專利名稱：單臂升降裝置和雙臂升降裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于電子制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及ー種單臂升降裝置和一種雙臂升降裝置。
背景技術(shù)：
隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展，等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備已經(jīng)被廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其在制造集成電路(integrated circuit, IC)或光伏(photovoltaic, PV)產(chǎn)品的制造エ藝中，PECVD設(shè)備用于沉積氮化娃、透明導(dǎo)電薄膜等各種薄膜。在各種PECVD設(shè)備中，平行板電容稱合等離子體(Capacitively Coupled Plasma,CCP)裝置放電的原理簡單，又可產(chǎn)生大面積均勻的等離子體，在太陽能電池的制備エ藝流程中，PECVD設(shè)備是制備減反射薄膜的關(guān)鍵設(shè)備。所以，在光伏產(chǎn)品生產(chǎn)中PECVD設(shè)備被廣泛應(yīng)用。在太陽能電池的生產(chǎn)過程中，PECVD是其中關(guān)鍵的一道エ序，具體的工作流程如圖I所示，將電池片裝載到裝載臺(tái)上，通過傳送帶傳送至預(yù)熱腔加熱，達(dá)到設(shè)定溫度后，傳送到エ藝腔，完成鍍膜エ藝，再傳送至冷卻腔進(jìn)行冷卻，經(jīng)冷卻后，傳送至卸載臺(tái)，下降并經(jīng)過冷卻回收臺(tái)、エ藝回收臺(tái)、預(yù)熱回收臺(tái)，最后回到裝載臺(tái)，完成一個(gè)循環(huán)。在進(jìn)行上述エ序的過程中，電池片需要放置在載板上進(jìn)行傳輸。在裝載臺(tái)和卸載臺(tái)上，需要利用升降裝置將載板進(jìn)行上升和下降操作。如圖2所示，載板I傳輸?shù)窖b載臺(tái)或卸載臺(tái)的托架2上，托架2上有若干支撐梁3，用于增加穩(wěn)定性。對于單臂升降裝置，托架2的一端固定在升降臂4上；對于雙臂升降裝置，托架2的兩端分別固定在兩個(gè)升降臂4上。目前載板I的上升下降方式是，將升降臂4放在導(dǎo)向架上，以氣缸、油缸或者電機(jī)帶動(dòng)絲杠作為驅(qū)動(dòng)器，使升降臂4沿導(dǎo)向架上升或下降，以此使托架2和載板I上升或下降。將載板I平放在托架2上，則通過判斷托架2的平穩(wěn)性即可判斷載板I的平穩(wěn)性。本發(fā)明人在實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的過程中發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有技術(shù)至少存在以下問題對于雙臂升降裝置，當(dāng)兩個(gè)升降臂上升或下降的速度不同步時(shí)，托架就會(huì)不穩(wěn)定，導(dǎo)致托架卡死，或者引起電機(jī)過載，燒毀電機(jī)。對于單臂升降裝置，由于托架本身具有一定的慣性，當(dāng)升降臂上升或下降的加速度過大吋，也會(huì)造成托架不穩(wěn)定?，F(xiàn)有的升降裝置存在不能保證托架在上升或下降過程中的穩(wěn)定性的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實(shí)施例提供了一種單臂升降裝置和一種雙臂升降裝置，能夠保證托架平穩(wěn)上升或下降。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案該單臂升降裝置，包括導(dǎo)向架以及設(shè)置于所述導(dǎo)向架上的升降臂，由驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述升降臂沿所述導(dǎo)向架上升或下降，所述升降臂與托架的一端相連，還包括對射傳感器，所述對射傳感器的發(fā)射端設(shè)置于所述升降臂上，所述對射傳感器的接收端設(shè)置于所述托架遠(yuǎn)離所述升降臂的一端；或者，所述對射傳感器的接收端設(shè)置于所述升降臂上，所述對射傳感器的發(fā)射端設(shè)置于所述托架遠(yuǎn)離所述升降臂的一端。該雙臂升降裝置，包括兩個(gè)導(dǎo)向架以及分別設(shè)置于所述兩個(gè)導(dǎo)向架上的兩個(gè)升降臂，由驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述升降臂沿所述導(dǎo)向架上升或下降，所述兩個(gè)升降臂分別與托架的兩端相連，還包括對射傳感器，所述對射傳感器的發(fā)射端和接收端分別設(shè)置于所述兩個(gè)升降臂上。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所提供的上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn)對射傳感器的接收端用于接收發(fā)射端發(fā)出的信號(hào)，當(dāng)托架平穩(wěn)上升或下降時(shí)，發(fā)射端和接收端位于同一高度，接收端就能夠接收到發(fā)射端發(fā)出的信號(hào)，并以此作為驅(qū)動(dòng)器運(yùn)轉(zhuǎn)的先決條件；當(dāng)托架上升或下降不穩(wěn)定時(shí)，發(fā)射端和接收端就處在不同的高度，接收端就接收不到發(fā)射端發(fā)出的信號(hào)，此時(shí)不滿足驅(qū)動(dòng)器運(yùn)轉(zhuǎn)的先決條件，所以驅(qū)動(dòng)器就會(huì)停止工作。通過設(shè)置對射傳感 器，為驅(qū)動(dòng)器的運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)定了一個(gè)先決條件，從而保證了托架平穩(wěn)上升或下降。


為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I為PECVD的工序流程圖；圖2為載板與托架的位置關(guān)系示意圖；圖3為本發(fā)明的實(shí)施例所提供的單臂升降裝置的一種實(shí)施方式的示意圖；圖4為本發(fā)明的實(shí)施例所提供的單臂升降裝置中傳感器信號(hào)控制的光耦電路示意圖；圖5為本發(fā)明的實(shí)施例所提供的雙臂升降裝置的一種實(shí)施方式的示意圖。
具體實(shí)施例方式下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。實(shí)施例I :如圖3所示，本發(fā)明實(shí)施例所提供的單臂升降裝置，包括導(dǎo)向架5以及設(shè)置于導(dǎo)向架5上的升降臂4，由驅(qū)動(dòng)器6驅(qū)動(dòng)升降臂4沿導(dǎo)向架5上升或下降，升降臂4與托架2的一端相連，還包括對射傳感器，對射傳感器的發(fā)射端71設(shè)置于升降臂4上，對射傳感器的接收端72設(shè)置于托架2遠(yuǎn)離升降臂4的一端。當(dāng)然，也可以將對射傳感器的接收端設(shè)置于升降臂上，發(fā)射端設(shè)置于托架遠(yuǎn)離升降臂的一端。對射傳感器的接收端72用于接收發(fā)射端71發(fā)出的信號(hào)，當(dāng)托架2平穩(wěn)上升或下降時(shí)，升降臂4上的發(fā)射端71和托架2遠(yuǎn)端上的接收端72位于同一高度，接收端72就能夠接收到發(fā)射端71發(fā)出的信號(hào)，并以此作為驅(qū)動(dòng)器6運(yùn)轉(zhuǎn)的先決條件。如果采用PNP型傳感器，傳感信號(hào)為高電平；如果采用NPN型傳感器，傳感信號(hào)為低電平。當(dāng)升降臂4沿導(dǎo)向架5上升或下降的加速度過大，導(dǎo)致托架2不穩(wěn)定時(shí)，升降臂4上的發(fā)射端71和托架2遠(yuǎn)端上的接收端72就處在不同的高度，接收端71就接收不到發(fā)射端72發(fā)出的信號(hào)，此時(shí)不滿足驅(qū)動(dòng)器6運(yùn)轉(zhuǎn)的先決條件，所以驅(qū)動(dòng)器6就會(huì)停止工作。通過設(shè)置對射傳感器，為驅(qū)動(dòng)器6的運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)定了一個(gè)先決條件，從而保證了托架2平穩(wěn)上升或下降。除此之外，本發(fā)明實(shí)施例對單臂升降裝置現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)作了最小限度的改進(jìn)，沒有改變單臂升降裝置原有的構(gòu)造，所以對正常的生產(chǎn)過程不會(huì)造成負(fù)面影響。本發(fā)明實(shí)施例中，還包括與對射傳感器的接收端相連的報(bào)警器。當(dāng)對射傳感器的接收端接收不到發(fā)射端發(fā)出的信號(hào)時(shí)，驅(qū)動(dòng)器停止工作的同時(shí)，還會(huì)發(fā)出報(bào)警信號(hào)，報(bào)警信號(hào)的具體形式可以是亮起報(bào)警信號(hào)燈或者發(fā)出報(bào)警音等。通過發(fā)出報(bào)警信號(hào)，告知設(shè)備維護(hù)人員，避免設(shè)備出現(xiàn)故障，待設(shè)備維護(hù)人員檢查修復(fù)問題后，再恢復(fù)設(shè)備運(yùn)行。本發(fā)明實(shí)施例中，對射傳感器的接收端通過光耦電路與驅(qū)動(dòng)器相連。作為一個(gè)優(yōu)選方案，報(bào)警信號(hào)線也與光耦電路相連。傳感器信號(hào)控制的光耦電路示意圖如圖4所示，當(dāng) 托架平穩(wěn)上升或下降，接收端接收到發(fā)射端發(fā)出的信號(hào)時(shí)，光耦41導(dǎo)通，繼電器42動(dòng)作，驅(qū)動(dòng)器的控制信號(hào)線43導(dǎo)通，驅(qū)動(dòng)器運(yùn)轉(zhuǎn)，同時(shí)報(bào)警器44關(guān)閉；當(dāng)托架上升或下降不穩(wěn)定時(shí)，接收端接收不到發(fā)射端發(fā)出的信號(hào)，光耦41不導(dǎo)通，驅(qū)動(dòng)器的控制信號(hào)線43斷開，驅(qū)動(dòng)器停止運(yùn)轉(zhuǎn)，同時(shí)報(bào)警器44發(fā)出報(bào)警信號(hào)。由于對射傳感器信號(hào)的驅(qū)動(dòng)能力有限，所以借助驅(qū)動(dòng)能力更強(qiáng)的光耦電路間接控制驅(qū)動(dòng)器和報(bào)警器。實(shí)施例2 本實(shí)施例與實(shí)施例I基本相同，其不同點(diǎn)在于本實(shí)施例中，對射傳感器的接收端通過可編程邏輯控制器(Programmable Logic Controller,PLC)或者現(xiàn)場總線與驅(qū)動(dòng)器相連。PLC或者現(xiàn)場總線能夠直接采集對射傳感器的傳感信號(hào)，以控制驅(qū)動(dòng)器和報(bào)警器，產(chǎn)生的技術(shù)效果與光耦電路相同，可根據(jù)具體情況選擇方便的實(shí)現(xiàn)方式。實(shí)施例3 如圖5所示，本發(fā)明實(shí)施例所提供的雙臂升降裝置，包括兩個(gè)導(dǎo)向架5以及分別設(shè)置于兩個(gè)導(dǎo)向架5上的兩個(gè)升降臂4，由驅(qū)動(dòng)器6驅(qū)動(dòng)升降臂4沿導(dǎo)向架5上升或下降，兩個(gè)升降臂4分別與托架2的兩端相連，還包括對射傳感器，對射傳感器的發(fā)射端71和接收端72分別設(shè)置于兩個(gè)升降臂4上。對射傳感器的接收端72用于接收發(fā)射端71發(fā)出的信號(hào)，當(dāng)托架2平穩(wěn)上升或下降時(shí)，兩個(gè)升降臂4上的發(fā)射端71和接收端72位于同一高度，接收端72就能夠接收到發(fā)射端71發(fā)出的信號(hào)，并以此作為驅(qū)動(dòng)器6運(yùn)轉(zhuǎn)的先決條件。如果采用PNP型傳感器，傳感信號(hào)為高電平；如果采用NPN型傳感器，傳感信號(hào)為低電平。當(dāng)兩個(gè)升降臂4沿導(dǎo)向架5上升或下降的速度不同步，導(dǎo)致托架2不穩(wěn)定時(shí)，兩個(gè)升降臂4上的發(fā)射端71和接收端72就處在不同的高度，接收端72就接收不到發(fā)射端71發(fā)出的信號(hào)，此時(shí)不滿足驅(qū)動(dòng)器6運(yùn)轉(zhuǎn)的先決條件，所以驅(qū)動(dòng)器6就會(huì)停止工作。通過設(shè)置對射傳感器，為驅(qū)動(dòng)器6的運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)定了一個(gè)先決條件，從而保證了托架2平穩(wěn)上升或下降。除此之外，本發(fā)明實(shí)施例對單臂升降裝置現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)作了最小限度的改進(jìn)，沒有改變單臂升降裝置原有的構(gòu)造，所以對正常的生產(chǎn)過程不會(huì)造成負(fù)面影響。
本發(fā)明實(shí)施例中，還包括與對射傳感器的接收端相連的報(bào)警器。當(dāng)對射傳感器的接收端接收不到發(fā)射端發(fā)出的信號(hào)時(shí)，驅(qū)動(dòng)器停止工作的同時(shí)，還會(huì)發(fā)出報(bào)警信號(hào)，報(bào)警信號(hào)的具體形式可以是亮起報(bào)警信號(hào)燈或者發(fā)出報(bào)警音等。通過發(fā)出報(bào)警信號(hào)，告知設(shè)備維護(hù)人員，避免設(shè)備出現(xiàn)故障，待設(shè)備維護(hù)人員檢查修復(fù)問題后，再恢復(fù)設(shè)備運(yùn)行。本發(fā)明實(shí)施例中，對射傳感器的接收端通過光耦電路與驅(qū)動(dòng)器相連。作為一個(gè)優(yōu)選方案，報(bào)警信號(hào)線也與光耦電路相連。當(dāng)托架平穩(wěn)上升或下降，接收端接收到發(fā)射端發(fā)出的信號(hào)時(shí)，光耦導(dǎo)通，繼電器動(dòng)作，驅(qū)動(dòng)器的控制信號(hào)線導(dǎo)通，驅(qū)動(dòng)器運(yùn)轉(zhuǎn)，同時(shí)報(bào)警信號(hào)關(guān)閉；當(dāng)托架上升或下降不穩(wěn)定時(shí)，接收端接收不到發(fā)射端發(fā)出的信號(hào)，光耦不導(dǎo)通，驅(qū)動(dòng)器的控制信號(hào)線斷開，驅(qū)動(dòng)器停止運(yùn)轉(zhuǎn)，同時(shí)發(fā)出報(bào)警信號(hào)。由于對射傳感器信號(hào)的驅(qū)動(dòng)能力有限，所以借助驅(qū)動(dòng)能力更強(qiáng)的光耦電路間接控制驅(qū)動(dòng)器和報(bào)警器。由于本發(fā)明實(shí)施例與上述本發(fā)明實(shí)施例所提供的單臂升降裝置具有相同的技術(shù)特征，所以也能產(chǎn)生相同的技術(shù)效果，解決相同的技術(shù)問題。實(shí)施例4: 本實(shí)施例與實(shí)施例3基本相同，其不同點(diǎn)在于本實(shí)施例中，對射傳感器的接收端通過可編程邏輯控制器(Programmable Logic ControlIer7PLC)或者現(xiàn)場總線與驅(qū)動(dòng)器相連。PLC或者現(xiàn)場總線能夠直接采集對射傳感器的傳感信號(hào)，以控制驅(qū)動(dòng)器和報(bào)警器，產(chǎn)生的技術(shù)效果與光耦電路相同，可根據(jù)具體情況選擇方便的實(shí)現(xiàn)方式。以上所述，僅為本發(fā)明的具體實(shí)施方式
，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種單臂升降裝置，包括導(dǎo)向架以及設(shè)置于所述導(dǎo)向架上的升降臂，由驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述升降臂沿所述導(dǎo)向架上升或下降，所述升降臂與托架的一端相連，其特征在于還包括對射傳感器，所述對射傳感器的發(fā)射端設(shè)置于所述升降臂上，所述對射傳感器的接收端設(shè)置于所述托架遠(yuǎn)離所述升降臂的一端； 或者，所述對射傳感器的接收端設(shè)置于所述升降臂上，所述對射傳感器的發(fā)射端設(shè)置于所述托架遠(yuǎn)離所述升降臂的一端。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單臂升降裝置，其特征在于還包括與所述對射傳感器的接收端相連的報(bào)警器。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單臂升降裝置，其特征在于所述對射傳感器的接收端通過光耦電路與所述驅(qū)動(dòng)器相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單臂升降裝置，其特征在于所述對射傳感器的接收端通過可編程邏輯控制器或現(xiàn)場總線與所述驅(qū)動(dòng)器相連。
5.一種雙臂升降裝置，包括兩個(gè)導(dǎo)向架以及分別設(shè)置于所述兩個(gè)導(dǎo)向架上的兩個(gè)升降臂，由驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述升降臂沿所述導(dǎo)向架上升或下降，所述兩個(gè)升降臂分別與托架的兩端相連，其特征在于還包括對射傳感器，所述對射傳感器的發(fā)射端和接收端分別設(shè)置于所述兩個(gè)升降臂上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙臂升降裝置，其特征在于還包括與所述對射傳感器的接收端相連的報(bào)警器。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙臂升降裝置，其特征在于所述對射傳感器的接收端通過光耦電路與所述驅(qū)動(dòng)器相連。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙臂升降裝置，其特征在于所述對射傳感器的接收端通過可編程邏輯控制器或現(xiàn)場總線與所述驅(qū)動(dòng)器相連。
全文摘要
本發(fā)明實(shí)施例公開了一種單臂升降裝置和一種雙臂升降裝置，屬于電子制造技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明提供的單臂升降裝置和雙臂升降裝置能夠保證托架平穩(wěn)上升或下降。該單臂升降裝置，包括對射傳感器，對射傳感器的發(fā)射端設(shè)置于升降臂上，對射傳感器的接收端設(shè)置于托架遠(yuǎn)離升降臂的一端；或者，對射傳感器的接收端設(shè)置于升降臂上，對射傳感器的發(fā)射端設(shè)置于托架遠(yuǎn)離升降臂的一端。該雙臂升降裝置，包括對射傳感器，對射傳感器的發(fā)射端和接收端分別設(shè)置于兩個(gè)升降臂上。本發(fā)明應(yīng)用于改進(jìn)升降裝置。
文檔編號(hào)B66F7/28GK102817010SQ20111015639
公開日2012年12月12日 申請日期2011年6月10日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月10日
發(fā)明者趙海洋 申請人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司