dòng)都有嚴(yán)格的要求，保證結(jié)晶界面的穩(wěn)定性，這就需要籽晶軸無論從材質(zhì)及結(jié)構(gòu)上都要有要求，防止高溫變形及影響使用效果。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種能使籽晶獲得平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)及良好性能的籽晶軸。本實(shí)用新型籽晶軸，包括中軸，所述中軸為兩端開口中空設(shè)計(jì)；導(dǎo)水管，所述導(dǎo)水管設(shè)置在所述中軸內(nèi)；堵頭，所述堵頭設(shè)置在所述中軸的一端；連接軸，所述連接軸設(shè)置在所述中軸的另外一端。所述籽晶軸還進(jìn)一步包括一連接套,所述連接套與所述堵頭連接。所述連接套的材質(zhì)為工業(yè)純銅。本實(shí)用新型籽晶軸根據(jù)使用環(huán)境及條件，連接套的位置更接近溫場(chǎng)，同時(shí)與籽晶夾具連接，需要散熱性能好，且材質(zhì)不同，高溫時(shí)的膨脹系數(shù)不同，便于拆裝。因此選用工業(yè)純銅，也有利于保證焊接質(zhì)量。而連接部位全部采用氬弧焊，保證焊縫不得有影響密封的缺陷。通過上部爐體的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)籽晶的升降及旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)控制。

圖I為本實(shí)用新型籽晶軸結(jié)構(gòu)剖示圖；本實(shí)用新型籽晶軸附圖中附圖標(biāo)記說明I-連接套2-堵頭3-導(dǎo)水管4-中軸 5-連接軸
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型籽晶軸作進(jìn)一步詳細(xì)說明。如圖I所示，本實(shí)用新型籽晶軸的設(shè)置導(dǎo)水管3在腔內(nèi)，外部焊縫焊接時(shí)需先將導(dǎo)水管3置入中軸4、堵頭2及連接套I內(nèi)，然后進(jìn)行焊接，連接部位全部采用氬弧焊，保證焊縫不得有影響密封的缺陷。為了保證焊后加工精度，需進(jìn)行時(shí)效處理。然后對(duì)成品進(jìn)行做水壓試驗(yàn)，壓力0. 5-0. 6MPa，5小時(shí)以上無滲漏現(xiàn)象，保證氣密性及泄漏率。因籽晶軸屬于長(zhǎng)軸中空類結(jié)構(gòu)，加工完成后應(yīng)使用專用工裝工位，防止其變形，影響使用效果。本實(shí)用新型籽晶軸根據(jù)使用環(huán)境及條件，連接套的位置更接近溫場(chǎng)，同時(shí)與籽晶夾具連接，需要散熱性能好，且材質(zhì)不同，高溫時(shí)的膨脹系數(shù)不同，便于拆裝。因此選用工業(yè)純銅，也有利于保證焊接質(zhì)量。而連接部位全部采用氬弧焊，保證焊縫不得有影響密封的缺陷。通過上部爐體的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)籽晶的升降及旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)控制。以上已對(duì)本實(shí)用新型創(chuàng)造的較佳實(shí)施例進(jìn)行了具體說明，但本實(shí)用新型創(chuàng)造并不限于實(shí)施例，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不違背本發(fā)明創(chuàng)造精神的前提下還可作出種種的等同的變型或替換，這些等同的變型或替換均包含在本申請(qǐng)權(quán)利要求所限定的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.籽晶軸，其特征在于，包括中軸，所述中軸為兩端開口中空設(shè)計(jì)；導(dǎo)水管，所述導(dǎo)水管設(shè)置在所述中軸內(nèi)；堵頭，所述堵頭設(shè)置在所述中軸的一端；連接軸，所述連接軸設(shè)置在所述中軸的另外一端。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的籽晶軸，其特征在于，所述籽晶軸還進(jìn)一步包括一連接套，所述連接套與所述堵頭連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的籽晶軸，其特征在于，所述連接套的材質(zhì)為純銅。
專利摘要本實(shí)用新型籽晶軸，包括中軸，所述中軸為兩端開口中空設(shè)計(jì)；導(dǎo)水管，所述導(dǎo)水管設(shè)置在所述中軸內(nèi)；堵頭，所述堵頭設(shè)置在所述中軸的一端；連接軸，所述連接軸設(shè)置在所述中軸的另外一端。所述籽晶軸還進(jìn)一步包括一連接套，所述連接套與所述堵頭連接。所述連接套的材質(zhì)為純銅。本實(shí)用新型籽晶軸根據(jù)使用環(huán)境及條件，連接套的位置更接近溫場(chǎng)，同時(shí)與籽晶夾具連接，需要散熱性能好，且材質(zhì)不同，高溫時(shí)的膨脹系數(shù)不同，便于拆裝。因此選用工業(yè)純銅，也有利于保證焊接質(zhì)量。而連接部位全部采用氬弧焊，保證焊縫不得有影響密封的缺陷。通過上部爐體的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)籽晶的升降及旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)控制。
文檔編號(hào)C30B29/20GK202359239SQ20112041134
公開日2012年8月1日 申請(qǐng)日期2011年10月25日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月25日
發(fā)明者呂立強(qiáng) 申請(qǐng)人:上海朗兆機(jī)電設(shè)備有限公司