專利名稱：有機(jī)電致發(fā)光顯示器及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及有機(jī)EL(Electroluminescence，電致發(fā)光)顯示器及其制造方法。
背景技術(shù)：
近年來，作為下一代的平板顯示器面板，有機(jī)EL顯示器備受期待。有機(jī)EL顯示器為自發(fā)光，因而不存在視角依存性，具有能夠?qū)崿F(xiàn)高對比度、薄型、輕量、低功耗的優(yōu)點(diǎn)。構(gòu)成有機(jī)EL顯示器的有機(jī)EL元件基本上具有像素電極及對向電極和配置在像素電極及對向電極之間的有機(jī)層。有機(jī)層由含有熒光體分子的發(fā)光層、夾著發(fā)光層的電子傳導(dǎo)性的薄膜及空穴傳導(dǎo)性的薄膜構(gòu)成。在向電子傳導(dǎo)性的薄膜注入電子的對向電極與對空穴傳導(dǎo)性的薄膜注入空穴的像素電極之間施加有電壓時，從像素電極注入空穴，從對向電極注入電子，電子與空穴在發(fā)光層內(nèi)結(jié)合，發(fā)光層發(fā)光。有機(jī)EL顯示器的制造方法具有層疊厚度為數(shù)十納米的有機(jī)層及薄膜電極的步驟。這些層疊步驟是在無塵室內(nèi)進(jìn)行，但是無法完全去除來自用于形成有機(jī)層的機(jī)械材料或周邊環(huán)境的顆粒等異物。因此，在制造有機(jī)EL顯示器的過程中，有時會有異物混入有機(jī)層。在有機(jī)層中混入了異物的情況下，如果對像素電極與對向電極之間施加電壓，則電流會流過異物而在電極間發(fā)生泄漏。若電流發(fā)生泄漏，則有機(jī)EL顯示器的發(fā)光效率下降，并造成功耗的上升。另外，在存在異物的像素中，由于異物造成的電流泄漏，該像素中的有機(jī)層(發(fā)光層)中流過的電流量減小。因此，該像素整體的發(fā)光層的亮度下降。進(jìn)而，若有存在異物的像素，則會引起有機(jī)EL顯示器的亮度不均。作為用于使流過混入到有機(jī)層的異物的電流的泄漏停止的方法，已知激光修復(fù)法。所謂激光修復(fù)法，是指通過對有機(jī)層的混入了異物的部分(以下也稱作“缺陷部”)照射激光，從而防止流過異物的電流的泄漏的方法(例如參照專利文獻(xiàn)1 12)。專利文獻(xiàn)1中公開了以下方法對具有濾色片的有機(jī)EL元件的缺陷部處的像素電極照射激光，僅使像素電極產(chǎn)生多光子吸收。由此，能夠不破壞濾色片等其他部件，而僅破壞缺陷部的像素電極(絕緣化)，從而抑制流過異物的像素電極與對向電極之間的電流的泄漏。專利文獻(xiàn)2 5中公開了以下方法通過激光照射而去除缺陷部的像素電極或?qū)ο螂姌O中的任一者，從而防止異物造成的電流泄漏。專利文獻(xiàn)6中公開了以下方法通過激光照射而使缺陷部的電極氧化，從而使缺陷部的電極絕緣化。通過對缺陷部絕緣化，能夠防止異物造成的電流泄漏。專利文獻(xiàn)7 9中公開了以下方法通過激光照射而使缺陷部的異物自身絕緣化， 從而防止異物造成的電流泄漏。專利文獻(xiàn)10 12中公開了具有控制部及光束發(fā)生器的激光修復(fù)裝置。通過將來自光束發(fā)生器的光束照射至由控制部指定了位置的有機(jī)EL顯示器面板上的缺陷部，從而能夠?qū)⑷毕莶拷^緣以實(shí)現(xiàn)修復(fù)。
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專利文獻(xiàn)1 (日本)特開2008-235178號公報專利文獻(xiàn)2 (日本)特開2009-16195號公報專利文獻(xiàn)3 (日本)特開2001-176672號公報專利文獻(xiàn)4 (日本)特開2006-278343號公報專利文獻(xiàn)5 美國專利申請案公開第2004/0070336號公報專利文獻(xiàn)6 (日本)特開2002-260857號公報專利文獻(xiàn)7 (日本)特開2004-227852號公報專利文獻(xiàn)8 (日本)特開2003-178871號公報專利文獻(xiàn)9 美國專利申請案公開第2002/01似697號公報專利文獻(xiàn)10 美國專利申請案公開第2006/0017395號公報專利文獻(xiàn)11 美國專利申請案公開第2006/0028217號公報專利文獻(xiàn)12 美國專利申請案公開第2006/0076555號公報但是，如果成為暗點(diǎn)的缺陷部(非發(fā)光區(qū)域)與發(fā)光區(qū)域之間的亮度差較大，則有可能導(dǎo)致有機(jī)EL顯示器的畫質(zhì)降低。尤其，本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，如果如專利文獻(xiàn)1中所記載，在缺陷部上殘存濾色片，則缺陷部(非發(fā)光區(qū)域)與發(fā)光區(qū)域之間的亮度差會變得更加顯著。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供抑制缺陷部的亮度下降的有機(jī)EL顯示器的制造方法。本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，只要去除缺陷部上的濾色片，就能夠抑制缺陷部(非發(fā)光區(qū)域)處的亮度下降，經(jīng)進(jìn)一步深入研究而完成發(fā)明。也就是說，本發(fā)明的第1形態(tài)涉及以下所示的有機(jī)EL顯示器的制造方法。[1]有機(jī)EL顯示器的制造方法，包括以下步驟準(zhǔn)備具有基板和呈矩陣狀地配置在所述基板上的有機(jī)EL元件的有機(jī)EL面板，所述有機(jī)EL元件分別具有配置在所述基板上的像素電極、配置在所述像素電極上的有機(jī)層、配置在所述有機(jī)層上的透明對向電極、配置在所述透明對向電極上的保護(hù)層及配置在所述保護(hù)層上的濾色片；檢測存在于所述有機(jī) EL元件內(nèi)的所述有機(jī)層上的缺陷部；對所述透明對向電極中的所述缺陷部上的區(qū)域，透過所述濾色片來照射激光，破壞所述區(qū)域的透明對向電極；以及去除所述濾色片中的所述缺陷部上的區(qū)域。[2]如[1]所述的有機(jī)EL顯示器的制造方法，所述照射的激光的波長為400nm以下。[3]如[1]或[2]所述的有機(jī)EL顯示器的制造方法，所述去除濾色片的步驟與所述破壞透明對向電極的步驟為同一步驟。[4]如[1]或[2]所述的有機(jī)EL顯示器的制造方法，所述去除濾色片的步驟與所述破壞透明對向電極的步驟為不同的步驟，所述濾色片的去除通過對所述濾色片中的所述缺陷部上的區(qū)域照射激光來進(jìn)行。[5]如[1]至[4]中任一項所述的有機(jī)EL顯示器的制造方法，在所述去除濾色片的步驟中，在所述濾色片上形成貫穿痕。[6]如[1]至[4]中任一項所述的有機(jī)EL顯示器的制造方法，在所述去除濾色片的步驟中，使所述濾色片變薄。
[7]如[1]至W]中任一項所述的有機(jī)EL顯示器的制造方法，通過所述激光的照射而在所述保護(hù)層內(nèi)形成微小的氣泡。本發(fā)明的第二形態(tài)是有關(guān)以下所示的有機(jī)EL顯示面板。[8]有機(jī)EL顯示器，具有基板和呈矩陣狀地配置在所述基板上的有機(jī)EL元件，所述有機(jī)EL元件分別具有配置在所述基板上的像素電極、配置在所述像素電極上的有機(jī)層、 配置在所述有機(jī)層上的透明對向電極、配置在所述透明對向電極上的保護(hù)層及配置在所述保護(hù)層上的濾色片；至少一個所述有機(jī)EL元件在所述有機(jī)層上具有缺陷部；以及所述透明對向電極中的所述缺陷部上的區(qū)域被破壞，所述濾色片中的所述缺陷部上的區(qū)域被去除。根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器的制造方法，由于非發(fā)光區(qū)域上的濾色片也被去除， 因此能夠抑制非發(fā)光區(qū)域的亮度下降，能夠抑制有機(jī)EL顯示器上的亮度不均(后述)。


圖1是表示通過激光照射被破壞的透明對向電極的圖。圖2是表示本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器發(fā)光狀態(tài)的圖。圖3是本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器中所含的有機(jī)發(fā)光元件的剖面圖。圖4是表示實(shí)施方式1的有機(jī)EL顯示器的制造方法的一部分的圖。圖5是表示實(shí)施方式2的有機(jī)EL顯示器的制造方法的一部分的圖。圖6是表示實(shí)施方式3的有機(jī)EL顯示器的制造方法的一部分的圖。圖7是表示實(shí)施方式4的有機(jī)EL顯示器的制造方法的一部分的圖。圖8是實(shí)施例中準(zhǔn)備的有機(jī)EL元件的圖。圖9是表示實(shí)施例1的結(jié)果的圖表。符號說明10密封玻璃
11濾色片
12保護(hù)層
13透明對向電極
14有機(jī)層
15像素電極
16基板
17空穴注入層
18空穴輸送層
19電子輸送層
20玻璃板
21異物
31激光光源
32激光
33狹縫
34聚光透鏡
35貫穿痕
36透明對向電極破壞部40濾色片薄的區(qū)域41 氣泡100有機(jī)EL元件101缺陷部200激光裝置
具體實(shí)施例方式1.本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器的制造方法本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器的制造方法具有1)準(zhǔn)備有機(jī)EL面板的第1步驟；2)對構(gòu)成有機(jī)EL面板的有機(jī)EL元件內(nèi)的有機(jī)層上的缺陷部進(jìn)行檢測的第2步驟；以及3)對透明對向電極中缺陷部上的區(qū)域，透過濾色片來照射激光，破壞所照射的區(qū)域的透明對向電極的第3步驟。以下，對各個步驟進(jìn)行詳細(xì)說明。1)第1步驟中，準(zhǔn)備有機(jī)EL面板。第1步驟中準(zhǔn)備的有機(jī)EL面板為頂部發(fā)光型。 有機(jī)EL面板具有基板和呈矩陣狀地配置在基板上的有機(jī)EL元件。各個有機(jī)EL元件具有配置在基板上的像素電極、配置在像素電極上的有機(jī)層、配置在有機(jī)層上的透明對向電極、 配置在透明對向電極上的保護(hù)層以及配置在保護(hù)層上的濾色片。本發(fā)明尤其在制造大屏幕的有機(jī)EL顯示器時發(fā)揮效果。在制造大屏幕的有機(jī)EL 顯示器時，顆粒等異物有可能混入有機(jī)層內(nèi)，因此通過本發(fā)明來防止流過缺陷部的電流的泄漏的必要性較大。另外，有機(jī)EL元件中的有機(jī)層既可利用蒸鍍法形成，也可利用涂覆法形成。從有機(jī)EL顯示器的大屏幕化的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選的是利用涂覆法來形成有機(jī)層。涂覆法的例子包括噴墨法、分配器分配法、噴嘴涂覆法、旋轉(zhuǎn)涂覆法、凹版印刷、凸版印刷等。另一方面，當(dāng)利用蒸鍍法來形成有機(jī)層時，有可能從金屬掩膜混入顆粒等異物。因此，即使在利用蒸鍍法來形成有機(jī)層的情況下，通過本發(fā)明也能有效地防止流過缺陷部的電流的泄漏。有機(jī)EL面板中所含的有機(jī)EL元件通過層疊電極及有機(jī)層的薄膜而制造。對于各薄膜，要求數(shù)十納米級別的膜厚管理。在有機(jī)EL元件的制造時，通常會實(shí)施制造環(huán)境的管理或制造設(shè)備的維護(hù)，但有時會有異物混入有機(jī)層內(nèi)(參照圖3)。在以下的第2步驟及第3步驟中，對防止流過這樣的混入了異物的有機(jī)層的區(qū)域 (以下也稱作“缺陷部”)的電流的泄漏的方法進(jìn)行說明。2)第2步驟中，對在有機(jī)EL元件內(nèi)的有機(jī)層中混入了顆粒等異物的缺陷部(參照圖3)進(jìn)行檢測。檢測缺陷部的方法并不受特別限定，包括外觀檢查的方法或者對有機(jī)EL 顯示器施加逆偏壓或順偏壓的電壓以檢測泄漏發(fā)光的方法。3)第3步驟中，對透明對向電極中第2步驟中確定出的缺陷部上的區(qū)域，透過濾色片來照射激光，破壞透明對向電極中的缺陷部上的區(qū)域(以下也簡稱為“破壞透明對向電極”)。此處，“對透明對向電極照射激光”是指將焦點(diǎn)對準(zhǔn)透明對向電極來照射激光。另外，“破壞透明對向電極”是指破壞透明對向電極的功能(即，使得電流不會流過)。圖1表示通過激光照射被破壞的透明對向電極。圖1中，13表示透明對向電極，14 表示有機(jī)層。如圖1所示，“破壞透明對向電極”是指在照射了激光的區(qū)域的透明對向電極
713與有機(jī)層14之間形成空間X (圖1A)，或使照射了激光的區(qū)域的透明對向電極13改性而形成裂痕(圖1B)，使照射了激光的區(qū)域的透明對向電極13破碎(圖1C)，從而使得電流不會通過缺陷部流入照射了激光的部位的透明對向電極13。另外，本發(fā)明中，在透明對向電極上設(shè)有保護(hù)層，因此在破壞透明對向電極時，透明對向電極的碎片不會飛散。因此，因透明對向電極的破壞而產(chǎn)生的透明對向電極的碎片不會成為有機(jī)EL顯示器的進(jìn)一步故障的原因。通過破壞透明對向電極中的缺陷部上的區(qū)域，防止流過缺陷部的電流的泄漏，缺陷部成為非發(fā)光區(qū)域，但作為有機(jī)EL元件的功能得到修復(fù)。優(yōu)選的是，透明對向電極上的激光的照射面積比缺陷部的面積大20 50%。激光的照射面積能夠通過激光器上設(shè)置的狹縫等來進(jìn)行調(diào)節(jié)。狹縫是指用于在縱向、橫向上自由改變激光的光點(diǎn)大小(size)的部件。通過使用狹縫，能夠?qū)?yīng)于缺陷部的面積來適當(dāng)調(diào)節(jié)激光的照射面積。發(fā)出用于照射的激光的激光光源并不受特別限定，例如為閃光燈激勵Nd:YAG激光器。當(dāng)使用Nd: YAG激光器時，能夠從作為基本波長的1064nm、作為第二諧波的532nm、作為第三諧波的355nm、作為第四諧波的中選擇激光的波長。對透明對向電極照射的激光的波長并不受特別限定，但優(yōu)選的是IlOOnm以下，特別優(yōu)選的是400nm以下。也就是說，如果是Nd:YAG激光器，則使用第三諧波或第四諧波即可。其原因在于，如果波長為400nm以下，則對位于透明對向電極之下的有機(jī)層造成的影響較小。透明對向電極上的激光的能量(激光的照射能量密度)根據(jù)透明對向電極的材料或厚度等選擇。例如，當(dāng)使用Nd: YAG激光器來破壞透明對向電極(透明對向電極的材料 ΙΤ0，透明對向電極的厚度100nm)時，如果不考慮后述的濾色片對激光的影響，則優(yōu)選的是，將激光的波長設(shè)為第三諧波(355nm)，將激光的照射能量密度設(shè)為0. 05 0. 15J/cm2。這樣，本發(fā)明中，破壞透明對向電極中的缺陷部上的區(qū)域，防止流過缺陷部的電流的泄漏，因此不會對有機(jī)層或TFT造成損傷而能夠修復(fù)有機(jī)EL元件。本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器的制造方法的特征在于還包括去除濾色片中的在第2步驟檢測出的有機(jī)層的缺陷部上的區(qū)域(以下也簡稱為“去除濾色片”)的步驟。去除濾色片的步驟(以下也簡稱為“濾光片去除步驟”)既可與所述第3步驟為同一步驟(參照實(shí)施方式1)，也可與第3步驟為不同的步驟(參照實(shí)施方式2及3)。如果濾光片去除步驟與第3步驟為同一步驟，則在通過激光的照射來破壞透明對向電極的同時也去除濾色片。另一方面，濾光片去除步驟與第3步驟為不同的步驟時，濾光片去除步驟中的濾光片的去除可通過對濾色片中的缺陷部上的區(qū)域照射激光來進(jìn)行。濾光片去除步驟與第 3步驟為不同的步驟時，濾光片去除步驟既可在第3步驟之前也可在之后進(jìn)行，但優(yōu)選的是在第3步驟之前。此處，“對濾色片照射激光”是指將焦點(diǎn)對準(zhǔn)濾色片來照射激光。這里，“去除濾色片”，既可指將照射了激光的區(qū)域的濾色片完全去除，在濾色片上形成貫穿痕(參照實(shí)施方式1及2)，而且也可指將照射了激光的區(qū)域的濾色片的表面局部去除，使濾色片變薄(參照實(shí)施方式3)。為了使濾色片變薄，例如只要照射比在濾色片上形成貫穿痕時更容易穿透濾色片的波長的激光，或者降低激光的照射能量密度即可。優(yōu)選的是，濾色片上的激光的照射面積比缺陷部的面積大30 60%。這樣，在本發(fā)明中，通過去除濾色片中的缺陷部上的區(qū)域，能夠抑制缺陷部(非發(fā)光區(qū)域)的亮度下降。去除濾色片與抑制非發(fā)光區(qū)域的亮度下降的關(guān)系將在后述的“2.本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器”的說明中進(jìn)行詳細(xì)說明。對于在第3步驟中對透明對向電極照射的激光的波長而言，在濾光片去除步驟與第3步驟為同一步驟的情況下(參照實(shí)施方式1)和與第3步驟為不同步驟的情況下(參照實(shí)施方式2及3)不同。以下，說明每種情況下對透明對向電極照射的激光的波長。(1)濾光片去除步驟與第3步驟為同一步驟的情況濾光片去除步驟與第3步驟為同一步驟時，優(yōu)選的是，對透明對向電極照射的激光具有不會穿透濾色片的波長。其原因在于，濾光片去除步驟與第3步驟為同一步驟時，對透明對向電極照射的激光的一部分也必須被濾色片吸收。濾色片根據(jù)其顏色的不同，光的穿透率不同。例如紅色的濾色片對于波長600nm 以上的光的穿透率較高；綠色的濾色片對于波長480 580nm及790nm以上的光的穿透率較高；藍(lán)色的濾色片對于波長430 500nm及850nm以上的光的穿透率較高。因此，如果缺陷部上的濾色片為紅色，則將激光的波長設(shè)定為小于eOOnm;如果缺陷部上的濾色片為綠色，則將激光的波長設(shè)定為小于480nm或者大于580nm 小于790nm ；如果缺陷部上的濾色片為藍(lán)色，則將激光的波長設(shè)定為小于430nm或者大于500nm 小于850nm即可。(2)濾光片去除步驟與第3步驟為不同步驟的情況如果濾光片去除步驟與第3步驟為不同的步驟，則在i)在照射激光的區(qū)域的透明對向電極上存在濾色片的情況下(參照實(shí)施方式3)和ii)在照射激光的區(qū)域的透明對向電極上不存在濾色片的情況下(參照實(shí)施方式2)，激光的波長進(jìn)一步不同。例如i)如果在濾光片去除步驟之前進(jìn)行第3步驟，或者如果在濾光片去除步驟中使濾色片變薄之后進(jìn)行第3步驟，則在照射激光的區(qū)域的透明對向電極上存在濾色片。另一方面，ii)例如，如果在濾光片去除步驟中在濾色片上形成貫穿痕之后進(jìn)行第3步驟，則在照射激光的區(qū)域的透明對向電極上不存在濾色片。i)在照射激光的區(qū)域的透明對向電極上存在濾色片的情況如果在照射激光的區(qū)域的透明對向電極上存在濾色片，則要求激光不會對濾色片造成影響而破壞透明對向電極，因此優(yōu)選的是具有穿透濾色片的波長。因此，如果缺陷部上的濾色片為紅色，則將激光的波長設(shè)定為eOOnm以上；如果缺陷部上的濾色片為綠色，則將激光的波長設(shè)定為480 580nm或790nm以上；如果缺陷部上的濾色片為藍(lán)色，則將激光的波長設(shè)定為430 500nm或850nm以上即可。ii)在照射激光的區(qū)域的透明對向電極上不存在濾色片的情況如果在照射激光的區(qū)域的透明對向電極上不存在濾色片，則也可不考慮激光對濾色片造成的影響，因此能夠任意設(shè)定激光的波長。優(yōu)選的是，激光的波長設(shè)定為對有機(jī)層造成的影響較小的400nm以下。這樣，根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器的制造方法，不會對有機(jī)層造成損傷而能夠使缺陷部成為非發(fā)光區(qū)域，因此功耗下降，發(fā)光效率上升。另外，由于去除缺陷部上的濾色片，因此非發(fā)光區(qū)域的亮度上升，從而能夠減少有機(jī)EL顯示器的亮度不均。2.本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器是通過所述的本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器的制造方法而制造出的有機(jī)EL顯示器。本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器為頂部發(fā)光型，具有基板及呈矩陣狀地配置在基板上的有機(jī)EL元件。有機(jī)EL元件具有配置在基板上的像素電極、配置在像素電極上的有機(jī)層、配置在有機(jī)層上的透明對向電極、配置在透明對向電極上的保護(hù)層及配置在保護(hù)層上的濾色片。 另外，也可以在濾色片上進(jìn)一步配置密封玻璃?；鍨榻^緣性的板。另外，也可以在基板中內(nèi)置薄膜晶體管(Thin Film Transistor (TFT))。像素電極是配置在基板上的導(dǎo)電性的部件。像素電極通常作為陽極發(fā)揮作用，但也可作為陰極發(fā)揮作用。另外，優(yōu)選的是像素電極具有光反射性。這樣的像素電極的材料的例子包括APC合金(銀、鈀、銅的合金)或ARA (銀、釕、金的合金)、MoCr(鉬與鉻的合金)、 NiCr(鎳與鉻的合金)等。另外，像素電極也可通過接觸孔連接到TFT的源電極或漏電極。有機(jī)層具有包含有機(jī)發(fā)光材料的有機(jī)發(fā)光層。優(yōu)選的是，有機(jī)發(fā)光層中所含的有機(jī)發(fā)光材料是能夠利用涂覆法形成的高分子有機(jī)發(fā)光材料。高分子有機(jī)發(fā)光材料的例子包括，聚對苯乙炔及其衍生物、聚乙炔及其衍生物、聚苯撐及其衍生物、聚對苯撐乙炔及其衍生物、聚3-己基噻吩及其衍生物、聚弗及其衍生物等。另外，有機(jī)發(fā)光層根據(jù)有機(jī)EL元件的配置位置而發(fā)出紅、綠或藍(lán)色的任一種光。 有機(jī)層還可以具有空穴注入層、空穴輸送層、電子輸送層等。透明對向電極是配置在有機(jī)層上的導(dǎo)電性的透明部件。對向電極通常作為陰極發(fā)揮作用，但也可以作為陽極發(fā)揮作用。這樣的透明對向電極的材料的例子包括ITO或IZO 等。透明對向電極的厚度為約lOOnm。本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器的特征在于，透明對向電極中的有機(jī)層的缺陷部上的區(qū)域被選擇性地破壞。保護(hù)層是用于保護(hù)有機(jī)層不受水或氧影響的部件。保護(hù)層的材料的例子包括氮化硅(SiNx)等無機(jī)物或UV硬化樹脂等有機(jī)物。濾色片的顏色根據(jù)有機(jī)EL元件發(fā)出的顏色來適當(dāng)選擇。具體而言，含有發(fā)出紅色光的有機(jī)層的有機(jī)EL元件具有紅色的濾色片，含有發(fā)出綠色光的有機(jī)層的有機(jī)EL元件具有綠色的濾色片，含有發(fā)出藍(lán)色光的有機(jī)層的有機(jī)EL元件具有藍(lán)色的濾色片。濾色片的材料例如為彩色抗蝕劑。另外，濾色片的厚度為約lym。本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器的特征在于，濾色片中的有機(jī)層的缺陷部上的區(qū)域被選擇性地去除。這樣，本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器中，濾色片中的缺陷部上的區(qū)域被去除，所以可抑制缺陷部(非發(fā)光區(qū)域)的亮度下降。以下，使用附圖，對去除濾色片與抑制非發(fā)光區(qū)域的亮度下降之間的關(guān)系進(jìn)行說明。圖2表示本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器中所包含的且具有缺陷部的有機(jī)EL元件100。 在有機(jī)EL元件100中，透明對向電極中的缺陷部上的區(qū)域被破壞，濾色片中的缺陷部上的區(qū)域被去除。有機(jī)EL元件100具有基板16、像素電極15、有機(jī)層14、透明對向電極13、保護(hù)層12、濾色片11及密封玻璃10。
另外，在有機(jī)層14中混入了異物21?；烊肓水愇?1的有機(jī)層14的區(qū)域構(gòu)成缺陷部101。圖2中的箭頭50表示從有機(jī)層14發(fā)出的光。如上所述，缺陷部101為非發(fā)光區(qū)域，因此如圖2所示，缺陷部101不發(fā)光。但是， 從缺陷部101周圍的有機(jī)層14發(fā)出的也會擴(kuò)散到缺陷部101上的區(qū)域。因此，也能夠從作為非發(fā)光區(qū)域的缺陷部101導(dǎo)出光。進(jìn)而，本發(fā)明中，缺陷部101上的濾色片11被去除，因此擴(kuò)散到缺陷部101上的區(qū)域的光不會通過濾色片11。因此，擴(kuò)散到缺陷部101上的區(qū)域的光射出到外部而不會因?yàn)V色片11發(fā)生衰減。因此，即使缺陷部101為非發(fā)光區(qū)域，也能夠使從缺陷部101的周邊的有機(jī)層14擴(kuò)散的光不發(fā)生衰減而從缺陷部101導(dǎo)出，因此可抑制缺陷部101的亮度下降。以下，參照附圖，對本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器的制造方法的實(shí)施方式進(jìn)行說明。另外，在實(shí)施方式中，說明對所述有機(jī)EL元件內(nèi)的有機(jī)層中的缺陷部進(jìn)行檢測的第2步驟后的、第3步驟(破壞透明對向電極的步驟)及濾色片的去除步驟。(實(shí)施方式1)在實(shí)施方式1中，對第3步驟與去除濾色片的步驟(濾光片去除步驟)為同一步驟的例子進(jìn)行說明。圖3A是表示通過本發(fā)明的制造方法中的第2步驟(對有機(jī)EL元件內(nèi)的有機(jī)層中的缺陷部進(jìn)行檢測的步驟)所檢測出的、具有缺陷部的有機(jī)EL元件100的圖。圖3A的有機(jī)EL元件100具有基板16、像素電極15、有機(jī)層14、透明對向電極13、 保護(hù)層12、濾色片11及密封玻璃10。有機(jī)層14具有異物21，混入了異物21的有機(jī)層的區(qū)域構(gòu)成缺陷部101。另一方面，本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器也包括圖;3B所示的不含有缺陷部的有機(jī)EL元件 103。圖4是表示實(shí)施方式1的第3步驟及濾光片去除步驟的圖。如圖4所示，在第3 步驟及濾光片去除步驟中所使用的激光裝置200具有激光光源31、狹縫33及聚光透鏡34。如圖4所示，在本實(shí)施方式的第3步驟中，將焦點(diǎn)對準(zhǔn)透明對向電極13上，對透明對向電極13中的缺陷部101上的區(qū)域，透過濾色片11來照射激光32。所照射的激光32的波長及激光的照射能量密度只要調(diào)整成，當(dāng)將焦點(diǎn)對準(zhǔn)透明對向電極13來對透明對向電極13照射激光32時，能夠同時實(shí)現(xiàn)透明對向電極13的破壞及濾色片11的去除即可。例如，如果激光光源31為閃光燈激勵的Nd: YAG激光器且濾色片11為紅色，只要將激光32的波長設(shè)為532nm(第二諧波)，并使透明對向電極13上的激光的照射能量密度高于0. 7J/cm2即可；如果濾色片11為綠色，只要將激光32的波長設(shè)為355nm (第三諧波)， 并使透明對向電極13上的激光的照射能量密度為0. 41J/cm2以上即可；如果濾色片為藍(lán)色，只要將激光32的波長設(shè)為355nm，并使透明對向電極13上的激光的照射能量密度高于 0. 41J/cm2,或者將激光32的波長設(shè)為532nm，并使透明對向電極13上的激光的照射能量密度為0. 63J/cm2以上即可。通過將焦點(diǎn)對準(zhǔn)透明對向電極13照射激光32，能夠在濾色片11上形成貫穿痕 35，從而能夠形成透明對向電極破壞部36。這樣，根據(jù)本實(shí)施方式，通過破壞缺陷部上的透明對向電極，能夠防止流過缺陷部的電流的泄漏。因此，不會對有機(jī)層或TFT造成損傷而能夠修復(fù)有機(jī)EL元件。另外，通過去除濾色片中的缺陷部上的區(qū)域，能夠抑制缺陷部(非發(fā)光區(qū)域)的亮度下降，能夠制造無亮度不均的有機(jī)EL顯示器。進(jìn)而，本實(shí)施方式中，能夠在同一步驟中進(jìn)行濾色片的去除及透明對向電極的破壞，因此能夠以更短的時間來修復(fù)有機(jī)EL元件。(實(shí)施方式2)在實(shí)施方式1中，對第3步驟與濾光片去除步驟為同一步驟的例子進(jìn)行了說明。在實(shí)施方式2中，對第3步驟與濾光片去除步驟為不同步驟的例子進(jìn)行說明。圖5A是表示實(shí)施方式2中的濾光片去除步驟的圖，圖5B是表示實(shí)施方式2中的第3步驟的圖。如圖5A所示，在本實(shí)施方式的濾光片去除步驟中，首先，將激光32的焦點(diǎn)對準(zhǔn)在濾色片11上，對濾色片11中的缺陷部101上的區(qū)域照射激光32，去除濾色片11中的缺陷部101上的區(qū)域而形成貫穿痕35。對濾色片11照射具有不會穿透濾色片的波長的激光32。例如，如果激光光源31為閃光燈激勵的Nd:YAG激光器且濾色片11為紅色，只要將激光32的波長設(shè)為532nm(第二諧波)，將濾色片11上的激光的照射能量密度設(shè)為 0. 48J/cm2以上，或者將激光32的波長設(shè)為355nm(第三諧波)，將濾色片11上的激光的照射能量密度設(shè)為0. 32J/cm2以上即可；如果濾色片11為綠色，只要將激光32的波長設(shè)為 355nm(第三諧波)，將濾色片11上的激光的照射能量密度設(shè)為0. 32J/cm2以上即可；如果濾色片為藍(lán)色，只要將激光32的波長設(shè)為532nm (第二諧波)，將濾色片11上的激光的照射能量密度設(shè)為0. 48J/cm2以上，或者將激光32的波長設(shè)為355nm (第三諧波)，將濾色片11 上的激光的照射能量密度設(shè)為0. 13J/cm2以上即可。隨后，在第3步驟中，將激光32的焦點(diǎn)對準(zhǔn)透明對向電極13，對透明對向電極13 中的缺陷部101上的區(qū)域照射激光32，破壞透明對向電極13(圖5B)。與實(shí)施方式1不同， 在本實(shí)施方式的第3步驟中，由于濾色片11已被去除，因此能夠不考慮濾色片11帶來的影響，而將激光32的條件設(shè)定成更適合破壞透明對向電極13的條件。例如，如果激光光源31 為閃光燈激勵的Nd: YAG激光器，只要將激光32的波長設(shè)為355nm，將透明對向電極13上的激光的照射能量密度設(shè)為0. 05 0. 15J/cm2即可。另外，當(dāng)如實(shí)施方式1那樣，在同一步驟中進(jìn)行濾色片的去除和透明對向電極的破壞時，去除的濾色片的面積有可能變大。如果對于非發(fā)光區(qū)域而言被去除的濾色片的面積過大，則未通過濾色片的光的比例增加，從而有可能對有機(jī)EL顯示器的顯色性等造成影響。另一方面，在如本實(shí)施方式那樣，在不同的步驟中進(jìn)行濾色片的去除和透明對向電極的破壞時，容易適當(dāng)選擇被去除的濾色片的面積，因此能夠抑制對顯色性的影響。(實(shí)施方式3)在實(shí)施方式1及實(shí)施方式2中說明了，將照射了激光的部位的濾色片完全去除，在濾色片上形成貫穿痕的例子。在實(shí)施方式3中，對不將照射了激光的部位的濾色片完全去除的例子進(jìn)行說明。圖6A是表示實(shí)施方式3中的濾光片去除步驟的圖，圖6B是表示實(shí)施方式3中的第3步驟的圖。如圖6A所示，在本實(shí)施方式的濾光片去除步驟中，首先將激光32的焦點(diǎn)對準(zhǔn)濾色片11上，對濾色片11中的缺陷部101上的區(qū)域照射激光32，去除濾色片11中的缺陷部101
12上的區(qū)域40，使區(qū)域40的濾色片11變薄。本實(shí)施方式的特征在于，調(diào)整激光32的波長或激光的照射能量密度，以使得照射了激光32的濾色片11不被完全去除。隨后，在本實(shí)施方式的第3步驟中，將激光32的焦點(diǎn)對準(zhǔn)透明對向電極13，對透明對向電極13中的缺陷部101上的區(qū)域照射激光32，破壞透明對向電極13 (圖6B)。本實(shí)施方式的第3步驟的特征在于，激光32被調(diào)節(jié)，以不進(jìn)一步去除在濾光片去除步驟中變薄的濾色片11。因此，第3步驟中的激光32的波長被調(diào)節(jié)，以穿透濾色片11。例如，如果激光光源31為閃光燈激勵的Nd: YAG激光器，則優(yōu)選的是將激光32的波長設(shè)為作為基本波長的 1064nm，將透明對向電極13上的激光的照射能量密度設(shè)為0. 42J/cm2以下。這樣，本實(shí)施方式中，由于缺陷部上殘留薄的濾色片，因此除了實(shí)施方式1的效果以外，還能夠抑制顯色性降低。(實(shí)施方式4)在實(shí)施方式4中，對將照射激光32或UV光時產(chǎn)生微小的氣泡的材料用于保護(hù)層的例子進(jìn)行說明。圖7是表示實(shí)施方式4的第3步驟及濾光片去除步驟的圖。如圖7所示，本實(shí)施方式中，將焦點(diǎn)對準(zhǔn)透明對向電極13，對透明對向電極13中的缺陷部101上的區(qū)域照射激光32，去除濾色片11中的缺陷部101上的區(qū)域，破壞透明對向電極13中的缺陷部101上的區(qū)域。只要將照射的激光32的波長及激光的照射能量密度調(diào)整成，在將焦點(diǎn)對準(zhǔn)透明對向電極而照射激光32時，同時實(shí)現(xiàn)透明對向電極的破壞及濾色片的去除即可。此時，激光32通過濾色片11與透明對向電極13之間的保護(hù)層12。當(dāng)激光32通過保護(hù)層12時，在保護(hù)層12上產(chǎn)生微小氣泡41。保護(hù)層12上形成的微小的氣泡41使缺陷部101的外周部的光發(fā)生散射，能夠提高缺陷部101的亮度。另外，本實(shí)施方式中，說明了將在照射激光32或UV光時產(chǎn)生微小氣泡41的材料用于保護(hù)層的例子，但是例如也可以將在照射激光32或UV光時光的折射率發(fā)生變化的材料用于保護(hù)層。這樣，根據(jù)本實(shí)施方式，除了實(shí)施方式1的效果以外，還能夠進(jìn)一步提高缺陷部的亮度，因此能夠獲得亮度不均更少的有機(jī)EL顯示器。[實(shí)施例]以下說明本發(fā)明的實(shí)施例。以下的實(shí)施例并不限定本發(fā)明的范圍。(實(shí)施例1)準(zhǔn)備有機(jī)EL元件準(zhǔn)備了圖8所示的在玻璃基板16上層疊了像素電極15、空穴注入層17、空穴輸送層18、有機(jī)發(fā)光層14、電子輸送層19及厚度IOOnm的透明對向電極13 (ITO)的有機(jī)EL元件。進(jìn)而，在準(zhǔn)備的有機(jī)EL元件上，配置玻璃板20及紅、綠或藍(lán)的濾色片11，從而準(zhǔn)備了濾色片的顏色不同的三種有機(jī)EL元件。濾色片11的材料為彩色抗蝕劑，濾色片的厚度為 1 μ m0照射激光以0. 42 4. 5J/cm2的激光照射能量密度，對準(zhǔn)備的各有機(jī)EL元件的透明對向電極照射波長為1064nm的激光，并以0. 06 0. 71J/cm2的激光照射能量密度照射波長532nm的激光，并以0. 05 0. 41J/cm2的激光照射能量密度照射波長355nm的激光。作為激光裝置使用了 AGT-2000RT (YAG激光器，株式會社AGT制造)。將激光在透明對向電極上的照射面積口設(shè)為20μπι，將脈沖寬度設(shè)為3 5η秒。另外，激光照射是以單發(fā)(single shoot) 模式進(jìn)行。圖9是表示激光照射對各濾色片(CF)及透明對向電極(ITO)的影響的表。如圖9所示，當(dāng)照射波長1064nm的激光(激光的照射能量密度0. 42J/cm2)時，能夠不對任何顏色的濾色片造成影響而僅破壞透明對向電極。波長532nm的激光(激光的照射能量密度0. 63J/cm2)能夠去除紅色的濾色片，當(dāng)激光的照射能量密度為0. 56J/cm2以上時，能夠去除藍(lán)色的濾色片，但不會對綠色的濾色片造成影響。另外，波長532nm的激光在濾色片為紅色時無法充分破壞ΙΤ0。認(rèn)為這是因?yàn)椴ㄩL532nm的激光被紅色的濾色片吸收而使激光的能量發(fā)生了衰減所致。因此，如果濾色片為紅色且通過波長532nm的激光來破壞ΙΤ0，則必須使激光的照射能量密度高于0. 63J/ cm20波長355nm的激光(激光的照射能量密度0. 25J/cm2)能夠去除藍(lán)色的濾色片，當(dāng)激光的照射能量密度為0. 41J/cm2時，能夠去除綠色的濾色片，但不對紅色的濾色片造成影響。波長355nm的激光在濾色片為藍(lán)色時無法破壞ΙΤ0。認(rèn)為這是因?yàn)椴ㄩL355nm的激光被藍(lán)色的濾色片吸收而使激光的能量發(fā)生衰減所致。因此，如果濾色片為藍(lán)色且通過波長355nm的激光來破壞ΙΤ0，則必須使激光的照射能量密度高于0. 25J/cm2。這些結(jié)果表明，通過根據(jù)濾色片的顏色來選擇激光的波長，從而能夠去除濾色片或破壞I TO。(實(shí)施例2)準(zhǔn)備有機(jī)EL元件準(zhǔn)備了圖8所示的在玻璃基板16上層疊了像素電極15、空穴注入層17、空穴輸送層18、有機(jī)發(fā)光層14、電子輸送層19及厚度IOOnm的透明對向電極13 (ITO)的有機(jī)EL元件。本實(shí)施例中沒有在有機(jī)EL元件上層疊濾色片。照射激光以0. 42 4. 5J/cm2的激光照射能量密度，對準(zhǔn)備的有機(jī)EL元件的透明對向電極照射波長為1064nm的激光，并以0. 06 0. 71J/cm2的激光照射能量密度照射波長532nm 的激光，并以0. 05 0. 41J/cm2的激光照射能量密度照射波長355nm的激光。作為激光裝置使用了 AGT-2000RT (YAG激光器，株式會社AGT制造)。將激光在透明對向電極上的照射面積口設(shè)為20μπι，將脈沖寬度設(shè)為3η 5η秒。另外，激光照射是以單發(fā)(single shoot) 模式進(jìn)行。結(jié)果波長532nm及1064nm的激光也會對透明對向電極(ITO)的基底層即有機(jī)層造成損傷。另一方面，波長355nm的激光破壞透明對向電極，但不對基底層的有機(jī)層造成損傷。 這表示，如果在照射激光的透明對向電極上不存在濾色片，則優(yōu)選的是使用YAG激光器的第三諧波的激光。本申請主張基于2009年2月10日申請的特愿第2009-(^8435號的優(yōu)先權(quán)。該申請說明書中記載的內(nèi)容全部被本申請說明書引用。
工業(yè)實(shí)用性另外，根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器的制造方法，由于也去除濾色片中的缺陷部上的區(qū)域，因此能夠抑制非發(fā)光部(缺陷部)的亮度下降。因此，能夠以高成品率提供畫質(zhì)優(yōu)異的有機(jī)EL顯示器。另外，本發(fā)明也能夠適用于制造利用了濾色片的其他發(fā)光元件。
權(quán)利要求
1.有機(jī)電致發(fā)光顯示器的制造方法，包括準(zhǔn)備具有基板和呈矩陣狀地配置在所述基板上的有機(jī)電致發(fā)光元件的有機(jī)電致發(fā)光面板的步驟，所述有機(jī)電致發(fā)光元件分別具有配置在所述基板上的像素電極、配置在所述像素電極上的有機(jī)層、配置在所述有機(jī)層上的透明對向電極、配置在所述透明對向電極上的保護(hù)層及配置在所述保護(hù)層上的濾色片；檢測存在于所述有機(jī)電致發(fā)光元件內(nèi)的所述有機(jī)層上的缺陷部的步驟；對所述透明對向電極中的所述缺陷部上的區(qū)域，透過所述濾色片來照射激光，破壞所述區(qū)域的透明對向電極的步驟；以及去除所述濾色片中的所述缺陷部上的區(qū)域的步驟。
2.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示器的制造方法，所述照射的激光的波長為 400nm以下。
3.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示器的制造方法，所述去除濾色片的步驟與所述破壞透明對向電極的步驟為同一步驟。
4.如權(quán)利要求3所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示器的制造方法，所述被去除的濾色片為紅色，對所述透明對向電極照射的所述激光的波長小于600nm。
5.如權(quán)利要求3所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示器的制造方法，所述被去除的濾色片為綠色，對所述透明對向電極照射的所述激光的波長小于480nm或者大于580nm而小于790nm。
6.如權(quán)利要求3所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示器的制造方法，所述被去除的濾色片為藍(lán)色，對所述透明對向電極照射的所述激光的波長小于430nm或者大于500nm而小于850nm。
7.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示器的制造方法，所述去除濾色片的步驟與所述破壞透明對向電極的步驟為不同的步驟，所述濾色片的去除通過對所述濾色片中的所述缺陷部上的區(qū)域照射激光來進(jìn)行。
8.如權(quán)利要求7所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示器的制造方法，所述被去除的濾色片為紅色，對所述透明對向電極照射的所述激光的波長為600nm以上。
9.如權(quán)利要求7所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示器的制造方法，所述被去除的濾色片為綠色，對所述透明對向電極照射的所述激光的波長為480nm 580nm或者790nm以上。
10.如權(quán)利要求7所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示器的制造方法，所述被去除的濾色片為藍(lán)色，對所述透明對向電極照射的所述激光的波長為430nm 500nm或者850nm以上。
11.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示器的制造方法，在所述去除濾色片的步驟中，在所述濾色片上形成貫穿痕。
12.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示器的制造方法，在所述去除濾色片的步驟中，使所述濾色片變薄。
13.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示器的制造方法，通過所述激光的照射而在所述保護(hù)層內(nèi)形成微小的氣泡。
14.有機(jī)電致發(fā)光顯示器，其具有基板和呈矩陣狀地配置在所述基板上的有機(jī)電致發(fā)光元件，所述有機(jī)電致發(fā)光元件分別具有配置在所述基板上的像素電極、配置在所述像素電極上的有機(jī)層、配置在所述有機(jī)層上的透明對向電極、配置在所述透明對向電極上的保護(hù)層及配置在所述保護(hù)層上的濾色片，至少一個所述有機(jī)電致發(fā)光元件在所述有機(jī)層上具有缺陷部，所述透明對向電極中的所述缺陷部上的區(qū)域被破壞，所述濾色片中的所述缺陷部上的區(qū)域被去除。
全文摘要
公開了有機(jī)EL顯示器的制造方法，包括以下步驟準(zhǔn)備具有基板和呈矩陣狀地配置在所述基板上的有機(jī)EL元件的有機(jī)EL面板，所述有機(jī)EL元件分別具有配置在所述基板上的像素電極、配置在所述像素電極上的有機(jī)層、配置在所述有機(jī)層上的透明對向電極、配置在所述透明對向電極上的保護(hù)層及配置在所述保護(hù)層上的濾色片；檢測存在于所述有機(jī)EL元件內(nèi)的所述有機(jī)層上的缺陷部；對所述透明對向電極中的所述缺陷部上的區(qū)域，透過所述濾色片來照射激光，破壞所述區(qū)域的透明對向電極；以及去除所述濾色片中的所述缺陷部上的區(qū)域。
文檔編號H05B33/26GK102210193SQ201080003173
公開日2011年10月5日 申請日期2010年1月21日 優(yōu)先權(quán)日2009年2月10日
發(fā)明者中橋昭久, 宮澤和利 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社