專利名稱：藍(lán)寶石晶圓棒快速精確定向裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及藍(lán)寶石晶圓棒加工領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的藍(lán)寶石晶圓棒定向加工技術(shù)中，先將晶體置于定向儀上讀出晶體的 實(shí)際晶向后，再將晶體取下放置到粘料儀上，在將晶體實(shí)際晶向和理論晶向的 偏差角度在專用的粘結(jié)儀修正后進(jìn)行晶體粘結(jié)，粘結(jié)完成后再送晶體加工。但 該技術(shù)晶圓棒定向和粘結(jié)是分開進(jìn)行的，造成其定向精度不高，且需要的設(shè)備 較多，工藝環(huán)節(jié)較復(fù)雜，測量、修正耗費(fèi)時(shí)間長。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、定位速度 快、定位精度高的藍(lán)寶石晶圓棒快速精確定向裝置。
本實(shí)用新型的目的是通過實(shí)施下述技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的
一種藍(lán)寶石晶圓棒快速精確定向裝置，其特征在于包括晶圓棒C向定向 裝置，所述C向定向裝置包括固定基座，所述固定基座的上部設(shè)置移動(dòng)基座， 固定基座和移動(dòng)基座的一端對(duì)應(yīng)設(shè)置通孔，在固定基座的另一端設(shè)置使移動(dòng)基 座水平移動(dòng)的機(jī)構(gòu)；螺母移動(dòng)基座上還設(shè)置定位孔，定位孔內(nèi)設(shè)置定位桿；移 動(dòng)基座上固連有支撐座，支撐座上套接旋轉(zhuǎn)輥，旋轉(zhuǎn)輥與手動(dòng)或電動(dòng)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng) 機(jī)構(gòu)相連；移動(dòng)基座上還設(shè)置有支撐板，支撐板上設(shè)置晶圓棒緊固裝置。
所述水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括分別設(shè)置在固定基座兩側(cè)的安裝板，安裝板上部設(shè) 置有螺桿和與之螺紋連接的移動(dòng)螺母，螺桿的另一端與移動(dòng)基座相對(duì)應(yīng)。
所述旋轉(zhuǎn)輥的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括與旋轉(zhuǎn)輥固連的螺桿和與之螺紋連接的旋 轉(zhuǎn)螺母。
所述支撐板上設(shè)置的緊固裝置包括緊固螺母和與之螺紋連接的螺桿。 所述裝置還包括晶圓棒A向定向裝置，所述A向定向裝置包括固定基座， 所述固定基座的內(nèi)腔設(shè)置與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相連的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)上部 設(shè)置與固定基座固連的定位座，定位座的通孔與下部的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)相對(duì)應(yīng)，通 孔一側(cè)設(shè)置定位裝置，另一側(cè)設(shè)置晶圓棒緊固裝置。 所述定位座的通孔上設(shè)置的定位裝置為定位輥。
所述定位座的通孔上設(shè)置的緊固裝置包括螺桿和與之螺紋連接的緊固螺 母，所述螺桿從定位座的外側(cè)伸入定位座的通孔中。
采用以上結(jié)構(gòu)的藍(lán)寶石晶圓棒快速精確定向裝置，將其安裝在定向儀上， 定向儀的旋轉(zhuǎn)軸伸入固定基座和移動(dòng)基座的通孔內(nèi)，將待定向晶圓棒放置在旋 轉(zhuǎn)軸上，并用定位桿定位，通過旋轉(zhuǎn)、左右擺動(dòng)晶圓棒找到晶向，將晶圓棒夾
3緊后用粘接裝置將晶圓棒粘接在加工用工裝上進(jìn)行加工。采用本裝置，確保加 工時(shí)的晶向與在定向裝置上找到的晶向一致，定向精度高，生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì) 量都得到大幅度提高，同時(shí)減少了專用粘接儀，節(jié)省了大量的設(shè)備投資，降低 了成本。


圖1是本實(shí)用新型晶圓棒c向定向裝置主視圖。 圖2是本實(shí)用新型晶圓棒A向定向裝置主視圖。 圖3是圖2的俯視圖。
圖中標(biāo)記1、 C向定向裝置的固定基座2、移動(dòng)基座3、移動(dòng)螺母4、旋 轉(zhuǎn)螺母5、旋轉(zhuǎn)輥6、緊固螺母7、晶圓棒8、定位桿9、旋轉(zhuǎn)軸10、 A向定 向裝置的固定基座11、旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)12、旋轉(zhuǎn)手柄13、定位座14、緊固螺母15、 定位輥
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。 如圖1所示為本實(shí)用新型藍(lán)寶石晶圓棒C向定向裝置，包括固定基座l，其 上部設(shè)置移動(dòng)基座2，固定基座和移動(dòng)基座的一端設(shè)置對(duì)應(yīng)通孔，在固定基座的 另一端的兩側(cè)設(shè)置安裝板，安裝板上部設(shè)置有螺桿和與之螺紋連接的移動(dòng)螺母 3，螺桿的另一端與移動(dòng)基座相對(duì)應(yīng)。分別旋轉(zhuǎn)兩側(cè)的移動(dòng)螺母，使移動(dòng)基座相 對(duì)固定基座水平移動(dòng)；移動(dòng)基座上固連有支撐座，支撐座上套接旋轉(zhuǎn)輥5。將本 裝置安裝在定向儀上，定向儀的旋轉(zhuǎn)軸9伸入固定基座和移動(dòng)基座的通孔內(nèi)， 移動(dòng)基座上還設(shè)置有支撐板，支撐板上設(shè)置晶圓棒緊固裝置。待定向晶圓棒7 放置在旋轉(zhuǎn)輥上，并通過固定在移動(dòng)基座定位孔內(nèi)的定位桿8定位。驅(qū)使旋轉(zhuǎn) 輥端頭的旋轉(zhuǎn)螺母4，使旋轉(zhuǎn)輥帶動(dòng)晶圓棒作周向旋轉(zhuǎn)；通過定向儀找到晶圓棒 的一個(gè)晶向，在晶圓棒端面上畫一條垂線，然后將其旋轉(zhuǎn)90度，使垂線處于水 平狀態(tài)，旋轉(zhuǎn)移動(dòng)螺母3，使移動(dòng)基座相對(duì)固定基座繞旋轉(zhuǎn)軸作水平移動(dòng)，找到 藍(lán)寶石晶圓棒的晶向后，即將兩側(cè)的移動(dòng)螺母相對(duì)旋緊，使移動(dòng)基座固定。然 后旋轉(zhuǎn)緊固螺母6將晶圓棒夾持緊固在旋轉(zhuǎn)輥上，再用粘接裝置將緊固的晶圓 棒粘接在加工用工裝上，待粘膠固化后，松開緊固螺母，將晶圓棒放到切割機(jī) 上進(jìn)行加工。該裝置由于和定向儀固定在一起，只需要和加工工裝配合使用， 就可以實(shí)現(xiàn)晶圓棒精確定向加工，克服了以前的定向和粘接分開進(jìn)行的二次裝 夾所帶來的晶向誤差，保證了加工晶圓棒角度的精確性。提高了產(chǎn)品定向精度，消除了由于定向誤差所產(chǎn)生的廢品，生產(chǎn)效率、產(chǎn)品質(zhì)量都得到大幅度提高。
作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，還包括一個(gè)晶圓棒A向定向裝置，如圖2-3 所示，其包括固定基座10，所述固定基座的內(nèi)腔設(shè)置與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相連的旋 轉(zhuǎn)工作臺(tái)ll，旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)上部設(shè)置固連在基座固連上的定位座13，定位座的通 孔與下部的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)相對(duì)應(yīng)，通孔一側(cè)設(shè)置兩個(gè)定位輥15,另一側(cè)的孔內(nèi)設(shè) 有緊固裝置，包括螺桿和與之螺紋連接的緊固螺母14，螺桿從定位座的外側(cè)伸 入定位座的通孔中。將滾完外圓的C向晶圓棒放置在定位座內(nèi)并靠定位輥定位， 然后通過旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)上旋轉(zhuǎn)手柄12使晶圓棒在360度范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)，待找到晶圓 棒柱面上的A向后，用緊固螺母14將晶圓棒固定，再用粘接裝置將緊固的晶圓 棒粘接在加工用工裝上，待粘膠固化后，松開緊固螺母，將晶圓棒放到切割機(jī) 上進(jìn)行標(biāo)志弦的加工。加工。采用該裝置進(jìn)行晶向定位，只需要在定位后和加 工工裝配合使用，就可以實(shí)現(xiàn)晶圓棒精確定向加工，克服了以前的定向和粘接 分開進(jìn)行的二次裝夾所帶來的晶向誤差，保證了加工晶圓棒角度的精確性。
需要說明的是雖然上述實(shí)施例已經(jīng)詳細(xì)描述了本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)，但本 實(shí)用新型并不限于上述實(shí)施例，凡是本領(lǐng)域技術(shù)人員從上述實(shí)施例中不經(jīng)過創(chuàng) 造性勞動(dòng)就可以想到的替換結(jié)構(gòu)，均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1、一種藍(lán)寶石晶圓棒快速精確定向裝置，其特征在于包括晶圓棒C向定向裝置，所述C向定向裝置包括固定基座，所述固定基座的上部設(shè)置移動(dòng)基座，固定基座和移動(dòng)基座的一端對(duì)應(yīng)設(shè)置通孔，在固定基座的另一端設(shè)置使移動(dòng)基座水平移動(dòng)的機(jī)構(gòu)；螺母移動(dòng)基座上還設(shè)置定位孔，定位孔內(nèi)設(shè)置定位桿；移動(dòng)基座上固連有支撐座，支撐座上套接旋轉(zhuǎn)輥，旋轉(zhuǎn)輥與手動(dòng)或電動(dòng)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相連；移動(dòng)基座上還設(shè)置有支撐板，支撐板上設(shè)置晶圓棒緊固裝置。
2、 如權(quán)利要求l所述的藍(lán)寶石晶圓棒快速精確定向裝置，其特征在于 所述水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括分別設(shè)置在固定基座兩側(cè)的安裝板，安裝板上部設(shè)置有 螺桿和與之螺紋連接的移動(dòng)螺母，螺桿的另一端與移動(dòng)基座相對(duì)應(yīng)。
3、 如權(quán)利要求1所述的藍(lán)藍(lán)寶石晶圓棒快速精確定向裝置，其特征在于: 所述旋轉(zhuǎn)輥的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括與旋轉(zhuǎn)輥固連的螺桿和與之螺紋連接的旋轉(zhuǎn)螺 母。
4、 如權(quán)利要求l所述的藍(lán)寶石晶圓棒快速精確定向裝置，其特征在于 所述支撐板上設(shè)置的緊固裝置包括緊固螺母和與之螺紋連接的螺桿。
5、 如權(quán)利要求1、 2、 3或4所述的藍(lán)寶石晶圓棒快速精確定向裝置，其 特征在于還包括晶圓棒A向定向裝置，所述A向定向裝置包括固定基座，所 述固定基座的內(nèi)腔設(shè)置與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相連的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)上部設(shè) 置與固定基座固連的定位座，定位座的通孔與下部的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)相對(duì)應(yīng)，通孔 一側(cè)設(shè)置定位裝置，另一側(cè)設(shè)置晶圓棒緊固裝置。
6、 如權(quán)利要求5所述的藍(lán)寶石晶圓棒快速精確定向裝置，其特征在于所述定位裝置為定位輥。
7、 如權(quán)利要求6所述的藍(lán)寶石晶圓棒快速精確定向裝置，其特征在于所述緊固裝置包括螺桿和與之螺紋連接的緊固螺母，所述螺桿從定位座的外側(cè) 伸入定位座的通孔中。
專利摘要一種藍(lán)寶石晶圓棒快速精確定向裝置，包括固定基座，所述固定基座的上部設(shè)置移動(dòng)基座，固定基座和移動(dòng)基座的一端對(duì)應(yīng)設(shè)置通孔，在固定基座的另一端設(shè)置使移動(dòng)基座水平移動(dòng)的機(jī)構(gòu)；移動(dòng)基座上固連有支撐座，支撐座上套接旋轉(zhuǎn)輥；移動(dòng)基座上還設(shè)置有晶圓棒緊固裝置。將定向儀的旋轉(zhuǎn)軸伸入本實(shí)用新型裝置固定基座和移動(dòng)基座的通孔內(nèi)，將待定向晶圓棒放置在旋轉(zhuǎn)輥上，通過旋轉(zhuǎn)、左右擺動(dòng)晶圓棒找到晶向，將晶圓棒夾緊后用粘接裝置將晶圓棒粘接在加工用工裝上進(jìn)行加工。采用本裝置，確保加工時(shí)的晶向與在定向裝置上找到的晶向一致，定向精度高，生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量都得到大幅度提高，同時(shí)減少了專用粘接儀，節(jié)省了大量的設(shè)備投資，降低了生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)C30B33/06GK201236222SQ200820064559
公開日2009年5月13日 申請日期2008年8月1日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月1日
發(fā)明者王國強(qiáng), 兵 肖, 胡建軍 申請人:成都東駿激光有限責(zé)任公司