專(zhuān)利名稱(chēng)：電光學(xué)元件的制造方法、電光學(xué)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種電光學(xué)元件的制造方法、電光學(xué)裝置。
背景技術(shù)：
以往，液晶顯示裝置或有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置(有機(jī)EL顯示裝置)等電光學(xué)裝置，作為顯示組件被搭載在便攜式電話或PDA等攜帶用電子機(jī)器中。近年來(lái)，即使在這些電子機(jī)器中，為了較多地看見(jiàn)精細(xì)的圖像，優(yōu)選提高構(gòu)成上述電光學(xué)裝置的電光學(xué)元件的顏色再現(xiàn)性。
這里，提出了一種改善這樣的電光學(xué)元件的顏色再現(xiàn)性的微腔(Microcavity)構(gòu)造(例如非專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。在該非專(zhuān)利文獻(xiàn)1的微腔構(gòu)造中，所謂的頂部發(fā)射構(gòu)造，由在具有反射層的陽(yáng)極和具有半透射性的陰極之間配置的有機(jī)EL層構(gòu)成。該微腔構(gòu)造，作為從有機(jī)EL層發(fā)出的光的波長(zhǎng)中，選擇與紅色(R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)的任一種對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)并輸出的一種光學(xué)濾光器發(fā)揮功能。
即，從有機(jī)EL層發(fā)光并由陽(yáng)極反射的光(反射光)，與同樣地從有機(jī)EL層發(fā)光并透射陰極的光(透射光)產(chǎn)生多重干涉，而發(fā)射給定波長(zhǎng)的光。然后，通過(guò)改變陽(yáng)極和陰極之間的光學(xué)距離，從而改變上述反射光和透射光產(chǎn)生的干涉，并能夠選擇性地輸出紅色、綠色、藍(lán)色波長(zhǎng)分別不同的光。因此，該微腔構(gòu)造中，通過(guò)在陽(yáng)極和陰極之間，配置紅色、綠色、藍(lán)色膜厚分別不同的ITO(Indium Tin Oxide)，從而依據(jù)各種顏色改變光學(xué)距離，并發(fā)射與各種顏色對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)的光。其結(jié)果，得到顏色純度較高的發(fā)光，實(shí)現(xiàn)逼真的顏色再現(xiàn)性。
然而，該微腔構(gòu)造，以往由于是通過(guò)光刻法而生產(chǎn)的，因此為了使紅色、綠色、藍(lán)色的ITO膜厚分別不同地成膜，需要多次光刻工序。其結(jié)果，用于形成電光學(xué)裝置的制造工序數(shù)量較多，損壞其生產(chǎn)性。
非專(zhuān)利文獻(xiàn)1Mitsuhiro Kashiwabara另著“Advanced AM-OLEDDisplay Based on White Emitter with Microcavity Structure”SID 04 DIGESTp1017-1019，2004。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明正是為了解決上述問(wèn)題而提出的，其目的在于提供一種提高顏色再現(xiàn)性，并提高生產(chǎn)性的電光學(xué)元件的制造方法、電光學(xué)裝置。
為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明的電光學(xué)元件的制造方法為，在層疊于基板上的發(fā)光層上形成第1電極和第2電極，通過(guò)上述第1以及第2電極使電流流過(guò)上述發(fā)光層，上述發(fā)光層發(fā)光的、電光學(xué)元件的制造方法，在上述第1電極的發(fā)光層一側(cè)，由液滴噴吐裝置將含有導(dǎo)電性材料的功能液噴出，形成光透射性的導(dǎo)電性隔離片。
根據(jù)本發(fā)明，在第1電極的發(fā)光層一側(cè)，通過(guò)液滴噴吐裝置將含有導(dǎo)電性材料的功能液噴出，從而形成光透射性的導(dǎo)電性隔離片。其結(jié)果，僅通過(guò)由液滴噴吐裝置將功能液噴出，便能夠容易地形成光透射性的導(dǎo)電性隔離片。因此，與例如通過(guò)光刻工序形成光透射性的導(dǎo)電性隔離片時(shí)相比，由于能夠削減制造工序數(shù)，因此能夠提高生產(chǎn)性。
本發(fā)明的電光學(xué)元件的制造方法中，上述第2電極為光透射性的電極，上述第1電極為光反射性的電極，在上述第1電極的發(fā)光層一側(cè)通過(guò)液滴噴吐裝置將含有導(dǎo)電性材料的功能液噴出，從而形成光透射性的導(dǎo)電性隔離片。
根據(jù)本發(fā)明，第2電極為光透射性的電極，第1電極為光反射性的電極，在第1電極的發(fā)光層一側(cè)由液滴噴吐裝置將含有導(dǎo)電性材料的功能液噴出，從而形成光透射性的導(dǎo)電性隔離片。其結(jié)果，例如，在頂部發(fā)射構(gòu)造的電光學(xué)元件中，能夠通過(guò)液滴噴吐裝置噴吐的功能液形成光透射性的導(dǎo)電性隔離片。因此，具有高亮度同時(shí)還能夠提高生產(chǎn)性。
本發(fā)明的電光學(xué)元件的制造方法中，上述第2電極為光透射性的電極，上述第1電極為光透射性的電極，在上述第1電極的發(fā)光層一側(cè)由液滴噴吐裝置將含有導(dǎo)電性材料的功能液噴出，從而形成光透射性的導(dǎo)電性隔離片，在上述第1電極和上述基板之間形成光反射層。
根據(jù)本發(fā)明，第2電極為光透射性的電極，第1電極為光透射性的電極，在第1電極的發(fā)光層一側(cè)由液滴噴吐裝置將含有導(dǎo)電性材料的功能液噴出，從而形成光透射性的導(dǎo)電性隔離片，在第1電極和基板之間形成光反射層。其結(jié)果為，例如在第1以及第2電極均為具有光透射性的電極的頂部發(fā)射構(gòu)造的電光學(xué)元件中，能夠通過(guò)液滴噴吐裝置噴出的功能液從而形成光透射性的導(dǎo)電性隔離片。因此，具有高亮度同時(shí)還提高生產(chǎn)性。
本發(fā)明的電光學(xué)元件的制造方法中，上述基板為透明基板，上述第2電極為光反射性的電極，上述第1電極為光透射性的電極，在上述第1電極的發(fā)光層一側(cè)通過(guò)液滴噴吐裝置將含有導(dǎo)電性材料的功能液噴出，從而形成光透射性的導(dǎo)電性隔離片。
根據(jù)本發(fā)明，基板為透明基板，第2電極為光反射性的電極，第1電極為光透射性的電極，在第1電極的發(fā)光層一側(cè)通過(guò)液滴噴吐裝置將含有導(dǎo)電性材料的功能液噴出，從而形成光透射性的導(dǎo)電性隔離片。其結(jié)果為，例如在底部發(fā)射構(gòu)造的電光學(xué)元件中，通過(guò)液滴噴吐裝置噴出的功能液便能夠形成光透射性的導(dǎo)電性隔離片。因此，能夠提高生產(chǎn)性。
本發(fā)明的電光學(xué)元件的制造方法中，上述基板為透明基板，上述第2電極為光透射性的電極，上述第1電極為光透射性的電極，在上述第1電極的發(fā)光層一側(cè)通過(guò)液滴噴吐裝置將含有導(dǎo)電性材料的功能液噴出，從而形成光透射性的導(dǎo)電性隔離片，在與上述第2電極的上述發(fā)光層的相反側(cè)形成光反射層。
根據(jù)本發(fā)明，基板為透明基板，第2電極為光透射性的電極，第1電極為光透射性的電極，在第1電極的發(fā)光層一側(cè)由液滴噴吐裝置將含有導(dǎo)電性材料的功能液噴出，從而形成光透射性的導(dǎo)電性隔離片，在與第2電極的發(fā)光層的相反側(cè)形成光反射層。其結(jié)果，例如在第1以及第2電極均為具有光透射性的電極的底部發(fā)射構(gòu)造的電光學(xué)元件中，通過(guò)液滴噴吐裝置噴出的功能液，便能夠形成光透射性的導(dǎo)電性隔離片。因此，能夠提高生產(chǎn)性。
本發(fā)明的電光學(xué)元件的制造方法中，上述發(fā)光層由有機(jī)材料形成，上述電光學(xué)元件為有機(jī)電致發(fā)光元件。
根據(jù)本發(fā)明，能夠提高有機(jī)電致發(fā)光元件的生產(chǎn)性。
本發(fā)明的電光學(xué)元件的制造方法中，上述發(fā)光層由發(fā)出白色光的有機(jī)材料形成。
根據(jù)本發(fā)明，能夠提高發(fā)光層由發(fā)出白色光的有機(jī)材料形成的電光學(xué)元件的生產(chǎn)性。
本發(fā)明的電光學(xué)元件的制造方法中，從上述液滴噴吐裝置噴出的含有上述導(dǎo)電性材料的功能液的噴出量，為使上述光透射性的導(dǎo)電性隔離片的膜厚為與上述電光學(xué)元件發(fā)射的光的波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的膜厚的噴出量。
根據(jù)本發(fā)明，從液滴噴吐裝置噴出的含有導(dǎo)電性材料的功能液的噴出量，為使光透射性的導(dǎo)電性隔離片的膜厚為與電光學(xué)元件發(fā)射的光的波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的膜厚的噴出量。其結(jié)果為，僅通過(guò)對(duì)液滴噴吐裝置噴出的功能液的噴出量進(jìn)行控制，就能夠容易地依據(jù)電光學(xué)元件發(fā)射的光的波長(zhǎng)形成不同膜厚的光透射性的導(dǎo)電性隔離片。因此，與例如通過(guò)多次光刻工序形成不同膜厚的光透射性的導(dǎo)電性隔離片時(shí)相比，由于能夠削減制造工序數(shù)，因此可提高顏色再現(xiàn)性，同時(shí)提高生產(chǎn)性。
本發(fā)明的電光學(xué)裝置，具備由上述電光學(xué)元件的制造方法制造的電光學(xué)元件。
根據(jù)本發(fā)明，能夠提高具備上述電光學(xué)元件的電光學(xué)裝置的生產(chǎn)性。


圖1為表示使本發(fā)明具體化后的有機(jī)EL顯示組件的概略平面圖。
圖2表示該具體化的子像素的概略剖視圖。
圖3為表示該具體化的有機(jī)EL元件的概略剖視圖。
圖4為說(shuō)明該具體化的從子像素發(fā)射的光的說(shuō)明圖。
圖5為表示該具體化的液滴噴吐裝置的概略正剖視圖。
圖6為表示另一例的底部發(fā)射構(gòu)造的有機(jī)EL元件的概略剖視圖。
圖7為表示其他例的多光子構(gòu)造的有機(jī)EL元件的概略剖視圖。
圖中10-有機(jī)EL顯示組件，11-有機(jī)EL顯示器，13-玻璃基板，15-像素電路，15R、15G、15B-子像素，16-有機(jī)EL元件，44-液滴噴頭，Ds-液滴，Lr、Lg、Lb-光學(xué)距離，Oe-有機(jī)EL元件，Or-發(fā)光層，Ot-空穴輸送層，Pa-陰極，Pc-陽(yáng)極，Pr-反射層，Ps、Psr、Psg、Psb-隔離片，Pu-ITO形成材料，N-噴嘴。
具體實(shí)施例方式
以下，依據(jù)圖1～圖5對(duì)具體化本發(fā)明后的一實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖1表示將有機(jī)電致發(fā)光顯示組件10(有機(jī)EL顯示組件)作為顯示組件的概略平面圖。
有機(jī)EL顯示器11，在本實(shí)施方式中為頂部發(fā)射型的顯示器，具備作為平面板狀的基板的玻璃基板13。在該玻璃基板13的表面(像素形成面13a)的大致中央位置，形成四方形狀的顯示區(qū)域14。在該顯示區(qū)域14內(nèi)，圖1中向上下方向(列方向)延伸的多根數(shù)據(jù)線Ld，和與該數(shù)據(jù)線Ld并列設(shè)置的電源線Lv以給定間隔排列。在與該數(shù)據(jù)線Ld正交的方向(行方向)上，延伸在該行方向的多根掃描線Ls以給定間隔排列。在這些數(shù)據(jù)線Ld和掃描線Ls的交差位置上，形成分別與各個(gè)紅色(R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)對(duì)應(yīng)的子像素15R、15G、15B。即，子像素15R、15G、15B，通過(guò)與分別對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)線Ld、電源線Lv以及掃描線Ls連接，從而呈矩陣狀反復(fù)排列。并且，將與紅色、綠色、藍(lán)色對(duì)應(yīng)的子像素15R、15G、15B分別作為一組，構(gòu)成像素電路15，其在掃描線Ls上，按順序反復(fù)排列。
像素電路15，具有作為通過(guò)提供驅(qū)動(dòng)電流而發(fā)光的電光元件的有機(jī)電致發(fā)光元件(有機(jī)EL元件)16；對(duì)該有機(jī)EL元件16的發(fā)光進(jìn)行控制的薄膜晶體管(TFT)17；還有未圖示的電容元件等。
在作為像素形成面13a的一側(cè)端的顯示區(qū)域14的左側(cè)，形成以COG(Chip on glass)方式安裝的掃描線驅(qū)動(dòng)電路18。掃描線驅(qū)動(dòng)電路18，對(duì)于上述各掃描線Ls，輸出用于選擇掃描線Ls上的子像素15R、15G、15B的掃描信號(hào)。而且，掃描線驅(qū)動(dòng)電路18，與未圖示的印刷基板連接，基于從該印刷基板的控制用IC等輸出的控制信號(hào)，在給定的時(shí)刻將上述掃描信號(hào)輸出給給定的掃描線Ls。并且，通過(guò)由四方形狀的保護(hù)玻璃基板13b(圖1中的兩點(diǎn)劃線)覆蓋像素形成面13a的大致整個(gè)面，從而對(duì)這些掃描線驅(qū)動(dòng)電路18以及顯示區(qū)域14進(jìn)行保護(hù)。
在作為像素形成面13a的一側(cè)端的顯示區(qū)域14的下側(cè)，形成數(shù)據(jù)線端子形成部19。在該數(shù)據(jù)線端子形成部19，形成與各數(shù)據(jù)線Ld對(duì)應(yīng)的多個(gè)數(shù)據(jù)線端子(未圖示)。各個(gè)數(shù)據(jù)線端子，為由銅箔等形成的端子，沿著玻璃基板13的下側(cè)邊13c等間距排列，并分別與對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)線Ld電連接。并且，通過(guò)使各個(gè)數(shù)據(jù)線端子從上述保護(hù)玻璃基板13b露出，從而各個(gè)數(shù)據(jù)線Ld，可與外部電連接。
如圖1所示，在作為像素形成面13a的一側(cè)端的數(shù)據(jù)線端子形成部19的表側(cè)，連接柔性基板12。該柔性基板12上，具備基板主體20?；逯黧w12，為在上下方向形成較長(zhǎng)的長(zhǎng)尺狀的柔性基板，由具有電絕緣性的聚酰亞胺樹(shù)脂形成。并且，柔性基板12，按照使其基板主體20的表面(圖1的背面)與像素形成面13a相向的方式而設(shè)置。在基板主體20的表面，在與上述數(shù)據(jù)線端子形成部19相向的位置，設(shè)置外部端子形成部23。在該外部端子形成部23，以與上述數(shù)據(jù)線端子相向的間距寬度形成多個(gè)連接端子(未圖示)。并且，柔性基板12，通過(guò)所謂的異方性導(dǎo)電膜(ACF)方式與各個(gè)連接端子對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)線端子電連接，并被安裝在有機(jī)EL顯示器11(有機(jī)EL顯示組件10)中。
在外部端子形成部23的下側(cè)，安裝驅(qū)動(dòng)用IC芯片27。驅(qū)動(dòng)用IC芯片27，生成并提供用于使有機(jī)EL元件16發(fā)光的驅(qū)動(dòng)信號(hào)以及驅(qū)動(dòng)電壓。驅(qū)動(dòng)用IC芯片27，通過(guò)上述異方性導(dǎo)電膜(ACF)方式被安裝在基板主體20(柔性基板12)上。
并且，使在該驅(qū)動(dòng)用IC芯片27的輸出側(cè)(有機(jī)EL顯示器11一側(cè))形成的未圖示的連接端子與在上述外部端子形成部23中形成的連接端子，通過(guò)輸出布線30被連接，從而驅(qū)動(dòng)用IC芯片27，與各數(shù)據(jù)線Ld以及電源線Lv電連接。并且，使在驅(qū)動(dòng)用IC芯片27的輸入側(cè)(圖1中下側(cè))形成的未圖示的連接端子與未圖示的印刷基板的控制用IC通過(guò)輸入布線31被連接，從而驅(qū)動(dòng)用IC芯片27，與該控制用IC電連接。
并且，驅(qū)動(dòng)用IC芯片27，基于從控制用IC輸出的控制信號(hào)，將驅(qū)動(dòng)電壓提供給電源線Lv，同時(shí)將數(shù)據(jù)信號(hào)在給定的時(shí)刻輸出到給定的數(shù)據(jù)線Ld。即，一旦驅(qū)動(dòng)用IC芯片27將上述數(shù)據(jù)信號(hào)輸出給由上述掃描信號(hào)選擇的像素電路15(子像素15R、15G、15B)，則像素電路15(子像素15R、15G、15B)的有機(jī)EL元件16基于該數(shù)據(jù)信號(hào)發(fā)光。
圖2為在有機(jī)EL顯示器11的玻璃基板13上形成的子像素15R、15G、15B中、與紅色對(duì)應(yīng)的子像素15R的剖視圖。另外，其它的子像素15G、15B，除后述的陽(yáng)極Pc的膜厚以外，都與子像素15R的構(gòu)成相同，因此省略其圖示和說(shuō)明。本實(shí)施方式中，如圖4所示，在被分別配置在子像素15R、15G、15B中的發(fā)出白色光的有機(jī)EL元件16的上面，分別配置與紅色、綠色、藍(lán)色對(duì)應(yīng)的濾色器CFR、CFG、CFB，以進(jìn)行全彩色顯示。圖4為對(duì)從與各種顏色對(duì)應(yīng)的像素電路15(子像素15R、15G、15B)發(fā)射的光進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖。
如圖2所示，TFT17，在其最下層具備溝道膜B1。溝道膜B1，為在像素形成面13a上形成的島狀p型聚硅膜，在圖2中的左右兩側(cè)，具備活性化的未圖示的n型區(qū)域(源極區(qū)域以及漏極區(qū)域)。即，TFT17，為所謂的聚硅型TFT。
從像素形成面13a一側(cè)，向溝道膜B1的上側(cè)中央位置，依次形成柵極絕緣膜D0、柵電極Pg以及柵布線M1。柵極絕緣膜D0，為氧化硅膜等具有光透射性的絕緣膜，堆積在像素形成面13a的大致整個(gè)面。柵電極Pg，為鉭等低電阻金屬膜，形成于溝道膜B1的大致中央位置。柵極布線M1，為ITO等具有光透射性的透明導(dǎo)電膜，使柵電極Pg與驅(qū)動(dòng)用IC芯片27(參照?qǐng)D1)電連接著。并且，一旦驅(qū)動(dòng)用IC芯片27通過(guò)柵極布線M1向柵電極Pg輸入數(shù)據(jù)信號(hào)，則TFT17，基于其數(shù)據(jù)信號(hào)成為導(dǎo)通狀態(tài)。
在溝道膜B1的上述源極區(qū)域以及漏極區(qū)域的上側(cè)，形成在圖2中向上側(cè)延伸的源極接觸器Sc以及漏極接觸器Dc。各接觸器Sc、Dc，由使與溝道膜B1的接觸電阻變低的金屬硅化物等金屬膜形成。并且，這些各個(gè)接觸器Sc、Dc以及柵電極Pg(柵布線M1)，通過(guò)由氧化硅膜等組成的第1層間絕緣膜D1分別被電絕緣。
在各個(gè)接觸器Sc、接觸器Dc的上側(cè)，分別形成由鋁等低電阻金屬膜組成的電源線M2s以及陽(yáng)極線M2d。電源線M2s，使源極接觸器Sc與未圖示的驅(qū)動(dòng)電源電連接。陽(yáng)極線M2d，使漏極接觸器Dc與有機(jī)EL元件16電連接。這些電源線M2s以及陽(yáng)極線M2d，通過(guò)由氧化硅膜等絕緣性材料組成的平坦化膜D2分別被電絕緣。并且，通過(guò)形成該平坦化膜D2，就能夠使在該平坦化膜D2上形成的有機(jī)EL元件16平坦化。并且，一旦TFT17基于數(shù)據(jù)信號(hào)成為導(dǎo)通狀態(tài)，則與該數(shù)據(jù)信號(hào)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電流，被從電源線M2s(驅(qū)動(dòng)電源)提供給陽(yáng)極線M2d(有機(jī)EL元件16)。
如圖2所示，在平坦化膜D2的上側(cè)，形成有機(jī)EL元件16。在該有機(jī)EL元件16的最下層，形成陽(yáng)極Pc(相當(dāng)于發(fā)明之一以及之二所述的第1電極)。
陽(yáng)極Pc，如圖3所示，由反射層Pr和隔離片Ps的層疊構(gòu)造而構(gòu)成，隔離片Ps，為在反射層Pr的上部層疊的光透射性的導(dǎo)電性隔離片。另外，圖3為有機(jī)EL元件16的剖視圖。反射層Pr，在本實(shí)施方式中，由例如Cr等金屬材料形成。
隔離片Ps，在本實(shí)施方式中，為例如ITO等具有光透射性的透明導(dǎo)電膜，由10mm以上的膜厚形成。該隔離片Ps，在本實(shí)施方式中，依據(jù)各種顏色使其膜厚不同，如圖4所示，按照與藍(lán)色對(duì)應(yīng)的子像素15B的隔離片Psb、與綠色對(duì)應(yīng)的子像素15G的隔離片Psg、與紅色對(duì)應(yīng)的子像素15R的隔離片Psr的順序依次變厚的方式形成。
如圖2所示，陽(yáng)極Pc，其一端與陽(yáng)極線M2d連接。其陽(yáng)極Pc的上側(cè)外圍，按照包圍該陽(yáng)極Pc的方式堆積第3層間絕緣膜D3。第3層間絕緣膜D3，由感光性聚酰亞胺或丙稀等樹(shù)脂膜形成，并使各有機(jī)EL元件16的陽(yáng)極Pc電絕緣。而且，第3層間絕緣膜D3，使陽(yáng)極Pc的上側(cè)打開(kāi)，形成由其內(nèi)周面組成的隔壁D3a。
在陽(yáng)極Pc的上側(cè)的隔壁D3a內(nèi)側(cè)，形成由有機(jī)材料組成的有機(jī)電致發(fā)光層(有機(jī)EL層)Oe。有機(jī)EL層Oe，如圖3所示，為由空穴輸送層Ot和發(fā)光層Or這2層組成的有機(jī)化合物層。另外，本實(shí)施方式中，該發(fā)光層Or，為發(fā)出白色光的發(fā)光層。在該有機(jī)EL層Oe的上側(cè)，形成陰極Pa(相當(dāng)于本發(fā)明之一以及之二所述的電極)，該陰極Pa形成在ITO等具有光透射性的透明導(dǎo)電膜、與有機(jī)EL層Oe之間的界面上，由Mg等金屬膜組成。如圖2所示，為了覆蓋像素形成面13a一側(cè)的整個(gè)面，而形成陰極Pa，各個(gè)像素電路15通過(guò)共用該陰極Pa，從而向各個(gè)有機(jī)EL元件16提供公共電位。
即，有機(jī)EL元件16，為由這些陽(yáng)極Pc(反射層Pr、隔離片Ps)、有機(jī)EL層Oe以及陰極Pa形成的有機(jī)電致發(fā)光元件(有機(jī)EL元件)。
在陰極Pa的上側(cè)，由樹(shù)脂等涂布材料形成密封部P1，其用于防止各種金屬膜或有機(jī)EL層Oe的氧化等。并且，在該密封部P1的上面形成第4層間絕緣膜D4。第4層間絕緣膜D4，由感光性聚酰亞胺或丙稀等樹(shù)脂膜形成。并且，第4層間絕緣膜D4，使上述有機(jī)EL層Oe的上側(cè)打開(kāi)，形成由其內(nèi)周面組成的隔壁D4a。并且，在密封部P1的上側(cè)的隔壁D4a的內(nèi)側(cè)，形成濾色器CFR。濾色器CFR，由與紅色對(duì)應(yīng)的顏料形成。并且，在濾色器CFR的上側(cè)，由樹(shù)脂等涂布材料形成密封部P2，其用于防止濾色器CFR的氧化等。
而且，一旦將與數(shù)據(jù)信號(hào)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電流提供給陽(yáng)極線M2d，則有機(jī)EL層Oe，以與該驅(qū)動(dòng)電流對(duì)應(yīng)的亮度發(fā)光。此時(shí)，從有機(jī)EL層Oe向陰極Pa一側(cè)(圖2中的上側(cè))發(fā)出的光，透射陰極Pa、密封部P1、濾色器CFR、密封部P2(以下稱(chēng)作透射光)。并且，從有機(jī)EL層Oe向陽(yáng)極Pc側(cè)(圖2中的下側(cè))發(fā)出的光，通過(guò)陽(yáng)極Pc的反射層Pr被反射(以下稱(chēng)作反射光)，并透射隔離片Ps、有機(jī)EL層Oe、陰極Pa、密封部P1、濾色器CFR、密封部CFR、密封部P2。并且，上述透射光和反射光產(chǎn)生干涉后的光向保護(hù)玻璃基板13b一側(cè)發(fā)射。
由于該被發(fā)射的光的光譜的波長(zhǎng)λ，依賴于作為反射層Pr和陰極Pa的距離的光學(xué)距離Lr、Lg、Lb(參照?qǐng)D4)，因此通過(guò)依據(jù)各種顏色(紅色、綠色、藍(lán)色)改變?cè)摴鈱W(xué)距離Lr、Lg、Lb，從而得到與各種顏色對(duì)應(yīng)的光的波長(zhǎng)λ。本實(shí)施方式中，通過(guò)依據(jù)各種顏色形成不同厚度的隔離片Ps(Psr、Psg、Psb)，改變光學(xué)距離Lr、Lg、Lb，從而得到與各種顏色對(duì)應(yīng)的光的波長(zhǎng)λ。
即，如圖4所示，在與光的波長(zhǎng)最長(zhǎng)的紅色對(duì)應(yīng)的子像素15R中，按照使光學(xué)距離Lr最長(zhǎng)的方式，形成隔離片Psr，使其膜厚最厚。另一方面，在與光的波長(zhǎng)最短的藍(lán)色對(duì)應(yīng)的子像素15B中，按照使光學(xué)距離Lb最短的方式，形成隔離片Psb，使其膜厚最薄。并且，在與光的波長(zhǎng)處于兩者中間的綠色對(duì)應(yīng)的子像素15G中，按照使光學(xué)距離Lg處于兩者中間的方式，形成隔離片Psg。
接著，以下關(guān)于像素電路15(子像素15R、15G、15B)的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。
首先，在像素形成面13a的整個(gè)面上，通過(guò)采用乙硅烷等為原料氣體的CVD法等堆積非晶硅膜。接著，通過(guò)受激準(zhǔn)分子激光器等向該非晶硅照射紫外線光，以在像素形成面13a的整個(gè)面形成結(jié)晶后的硅膜。接著，通過(guò)光刻法以及蝕刻法使該聚硅膜形成圖案(patterning)，并形成溝道膜B1。
一旦形成溝道膜B1，則通過(guò)采用以硅烷等為原料氣體的CVD法在溝道膜B1以及像素形成面13a的上側(cè)整個(gè)面上堆積氧化硅膜等，形成柵極絕緣膜D0。一旦形成柵極絕緣膜D0，則根據(jù)濺射法等在該柵極絕緣膜Do的上側(cè)整個(gè)面上堆積鉭等低電阻金屬膜，通過(guò)使該低電阻金屬膜形成圖案，從而在柵極絕緣膜D0的上側(cè)形成柵電極Pg。一旦形成柵電極Pg，則通過(guò)將該柵電極Pg作為掩模的粒子摻雜方法，在溝道膜B1上形成n型區(qū)域(源極區(qū)域以及漏極區(qū)域)。接著，通過(guò)濺射法等在柵電極Pg以及柵極絕緣膜D0的上側(cè)整個(gè)面上堆積ITO等具有光透射性的透明導(dǎo)電膜，通過(guò)使該透明導(dǎo)電膜形成圖案，從而在柵電極Pg的上側(cè)形成柵極布線M1。
一旦形成柵極布線M1，則通過(guò)以TEOS(tetraethoxy silane，四乙氧基硅烷)等為原料的CVD方法，在柵極布線M1以及柵極絕緣膜D0的上側(cè)整個(gè)面上堆積氧化硅膜等，形成第1層間絕緣膜D1。一旦形成第1層間絕緣膜D1，則通過(guò)光刻法或蝕刻法等，形成一對(duì)圓形孔(接觸孔Hd、Hs)，其從源極區(qū)域以及漏極區(qū)域到圖2上側(cè)的第1層間絕緣膜D1的上側(cè)為止打開(kāi)。一旦形成接觸孔Hd、Hs，則通過(guò)濺射法等將金屬硅化物埋入該接觸孔Hd、Hs內(nèi)，同時(shí)在第1層間絕緣膜D1的上側(cè)整個(gè)面堆積金屬膜。并且，通過(guò)蝕刻法等將除該接觸孔Hd、Hs內(nèi)以外的金屬膜除掉，從而形成源極接觸器Sc以及漏極接觸器Dc。
一旦形成各個(gè)接觸器Sc、Dc，則通過(guò)濺射法在該接觸器Sc、Dc以及第1層間絕緣膜D1的上側(cè)整個(gè)面上堆積鋁等金屬膜，使該金屬膜形成圖案后形成與各個(gè)接觸器Sc、Dc連接的電源線M2s以及陽(yáng)極線M2d。接著，通過(guò)以TEOS等為原料的CVD法，在這些電源線M2s、陽(yáng)極線M2d以及第1層間絕緣膜D1的上側(cè)整個(gè)面上堆積氧化硅膜等，形成平坦化膜D2。再接著，通過(guò)光刻法或蝕刻法等，形成圓形孔(過(guò)孔Hv)，其使從陽(yáng)極線M2d的一部分到圖2上側(cè)的平坦化膜D2的上側(cè)為止打開(kāi)。一旦形成過(guò)孔Hv，則通過(guò)濺射法等將鉻等金屬膜堆積在平坦化膜D2的上側(cè)整個(gè)面上，同時(shí)埋入該過(guò)孔Hv內(nèi)。然后，使該金屬膜形成圖案，并形成通過(guò)過(guò)孔Hv與陽(yáng)極線M2d連接的陽(yáng)極Pc(反射層Pr)。
一旦形成反射層Pr，則在該反射層Pr上形成抗蝕劑等掩模，在該反射層Pr以及平坦化膜D2的上側(cè)整個(gè)面上堆積感光性聚酰亞胺或丙稀等樹(shù)脂膜。并且，使上述樹(shù)脂等剝離，并形成具備隔壁D3a的第3層間絕緣膜D3。
一旦形成隔壁D3a，接著，在其隔壁D3a內(nèi)形成陽(yáng)極Pc(隔離片Ps)。圖5為說(shuō)明隔離片Ps的形成方法的說(shuō)明圖。首先，關(guān)于用于形成隔離片Ps的液滴噴吐裝置的構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明。
如圖5所示，在玻璃基板13的上側(cè)，配置構(gòu)成液滴噴吐裝置的液滴噴頭44。該液滴噴頭44中，具備噴嘴板45。在該噴嘴板45的一側(cè)面的玻璃基板13一側(cè)的面(噴嘴形成面45a)，沿著垂直方向Z形成多個(gè)噴嘴N，其使作為含有導(dǎo)電性材料的功能液體的ITO形成材料Pu噴出。并且，玻璃基板13，其位置按照使該像素形成面13a與噴嘴形成面45a平行，且各個(gè)隔壁D3a的中心位置與各個(gè)噴嘴N的中心位置相向那樣被決定。
在各個(gè)噴嘴N的上側(cè)，形成與未圖示的容器槽連通且分別與紅色、綠色、藍(lán)色各色對(duì)應(yīng)的供給室46R、46G、46B，其可將ITO形成材料Pu供應(yīng)給噴嘴N內(nèi)。在各個(gè)供給室46R、46G、46B的上側(cè)，設(shè)置振動(dòng)板47，其沿著垂直方向Z往返振動(dòng)，以使各個(gè)供給室46R、46G、46B內(nèi)的容積擴(kuò)大或縮小。在該振動(dòng)板47的上側(cè)的、與各個(gè)供給室46R、46G、46B相向的位置，配置分別與紅色、綠色、藍(lán)色各色對(duì)應(yīng)的壓電元件48R、48G、48B，其分別沿著垂直方向Z產(chǎn)生伸縮運(yùn)動(dòng)，以使振動(dòng)板47振動(dòng)。
接著，關(guān)于通過(guò)上述液滴噴吐裝置形成隔離片Ps的方法進(jìn)行說(shuō)明。
首先，向液滴噴頭44輸入用于形成隔離片Ps的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。接著，基于該驅(qū)動(dòng)信號(hào)使各壓電元件48R、48G、48B分別產(chǎn)生伸縮運(yùn)動(dòng)，使各供給室46R、46G、46B的容積分別擴(kuò)大或縮小。這時(shí)，一旦使各供給室46R、46G、46B的容積縮小，則被縮小后的容積量的ITO形成材料Pu，作為液滴Ds從各個(gè)噴嘴N噴出到對(duì)應(yīng)的隔壁D3a內(nèi)。接著，一旦擴(kuò)大各供給室46R、46G、46B的容積，則被擴(kuò)大后的容積量的ITO形成材料Pu，被從未圖示的容器槽供分別應(yīng)給供給室46R、46G、46B內(nèi)。
即，液滴噴頭44，通過(guò)分別擴(kuò)大或縮小如上的各供給室46R、46G、46B，從而將與關(guān)于各種顏色分別不同的膜厚對(duì)應(yīng)的給定容量的ITO形成材料Pu噴出到隔壁D3a內(nèi)。然后，放置被噴出的ITO形成材料Pu僅給定時(shí)間，以使該ITO形成材料Pu干燥后，通過(guò)將玻璃基板13載送給未圖示的焙燒室進(jìn)行焙燒，從而使具有導(dǎo)電性的隔離片Ps(Psr、Psg、Psb)，按每種顏色分別形成不同的膜厚。
其結(jié)果，例如，使在通過(guò)光刻法形成隔離片Ps(Psr、Psg、Psb)時(shí)，由于不需要用于因每種顏色而改變膜厚的多次光刻工序，因此能夠降低制造工序。而且，由于不需要通過(guò)光刻法或蝕刻法削除在隔離片Ps(Psr、Psg、Psb)以外的地方堆積的ITO，因此能夠降低在制造工序中的ITO的使用量。
一旦形成隔離片Ps，則通過(guò)噴墨法等向由隔壁D3a包圍的隔離片Ps上噴出空穴輸送層Ot的構(gòu)成材料，通過(guò)使該構(gòu)成材料干燥以及凝固，從而形成空穴輸送層Ot。進(jìn)而，通過(guò)噴墨法等，向該空穴輸送層Ot上噴出發(fā)光層Or的構(gòu)成材料，通過(guò)使該構(gòu)成材料干燥以及凝固，從而形成發(fā)光層Or。這樣，形成具備空穴輸送層Ot和發(fā)光層Or的有機(jī)EL層Oe。
一旦形成有機(jī)EL層Oe，則通過(guò)濺射法，向該有機(jī)EL層Oe以及第3層間絕緣膜D3的上側(cè)整個(gè)面上堆積鋁等金屬膜，形成陰極Pa。一旦形成陰極Pa，則通過(guò)CVD法等在陰極Pa的上側(cè)整個(gè)面上堆積樹(shù)脂等涂布材料，形成密封部P1。接著，在該密封部P1上形成抗蝕劑等掩模，并在該密封部P1的上側(cè)整個(gè)面上堆積感光性聚酰亞胺或丙稀等樹(shù)脂膜。并且，使上述抗蝕劑等剝離，形成具備隔壁D4a的第4層間絕緣膜D4。然后，在隔壁D4a內(nèi)形成濾色器CFR(CFG、CFB)并通過(guò)密封部P2進(jìn)行密封，從而在像素形成面13a上形成具備有機(jī)EL元件16的像素電路15(子像素15R、15G、15B)。
根據(jù)上述實(shí)施方式，能夠得到以下所述的效果。
(1)根據(jù)本實(shí)施方式，有機(jī)EL元件16通過(guò)層疊陽(yáng)極Pc(反射層Pr、隔離片Ps)、有機(jī)EL層Oe以及陰極Pa而構(gòu)成。并且，依據(jù)紅色、綠色、藍(lán)色各種顏色使隔離片Ps的膜厚不同。其結(jié)果，能夠高精度地從有機(jī)EL元件16中取出與紅色、綠色、藍(lán)色各種顏色對(duì)應(yīng)的光。因此，能夠提高采用有機(jī)EL元件16的有機(jī)EL顯示器11的顏色再現(xiàn)性。
(2)根據(jù)本實(shí)施方式，依據(jù)紅色、綠色、藍(lán)色各種顏色通過(guò)液滴噴吐裝置(液滴噴頭44)形成不同膜厚的隔離片Psr、Psg、Psb。其結(jié)果為，通過(guò)僅對(duì)ITO形成材料Pu的噴出量進(jìn)行控制，便能夠容易形成不同膜厚的隔離片Psr、Psg、Psb。因此，例如，與通過(guò)多次光刻工序形成不同膜厚的隔離片Psr、Psg、Psb時(shí)相比，能夠削減制造工序數(shù)。
(3)根據(jù)本實(shí)施方式，依據(jù)紅色、綠色、藍(lán)色各種顏色通過(guò)液滴噴吐裝置(液滴噴頭44)形成不同膜厚的隔離片Psr、Psg、Psb。其結(jié)果為，能夠僅向未形成隔離片Psr、Psg、Psb的部分(與有機(jī)EL元件16對(duì)應(yīng)的地方)噴出功能液。因此，例如由于不需要通過(guò)蝕刻將在有機(jī)EL元件16以外的部分堆積的ITO削除，因此能夠降低制造所使用的材料量。
另外，上述實(shí)施方式可按照以下的方式進(jìn)行變更。
上述實(shí)施方式中，玻璃基板13為透明的，當(dāng)然也可以是不銹鋼等不透明的基板。
上述實(shí)施方式中，有機(jī)EL元件16作為頂部發(fā)射構(gòu)造被具體化了，當(dāng)然也可如圖6所示那樣，是底部發(fā)射構(gòu)造。另外，圖6為作為頂部發(fā)射構(gòu)造具體化后的子像素15R中、除去濾色器CFR后的剖視圖。這時(shí)，基板為透明基板，由ITO形成陽(yáng)極Pc(相當(dāng)于發(fā)明之一以及發(fā)明之四所述的第1電極)，通過(guò)改變液滴噴吐裝置噴出的功能液的噴出量，從而使該陽(yáng)極Pc的膜厚因每個(gè)與各種顏色對(duì)應(yīng)的像素電路15(子像素15R、15G、15B)而不同。并且，使作為陰極Pa(相當(dāng)于本發(fā)明之一以及之四所述的第2電極)和陽(yáng)極Pc的距離的光學(xué)距離Lr、Lg、Lb不同。
而且，在該底部發(fā)射構(gòu)造中，其構(gòu)造可以是，由光透射性的電極構(gòu)成陰極Pa，在與陰極Pa的發(fā)光層Or的相反側(cè)形成由Cr等金屬材料組成的反射層Pr(相當(dāng)于本發(fā)明之五所述的光反射層)。
上述實(shí)施方式中，雖然陽(yáng)極Pc由反射層Pr和隔離片Ps構(gòu)成，但是其構(gòu)成也可以是由隔離片Ps構(gòu)成陽(yáng)極Pc，在平坦化膜D2和陽(yáng)極Pc(相當(dāng)于本發(fā)明之一以及之三所述的第1電極)之間形成反射層Pr(相當(dāng)于本發(fā)明之三所述的光反射層)。
上述實(shí)施方式中，雖然將有機(jī)EL元件16作為頂部發(fā)射構(gòu)造具體化了，但是如圖7所示，也可以是使頂部發(fā)射構(gòu)造的有機(jī)EL元件16層疊的多光子的構(gòu)造。另外，圖7為有機(jī)EL元件16的部分放大圖。這時(shí)，也通過(guò)改變液滴噴吐裝置噴出的功能液的噴吐量，從而使隔離片Ps的膜厚因每個(gè)與各種顏色對(duì)應(yīng)的子像素15R、15G、15B而不同，且使作為陰極Pa和陽(yáng)極Pc的距離的、光學(xué)距離Lr、Lg、Lb不同。并且，多光子構(gòu)造、即通過(guò)使有機(jī)EL層Oe(發(fā)光層Or)重疊從而增加產(chǎn)生的光子，可實(shí)現(xiàn)相當(dāng)于100％或者更多的內(nèi)部量子效率。其結(jié)果，能夠提高顏色再現(xiàn)性，同時(shí)以較少的制造工序數(shù)量制造亮度高且壽命長(zhǎng)的有機(jī)EL元件16。
上述實(shí)施方式中，像素電路15，其構(gòu)成為在具有發(fā)出白色光的發(fā)光層Or的有機(jī)EL元件16的上面配置濾色器CFR、CFG、CFB以進(jìn)行全彩色顯示。然而其構(gòu)成也可以是不設(shè)置濾色器CFR、CFG、CFB，而分別使用紅色、綠色、藍(lán)色3種有機(jī)材料作為子像素15R、15G、15B的發(fā)光層Or，以進(jìn)行全彩色顯示。
上述實(shí)施方式中，有機(jī)EL元件16，其構(gòu)成為在具備發(fā)出白色光的發(fā)光層Or的有機(jī)EL元件16上面配置濾色器CFR、CFG、CFB，以進(jìn)行全彩色顯示。然而其構(gòu)成也可以是在具備發(fā)出藍(lán)色光的發(fā)光層的有機(jī)EL元件的上面，配置與子像素15R對(duì)應(yīng)的紅色熒光膜、與子像素15G對(duì)應(yīng)的綠色熒光膜，以進(jìn)行全彩色顯示。
上述實(shí)施方式中，有機(jī)EL元件16的隔離片Psr、Psg、Psb的圖案形成是通過(guò)生成隔壁D3a而進(jìn)行的。然而其也可以是不生成隔壁D3a，而在平坦化膜D2上預(yù)先形成疏液圖案。這時(shí)，在該疏液圖案上通過(guò)液滴噴吐裝置將ITO形成材料Pu噴出，從而與上述實(shí)施方式同樣能夠形成隔離片Psr、Psg、Psb。
上述實(shí)施方式中，有機(jī)EL元件16的隔離片Psr、Psg、Psb的圖案形成是通過(guò)生成隔壁D3a而進(jìn)行的。然而其也可以是不生成隔壁D3a，而在平坦化膜D2上預(yù)先形成親液圖案。這時(shí)，在該親液圖案上通過(guò)液滴噴吐裝置噴出ITO形成材料Pu，從而與上述實(shí)施方式同樣能夠形成隔離片Psr、Psg、Psb。
上述實(shí)施方式中，將液滴噴吐裝置噴出的功能液作為ITO形成材料Pu具體化了，但是并不僅限與此，任何具有光透射性的功能液，只要是在焙燒凝固時(shí)具有導(dǎo)電性的功能液即可。
上述實(shí)施方式中，作為形成隔離片Psr、Psg、Psb的透明電極材料，采用ITO。其也可以是采用ITO、IZO、ATO、FTO、Sn2O、ZnO2、CdO、TiO2、V2O5等作為透明電極材料、半透明電極材料。
上述實(shí)施方式中，作為形成有機(jī)EL元件16的反射層Pr的材料采用Cr。其也可以采用Ti、Ag、Au、Ni、Al以及其合金等。
上述實(shí)施方式中，將顯示組件作為有機(jī)EL顯示組件10被具體化了。然而本發(fā)明并不僅限與此，例如也可以是具備液晶顯示器的顯示組件，或者具備平面狀的電子放射元件、具備利用通過(guò)從該元件放射的電子產(chǎn)生的熒光物質(zhì)發(fā)出的光的電場(chǎng)效應(yīng)型顯示器(FED或SED等)的顯示組件。
權(quán)利要求
1.一種電光學(xué)元件的制造方法，是在層疊于基板上的發(fā)光層上形成第1電極和第2電極，通過(guò)所述第1以及第2電極使電流流過(guò)所述發(fā)光層，所述發(fā)光層發(fā)光的、電光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，在所述第1電極的發(fā)光層一側(cè)，由液滴噴吐裝置將含有導(dǎo)電性材料的功能液噴出，形成光透射性的導(dǎo)電性隔離片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述第2電極為光透射性的電極，所述第1電極為光反射性的電極，在所述第1電極的發(fā)光層一側(cè)通過(guò)液滴噴吐裝置將含有導(dǎo)電性材料的功能液噴出，形成光透射性的導(dǎo)電性隔離片。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述第2電極為光透射性的電極，所述第1電極為光透射性的電極，在所述第1電極的發(fā)光層一側(cè)由液滴噴吐裝置將含有導(dǎo)電性材料的功能液噴出，形成光透射性的導(dǎo)電性隔離片，在所述第1電極和所述基板之間形成光反射層。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述基板為透明基板，所述第2電極為光反射性的電極，所述第1電極為光透射性的電極，在所述第1電極的發(fā)光層一側(cè)通過(guò)液滴噴吐裝置將含有導(dǎo)電性材料的功能液噴出，形成光透射性的導(dǎo)電性隔離片。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述基板為透明基板，所述第2電極為光透射性的電極，所述第1電極為光透射性的電極，在所述第1電極的發(fā)光層一側(cè)通過(guò)液滴噴吐裝置將含有導(dǎo)電性材料的功能液噴出，形成光透射性的導(dǎo)電性隔離片，在與所述第2電極的所述發(fā)光層相反側(cè)形成光反射層。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5任一項(xiàng)所述的電光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述發(fā)光層由有機(jī)材料形成，所述電光學(xué)元件為有機(jī)電致發(fā)光元件。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～6任一項(xiàng)所述的電光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述發(fā)光層，由發(fā)出白色光的有機(jī)材料形成。
8.根據(jù)權(quán)利要求1～7任一項(xiàng)所述的電光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，從所述液滴噴吐裝置噴出的含有所述導(dǎo)電性材料的功能液的噴出量，為使所述光透射性的導(dǎo)電性隔離片的膜厚為與所述電光學(xué)元件發(fā)射的光的波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的膜厚的噴出量。
9.一種電光學(xué)裝置，其特征在于，具備由權(quán)利要求1～8任一項(xiàng)所述的電光學(xué)元件的制造方法所制造的電光學(xué)元件。
全文摘要
有機(jī)EL元件由陽(yáng)極(反射層、隔離片)、有機(jī)EL層以及陰極構(gòu)成。并且，依據(jù)顯示紅色、綠色、藍(lán)色的各個(gè)子像素(15R)、(15G)、(15B)，通過(guò)液滴噴吐裝置(液滴噴頭(44))形成不同膜厚的隔離片。各個(gè)隔離片由ITO形成，通過(guò)僅對(duì)液滴噴頭(44)噴出的ITO形成材料(Pu)的噴出量進(jìn)行控制，從而形成與各種顏色對(duì)應(yīng)的不同膜厚的隔離片。從而，提供一種提高顏色再現(xiàn)性同時(shí)還提高生產(chǎn)性的電光學(xué)元件的制造方法、電光學(xué)裝置。
文檔編號(hào)H05B33/12GK1784096SQ200510128600
公開(kāi)日2006年6月7日 申請(qǐng)日期2005年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2004年11月29日
發(fā)明者石田纮平 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社