專利名稱:一種單晶爐堝轉(zhuǎn)主軸的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及一種單晶爐堝轉(zhuǎn)主軸。
背景技術(shù):
目前,用于拉制單晶硅棒的單晶爐堝,由于其主軸及軸承沒有保護(hù)裝置,軸承易受 沾污,磨損很大,導(dǎo)致主軸松動,在拉晶時產(chǎn)生晃動,既影響生產(chǎn),且主軸使用時間短。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是提供能提高使用壽命的一種單晶爐堝轉(zhuǎn)主軸。本實用新型采取的技術(shù)方案是一種單晶爐堝轉(zhuǎn)主軸,軸套通過上、下軸承套在主 軸上,其特征在于在上軸承與軸套的外殼之間設(shè)置有密封保護(hù)裝置。采用本實用新型,由于具有密封保護(hù)裝置,雜質(zhì)不會進(jìn)入軸承,磨損小,能提高轉(zhuǎn) 主軸的使用壽命,且工作穩(wěn)定。
圖1是本實用新型的示意圖具體實施方式
下面結(jié)合具體的實施例對本實用新型作進(jìn)一步說明。參照圖1,該單晶爐堝轉(zhuǎn)主軸包括主軸1、上軸承3、軸套4、下軸承5,軸套4通過上 軸承3和下軸承5套在主軸1上,在上軸承3與軸套4的外殼之間設(shè)置有密封件2,該密封 件2也可用密封油代替。由于密封件2具有密封作用,雜質(zhì)不會進(jìn)入軸套4的內(nèi)部,使上軸 承3、下軸承5與主軸1之間的磨損小,能提高轉(zhuǎn)主軸的使用壽命,且工作穩(wěn)定。
權(quán)利要求一種單晶爐堝轉(zhuǎn)主軸,軸套通過上、下軸承套在主軸上,其特征在于在上軸承與軸套的外殼之間設(shè)置有密封保護(hù)裝置。
專利摘要本實用新型涉及一種單晶爐堝轉(zhuǎn)主軸,該單晶爐堝轉(zhuǎn)主軸的軸套通過上、下軸承套在主軸上,在上軸承與軸套的外殼之間設(shè)置還有密封保護(hù)裝置。采用本實用新型,由于具有密封保護(hù)裝置,雜質(zhì)不會進(jìn)入軸承,磨損小,能提高轉(zhuǎn)主軸的使用壽命,且工作穩(wěn)定。
文檔編號C30B15/10GK201665728SQ201020138680
公開日2010年12月8日 申請日期2010年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月23日
發(fā)明者夏安陽, 鄭裕財, 郜勇軍 申請人:浙江矽盛電子有限公司