專利名稱：一種使用壓電陶瓷組件的桿型靜電消除器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種桿型靜電消除器。更具體地，本發(fā)明涉及一種使用壓 電陶瓷組件的桿型靜電消除器，也涉及一種藉由使用一具有高頻高壓的應(yīng) 用方法以提高靜電荷消除性能和針清潔周期的技術(shù)。
背景技術(shù)：
作為本發(fā)明的先前技術(shù)，有韓國專利申請第10-512137號揭露了 「配 備有空氣室使用脈沖AC高壓電源的桿型電暈放電靜電消除器」，以及韓國 專利申請第10-2005-32534號揭露了 「一桿型靜電消除器」。另一個先前技 術(shù)的韓國專利申請第10-660461號Kyence揭露了 「游離設(shè)備及其用作放電 電極的桿j。
在先前技術(shù)中，還沒有揭露出當應(yīng)用高壓時，使用壓電陶瓷組件的桿 型靜電消除器的情況。因此，很難提高放電針的清潔周期以執(zhí)行防止空氣 中的灰塵黏附在放電針上。
又，因為一般DC或者AC桿型靜電消除器內(nèi)產(chǎn)生離子的速率較低，所 以很難將產(chǎn)生出的離子的平衡控制在較低等級，而且由于放電針很快遭受 到污染，所以周期性清潔放電針的工作變得很復(fù)雜。
另外，由于要使用許多放電針，所以很難保養(yǎng)和管理該等放電針。又， 隨著商業(yè)AC輸入系統(tǒng)使用至今，安裝并不容易而安全性難以得到保障。因 為迄今為止許多插座已插入針，所以已消耗非常多的空氣。且以往很難控 制靜電消除器的長度。
發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問題
本發(fā)明主要用于解決先前技術(shù)中的問題，且其可提高離子的產(chǎn)生比率 并藉由產(chǎn)生具有低于現(xiàn)有桿型靜電消除器內(nèi)的高頻之高壓，以將該等離子 的平衡維持在非常低的水平，且本發(fā)明的目的是提供具有一種使用壓電陶 瓷組件的靜電消除器，以藉由使用相對低的「高壓」提高很多針的清潔周
5期。
對于本發(fā)明額外的優(yōu)點、目的和特點將在隨后的描述中闡明，以及部 分內(nèi)容將從描述中顯而易見，或者可以通過實施本發(fā)明了解到。本發(fā)明的 目的和其它優(yōu)點將藉由特別在描述中指出的結(jié)構(gòu)和在此的申請專利范圍以 及所附圖式說明實現(xiàn)和獲得。 技術(shù)手段
為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種一桿型靜電消除器，其中用于 放電的具有高頻的高壓藉由壓電陶瓷組件產(chǎn)生，至少包括一控制單元，用 于控制該壓電陶瓷式靜電消除器； 一放電針，藉由應(yīng)用具有高頻的高壓執(zhí) 行放電； 一主插座，為一反粒子探針夾具，用于防止存在于主插座內(nèi)部的 放電針上產(chǎn)生出粒子；以及一氣動體，用于將空氣供應(yīng)至該靜電消除器。 有益效果
本發(fā)明的預(yù)期效果如下
第一，本發(fā)明中的頻率約為72KHz，其較現(xiàn)有的離子桿之離子產(chǎn)生周期 快數(shù)十個Hz，如此將離子平衡保持于低水平是可行的。因此，本發(fā)明中透 過壓電陶瓷組件應(yīng)用具有高頻的高壓，其靜電消除性能得到改進并且將離 子平衡控制于低水平內(nèi)是容易的。
第二，依據(jù)在放電針上應(yīng)用的電壓，所述清潔周期可不同于靜電消除 器內(nèi)產(chǎn)生粒子的周期。即是，藉由使用低電壓減少粒子的產(chǎn)生。因此本發(fā) 明中藉由使用陶瓷組件并采用反粒子探針夾具式樣的主插座350，與先前的 粒子桿相比，可以藉由應(yīng)用較低電壓獲取較長的清潔周期。
特別地，本發(fā)明具有一結(jié)構(gòu)其透過第4b圖所描繪的主插座空氣輸入孔 351流入的空氣流出至主插座空氣輸出噴嘴352，放電針340周圍具有復(fù)數(shù) 個空氣孔以防止灰塵黏附在放電針的末端是可行的。因此，所述針的清潔 周期能夠變?yōu)榇蠹s6個月，其較之前的周期更長。
第三，獲得噴射注入噴嘴效果。從本發(fā)明的結(jié)果看出，空氣的消耗降低。
第四，在氣動塊300組合處的氣動體內(nèi)部，空氣流暢地流動。 第五，靜電消除器的長度可被輕易地控制。第六，在氣動塊300的組合處防止空氣泄漏。
第七，依據(jù)流動力學(xué)原理，藉由使用探針夾具空氣消耗很少。這個原
因是當提供至氣動塊300的空氣通常具有1 5 kg/cm2的空氣壓力，并且 空氣透過第4b圖中的主插座空氣輸出噴嘴352流出具有很快的速率，此流 出的空氣與環(huán)境空氣相比具有相對較低的壓力，具有相對較高壓力的環(huán)境 空氣聚集在主插座350的末端。噴射插座360使聚集在主插座350末端的 環(huán)境空氣連同透過復(fù)數(shù)個形成在主插座350下端處也形成在放電針340插 入的圓形孔處的凹槽所流出的空氣一同流出，并且具有圓錐形從而獲取更 快的速率。因此，在本發(fā)明中，可以藉由使用環(huán)境空氣獲取更大的空氣量 而不增加流入靜電消除器本身的空氣量。
第八，當建立真實監(jiān)控系統(tǒng)時，靜電消除器最大控制在256。 第九，安裝簡單，藉由使用低壓輸入程序(DC 24伏特)，保證了安全。 第十，與先前技術(shù)相比，放電針的數(shù)量可減少至1/6，保養(yǎng)和維修比較 方便。即是，在本發(fā)明中，與先前技術(shù)相比離子產(chǎn)生速率較快，僅僅利用 1/6放電針獲取如先前相同的效果是可行的。并且盡管由于體塊具有插座的 結(jié)構(gòu)，靜電消除器的數(shù)量減少至先前技術(shù)的1/6，但依據(jù)性能使一體塊具有 兩個或者更多的插座是可行的。
第十一，消除存在于距離50 2000mm的靜電是可行的。 附圖的簡要說明


圖1是本發(fā)明一種使用壓電陶瓷組件的桿型靜電消除器組件拆分狀態(tài)的結(jié) 構(gòu)。
圖2是本發(fā)明一種使用壓電陶瓷組件的桿型靜電消除器正常裝配狀態(tài)的結(jié) 構(gòu)。
圖3是依據(jù)圖2在靜電消除器中使用的氣動塊之結(jié)構(gòu)；
圖4是依據(jù)圖2在靜電消除器中使用的氣動塊之組配；
圖5是依據(jù)圖2在靜電消除器中使用的針和插座之組合狀態(tài)；
圖6是圖5的橫切面；
圖7是圖5所示組合狀態(tài)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)；
圖8是圖7中"L"部分的放大7圖9是依據(jù)圖2之靜電消除器的控制單元的結(jié)構(gòu)；
圖10-13是圖9所示控制單元中電路連接關(guān)系的示意圖14是依據(jù)本發(fā)明的壓電式靜電消除器中產(chǎn)生具有高頻的高壓之示例；
圖15是依據(jù)本發(fā)明的壓電式靜電消除器的離子分布示意圖16是脈沖AC型靜電消除器的離子分布示意圖。
圖17是DC型靜電消除器的離子分布示意圖。
圖18是AC型靜電消除器的離子分布示意圖。
本發(fā)明的最佳實施方式
依據(jù)本發(fā)明一桿型靜電消除器iooo的最佳實施例組合，其中用于放電
的具有高頻的高壓藉由壓電陶瓷組件產(chǎn)生，至少包括一控制單元600,用于 控制該壓電陶瓷式靜電消除器； 一放電針340，藉由應(yīng)用具有高頻的高壓執(zhí) 行放電； 一主插座350，為一反粒子探針夾具，用于防止存在于主插座內(nèi)部 的放電針上產(chǎn)生出粒子；以及一氣動體300，用于將空氣供應(yīng)至該靜電消除
明-益o
控制單元600包括壓電陶瓷組件610，用于產(chǎn)生具有高頻的高壓； 一感 測板310，藉由應(yīng)用從壓電陶瓷組件輸出的具有高頻的高壓，測量出產(chǎn)生離 子的放電針340感應(yīng)出的電荷數(shù)量； 一壓電驅(qū)動器700，如果從感測板310 的感測結(jié)果中判斷出所述壓電陶瓷組件操作正常，則利用一感測放大器630 對感測板310的輸出信號放大并將放大的信號回饋至壓電陶瓷組件610，從 而使壓電陶瓷組件610持續(xù)不斷地產(chǎn)生出具有高頻的高壓； 一警報產(chǎn)生裝 置640、 660，如果從感測板310的感測結(jié)果中判斷出所述壓電陶瓷組件操 作異常，則發(fā)出警報；以及一DC電源670，用于將DC電壓提供至每一個組 件。
此時，本發(fā)明的特征在于在靜電消除器的氣動體300中，用于將從控 制單元600和所述主插座350流出的空氣增強的噴射插座360分別與每個 控制單元及主插座組合，且所述靜電消除器由一個或多個具有上述結(jié)構(gòu)的 組合氣動塊300所組成。
在本實施例中，最佳的情況是所述控制單元600藉由組合感測板310 和用于固定該感測板的一螺絲釘380進行固定，并且所述放電針340和氣
8動塊的金屬插入單元390透過組合針插座320而被組合在一起。
在本實施例中，最佳的情況是復(fù)數(shù)個突起形成在氣動塊300的一側(cè)之
外部，而在另一側(cè)的內(nèi)部形成凹槽，以鎖定復(fù)數(shù)個突起，且一硅帽370和
一硅片375組合在一起以防止當氣動塊300組合時的空氣泄漏。
在本實施例中，最佳的情況是所述靜電消除器的桿之長度控制透過組
合該氣動塊300而達成。
在本實施例中，最佳的情況是形成所述氣動體的結(jié)構(gòu)，以便在氣動i央 300組合在一起時，氣動體的內(nèi)部的空氣路徑彼此連接，使空氣在氣動體內(nèi) 流暢地流動，并且氣動體之空氣從主插座空氣輸入孔351流入，以及透過 主插座空氣輸出噴嘴352流出，該等主插座空氣輸出噴嘴為具有相同截面 積的復(fù)數(shù)個噴嘴，其中，所述主插座空氣輸出噴嘴在一放電針340的軸方 向內(nèi)與其均勻地接觸，而不是環(huán)繞在整個放電針340的周圍。
在本實施例中，最佳的情況是一噴射插座360依據(jù)流體力學(xué)原理安裝 在主插座350的下面，從而增加了從主插座350下面沿主空氣輸出噴嘴流 出的空氣之量，并且因而延長了到達距離。
在本實施例中，最佳的情況是所述控制單元600進一步包括用于穩(wěn)定 包含在DC電壓內(nèi)的波紋成分的一裝置。
在本實施例中，用于消除電荷的有效距離最佳是50 2000mm，而當用 于消除電荷的有效距離為300mm的情況下，峰對峰值為土10V或者不到 士10V。
在本實施例中，用于消除電荷的有效距離最佳是50 2000mm，而當用 于消除電荷的有效距離為300mm的情況下，離子平衡為土7V或者不到士7V。
在本實施例中，依據(jù)本發(fā)明的使用壓電陶瓷組件的靜電消除器中，一 控制單元600黏附在一氣動塊300上，并且在所述主插座350之內(nèi)具有用 于固定針的針插座320，而且在所述主插座350外面黏附噴射插座360，以 增強從主插座350輸出的空氣。
又本發(fā)明所中的靜電消除器，具有上述結(jié)構(gòu)的一個或多個氣動塊被組 合在一起。
可以了解到前面對于本發(fā)明的大概描述和下面對于本發(fā)明的詳細描述具有實例性和解釋性，并且將要對本發(fā)明的實施例提供作為申請專利范圍的進一步解釋。
現(xiàn)在，本發(fā)明中描述的結(jié)構(gòu)和操作原理將參考所附圖式進行詳細說明。
首先，圖1和2顯示一種使用壓電陶瓷組件的桿型靜電消除器的基本結(jié)構(gòu)。在圖l的靜電消除器中，復(fù)數(shù)個氣動塊300組合在一起。該組合的氣動塊300的兩側(cè)存在一氣動塊左側(cè)固定蓋200和一氣動塊右側(cè)固定蓋400。該組合的氣動塊300透過一滑動系統(tǒng)與一殼500相組合，并且在殼500的兩側(cè)組合一側(cè)蓋100，且一控制單元600黏附在一氣動塊300上。
圖3顯示氣動塊300之結(jié)構(gòu)。隨著一氣動塊300組合一控制單元600產(chǎn)生具有高頻的高壓且針340開始放電，以及一硅0-環(huán)330插入主插座350的空氣柱之下部以防止空氣泄漏。
并且控制單元600與氣動塊300的一金屬插入單元390組合，并且透過用于固定所述感測板的一螺絲釘與感測板310組合，以及在一氣動塊300的兩端處存在用于固定控制單元的一突起單元308，并因此可改變固定的方向來固定所述控制單元600。又一放電針340與將連接至一氣動塊的金屬插入單元390的針插座320組合。
圖4說明一氣動塊300的組配。氣動塊300的一側(cè)具有用于組合一氣動塊的突起單元305，而在另一側(cè)具有用于組合一氣動塊的凹槽單元306。在將所述用于組合氣動塊的突起單元305插入所述用于組合一氣動塊的凹槽單元306并旋轉(zhuǎn)和固定之后，硅帽370和硅片375與一組合區(qū)域組合在一起，以防止空氣泄漏。在本發(fā)明中，靜電消除器的桿長度的控制透過組合一個或多個氣動塊300來達成。形成依據(jù)本發(fā)明所述的一氣動塊300的結(jié)構(gòu)，以便在組合氣動塊內(nèi)，所述內(nèi)部空氣路徑彼此相連而使空氣在其中流暢地流動。
圖5-8說明針340和插座350、 360之組合狀態(tài)。在本發(fā)明中，針340與組合有主插座350的針插座320相組合，然后，空氣透過在主插座350內(nèi)形成的主插座輸入空氣孔351流入，并透過復(fù)數(shù)個主插座輸出空氣噴嘴352流出，該等主插座空氣輸出噴嘴352沿所述針的軸方向，朝向主插座350的端部均勻地與針組合，最后大量的空氣透過一向外安裝在主插座350下部之噴射插座360的下孔流出。
圖9-13說明依據(jù)本發(fā)明之靜電消除器的控制單元600的結(jié)構(gòu)。第5a圖說明依據(jù)本發(fā)明之壓電式靜電消除器1000的控制單元600之組成；第5b圖顯示其詳細電路。
控制單元600包括壓電陶瓷610、比較器620、感測放大器630、警報產(chǎn)生器640、用于警報的LED650、用于電源的LED660、 DC電源670(在這個示例中，DC24伏特)、感測單元680、放電針340以及壓電驅(qū)動器700。在本發(fā)明的第5b圖所說明的電路中，具有高頻的高壓藉由使用壓電陶瓷組件應(yīng)用至放電針340上，以產(chǎn)生+ 、 一離子。關(guān)于此電路的操作將在下文中說明。
如果在控制單元600上應(yīng)用DC 24伏特，所述控制單元600開始運作。在第5b圖的左下側(cè)描繪出用于穩(wěn)定DC電源的裝置。這個裝置提供用于穩(wěn)定包含在DC電壓內(nèi)的波紋成分。第5b圖由兩部分構(gòu)成上部分和下部分，且該上部分利用一感測單元310感測壓電陶瓷的輸出信號，并利用比較器620與參考電壓進行比較和決定所述輸出信號為正常，如果比較的結(jié)果異常，則產(chǎn)生警報信號。所述警報信號透過警報產(chǎn)生器640傳輸至警報裝置。即是本發(fā)明決定感測到的所述輸出信號是否正確，如果感測操作有誤，則其輸出警報信號。
此時，警報產(chǎn)生的原因如下
1. 當高壓輸出信號低于正常狀態(tài)時
2. 當感應(yīng)的狀態(tài)高壓異常時
3. 當由于白化現(xiàn)象，灰塵在放電針中或者放電不穩(wěn)定時。
所述電路的下部分具有一結(jié)構(gòu)用于陶瓷的回饋，如果藉由上述描述的結(jié)果中得到輸出信號是正常的，則將經(jīng)由一放大器630放大的輸出信號再一次發(fā)送至壓電陶瓷以持續(xù)地產(chǎn)生高壓。其對應(yīng)于壓電驅(qū)動器700。
感測單元310透過放電針340監(jiān)控陶瓷610的輸出。即是，感測單元310藉由利用放電針340上應(yīng)用的具有高頻的高壓所感應(yīng)的電荷量，感測所
述輸出電壓是否正常。
壓電陶瓷610連接至放電針340，感測單元310的所述輸出信號連接至
ii壓電驅(qū)動器700和警報產(chǎn)生器640，并且所述壓電驅(qū)動器700連接至陶瓷610。
如上所述，本發(fā)明中所使用的壓電系統(tǒng)名為壓力-電子陶瓷或者壓電組件，如果在所述系統(tǒng)給定電能，則該電能轉(zhuǎn)換為機械能然后機械能再一次轉(zhuǎn)換為電能。在本發(fā)明中，藉由將壓力-電子陶瓷制造為多層的形式以產(chǎn)生具有低輸入電壓的高壓是可行的。并且，隨著具有高頻(約72KHz)的高AC電壓被應(yīng)用時，少許灰塵黏附在放電針的末端，而且隨著產(chǎn)生出的離子量相對較高，僅僅具有一些放電針的所述系統(tǒng)可具有一高靜電消除能力。
圖14說明依據(jù)本發(fā)明的壓電式靜電消除器產(chǎn)生具有高頻的高壓之示例。從第6圖中，我們可以了解壓電式靜電消除器產(chǎn)生具有高頻的高壓具有約在72KHz的頻率處士 2.5 KV的振幅。
圖15-18顯示壓電式靜電消除器的離子分布以及現(xiàn)有脈沖AC/DC/AC式靜電消除器。即是，圖15說明依據(jù)本發(fā)明之壓電式靜電消除器的離子分布，圖16說明脈沖AC式靜電消除器的離子分布，圖17說明DC式靜電消除器的離子分布，以及圖18說明AC式靜電消除器的離子分布。當在圖15-18中的壓電系統(tǒng)中離子非常交替地產(chǎn)生，離子平衡表現(xiàn)遠優(yōu)于現(xiàn)有的脈沖AC式、DC式和AC式的表現(xiàn)。
另一方面，相較于現(xiàn)有的靜電消除器，本發(fā)明之最大特點是根據(jù)粒子聚積的白化現(xiàn)象不同，而且所述白化現(xiàn)象小于普通桿型靜電消除器。這個事實意味著灰塵聚積后藉由自身重量或者振動在一體內(nèi)被分開的問題取得重大的改進。
從衰減時間的角度考慮本發(fā)明，參考現(xiàn)場的處理操作速度，產(chǎn)物轉(zhuǎn)換的通常衰減時間參考為3秒或者3秒以下，而一個固定產(chǎn)物的通常衰減時間參考為5秒或者5秒以下，所以依據(jù)本發(fā)明的靜電消除器之測量結(jié)果，可以發(fā)現(xiàn)本發(fā)明是令人滿意的。
而從離子平衡及峰對峰值的角度考慮本發(fā)明，本發(fā)明顯示相較于現(xiàn)有的桿型靜電消除器之非常低的離子平衡特性，并且關(guān)于峰對峰值，從高壓電源出現(xiàn)的外部電場之指數(shù)其顯示出極好的結(jié)果。這些結(jié)果對于靜電消除器的安全操作方面至關(guān)重要，并且相較于現(xiàn)有的靜電消除器，本發(fā)明的優(yōu)
12越性顯而易見。
如此，本發(fā)明可進行不同的轉(zhuǎn)變并具有多種形式，關(guān)于以上所述僅為用以解釋本發(fā)明之較佳實施例，并非企圖據(jù)以對本發(fā)明作任何形式上之限制，是以，凡有在相同之發(fā)明精神下所作有關(guān)本發(fā)明之任何修飾或變更，皆仍應(yīng)包括在本發(fā)明意圖保護之范疇。工業(yè)實用性
本發(fā)明可應(yīng)用于包括LCD制造和半導(dǎo)體制造在內(nèi)的多種工業(yè)領(lǐng)域。
權(quán)利要求
1.一種使用壓電陶瓷組件的桿型靜電消除器，其中用于放電的具有高頻的高壓藉由壓電陶瓷組件所產(chǎn)生，并且所述靜電消除器至少包括一控制單元，控制所述壓電陶瓷型靜電消除器；一放電針，藉由應(yīng)用具有高頻的高壓執(zhí)行放電；一主插座，為一反粒子探針夾具，以防止存在于所述主插座內(nèi)部之內(nèi)的所述放電針上產(chǎn)生粒子；以及一氣動體，將空氣提供至所述靜電消除器，且所述控制單元包括壓電陶瓷組件，產(chǎn)生具有高頻的高壓；一感測板，藉由應(yīng)用從所述壓電陶瓷組件輸出的具有高頻的高壓，測量產(chǎn)生離子的所述放電針所感應(yīng)的電荷量；一壓電驅(qū)動器，如果從所述感測板的感測結(jié)果判斷出所述壓電陶瓷組件操作正常，則藉由一感測放大器將所述感測板的輸出信號放大并將該等放大信號回饋至所述壓電陶瓷組件的過程，使所述壓電陶瓷組件持續(xù)地產(chǎn)生具有高頻的高壓；一警報產(chǎn)生裝置，如果從所述感測板的感測結(jié)果判斷出所述壓電陶瓷組件操作異常，則產(chǎn)生警報；以及一DC電源，用于將DC電壓提供至每一個所述組件，而其特征在于一噴射插座，以放大從所述控制單元而來的氣流，且所述主插座與每一所述控制單元組合，且所述主插座分別在所述靜電消除器的氣動體中，且所述靜電消除器由一個或多個具有上述結(jié)構(gòu)的氣動塊所組成。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的使用壓電陶瓷組件的桿型靜電消除器，其中，所 述控制單元藉由將所述感測板和用于固定所述感測板的所述螺絲釘組合 而固定，并且所述放電針和所述氣動塊的金屬插入單元透過與針插座的組合而組合在一起。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的使用壓電陶瓷組件的桿型靜電消除器，其中，復(fù) 數(shù)個突起在所述氣動塊的一側(cè)外部內(nèi)形成，并且在另一側(cè)內(nèi)部內(nèi)形成凹 槽，以鎖定該等復(fù)數(shù)個突起，然后將硅帽和硅片組合在一起，用以防止 當氣動塊組合在一起時的空氣泄漏。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的使用壓電陶瓷組件的桿型靜電消除器，其中，所述靜電消除器的桿長度控制透過氣動塊的組合達成。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的使用壓電陶瓷組件的桿型靜電消除器，其中，形 成氣動體結(jié)構(gòu)，以便在氣動塊組合時，氣動體的內(nèi)部的空氣路徑彼此相 連，從而使空氣在氣動體內(nèi)部流暢地流動，然后，該等氣動體內(nèi)的空氣 從主插座輸入孔流入，透過復(fù)數(shù)個具有相同截面積的主插座空氣輸出噴 嘴流出，其中，所述主插座空氣輸出噴嘴在一放電針的一軸的方向內(nèi)與之均勻地接觸， 而不是環(huán)繞在整個所述放電針的周圍。
6. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的使用壓電陶瓷組件的桿型靜電消除器，其中，透 過所述主插座空氣輸入孔流入的空氣沿所述放電針周圍形成的主插座空 氣輸出噴嘴流動，以朝向所述主插座的末端流出，并且所述噴射插座安 裝在所述主插座的下部，以便增加流動空氣量并獲取噴射注入效果。
7. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的使用壓電陶瓷組件的桿型靜電消除器，其中，依 據(jù)流體力學(xué)原理，安裝一噴射插座以便延長流出空氣的到達距離。
8. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的使用壓電陶瓷組件的桿型靜電消除器，其中，所 述控制單元進一步包括-用于穩(wěn)定包含在DC電壓內(nèi)之波紋成分的一裝置。
9. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的使用壓電陶瓷組件的桿型靜電消除器，其中，用于消除電荷的有效距離為50 2000mm，當用于消除電荷的有效距離為 300mm的情況下，所述峰對峰值為士10V或者不到士10V。
10. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的使用壓電陶瓷組件的桿型靜電消除器，其中， 用于消除電荷的有效距離為50 2000mm，當用于消除電荷的有效距離 為300mm的情況下，所述離子平衡為土7V或者不到土7V。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種桿型靜電消除器。所述消除器至少包括一控制單元、一放電針、防止粒子在針上產(chǎn)生的一主插座、以及一氣動體。所述控制單元包括壓電陶瓷組件，產(chǎn)生具有高頻的高壓；一感測板，測量電荷量；一壓電驅(qū)動器，使壓電陶瓷組件持續(xù)地產(chǎn)生具有高頻的高壓；一警報產(chǎn)生裝置，當壓電陶瓷組件操作異常時產(chǎn)生警報；以及一DC電源。一控制單元和一噴射插座分別與靜電消除器的一氣動體組合，并且所述消除器由一個或一個以上組合的氣動塊組成。所述消除器具有壓電陶瓷組件控制單元且較舊有的具有更少的針。所述針清潔周期長，離子平衡范圍低并且在遠距離消除電離子是可行的。
文檔編號H05F1/00GK101682978SQ200880014781
公開日2010年3月24日 申請日期2008年5月16日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月17日
發(fā)明者崔日坤, 李東勛, 柳鐘鎮(zhèn), 鄭容哲, 金炫秀, 金載烈 申請人:禪才高科技股份有限公司