專利名稱：位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置和對部件安裝基板作業(yè)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，特別涉及坐標(biāo)變換所致的數(shù)據(jù)變換。
背景技術(shù)：
位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)例如有在電子電路部件安裝機中用于在部件安裝基板上安裝電子電路部件的安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)。在部件安裝時，使安裝頭和部件供給裝置及基板保持裝置相對移動，由安裝頭從部件供給裝置取出電子電路部件，并且按照安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)將其安裝在部件安裝基板的部件安裝位置上。這時，檢出部件保持具所致的電子電路部件的保持位置誤差和基板保持裝置所致的部件安裝基板的保持位置誤差等所引起的部件安裝位置的位置誤差，對其進行修正，把電子電路部件安裝在部件安裝基板上，盡管如此，電子電路部件的安裝位置仍然會有偏差。因此，在下列專利文獻1記載的電子電路部件實裝系統(tǒng)中，獨立于電子電路部件安裝機而設(shè)有安裝檢查機，檢查安裝精度，根據(jù)需要而修正安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)。安裝電子電路部件后，部件安裝基板以原封不動的姿勢被送給安裝檢查機，由攝像裝置對電子電路部件進行攝像，根據(jù)該攝像數(shù)據(jù)來檢出位置偏差，自動修正部件安裝位置數(shù)據(jù)。
相比之下，有的安裝檢查是在使部件安裝基板進行表背反轉(zhuǎn)，使安裝了電子電路部件的一側(cè)的面即部件既安裝面向下的狀態(tài)下進行的。例如，有的是在電子電路部件的本體的在部件安裝基板上被安裝的一側(cè)的面，即由部件保持具保持的一側(cè)的相反側(cè)的面上設(shè)置多個基準(zhǔn)記號，在從部件供給裝置取出電子電路部件后，由攝像裝置對基準(zhǔn)記號進行攝像，求出部件保持具所致的電子電路部件的保持位置誤差，進行修正、安裝。還有的是對于部件安裝基板的多個部件安裝位置中的各個設(shè)置多個基準(zhǔn)記號，對它們進行攝像，從而取得部件安裝位置的位置誤差，進行修正、安裝。在這種場合，如果部件安裝基板是透明的，使表背反轉(zhuǎn)后，不論是部件安裝位置還是電子電路部件，基準(zhǔn)記號都會從部件安裝基板背側(cè)透過而顯現(xiàn)出來，因而就能對這些基準(zhǔn)記號進行攝像，根據(jù)攝像數(shù)據(jù)，取得被安裝了的電子電路部件的安裝位置偏差。
專利文獻1特開2003-110288號公報發(fā)明內(nèi)容然而，在這樣使部件安裝基板表背反轉(zhuǎn)了的狀態(tài)下取得了安裝位置偏差的場合，如果要作業(yè)者根據(jù)其偏差來修正安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)，就很麻煩，容易產(chǎn)生作業(yè)錯誤。把部件安裝基板設(shè)定為相對于安裝檢查機的檢查坐標(biāo)面表背反轉(zhuǎn)了的狀態(tài)，檢出X軸、Y軸方向上的各安裝位置偏差。該檢查坐標(biāo)面的X軸、Y軸的方向和正負(fù)的方向與作成安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)的設(shè)計坐標(biāo)面和對于電子電路部件安裝機所設(shè)定的基準(zhǔn)坐標(biāo)面相同，如果使部件安裝基板通過繞Y軸的回轉(zhuǎn)而進行表背反轉(zhuǎn)，在X軸方向的安裝位置偏差的正負(fù)就與安裝時相反，作業(yè)者就要考慮這一點而進行修正、安裝位置，作業(yè)很麻煩，容易產(chǎn)生錯誤。
本發(fā)明是以上述情況為背景，以提供一種數(shù)據(jù)變更容易的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置為課題而提出的。
為了解決上述課題，本發(fā)明所涉及的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置包括以下部分而構(gòu)成(a)存儲作為與第一坐標(biāo)面上的坐標(biāo)變換對象物的至少1點的位置相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的存儲裝置；(b)指示應(yīng)該對于存儲在該存儲裝置中的上述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)實施向第二坐標(biāo)面的坐標(biāo)變換的坐標(biāo)變換指示部；(c)遵照該坐標(biāo)變換指示部所作的坐標(biāo)變換指示，實施存儲在上述存儲裝置中的上述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)向第二坐標(biāo)面的坐標(biāo)變換的坐標(biāo)變換部；(d)在該第二坐標(biāo)面上對上述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)進行變更的數(shù)據(jù)變更部；(e)指示應(yīng)該把由數(shù)據(jù)變更部變更了的上述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)逆坐標(biāo)變換為上述第一坐標(biāo)面上的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的逆坐標(biāo)變換指示部；以及(f)遵照該逆坐標(biāo)變換指示部的指示，實施逆坐標(biāo)變換的逆坐標(biāo)變換部。
存儲裝置等本位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置的構(gòu)成要素可以設(shè)置在1個裝置上，也可以分開設(shè)置在多個裝置上。在后者的場合，在多個裝置間數(shù)據(jù)的取予例如通過用通訊線路或連接線連接這些裝置來進行，或是通過無線通訊來進行，或是以在軟盤等磁記錄介質(zhì)、光盤、光磁盤等各種記錄介質(zhì)上記錄了數(shù)據(jù)的狀態(tài)來進行，從而共同構(gòu)成位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置。這些通訊線路等構(gòu)成了數(shù)據(jù)傳遞裝置，由數(shù)據(jù)傳遞控制部或數(shù)據(jù)取得部來控制，進行數(shù)據(jù)的給予和取得。
數(shù)據(jù)變更部所進行的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的變更可以以例如數(shù)據(jù)的變更、修正、追加、受取等各種方式來進行。
本發(fā)明的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，例如在作業(yè)者變更位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的場合，能容易地且錯誤很少地進行變更。這是因為，數(shù)據(jù)變更在第二坐標(biāo)面上進行，不過，被變更了的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)通過逆變換而自動地變?yōu)榈谝蛔鴺?biāo)面上的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)，因而作業(yè)者只要把坐標(biāo)變換對象物作為第二坐標(biāo)面上的裝置進行數(shù)據(jù)變更即可，自身可以不進行將其換算為第一坐標(biāo)面上的數(shù)據(jù)的變更作業(yè)。
以下，例示幾種在本愿中認(rèn)為可進行專利請求的發(fā)明(以下，有時稱為「可請求發(fā)明」。可請求發(fā)明至少包含作為請求的范圍中記載了的發(fā)明的「本發(fā)明」也即「本愿發(fā)明」，不過，也有包含本愿發(fā)明的下位概念發(fā)明、本愿發(fā)明的上位概念或其它概念的發(fā)明。)的方式，對于它們進行說明。各方式與權(quán)利要求項那樣，按項分開，對各項付以序號，根據(jù)需要而引用其它項的序號，以此形式來記載。這只是為了使本發(fā)明的理解容易些，不應(yīng)該解釋為本說明書中記載的技術(shù)特征和它們的組合僅限于以下各項的記載。還有，在一項中記載了多個事項的場合，并不是必須常一起采用該多個事項?？梢灾贿x擇、采用一部分事項?？傊?，可請求發(fā)明應(yīng)該參考各項附隨的記載、實施例的記載等來解釋，只要符合該解釋，對各項的方式再附加其它的構(gòu)成要素的方式和從各項的方式中刪掉構(gòu)成要素的方式都屬于可請求發(fā)明的一方的式。
另外，以下的各項中，(1)項相當(dāng)于權(quán)利要求1，(2)項相當(dāng)于權(quán)利要求2，(3)項和(4)項合并的裝置相當(dāng)于權(quán)利要求3，(5)項相當(dāng)于權(quán)利要求4，(6)項相當(dāng)于權(quán)利要求5，(7)項相當(dāng)于權(quán)利要求6，(8)項相當(dāng)于權(quán)利要求7，(10)項相當(dāng)于權(quán)利要求8，(12)項、(13)項和(14)項合并的裝置相當(dāng)于權(quán)利要求9，(17)項相當(dāng)于權(quán)利要求10，(18)項相當(dāng)于權(quán)利要求11。
(1)一種位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，包括存儲作為與第一坐標(biāo)面上的坐標(biāo)變換對象物的至少1點的位置相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的存儲裝置；指示應(yīng)該對于存儲在該存儲裝置中的上述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)實施向第二坐標(biāo)面的坐標(biāo)變換的坐標(biāo)變換指示部；遵照該坐標(biāo)變換指示部所作的坐標(biāo)變換指示，實施存儲在上述存儲裝置中的上述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)向第二坐標(biāo)面的坐標(biāo)變換的坐標(biāo)變換部；在該第二坐標(biāo)面上對上述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)進行變更的數(shù)據(jù)變更部；指示應(yīng)該把由數(shù)據(jù)變更部變更了的上述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)逆坐標(biāo)變換為上述第一坐標(biāo)面上的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的逆坐標(biāo)變換指示部；以及遵照該逆坐標(biāo)變換指示部的指示，實施逆坐標(biāo)變換的逆坐標(biāo)變換部。
(2)根據(jù)(1)項記載的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，其中，上述坐標(biāo)變換指示部包括指示對于存儲在上述存儲裝置中的上述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)應(yīng)該實施坐標(biāo)變換的種類的變換坐標(biāo)指示部。
坐標(biāo)變換的種類，以對于(8)項的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置記載的裝置為首，有各種種類。坐標(biāo)變換指示部可以是總是只指示相同的坐標(biāo)變換(例如坐標(biāo)變換對象物的表背反轉(zhuǎn))的裝置，不過，根據(jù)本項的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，可以指示多個種類的坐標(biāo)變換中的至少1個的執(zhí)行，選擇性地執(zhí)行多個種類的坐標(biāo)變換的至少1個，豐富多彩地進行位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的坐標(biāo)變換。
(3)根據(jù)(1)或(2)項記載的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，其中，包括顯示由上述坐標(biāo)變換部進行了坐標(biāo)變換的上述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)和進行了坐標(biāo)變換的上述坐標(biāo)變換對象物的像的至少一方的顯示部。
也可以是，顯示部顯示存儲在存儲裝置中的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)。
顯示部可以以各種方式構(gòu)成。特別是，顯示位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的顯示部可以以顯示畫面，以及把7條線(段)組合成8字形，并且使適當(dāng)?shù)木€閃亮，從而顯示從0到9的數(shù)字的數(shù)值顯示部，或者包括多個燈，通過它們的選擇性的點燈來顯示數(shù)據(jù)的顯示部等各種方式構(gòu)成。
如果顯示位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)和坐標(biāo)變換對象物的像的至少一方，例如，作業(yè)者就能參考該顯示而容易地進行數(shù)據(jù)變更。特別是，如果是顯示坐標(biāo)變換對象物的像，就能確認(rèn)通過坐標(biāo)變換后坐標(biāo)變換對象物處于怎樣的狀態(tài)而進行數(shù)據(jù)變更，很方便。
(4)根據(jù)(3)項記載的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，其中，上述顯示部包含顯示畫面。
如果采用顯示畫面，例如，就能一次顯示多個數(shù)據(jù)。還有，能通過連續(xù)性地轉(zhuǎn)換畫面，或是以畫面單位進行轉(zhuǎn)換而容易地顯示大量的數(shù)據(jù)。
(5)根據(jù)(1)至(4)項中任意一項記載的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，其中，上述坐標(biāo)變換部是以上述坐標(biāo)變換對象物對上述第一坐標(biāo)面的原點的實體性的相對位置和對上述第二坐標(biāo)面的原點的實體性的相對位置在上述坐標(biāo)變換前后不變的方式進行坐標(biāo)變換的裝置。
(6)項的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置是本項的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置的一個例子，此外，例如，坐標(biāo)變換對象物上設(shè)定了的基準(zhǔn)點和第一坐標(biāo)面的原點及第二坐標(biāo)面的原點的距離總是一定的方式也是本項的一方式。
根據(jù)本項的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，例如，在作業(yè)者進行數(shù)據(jù)變更的場合，就能容易地進行。這是因為可以不考慮坐標(biāo)變換所致的坐標(biāo)變換對象物的對第一、第二坐標(biāo)面的原點的相對位置的變化。還有的是實體性的相對位置不變化，因而坐標(biāo)變換的運算變得簡單，能迅速進行。
(6)根據(jù)(5)項記載的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，其中，上述坐標(biāo)變換部是以上述坐標(biāo)變換對象物上設(shè)定了的基準(zhǔn)點和上述第一坐標(biāo)面的原點及第二坐標(biāo)面的原點一致的方式進行坐標(biāo)變換的裝置。
例如，在存儲在存儲裝置中的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)是以坐標(biāo)變換對象物上設(shè)定了的基準(zhǔn)點為基準(zhǔn)而作成了的場合，坐標(biāo)變換后的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)也成為以坐標(biāo)變換對象物的基準(zhǔn)點為基準(zhǔn)的數(shù)據(jù)，坐標(biāo)變換就很簡單。
(7)根據(jù)(1)至(6)項中任意一項記載的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，其中，對于上述第一坐標(biāo)面和第二坐標(biāo)面而言，X軸彼此和Y軸彼此都是互相平行，且對于X軸和Y軸各自，正負(fù)方向相同。
在第一、第二坐標(biāo)面為XY坐標(biāo)面的場合，可以是一方的X軸和另一方的Y軸、一方的Y軸和另一方的X軸互相平行，X軸彼此和Y軸彼此互相平行，對于X軸和Y軸的至少一方的正負(fù)的方向相反等各種方式的坐標(biāo)面，不過，根據(jù)本項的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，坐標(biāo)變換特別簡單。還有，作業(yè)者所進行的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的變更很容易。這是因為雖然變更了的數(shù)據(jù)與坐標(biāo)變換對象物位于第一坐標(biāo)面上的狀態(tài)的數(shù)據(jù)不同，但通過逆變換就能獲得位于第一坐標(biāo)面上的狀態(tài)的數(shù)據(jù)，因而作業(yè)者可以在第二坐標(biāo)面中也和坐標(biāo)變換對象物位于第一坐標(biāo)面內(nèi)同樣考慮，進行數(shù)據(jù)變更，此外，第二坐標(biāo)面相對于第一坐標(biāo)面既沒有X軸和Y軸的方向的變化，也沒有正負(fù)的方向的變化，在第二坐標(biāo)面中也可以與坐標(biāo)變換對象物位于第一坐標(biāo)面的場合同樣進行數(shù)據(jù)變更。
還有，在本項從屬于(5)項和(6)項的方式中，如在后邊發(fā)明的實施例的項中說明的，可以通過X坐標(biāo)和Y坐標(biāo)的簡單的置換或符號的變更來進行坐標(biāo)變換，坐標(biāo)變換非常簡單。
(8)根據(jù)(7)項記載的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，其中，上述坐標(biāo)變換指示部包括指示對于存儲在上述存儲裝置中的上述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)應(yīng)該實施坐標(biāo)變換的種類的變換坐標(biāo)指示部，可由該變換坐標(biāo)指示部指示的坐標(biāo)變換的種類包括繞X軸的回轉(zhuǎn)所致的表背反轉(zhuǎn)、繞Y軸的回轉(zhuǎn)所致的表背反轉(zhuǎn)、正方向的回轉(zhuǎn)和逆方向的回轉(zhuǎn)中的至少2種。
(9)根據(jù)(8)項記載的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，其中，上述回轉(zhuǎn)的角度的絕對值是90度。
角度的絕對值為90度的回轉(zhuǎn)所致的坐標(biāo)變換比較簡單，變換容易。
(10)根據(jù)(8)項或(9)記載的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，其中，上述坐標(biāo)變換指示部和上述逆坐標(biāo)變換指示部各自可以多個種類地重疊地指示上述坐標(biāo)變換和上述逆坐標(biāo)變換。
根據(jù)本項的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，能夠以比坐標(biāo)變換的種類多的方式進行坐標(biāo)變換。
(11)根據(jù)(1)至(6)項中任意一項記載的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，其中，由上述顯示部來顯示上述坐標(biāo)變換的種類，并且上述坐標(biāo)變換指示部包括從顯示出的坐標(biāo)變換的種類中選擇要執(zhí)行的坐標(biāo)變換的坐標(biāo)變換種類選擇部。
由于坐標(biāo)變換的種類被顯示，因而種類的指示很容易。如果所有坐標(biāo)變換的種類同時被顯示，選擇就特別容易。
(12)根據(jù)(1)至(11)項中任意一項記載的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，其中，上述坐標(biāo)變換對象物是部件安裝基板。
部件安裝基板是安裝電子電路部件而形成電子電路的基板，有構(gòu)成液晶面板、等離子體顯示面板等玻璃基板那樣的透明基板，以及在紙或玻璃布等基材中浸漬環(huán)氧樹脂等合成樹脂的基板那樣的不透明基板。在使部件安裝基板表背反轉(zhuǎn)了的狀態(tài)下從背側(cè)識別部件安裝基板時，如果對在部件安裝基板的表面上安裝了的電子電路部等能特別指定其位置那樣明確進行識別，就可以說是透明的，在不能完全識別電子電路部等的場合和雖然不是不能完全識別，但不能特別指定位置的場合就是不透明的。
在部件安裝基板上是通過打印等來設(shè)置電路圖形，安裝電子電路部件。部件安裝基板可以是只是搭載了電子電路部件而尚未電連接的裝置，也可以是電連接后電子電路部件的實裝完成了的裝置，也可以是處于它們之間的過程的半成品。
還有，電子電路部件可以是實裝在部件安裝基板上而形成電子電路的部件，也可以是單體的部件，也可以是在部件安裝基板上安裝電子電路部件而形成了電子電路的裝置。
(13)根據(jù)(12)記載的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，其中，上述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)包括與安裝在設(shè)在上述部件安裝基板上的電路圖形上而構(gòu)成電子電路的電子電路部件的安裝位置相關(guān)聯(lián)的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)，該安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)包括規(guī)定電子電路部件的安裝位置的安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)和與電子電路部件的安裝位置的偏差有關(guān)的安裝位置偏差關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的至少一方。
安裝位置偏差關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)例如包括安裝位置偏差數(shù)據(jù)和用于消除安裝位置偏差的安裝位置偏差消除數(shù)據(jù)的至少一方。
根據(jù)本項的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，可對安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)實施坐標(biāo)變換而使其變更。
(14)根據(jù)(13)項記載的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，其中，上述數(shù)據(jù)變更部包括對上述安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)和上述安裝位置偏差關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的至少一方進行修正，取得安裝位置修正數(shù)據(jù)的部件安裝位置修正部。
安裝位置修正數(shù)據(jù)可以是包括設(shè)計上的安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)和作為被修正了的安裝位置偏差關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的修正安裝位置偏差關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)，也可以是包括作為被修正了的安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)的修正安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)，也可以是包括修正安裝位置偏差關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)。
在安裝位置修正數(shù)據(jù)包括設(shè)計上的安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)和修正安裝位置偏差關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的場合，安裝位置偏差關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)被修正，根據(jù)設(shè)計上的安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)和修正安裝位置偏差關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)，獲得能消除偏差而安裝電子電路部件的安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)，安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)就間接地被修正。在這種場合，在安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)的修正時，在對修正安裝位置偏差關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)進行修正，修正進行了多次的場合，就能修正最新的修正安裝位置偏差關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)，獲得新的修正安裝位置偏差關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)。安裝位置偏差關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)不論是安裝位置偏差數(shù)據(jù)，還是安裝位置偏差消除數(shù)據(jù)，都能通過修正而更新為最新的數(shù)據(jù)。在安裝位置修正數(shù)據(jù)包括修正安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)的場合，直接修正安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)，就能獲得能消除偏差而安裝電子電路部件的安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)本身。
(15)根據(jù)(14)項記載的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，其中，上述逆坐標(biāo)變換指示部指示上述安裝位置修正數(shù)據(jù)的逆變換，逆坐標(biāo)變換部遵照逆坐標(biāo)變換指示部所作的指示，對安裝位置修正數(shù)據(jù)進行逆變換。
如果設(shè)計上的安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)是在部件安裝基板位于第一坐標(biāo)面的狀態(tài)下作成的，就通過對安裝位置修正數(shù)據(jù)進行逆變換來獲得電子電路部件對部件安裝基板的安裝所使用的數(shù)據(jù)，即經(jīng)修正而能精度很好地進行安裝的安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)。
(16)根據(jù)(1)至(15)項中任意一項記載的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，其中，上述數(shù)據(jù)變更部包括輸入數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)輸入部。
數(shù)據(jù)輸入部可以是包括鼠標(biāo)、跟蹤球、觸摸屏等定位設(shè)備、鍵盤等各種輸入裝置中的至少1種的裝置。
(17)一種對部件安裝基板作業(yè)機，包括(12)項記載的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置；保持部件安裝基板的基板保持裝置；
對上述部件安裝基板實施作業(yè)的作業(yè)頭；使上述基板保持裝置和上述作業(yè)頭相對移動的相對移動裝置；以及控制上述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置、上述基板保持裝置、上述作業(yè)頭和上述相對移動裝置的控制裝置。
作業(yè)頭有例如在部件安裝基板上安裝電子電路部件的安裝頭、在部件安裝基板上涂敷膏狀焊料或粘接劑等高粘性流體的涂敷頭、檢查電子電路部件對部件安裝基板的安裝狀態(tài)的安裝檢查頭、檢查高粘性流體對部件安裝基板的涂敷狀態(tài)的涂敷檢查頭、ACF(AnisotropicConductive Film，各向異性導(dǎo)電膜)粘貼頭等。安裝頭有例如向部件安裝基板的涂敷了高粘性流體的部件安裝位置載置電子電路部件的裝置、在部件安裝基板上載置電子電路部件并對其進行加壓的裝置、再進行加熱的裝置。ACF粘貼頭有例如在玻璃基板的電極端子上貼付ACF的裝置。
作業(yè)頭等位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置以外的構(gòu)成要素構(gòu)成了對部件安裝基板作業(yè)機。位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置可以是全部設(shè)在1個對部件安裝基板作業(yè)機上，也可以是至少一部分獨立于對部件安裝基板作業(yè)機而設(shè)置。在位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置的至少一部分獨立于對部件安裝基板作業(yè)機而設(shè)置的場合，該獨立的至少一部分可以設(shè)在例如對包括對部件安裝基板作業(yè)機的生產(chǎn)線統(tǒng)一進行控制的統(tǒng)一控制計算機上，也可以與統(tǒng)一控制計算機分開設(shè)置。
在本項的對部件安裝基板作業(yè)系統(tǒng)中，位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)包括作為與作業(yè)頭的作業(yè)位置相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)的作業(yè)位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)，作業(yè)位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)包括例如作業(yè)位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)和作業(yè)位置偏差關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的至少一方。(13)至項(16)項記載的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置的各特征在把安裝頭與作業(yè)頭置換，作業(yè)頭是安裝頭以外的作業(yè)頭的場合也可采用，根據(jù)本項的對部件安裝基板作業(yè)系統(tǒng)，能獲得(1)項至(16)項記載的各作用和效果，并且能獲得例如數(shù)據(jù)變更容易、作業(yè)能精度很好地進行的作業(yè)系統(tǒng)。例如，如果作業(yè)頭是粘接劑涂敷頭，就能獲得粘接劑涂敷位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的變更容易地進行，并且涂敷精度能很好地進行的粘接劑涂敷系統(tǒng)。
(18)一種電子電路部件安裝系統(tǒng)，包括(12)至(16)項中任意一項記載的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置；供給電子電路部件的部件供給裝置；保持部件安裝基板的基板保持裝置；從上述部件供給裝置受取上述電子電路部件，將其安裝在上述部件安裝基板上的安裝頭；使上述部件供給裝置、上述基板保持裝置和上述安裝頭相對移動的相對移動裝置；以及至少控制上述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置、上述基板保持裝置、上述安裝頭和上述相對移動裝置的控制裝置。
根據(jù)本項，能獲得例如安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的變更容易、電子電路部件對部件安裝基板的安裝能精度很好進行的電子電路部件安裝系統(tǒng)。


圖1是概略表示作為可請求發(fā)明的實施例的電子電路部件安裝系統(tǒng)的俯視圖。
圖2是概略表示上述電子電路部件安裝系統(tǒng)的側(cè)視圖。
圖3是表示在上述電子電路部件安裝系統(tǒng)中對于芯片部件被安裝的玻璃基板的多個部件安裝位置的1個所設(shè)置的基板記號的俯視圖。
圖4是表示作為安裝在上述玻璃基板上的電子電路部件的一種的倒裝芯片的仰視圖。
圖5是表示在上述玻璃基板上夾隔ACF帶子而安裝了倒裝芯片的狀態(tài)的俯視圖。
圖6是概略表示控制上述電子電路部件安裝系統(tǒng)的控制裝置的框圖。
圖7是概略表示檢查上述電子電路部件安裝機上的電子電路部件對玻璃基板的安裝狀態(tài)的部件安裝檢查機的俯視圖。
圖8是概略表示上述部件安裝檢查機的檢查頭的檢查攝像裝置等的側(cè)視圖。
圖9是概略表示控制上述部件安裝檢查機的控制裝置的框圖。
圖10是說明上述部件安裝檢查機所進行的安裝檢查時的玻璃基板的姿勢的圖。
圖11是表示使安裝了倒裝芯片的玻璃基板表背反轉(zhuǎn)了的狀態(tài)的俯視圖。
圖12是表示由上述部件安裝檢查機的攝像裝置攝像所得的芯片被顯示在顯示畫面上的狀態(tài)，并且說明基準(zhǔn)記號和部件記號的位置的取得的圖。
圖13是表示在上述部件安裝檢查機所進行的檢查時，在電子電路部件安裝機的顯示畫面上初期顯示的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)、部件安裝基板的像等和在使玻璃基板從橫長姿勢進行表背反轉(zhuǎn)而檢查安裝狀態(tài)時顯示在顯示畫面上的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)和部件安裝基板的像等的圖。
圖14是表示在上述部件安裝檢查機所進行的檢查時，在電子電路部件安裝機的顯示畫面上初期顯示的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)、部件安裝基板的像等和在使玻璃基板從橫長姿勢進行了右旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下顯示在電子電路部件安裝機的顯示畫面上的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)和部件安裝基板的像等的圖。
圖15是表示使玻璃基板從橫長姿勢進行右旋轉(zhuǎn)及表背反轉(zhuǎn)而檢查安裝狀態(tài)時顯示在電子電路部件安裝機的顯示畫面上的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)和玻璃基板的像等的圖。
圖16是概略表示對作為可請求發(fā)明的別的實施例的電子電路部件安裝系統(tǒng)進行控制的控制裝置的框圖。
圖17是概略表示在具有圖16表示的控制裝置的電子電路部件安裝機中對檢查安裝在玻璃基板上的電子電路部件的安裝狀態(tài)的部件安裝檢查機進行控制的控制裝置的框圖。
具體實施例方式
實施例以下參照附圖，詳細(xì)地說明可請求發(fā)明的幾個實施例。另外，除了下列實施該之外，可請求發(fā)明還可以從上述(發(fā)明內(nèi)容)的項中記載的方式出發(fā)，根據(jù)本領(lǐng)域技術(shù)人員的知識，以進行了各種變更、改良的方式來實施。
本實施例的電子電路部件安裝系統(tǒng)的電子電路部件安裝機，如圖5所示，是在構(gòu)成液晶面板28(參照圖1)的透明的玻璃基板30上用ACF帶子8預(yù)連接作為液晶驅(qū)動電路部件的芯片部件92的安裝機，與作為可請求發(fā)明的一實施例的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置一起，構(gòu)成了作為對部件安裝基板作業(yè)系統(tǒng)的一種的電子電路部件安裝系統(tǒng)。
芯片部件92是電子電路部件的一種，例如有圖4表示的倒裝芯片等各種部件。芯片部件92在本體94的背面(安裝在玻璃基板30上的一側(cè)的面(被安裝面)，即由后述的安裝頭保持的一側(cè)的相反側(cè)的面)上設(shè)有多個，本實施例中是2個基準(zhǔn)記號96。這些基準(zhǔn)記號96在本實施例中是不透明的記號，在本體94的對角線上互相隔開的位置，對芯片部件92的中心對稱設(shè)置，對該中心在X軸、Y軸的各方向的距離相等。以后，把基準(zhǔn)記號96稱為部件記號96。在芯片部件92為倒裝芯片的場合，圖4所示，在本體94的背面?zhèn)仍O(shè)有多個突起98，部件記號96設(shè)在偏離設(shè)有這些突起98的區(qū)域的部分。突起98例如由金作成。
玻璃基板30與別的玻璃基板130(參照圖1)進行組裝，在它們之間裝入液晶，并且在電極端子上粘貼了ACF帶子8(參照圖5)的狀態(tài)下被運入電子電路部件安裝機中。玻璃基板30比玻璃基板130大，在玻璃基板30的從玻璃基板130突出的緣部安裝至少1個芯片部件92。在玻璃基板30、130上分別設(shè)有電極(圖示省略)，在玻璃基板30的緣部設(shè)有與多個電極分別連接的多個作為電極端子的焊盤(圖示省略)和輸入端子(圖示省略)等，與芯片部件92連接。
在玻璃基板30的安裝芯片部件92的部件安裝面上，如圖3所示，設(shè)有基準(zhǔn)記號82。該基準(zhǔn)記號82稱為本地記號，如圖2所示，對于玻璃基板30的1個部件安裝位置設(shè)有多個，本實施例中為2個。該2個基準(zhǔn)記號82在芯片部件92安裝在玻璃基板30上的狀態(tài)下成為偏離了芯片部件92的狀態(tài)，設(shè)在位于通過部件安裝位置的直線，即被安裝了的芯片部件92的對角線上的位置，對部件安裝位置是對稱的，對部件安裝位置在X軸、Y軸的各方向的距離相等?；鶞?zhǔn)記號82在本實施例中是不透明的。以后，基準(zhǔn)記號82稱為基板記號82。
ACF帶子8是作為連接材的一種的各向異性導(dǎo)電膜制的帶子，在本實施例中是在熱塑性樹脂薄膜中混入由鎳鍍敷導(dǎo)電粒子例如金粒的表面而成的粒子的裝置。在玻璃基板30上至少設(shè)定1個部件安裝位置，在這些部件安裝位置分別設(shè)有多個焊盤，ACF帶子8跨鄰接的多個部件安裝位置的各焊盤而被連續(xù)貼付。ACF帶子8，除了多個焊盤以外，圖5所示，也覆蓋基板記號82，玻璃基板30的在安裝了芯片部件92的狀態(tài)下成為與部件記號96對應(yīng)的狀態(tài)的部分也以覆蓋的狀態(tài)被粘貼。
電子電路部件安裝機，如圖1和圖2概略表示的，具有基臺10、設(shè)在基臺10上的基板定位裝置12、壓著臺14、部件安裝裝置16、部件供給裝置18和控制攝像系統(tǒng)22、控制這些裝置12等的控制裝置24(參照圖6)等。基板定位裝置12具有作為基板保持部件的作業(yè)臺34和作業(yè)臺移動裝置36。作業(yè)臺移動裝置36在本實施例中是使作業(yè)臺34在作為水平面內(nèi)互相正交的2方向的X軸方向和Y軸方向以及與該X軸、Y軸方向正交的豎直方向的Z軸方向分別移動，并且使其繞與Z軸方向平行的軸線回轉(zhuǎn)的裝置。另外，該X軸、Y軸方向是對于本電子電路部件安裝機作為基準(zhǔn)坐標(biāo)面而設(shè)定的XY坐標(biāo)面上的方向。
作業(yè)臺移動裝置36，如圖2所示，包括作業(yè)臺X軸方向移動裝置40、作業(yè)臺Y軸方向移動裝置42、作業(yè)臺Z軸方向移動裝置44和作業(yè)臺回轉(zhuǎn)裝置46。作業(yè)臺Y軸方向移動裝置42包括在基臺10上在Y軸方向可移動地設(shè)置的Y軸滑塊48和使Y軸滑塊48在Y軸方向移動的Y軸滑塊移動裝置。作業(yè)臺X軸方向移動裝置40包括在Y軸滑塊48上在X軸方向可移動地設(shè)置的X軸滑塊50和使X軸滑塊50在X軸方向移動的X軸滑塊移動裝置。作業(yè)臺Z軸方向移動裝置44包括在X軸滑塊50上在上下方向可移動地設(shè)置的Z軸滑塊52和使Z軸滑塊52升降的Z軸方向移動裝置。該X軸方向、Y軸方向和Z軸方向的各移動裝置分別以伺服馬達54、56、58(參照圖6)為驅(qū)動源而構(gòu)成，使作為X軸、Y軸、Z軸的各移動部件的滑塊50、48、52分別在各軸方向移動到任意的位置。構(gòu)成驅(qū)動源的伺服馬達54、56、58是作動器的一種，是作為電動馬達的一種的電動回轉(zhuǎn)馬達，是回轉(zhuǎn)角度的精度可很好地控制的馬達?？梢杂貌竭M馬達代替伺服馬達。也可以以線性馬達為驅(qū)動源。
在Z軸滑塊52之上繞豎直軸線可回轉(zhuǎn)地設(shè)有作業(yè)臺34，由作業(yè)臺回轉(zhuǎn)裝置46使其回轉(zhuǎn)。在本實施例中，作業(yè)臺回轉(zhuǎn)裝置46是使作業(yè)臺34繞豎直軸線按設(shè)定角度，例如按90度分步回轉(zhuǎn)的裝置。作業(yè)臺34具有向上的基板支承面62和基板吸著裝置(圖示省略)?；逦b置具有在基板支承面62上開口的多個吸著孔，使這些吸著孔通過切換閥而與負(fù)壓源和大氣選擇性地連通，通過負(fù)壓的供給而在基板支承面62上吸著、保持液晶面板28，使其與大氣連通而松開液晶面板28。
部件安裝裝置16，如圖1和圖2所示，包括安裝頭350、安裝頭移動裝置352、加熱裝置354和加壓裝置356。安裝頭移動裝置352在本實施例中具有各自以伺服馬達為驅(qū)動源的頭Y軸方向移動裝置、頭Z軸方向移動裝置和頭回轉(zhuǎn)裝置，是使安裝頭350在Y軸和Z軸各方向移動到任意的位置，并且繞與Z軸方向平行的軸線在正逆兩方向以任意的角度回轉(zhuǎn)的裝置。
安裝頭350包括在使頭Z軸方向移動裝置在Z軸方向移動的Z軸滑塊上繞與Z軸方向平行的回轉(zhuǎn)軸線可回轉(zhuǎn)地設(shè)置的，從Z軸滑塊向下方突出的頭本體360和由頭本體360在Z軸方向相對可移動地保持的部件保持具362。在頭本體360內(nèi)向下且不能相對回轉(zhuǎn)地設(shè)有氣缸364，在其活塞桿下端部，部件保持具362被保持，對頭本體360在Z軸方向相對可移動且不能相對回轉(zhuǎn)。從空氣源供給到氣缸364的空氣的壓力由減壓閥(圖示省略)控制，如后所述，芯片部件92以預(yù)先設(shè)定的壓力被加壓。
部件保持具362在從頭本體360突出的下端部具有部件保持部366。部件保持部366是靠負(fù)壓來吸著、保持芯片部件92的裝置，通過切換閥的切換而使其與負(fù)壓源和大氣選擇性地連通。使部件保持部366與負(fù)壓源連通，通過被供給負(fù)壓而吸著芯片部件92，通過向大氣開放而松開芯片部件92。在部件保持部366上設(shè)有加熱裝置354。加熱裝置354在本實施例中包括加熱器。
上述部件供給裝置18，如圖1所示，設(shè)在在Y軸方向離開基板定位裝置12的位置。部件供給裝置18在本實施例中是由托盤供給上述芯片部件92的裝置。芯片部件92在本實施例中由省略圖示的部件取出裝置從托盤中取出并放置在預(yù)置臺(圖示省略)上，安裝頭350受取該芯片部件92。還有，上述壓著臺14在基臺10上，在Y軸方向與基板定位裝置12鄰接而設(shè)置。壓著臺14是基板支承部件，在本實施例中由作為透明材料的一種的石英玻璃制成，允許光的透過，具有在X軸方向長、從Y軸方向看到的形狀為コ字形的水平的基板支承面370。
上述攝像系統(tǒng)22在本實施例中如圖2所示，具有部件攝像單元380、基板攝像單元382和攝像單元移動裝置384(參照圖6)。部件攝像單元380具有部件攝像裝置386和照明裝置388(參照圖6)，在Z軸方向位于安裝頭350和壓著臺14之間，從下方照明由安裝頭350保持著的芯片部件92，對其進行攝像。基板攝像單元382具有基板攝像裝置392和照明裝置394(參照圖6)，位于上述壓著臺14的下方，通過透明的壓著臺14從下方對玻璃基板30進行攝像。攝像裝置386、392在本實施例中是由CCD攝像機進行攝像的裝置，照明裝置388、394都是照射可見光的裝置。攝像單元380、382一體地設(shè)置，借助于作為共同的移動裝置的攝像單元移動裝置384而在X軸、Y軸和Z軸各方向移動。因此，攝像單元移動裝置384具有各自以伺服馬達為驅(qū)動源的X軸、Y軸和Z軸方向的各移動裝置，使部件攝像單元380和基板攝像單元382在各軸方向移動到任意的位置。
上述控制裝置24，如圖6所示，是以具有CPU100、ROM102、RAM104和連接它們的總線的安裝控制計算機106為主體的裝置?？偩€與輸入輸出接口108連接，從而與處理由攝像裝置386、392獲得的圖像數(shù)據(jù)的圖像處理計算機110、攝像單元380、382、輸入裝置114、數(shù)據(jù)讀取·寫入裝置116等連接。輸入裝置114包括例如鼠標(biāo)等定位設(shè)備和鍵盤。
輸入輸出接口108還通過驅(qū)動電路120而與伺服馬達54等構(gòu)成電子電路部件安裝機的各種裝置的構(gòu)成驅(qū)動源的各種作動器和打印機126等連接，通過控制電路122而控制顯示畫面124。顯示畫面124和控制裝置24的控制顯示畫面124的部分構(gòu)成了顯示裝置。
ROM102和RAM104中存儲有本電子電路部件安裝機的基本動作程序、與成為作業(yè)對象的玻璃基板30對應(yīng)的部件安裝作業(yè)的程序(以后稱為部件安裝程序)、部件安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)修正作業(yè)的程序等各種程序和數(shù)據(jù)等。部件安裝程序中包括與供給芯片部件92的部件供給裝置18及其部件供給部有關(guān)的數(shù)據(jù)、作為玻璃基板30上應(yīng)該安裝芯片部件92的位置的部件安裝位置的坐標(biāo)數(shù)據(jù)、基板記號82的位置的坐標(biāo)數(shù)據(jù)、規(guī)定電子電路部件的安裝順序的數(shù)據(jù)、在部件安裝位置安裝的部件的數(shù)據(jù)和從未圖示的PDG(部件數(shù)據(jù)生成器)供給了的各部件的部件信息等。安裝順序是對于多個安裝位置中的各個而設(shè)定的。程序由基本動作程序來執(zhí)行，使得安裝頭350借助于安裝頭移動裝置352而移動到部件取出位置，從部件供給裝置18中取出芯片部件92，將其移動到玻璃基板30上設(shè)定了的部件安裝位置而進行安裝。
部件安裝程序中包括的部件安裝位置數(shù)據(jù)是設(shè)計數(shù)據(jù)，在本實施例中是以玻璃基板30之上預(yù)先設(shè)定的1點為基準(zhǔn)點而作成的。例如，圖1表示的玻璃基板30是使互相正交的2個緣部各自從玻璃基板130向外方突出，在作為與其長邊平行的突出部的長邊側(cè)安裝部250和與其短邊平行的突出部的短邊側(cè)安裝部252上各自安裝了芯片部件92的裝置，不過，以4個頂點中的1個，例如，作為2個安裝部250、252的一方的長邊側(cè)安裝部250的，作為另一方短邊側(cè)安裝部252側(cè)的相反側(cè)的頂點為基準(zhǔn)點，使該基準(zhǔn)點位于作為XY坐標(biāo)面的設(shè)計坐標(biāo)面的原點，長邊與X軸方向平行，短邊與Y軸方向平行，并且以所有部件安裝位置的各坐標(biāo)值對于X軸、Y軸成為負(fù)值的姿勢而作成設(shè)計數(shù)據(jù)。對于安裝在玻璃基板30上的所有芯片部件92的安裝位置，以該姿勢而作成設(shè)計數(shù)據(jù)。對于本電子電路部件安裝機所設(shè)定了的基準(zhǔn)坐標(biāo)面，在定位為玻璃基板30支撐在作業(yè)臺34上，芯片92安裝在長邊側(cè)安裝部250上的姿勢的狀態(tài)下，就被設(shè)定成X軸、Y軸分別與設(shè)計坐標(biāo)面的X軸、Y軸平行，X軸、Y軸的正負(fù)的方向與設(shè)計坐標(biāo)面的X軸、Y軸的正負(fù)的方向相同。設(shè)計坐標(biāo)面和電子電路部件安裝機的基準(zhǔn)坐標(biāo)面，在玻璃基板30定位為芯片部件92安裝在長邊側(cè)安裝部250上的姿勢的狀態(tài)下，就成為X軸和Y軸互相平行，并且它們的正負(fù)的方向一致。根據(jù)基準(zhǔn)坐標(biāo)面內(nèi)的基準(zhǔn)點的位置和安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)，就能獲得部件安裝位置的電子電路部件安裝機在基準(zhǔn)坐標(biāo)面上的位置。另外，在本電子電路部件安裝機中，在芯片部件92被安裝的玻璃基板是在其互相正交的2邊以外，例如1邊、3邊或4邊上安裝芯片部件92的裝置的場合，也是同樣地設(shè)定基準(zhǔn)點，以所有部件安裝位置的各坐標(biāo)值對于X軸、Y軸成為負(fù)值，長邊與X軸方向平行的姿勢而作成設(shè)計數(shù)據(jù)。這些玻璃基板在端點具有基準(zhǔn)點的長邊側(cè)安裝部上安裝了芯片部件92的狀態(tài)下的姿勢為基準(zhǔn)姿勢。
本電子電路部件安裝機是用作為連接材的ACF帶子8把芯片部件92與玻璃基板30連接起來而構(gòu)成形成電子電路的電子電路組裝線的裝置，圖示省略，不過，在基板運送方向，在電子電路部件安裝機的上游側(cè)設(shè)有把ACF帶子8粘貼在玻璃基板30上的ACF粘貼機，在下游側(cè)設(shè)有對安裝、預(yù)連接在玻璃基板30上的芯片部件92進行加熱、加壓，使在玻璃基板30和芯片部件92上分別設(shè)置的電極電連接的連接機乃至本壓接機。玻璃基板30的從ACF帶子粘貼機的運出及向電子電路部件安裝機的運送、運入和玻璃基板30的從電子電路部件安裝機的運出及向本壓接機運送、運入分別由省略圖示的玻璃基板運送裝置來進行。
上述本壓接機例如具有基板保持裝置、加熱裝置和加壓裝置。加壓裝置從上下夾著夾隔ACF帶子8而預(yù)連接了的玻璃基板30和芯片部件92，以比在電子電路部件安裝機中由安裝頭350進行的加壓高的壓力對芯片部件92進行加壓，加熱裝置以比由安裝頭350進行的加熱高的溫度對其進行加熱。通過該加壓和加熱，ACF帶子8就貼付在芯片部件92的電極和玻璃基板30的電極焊盤之間，芯片部件92被固定在玻璃基板30上，并且由ACF帶子8中的導(dǎo)電粒子使兩電極電連接。
以安裝在玻璃基板30上的芯片部件92是倒裝芯片(以后簡稱芯片)的情況為例，說明該芯片92向玻璃基板30的安裝、安裝狀態(tài)的檢查和安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的修正。液晶面板28在玻璃基板30的電極焊盤上粘貼了ACF帶子8的狀態(tài)下被從ACF帶子粘貼機運入電子電路部件安裝機中，載置在作業(yè)臺34的基板支承面62之上而被吸著、保持。這時，液晶面板28如圖1和圖2所示，成為長邊側(cè)安裝部250和短邊側(cè)安裝部252從作業(yè)臺34向外方突出的狀態(tài)而被保持。還有，使作業(yè)臺34位于其基板支承面62比壓著臺14的基板支承面370高的位置，相對于壓著臺14在水平方向能移動。
然后，首先，作業(yè)臺34把玻璃基板30保持成長邊側(cè)安裝部250與X軸方向平行且位于壓著臺14之上的姿勢，借助于作業(yè)臺移動裝置36而移動，使長邊側(cè)安裝部250的多個部件安裝位置中的1個位于水平面內(nèi)預(yù)先設(shè)定的壓接位置(在本實施例中是在X軸方向長的壓著臺14的較長方向中央位置)的上方。
安裝頭350借助于安裝頭移動裝置352而在Y軸方向移動，移動到部件供給裝置18，并且借助于頭Z軸移動裝置而下降，使部件保持部366與放在預(yù)置臺上的芯片92接觸，并且通過負(fù)壓的供給而吸著芯片92。然后，借助于安裝頭移動裝置352，使安裝頭350上升，并且在Y軸方向移動，移動到壓接位置，使其位于定位在玻璃基板30的壓接位置的部件安裝位置的上方。
在玻璃基板30和芯片92移動后，對部件記號96和基板記號82進行攝像。攝像時，部件攝像單元380和基板攝像單元382借助于攝像單元移動裝置384，從躲避位置移動到攝像位置。攝像位置對于部件攝像單元380而言，位于部件保持具362所保持的芯片92的下方，是對部件記號96進行攝像的位置，對于基板攝像單元382而言，位于玻璃基板30的部件安裝位置的下方，是對基板記號82進行攝像的位置。部件攝像單元380借助于攝像單元移動裝置384而在X軸、Y軸方向移動，1個1個對芯片92上設(shè)置的2個部件記號96進行攝像，并且在上下方向移動，對于部件記號96進行聚焦?；鍞z像單元382也同樣，借助于攝像單元移動裝置384而移動，進行聚焦，1個1個對在部件安裝位置上設(shè)置的2個基板記號82進行攝像。玻璃基板30的Z軸方向的位置(高度)也根據(jù)需要，借助于作業(yè)臺34的升降來調(diào)節(jié)?；鍞z像單元382配置在壓著臺14的下方，不過，壓著臺14是透明的，通過透明的壓著臺14和透明的玻璃基板30對基板記號82進行攝像。攝像后，使攝像單元380、382躲避到躲避位置。躲避位置是例如在X軸、Y軸方向離開壓接位置，不阻礙安裝頭350所進行的芯片安裝的位置。
根據(jù)記號82、96的攝像數(shù)據(jù)，就能求出作為芯片92和玻璃基板30的X軸、Y軸方向的位置誤差的水平位置誤差和作為繞Z軸的位置誤差的回轉(zhuǎn)位置誤差。求出2個基板記號82的各位置，并且求出它們的平均位置，求出2個部件記號96的各位置，并且求出它們的平均位置，求出這些平均位置的偏差，就能獲得水平位置誤差。還有，求出通過2個基板記號82的各中心的直線和通過2個部件記號96的各中心的直線，求出這些直線的轉(zhuǎn)動方向的偏差，從而獲得回轉(zhuǎn)位置誤差。
由作業(yè)臺移動裝置36使作業(yè)臺34移動，通過消除水平位置誤差來修正玻璃基板30的X軸、Y軸的各位置，從而修正芯片92和玻璃基板30的水平位置誤差。由于回轉(zhuǎn)位置誤差的修正而產(chǎn)生的芯片92和玻璃基板30的X軸、Y軸方向的位置偏差也一起被修正。還有，芯片92和玻璃基板30的回轉(zhuǎn)位置誤差是由頭回轉(zhuǎn)裝置使安裝頭350繞Z軸回轉(zhuǎn)而被修正、消除的，使芯片92和玻璃基板30的位置相合。在該狀態(tài)下使作業(yè)臺34下降，使基板支承面62與基板支面370位于同一水平面內(nèi)，把玻璃基板30的長邊側(cè)安裝部250載置在壓著臺14之上。然后，安裝頭350借助于頭Z軸移動裝置而下降，把芯片92載置在玻璃基板30之上。芯片92，如圖5所示，以2個部件記號96分別與基板記號82接近的狀態(tài)的姿勢被安裝在玻璃基板30上。這時，部件保持具362借助于氣缸364而下降至相對于頭本體360位于下降端位置，從芯片92與玻璃基板30接觸的狀態(tài)，再使Z軸滑塊下降，使芯片92被玻璃基板30壓接。該Z軸滑塊的下降由于頭本體360和部件保持具362的相對移動而被允許，與此伴隨，氣缸364的壓力室內(nèi)的壓力增大，如果變?yōu)橐?guī)定值以上，就由減壓閥來減壓，使部件保持具362相對于頭本體360后退，芯片92就被玻璃基板30以預(yù)先設(shè)定的壓力壓接。還有，芯片92由部件保持部上設(shè)置的加熱裝置354進行加熱，ACF帶子8被加壓、加熱，使芯片92與玻璃基板30預(yù)連接。在本實施例中，頭Z軸移動裝置和氣缸364構(gòu)成了加壓裝置356。
在芯片92的安裝后，使安裝頭350松開芯片92并上升，離開芯片92。還有，使作業(yè)臺350上升，使玻璃基板30離開壓著臺14。在玻璃基板30的長邊側(cè)安裝部250安裝了多個芯片92的場合，通過作業(yè)臺34的移動而使玻璃基板30移動，使下一芯片92被安裝的部件安裝位置移動到壓接位置的上方，進行記號82、96的攝像和位置誤差的修正之后，使作業(yè)臺34下降，使長邊側(cè)安裝部250載置在壓著臺14的基板支承面370之上，進行芯片92的安裝。
如果在長邊側(cè)安裝部250上安裝了所有預(yù)定的芯片92，就使作業(yè)臺350上升，使玻璃基板30離開壓著臺14，并且使其右旋轉(zhuǎn)90度(從上方看玻璃基板30，為順時針方向)，使短邊側(cè)安裝部252成為其較長方向與電子電路部件安裝機的基準(zhǔn)坐標(biāo)的X軸方向平行的姿勢。然后，與芯片92向長邊側(cè)安裝部250的安裝同樣進行，在短邊側(cè)安裝部252安裝芯片92。另外，設(shè)計數(shù)據(jù)的設(shè)計安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)是玻璃基板30處于基準(zhǔn)姿勢的狀態(tài)的數(shù)據(jù)，在芯片92對短邊側(cè)安裝部252的安裝時，安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)要進行坐標(biāo)變換。
如果在玻璃基板30的所有部件安裝位置分別安裝、預(yù)連接了芯片92，作業(yè)臺34就借助于作業(yè)臺移動裝置36而上升，使玻璃基板30離開壓著臺14，并且使其在水平方向移動，使其移動到把液晶面板28運出到本壓接機的運出位置。然后，把液晶面板28運出到本壓接機，在本壓接機中對芯片92和ACF帶子8進行加熱、加壓，使突起98通過ACF帶子8中的導(dǎo)電粒子而與焊盤電連接。
對于這樣與玻璃基板30連接了的芯片92，由部件安裝檢查機150(參照圖7)來檢查安裝狀態(tài)。在本實施例中，檢查是在本壓接機所進行的本加熱和本加壓結(jié)束，芯片92與玻璃基板30電連接而被固定了的狀態(tài)下進行的，在本實施例中，通過對基板記號82和部件記號96同時進行攝像來進行。如果在芯片92通過ACF帶子8而與玻璃基板30預(yù)連接，被預(yù)固定了的狀態(tài)下，芯片92不會偏離，則也可以在該預(yù)固定狀態(tài)下進行檢查。
在如上述那樣芯片92對玻璃基板30的安裝時，修正安裝頭350所保持著的芯片92和玻璃基板30的水平位置誤差和回轉(zhuǎn)位置誤差，盡管如此，安裝位置有時也會產(chǎn)生偏差?？梢哉J(rèn)為，該安裝位置偏差不是像安裝頭350所致的芯片92的保持位置誤差和作業(yè)臺34所致的玻璃基板30的保持位置誤差那樣，是芯片92和玻璃基板30各自產(chǎn)生的偏差，而是例如，攝像單元移動裝置384的構(gòu)成部材的熱膨脹等所致的攝像單元380、382的定位誤差及作業(yè)臺移動裝置36、安裝頭移動裝置352的滾珠絲杠等的熱膨脹等對于不同的芯片92和玻璃基板30由共同的原因產(chǎn)生的偏差。因此，在芯片92安裝后，檢查部件安裝狀態(tài)，根據(jù)該檢查結(jié)果來變更安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)。
以下根據(jù)圖7至圖9來說明部件安裝檢查機150。部件安裝檢查機150獨立于電子電路部件安裝機而設(shè)置，不過，在本實施例中設(shè)為可整體移動，對于被進行安裝檢查的玻璃基板30，設(shè)為能使其移動到與進行了芯片92的安裝的電子電路部件安裝機接近的位置。部件安裝檢查機150在本實施例中為光學(xué)式的數(shù)字轉(zhuǎn)換器，如圖7所示，包括檢查臺152、安裝檢查頭(以后簡稱檢查頭)154、檢查頭移動裝置156、輸入裝置158、顯示裝置160(參照圖12)和控制裝置162(參照圖9)。
檢查臺152具有能以縱長的姿勢也能以橫長的姿勢來設(shè)定大小不相同的多個種類的玻璃基板30的形狀、尺寸，玻璃基板30以水平的且在基準(zhǔn)點正交的2邊分別與檢查坐標(biāo)面的X軸和Y軸平行的姿勢，由固定裝置(圖示省略)固定在檢查臺152之上。檢查頭移動裝置156在與檢查臺152平行的一平面，即水平的檢查坐標(biāo)面內(nèi)，在與互相正交的X軸和Y軸分別平行的方向使檢查頭154移動。因此，檢查頭移動裝置156，如圖7概略表示的，包括X軸移動裝置和Y軸移動裝置。X軸移動裝置包括X軸導(dǎo)板170和X軸導(dǎo)板移動裝置，Y軸移動裝置包括Y軸導(dǎo)板172和Y軸導(dǎo)板移動裝置。X軸導(dǎo)板移動裝置和Y軸導(dǎo)板移動裝置分別以X軸導(dǎo)板移動用馬達176和Y軸導(dǎo)板移動用馬達178(參照圖9)為驅(qū)動源，包括滾珠絲杠和螺母，使X軸導(dǎo)板170和Y軸導(dǎo)板172分別在X軸方向和Y軸方向移動到任意的位置。
檢查頭154借助于檢查頭移動裝置156而移動到檢查坐標(biāo)面內(nèi)的任意的位置，從上方對在檢查臺152上設(shè)定的玻璃基板30上安裝了的芯片92進行攝像。
檢查頭154，如圖8所示，包括檢查攝像裝置400、照明裝置402和導(dǎo)光裝置404，設(shè)在箱狀的框架410上。檢查攝像裝置400在本實施例中是由CCD攝像機進行攝像的裝置，光軸水平設(shè)置。該CCD攝像機是可感應(yīng)可見光和波長長的近紅外光的裝置。照明裝置402具有可見光源412和近紅外光源414，導(dǎo)光裝置404具有棱鏡416和半反射鏡418。
棱鏡416使作為來自基板記號82和部件記號96等攝像對象物的反射光的像形成光水平彎折90度而進入攝像裝置400。在該光路的途中設(shè)有半反射鏡418，可見光源412照射的可見光借助于半反射鏡418和棱鏡416中的各個，各彎折90度而照射攝像對象物。近紅外光源414，與棱鏡416并排設(shè)在框架410上，從棱鏡416的橫側(cè)向斜下方照射近紅外光。
控制裝置162，如圖9所示，是以包括CPU200、ROM202、RAM204和連接它們的總線的計算機(以后稱為檢查計算機)210為主體而構(gòu)成的?？偩€與輸入輸出接口212連接，從而與處理由檢查攝像裝置400攝像所獲得的圖像數(shù)據(jù)的圖像處理計算機218、檢查攝像裝置400、照明裝置402、輸入裝置158和數(shù)據(jù)讀取·寫入裝置220連接。輸入裝置158與上述輸入裝置114同樣構(gòu)成，并且具有對X軸導(dǎo)板移動用馬達176和Y軸導(dǎo)板移動用馬達178分別進行微動操作的功能。設(shè)有馬達操作裝置乃至檢查頭移動操作裝置。輸入輸出接口212還通過驅(qū)動電路226而與X軸導(dǎo)板移動用馬達176和Y軸導(dǎo)板移動用馬達178連接，并且通過控制電路230而控制顯示畫面232。顯示畫面232和控制裝置162的控制顯示畫面232的部分構(gòu)成了顯示裝置160。上述馬達176、178在本實施例中由伺服馬達構(gòu)成。
在芯片92的安裝檢查時，使安裝檢查機150位于電子電路部件安裝機附近的位置，在這里作業(yè)者能容易地比較電子電路部件安裝機的顯示畫面124和安裝檢查機150的顯示畫面232兩方。然后，把玻璃基板30設(shè)定在檢查臺152上。能把玻璃基板30等檢查對象基板以多個檢查姿勢，例如橫長姿勢、右旋轉(zhuǎn)姿勢及左回轉(zhuǎn)姿勢和使部件既安裝面向上的部件既安裝面向上姿勢及使部件既安裝面向下的部件既安裝面向下姿勢的組合的6個姿勢中的某個而設(shè)定在檢查臺152上。
如圖10中兩點點劃線所示，玻璃基板30的橫長姿勢是長度方向與檢查坐標(biāo)面的X軸平行的姿勢。檢查臺152和固定裝置構(gòu)成為，在玻璃基板30被設(shè)定為橫長姿勢，即部件既安裝面向上的姿勢時，能設(shè)定玻璃基板30，使得上述設(shè)計坐標(biāo)面的X軸和Y軸的方向和正負(fù)的方向與檢查坐標(biāo)面的X軸和Y軸的方向和正負(fù)的方向相同，以橫長且向上的姿勢設(shè)定在檢查臺152上的玻璃基板30的姿勢與上述基準(zhǔn)姿勢相同，即與在長邊側(cè)安裝部250上安裝芯片92時的姿勢相同。這樣設(shè)置檢查臺152(檢查坐標(biāo)面)和固定裝置把在設(shè)計坐標(biāo)面上以數(shù)據(jù)設(shè)計時的姿勢放置的玻璃基板30放在檢查臺152之上時，設(shè)計坐標(biāo)面的X軸、Y軸和檢查坐標(biāo)面的X軸、Y軸分別互相平行，正負(fù)的方向也相同。還有，右旋轉(zhuǎn)姿勢是使玻璃基板30從以橫長的姿勢設(shè)定在檢查臺152上的狀態(tài)(在從上方看玻璃基板30的場合，為順時針方向)向正方向回轉(zhuǎn)了90度的姿勢，左回轉(zhuǎn)姿勢是向逆方向(在從上方看玻璃基板30的場合，為逆時針方向)回轉(zhuǎn)了90度的姿勢。
部件既安裝面向下的姿勢，如圖11所示，是使玻璃基板30表背反轉(zhuǎn)而獲得的。玻璃基板30是透明的，還有，ACF帶子8是包括在金粒的表面鍍敷鎳而成的導(dǎo)電粒子的裝置，是在使照明光和像形成光的透過量減少但可識別記號96的具有光透過性的帶子上以允許光散射、透過的分布密度而含有導(dǎo)電粒子的裝置，可通過ACF帶子8而對部件記號96進行攝像。因此，在使玻璃基板30表背反轉(zhuǎn)，部件既安裝面向下的狀態(tài)下，能從玻璃基板30的上側(cè)(從部件既安裝面的相反側(cè)的面?zhèn)?透視基板記號82和部件記號96兩方，對其進行攝像、檢查。在本實施例中，表背反轉(zhuǎn)是通過玻璃基板30的繞檢查坐標(biāo)面的Y軸的回轉(zhuǎn)來進行的。
安裝檢查這樣進行作業(yè)者操縱檢查頭移動裝置156，使檢查頭154移動，對基板記號82和部件記號96進行攝像，取得它們的位置數(shù)據(jù)。玻璃基板30是透明的，從玻璃基板30的表側(cè)和背側(cè)都能看到設(shè)在從玻璃基板30的芯片92被安裝的部分偏離了的位置的基板記號82，不過，芯片92的本體94是不透明的，只能從芯片92的安裝在玻璃基板30上的一側(cè)的面?zhèn)瓤吹讲考浱?6，在芯片92被安裝在玻璃基板30上的狀態(tài)下，就從玻璃基板30的背側(cè)(部件安裝面的相反側(cè))通過玻璃基板30和ACF帶子8而看部件記號96。因此，檢查時，使液晶面板28表背反轉(zhuǎn)而將其設(shè)定在檢查臺152上。
還有，在本實施例中，安裝檢查是使玻璃基板30表背反轉(zhuǎn)，并且在縱橫的方向相對于X軸、Y軸與芯片安裝時相同的方向進行。因此，在長邊側(cè)安裝部250上安裝了芯片92的檢查時，把玻璃基板30以從與基準(zhǔn)姿勢對應(yīng)的橫長姿勢進行表背反轉(zhuǎn)后的姿勢而設(shè)定在檢查臺152上，在短邊側(cè)安裝部252上安裝了芯片92的檢查時，例如把玻璃基板30以從與基準(zhǔn)姿勢對應(yīng)的橫長姿勢進行右旋轉(zhuǎn)，且表背反轉(zhuǎn)后的姿勢而設(shè)定在檢查臺152上。
安裝檢查按預(yù)先設(shè)定的順序，例如與部件安裝順序相同的順序來進行。在電子電路部件安裝機中由上述部件安裝程序來設(shè)定部件安裝順序。因此，如圖13(a)所示，作業(yè)者使電子電路部件安裝機的顯示畫面124顯示部件安裝的序列號碼、部件名、安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)和安裝位置偏差數(shù)據(jù)，按照安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)而使檢查頭154移動。
在本實施例中，作為位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)包括安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)和安裝位置偏差數(shù)據(jù)，在本實施例中如后所述，根據(jù)部件安裝狀態(tài)的檢查來修正安裝位置偏差數(shù)據(jù)。在顯示畫面124上顯示的安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)是作為在上述設(shè)計坐標(biāo)面上作成的安裝位置數(shù)據(jù)的設(shè)計安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)，安裝位置偏差數(shù)據(jù)是修正了的修正安裝位置偏差數(shù)據(jù)，在芯片92向玻璃基板30的安裝時，根據(jù)設(shè)計安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)和修正安裝位置偏差數(shù)據(jù)，獲得消除了安裝位置偏差而能安裝芯片92的安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)。在本實施例中，安裝位置修正數(shù)據(jù)包括設(shè)計安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)和修正安裝位置偏差數(shù)據(jù)。在顯示畫面124上顯示的數(shù)據(jù)，除了安裝位置偏差數(shù)據(jù)，都是根據(jù)部件安裝程序而作成的，也包括修正安裝位置偏差數(shù)據(jù)，都存儲在計算機106的RAM104中，這些數(shù)據(jù)是用于安裝狀態(tài)檢查和安裝位置修正而被顯示的顯示數(shù)據(jù)，也是用于獲得消除了安裝位置偏差的安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)的偏差消除安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)取得數(shù)據(jù)，修正安裝位置偏差數(shù)據(jù)會被更新。
如圖13(a)所示，首先，作為初期顯示，在顯示畫面124上顯示顯示數(shù)據(jù)本身，即作為在上述設(shè)計坐標(biāo)面上作成了的安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)的設(shè)計安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)的X、Y坐標(biāo)值等。還有，在芯片92向多個玻璃基板30的安裝開始后第一次進行安裝檢查時，安裝位置偏差是0，作為其X、Y坐標(biāo)值而顯示0。在圖13(a)中圖示了已經(jīng)取得、輸入了安裝位置偏差的狀態(tài)。
顯示畫面124上還顯示玻璃基板30、130和芯片92的像。它們也是作為初期顯示而顯示基準(zhǔn)姿勢的玻璃基板30、130的像和玻璃基板30上安裝了的芯片92的像。玻璃基板30的基準(zhǔn)姿勢，如上所述，是在長邊側(cè)安裝部250安裝芯片92時的姿勢，是與在上述設(shè)計坐標(biāo)面上的姿勢相同的姿勢，是橫長姿勢(長度方向與電子電路部件安裝機的X軸平行的姿勢)，即未使其表背反轉(zhuǎn)的姿勢(部件既安裝面變?yōu)橄蛏系淖藙?。在芯片92的像上付有安裝順序。顯示畫面124上還顯示例如在玻璃基板30的角上設(shè)定了的基準(zhǔn)點和X軸、Y軸。使顯示畫面124滾動，從而按芯片安裝順序順次顯示多個顯示數(shù)據(jù)。
首先，說明在玻璃基板30的長邊側(cè)安裝部250安裝了的芯片92的安裝檢查。在該檢查時，使液晶面板28從向上且橫長姿勢繞Y軸而進行表背反轉(zhuǎn)，以部件既安裝面向下的姿勢而設(shè)定在檢查臺152上。因此，作業(yè)者使顯示畫面124上顯示使玻璃基板30從基準(zhǔn)姿勢進行了表背反轉(zhuǎn)后的狀態(tài)下的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)和玻璃基板30等的像。在這種場合，作業(yè)者使顯示畫面124滾動，從中指定所有安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)中的對于長邊側(cè)安裝部250設(shè)定了的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)，即從序列號碼1至4的數(shù)據(jù)，指示安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)和玻璃基板30等的像的表背反轉(zhuǎn)。如圖13(a)所示，在顯示畫面124上，與安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)等一起，顯示所有坐標(biāo)變換的種類。在本實施例中，坐標(biāo)變換的種類是翻轉(zhuǎn)(繞Y軸的回轉(zhuǎn)所致的表背反轉(zhuǎn))、右旋轉(zhuǎn)和左旋轉(zhuǎn)3種，旋轉(zhuǎn)角度的絕對值在本實施例中是90度。作業(yè)者通過輸入裝置114來選擇被顯示了的坐標(biāo)變換的種類中的獲得與在檢查臺152上設(shè)定了的玻璃基板30的姿勢一致的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的種類的坐標(biāo)變換，指示執(zhí)行。此處指示翻轉(zhuǎn)的執(zhí)行，如圖13(b)所示，進行安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的繞Y軸的回轉(zhuǎn)所致的表背反轉(zhuǎn)的坐標(biāo)變換，并且使玻璃基板30等的像進行表背反轉(zhuǎn)，對其進行顯示。
在本實施例中，作成安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)的上述設(shè)計坐標(biāo)面構(gòu)成了第一坐標(biāo)面，第一坐標(biāo)面和獲得對于在第一坐標(biāo)面上的數(shù)據(jù)進行坐標(biāo)變換而成的坐標(biāo)變換數(shù)據(jù)的第二坐標(biāo)面，在本實施例中，都是X軸彼此和Y軸彼此互相平行，且X軸和Y軸各自正負(fù)的方向相同。還有，坐標(biāo)變換是使表背反轉(zhuǎn)了的玻璃基板30的基準(zhǔn)點和第二坐標(biāo)面的原點一致來進行的。因此，安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)經(jīng)過坐標(biāo)變換后，Y坐標(biāo)值是原封不動的，不過，X坐標(biāo)值變?yōu)檎?fù)的符號反了的值。
在顯示畫面124上，與表背反轉(zhuǎn)了的玻璃基板30相合而顯示基準(zhǔn)點和X軸、Y軸。該X軸、Y軸是第二坐標(biāo)面的X軸、Y軸，不過，與第一坐標(biāo)面的X軸、Y軸平行，正負(fù)的方向也相同，因而第二坐標(biāo)面和檢查坐標(biāo)面成為相同的坐標(biāo)面，在顯示畫面124上顯示出的玻璃基板30等的像的姿勢和在檢查臺152上設(shè)定了的玻璃基板30的姿勢一致，作業(yè)者就能一邊看著顯示畫面124的顯示一邊按照安裝順序而容易地移動檢查頭154，讓檢查攝像裝置400對芯片92進行攝像。在本實施例中，設(shè)計坐標(biāo)面構(gòu)成了第一坐標(biāo)面，如上所述，對于設(shè)計坐標(biāo)面和檢查坐標(biāo)面，X軸、Y軸互相平行，正負(fù)的方向也相同，因而第二坐標(biāo)面和檢查坐標(biāo)面成為相同的坐標(biāo)面，在第二坐標(biāo)面上以與在檢查坐標(biāo)面上的姿勢相同的姿勢來放置玻璃基板30。
在本實施例中，作業(yè)者通過輸入裝置158而對馬達176、178進行微動操作，使X軸導(dǎo)板170和Y軸導(dǎo)板172移動，使檢查頭154移動到作為檢查對象的芯片92之上。攝像是由檢查攝像裝置400對互相接近的各1個的基板記號82和部件記號96同時進行攝像來進行的。這時，從可見光源412和近紅外光源414分別照射可見光和近紅外光?？梢姽馔高^透明的玻璃基板30而照射基板記號82，來自基板記號82的反射光透過玻璃基板30，經(jīng)棱鏡416而水平彎折，透過半反射鏡418而向檢查攝像裝置400入射。使可見光源412所進行的照明與檢查攝像裝置400的光軸同軸，基板記號82被可見光垂直照射，因而借助于同軸落射照明所給出的照明光而形成基板記號82的像，基板記號82就能由檢查攝像裝置400清晰地進行攝像。
從近紅外光源414照射的近紅外光透過玻璃基板30和ACF帶子8而照射部件記號96，被部件記號96反射了的像形成光透過ACF帶子8、玻璃基板30，經(jīng)棱鏡416后彎折，透過半反射鏡418而向檢查攝像裝置400入射。部件記號96也被可見光照射而形成像。照射部件記號96的光透過ACF帶子8而到達部件記號96，光量減少了，不過，從近紅外光源414產(chǎn)生的波長長的近紅外光能透過ACF帶子8而充分地照射部件記號96。像形成光的光量也由于ACF帶子8而減少了，不過，近紅外光與可見光配合照射部件記號96，由兩光形成像，因而由于可見光和近紅外線光的相乘效果，就能對部件記號96清晰地進行攝像。
攝像數(shù)據(jù)由圖像處理計算機218進行處理，如圖12(a)所示，在顯示畫面232上顯示記號82、96的像。另外，對設(shè)在玻璃基板30上的焊盤等也進行攝像，不過，圖示省略了。圖12(a)圖示了為了便于基板記號82的像和部件記號96的像的關(guān)系的理解，對各2個的基板記號82和部件記號96進行攝像，將其顯示在了顯示畫面232上的狀態(tài)，不過，實際上由檢查攝像裝置400同時進行攝像、顯示的是如圖12(b)所示，芯片92的一部分，即只有1個基板記號82及其附近的1個部件記號96。
如圖12(b)所示，在顯示畫面232上與芯片92的像等一起，顯示4個光標(biāo)CX1、CX2、CY1、CY2。光標(biāo)CX1、CX2是分別與Y軸平行的直線，光標(biāo)CY1、CY2是分別與X軸平行的直線，滿滿地顯示在顯示畫面232上。作業(yè)者通過輸入裝置158進行操作，可以使光標(biāo)CX1、CX2分別在X軸方向移動到任意的位置，使光標(biāo)CY1、CY2分別在Y軸方向移動到任意的位置。
作業(yè)者使光標(biāo)CX1、CX2分別如圖12(b)所示，與基板記號82的中心和部件記號96的中心相合，指示位置的取得。在顯示畫面232上與2個光標(biāo)一起，對它們進行區(qū)別顯示，例如，作為光標(biāo)名而顯示CX1、CX2，并且預(yù)先設(shè)定是使光標(biāo)CX1、CX2中的某個與基板記號82相合，還是與部件記號96相合，向作業(yè)者指示。此處，使光標(biāo)CX1與基板記號82相合，使光標(biāo)CX2與部件記號96相合。還有，作業(yè)者使光標(biāo)CY1、CY2分別與基板記號82的中心和部件記號96的中心相合，指示位置的取得。這樣就使光標(biāo)CY1與基板記號82相合，光標(biāo)CY2與部件記號96相合。光標(biāo)的位置是記號的位置，檢查計算機210把光標(biāo)CX1、CX2、CY1、CY2的位置作為基板記號82和部件記號96的各X軸、Y軸方向的位置(檢查坐標(biāo)面上的坐標(biāo)值)，與特別指定芯片92的數(shù)據(jù)例如安裝的序列號碼對應(yīng)起來，存儲在RAM204中。序列號碼通過作業(yè)者的輸入來獲得。在本實施例中，攝像是按安裝順序來進行的，因而安裝順序也是攝像順序，也可以與攝像順序?qū)?yīng)起來存儲位置數(shù)據(jù)。還有，各2個的X軸、Y軸方向的各位置數(shù)據(jù)付有表示是基板記號82和部件記號96中的哪個的位置數(shù)據(jù)的記號識別數(shù)據(jù)而被存儲。
如果對于一組的基板記號82和部件記號96取得了位置，作業(yè)者就通過馬達176、178的微動操作使檢查頭154移動，如圖12(c)所示，使檢查攝像裝置400對另一組的基板記號82和部件記號96進行攝像，將其顯示在顯示畫面232上。然后，使光標(biāo)CX1、CX2、CY1、CY2與基板記號82和部件記號96相合，指示位置的取得，把取得的基板記號82和部件記號96的各位置數(shù)據(jù)，與一組的基板記號82和部件記號96的各位置數(shù)據(jù)一起存儲在RAM204中。
作業(yè)者按照安裝順序依次使檢查頭154移動，對芯片92進行攝像，取得基板記號82和部件記號96的位置。如果對于在長邊側(cè)安裝部250安裝了的所有芯片92取得了記號82、96的位置，就由數(shù)據(jù)讀取·寫入裝置220把存儲在RAM204中的位置數(shù)據(jù)寫入作為記錄介質(zhì)的光磁盤中，將其輸入安裝控制計算機106中。
以下說明在玻璃基板30的短邊側(cè)安裝部252安裝了的芯片92的安裝檢查。
在這種場合，例如，作業(yè)者使玻璃基板30從向上且橫長的姿勢進行右旋轉(zhuǎn)之后，以繞Y軸進行了表背反轉(zhuǎn)的狀態(tài)而設(shè)定在檢查臺152之上。然后，作業(yè)者使電子電路部件安裝機的顯示畫面124上顯示使玻璃基板30從圖14(a)表示的初期顯示姿勢進行右旋轉(zhuǎn)且表背反轉(zhuǎn)了的狀態(tài)下的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)和玻璃基板30等的像，一邊看著該顯示畫面124一邊進行馬達176、178的微動操作，使檢查頭154移動，使檢查攝像裝置400對基板記號82和部件記號96按芯片92的安裝按順序進行攝像。
在這種場合，作業(yè)者在顯示畫面124上選擇「右旋轉(zhuǎn)」，指示執(zhí)行之后，再選擇「翻轉(zhuǎn)」，指示執(zhí)行。作業(yè)者使顯示畫面124滾動，如圖14(a)所示，使其顯示對于安裝在短邊側(cè)安裝部252的芯片92設(shè)定了的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)，即序列號碼5、6的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)等。然后，指定這些安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)，并且選擇「右旋轉(zhuǎn)」，指示執(zhí)行。這樣，如圖14(b)所示，就顯示對于安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)進行右旋轉(zhuǎn)的坐標(biāo)變換，并且顯示也使玻璃基板30等的像進行右旋轉(zhuǎn)。在這種場合也是，使得對于第一坐標(biāo)面和第二坐標(biāo)面，X軸彼此和Y軸彼此互相平行，且X軸和Y軸各自正負(fù)的方向相同，右旋轉(zhuǎn)了的玻璃基板30的基準(zhǔn)點和第二坐標(biāo)面的原點也一致，這樣來進行坐標(biāo)變換。因此，右旋轉(zhuǎn)前的Y坐標(biāo)值成為回轉(zhuǎn)后的X坐標(biāo)值，右旋轉(zhuǎn)前的X坐標(biāo)值的正負(fù)的符號反轉(zhuǎn)了的值(回轉(zhuǎn)前的X坐標(biāo)值乘上-1所得的值)成為右旋轉(zhuǎn)后的Y坐標(biāo)值，這樣來進行坐標(biāo)變換。
再在指定了序列號碼5、6的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的狀態(tài)下，進行「翻轉(zhuǎn)」的選擇、執(zhí)行指示。這樣，如圖15所示，在顯示畫面124上顯示進行了右旋轉(zhuǎn)及表背反轉(zhuǎn)的坐標(biāo)變換的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)，并顯示玻璃基板30等的像。在這種場合也是，使得對于第一坐標(biāo)面和第二坐標(biāo)面，X軸彼此和Y軸彼此互相平行，且X軸和Y軸各自正負(fù)的方向相同，還有，玻璃基板30的基準(zhǔn)點和第二坐標(biāo)面的原點一致，這樣來進行坐標(biāo)變換。對于圖14(b)所示的右旋轉(zhuǎn)了的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)，進行Y坐標(biāo)值不變化，X坐標(biāo)值的正負(fù)反轉(zhuǎn)的坐標(biāo)變換，對于圖14(a)表示的初期狀態(tài)的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)，該Y坐標(biāo)值的正負(fù)的符號反轉(zhuǎn)了的值成為右旋轉(zhuǎn)和表背反轉(zhuǎn)后的X坐標(biāo)值，X坐標(biāo)值的正負(fù)的符號反轉(zhuǎn)了的值成為右旋轉(zhuǎn)和表背反轉(zhuǎn)后的Y坐標(biāo)值，這樣來進行坐標(biāo)變換。另外，坐標(biāo)變換可以在選擇了右旋轉(zhuǎn)和翻轉(zhuǎn)之后，一并指示執(zhí)行，還可以不顯示途中的安裝關(guān)聯(lián)位置數(shù)據(jù)和像，即右旋轉(zhuǎn)的坐標(biāo)變換所涉及的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)和像，而是在顯示畫面124上顯示最后的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)等，即右旋轉(zhuǎn)后，表背反轉(zhuǎn)了的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)和像。
這樣，在顯示畫面124上顯示進行了右旋轉(zhuǎn)和表背反轉(zhuǎn)的坐標(biāo)變換的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)和玻璃基板30等的像的狀態(tài)下，作業(yè)者一邊看著這些顯示一邊使檢查頭154移動，使檢查攝像裝置400對在短邊側(cè)安裝部252安裝了的芯片92的部件記號96和基板記號82進行攝像，取得位置。把取得了的位置與序列號碼和記號識別數(shù)據(jù)對應(yīng)起來存儲在RAM204中，檢查結(jié)束后，將其寫入光磁盤中。
如果對于玻璃基板30上安裝了的所有芯片92進行了安裝檢查，作業(yè)者就讓安裝控制計算機106的數(shù)據(jù)讀取·寫入裝置116讀取寫入了位置數(shù)據(jù)的光磁盤，向安裝控制計算機106輸入記號82、96的位置數(shù)據(jù)，并且指示對于在玻璃基板30上安裝的多個芯片92中的各個的安裝位置偏差的運算。對于1個芯片92預(yù)先存儲了各2個的基板記號82和部件記號96的各X軸、Y軸坐標(biāo)值，安裝控制計算機106運算2個基板記號82的各X坐標(biāo)值的平均值和各Y坐標(biāo)值的平均值，求出部件安裝位置的X、Y坐標(biāo)值。還有，運算2個部件記號96的各X坐標(biāo)值的平均值和各Y坐標(biāo)值的平均值，求出芯片92的中心位置的X、Y坐標(biāo)值。然后，求出部件安裝位置對芯片92的中心位置的偏差，獲得安裝位置偏差。另外，求出、修正回轉(zhuǎn)位置誤差，這樣也可以。
如果對于所有芯片92運算了安裝位置偏差，作業(yè)者就通過打印機126打印安裝位置偏差數(shù)據(jù)。上述基板記號82等的位置是與安裝序列號碼對應(yīng)起來存儲的，與安裝位置偏差數(shù)據(jù)一起，打印安裝序列號碼，作業(yè)者一邊看著它一邊修正安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的安裝位置偏差數(shù)據(jù)。檢查時作業(yè)者輸入檢查姿勢，將其與記號82、96的位置一起存儲、打印，向作業(yè)者顯示，這樣也可以。
該修正是在電子電路部件安裝機中進行的。作業(yè)者使顯示畫面124顯示安裝序列號碼、部件名、安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)、安裝位置偏差數(shù)據(jù)和玻璃基板30、130、芯片92的像，修正安裝位置偏差數(shù)據(jù)。安裝檢查是對于長邊側(cè)安裝部250，使玻璃基板30從向上且橫長的姿勢進行表背反轉(zhuǎn)來進行的，安裝位置偏差數(shù)據(jù)是在該狀態(tài)下獲得的數(shù)據(jù)。因此，作業(yè)者在對于長邊側(cè)安裝部250設(shè)定了的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)進行修正時，選擇序列號碼1至4的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)，選擇在顯示畫面124上顯示的坐標(biāo)變換的種類中的翻轉(zhuǎn)，指示該執(zhí)行。這樣，如圖13(b)所示，顯示畫面124就會切換，作為安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)和安裝位置偏差數(shù)據(jù)經(jīng)坐標(biāo)變換而被顯示，并且玻璃基板30的像等經(jīng)表背反轉(zhuǎn)而被顯示。
然后，作業(yè)者一邊看著打印出來的安裝位置偏差，一邊通過輸入裝置114而修正安裝位置偏差。此處，安裝位置偏差的修正不是消除安裝位置偏差，而是更新為設(shè)計上的安裝位置坐標(biāo)所對的偏差，即實際產(chǎn)生的最新的安裝位置偏差。修正時，可以原封不動地使用通過檢查所得的安裝位置偏差的值，可以不考慮檢查時的玻璃基板30的姿勢，能迅速進行修正。如上所述，這是因為第二坐標(biāo)面和檢查坐標(biāo)面是相同的坐標(biāo)面，即X軸和Y軸都平行，且X軸、Y軸的正負(fù)的方向相同，還有，在哪個坐標(biāo)面中都是使玻璃基板30表背反轉(zhuǎn)。在這些坐標(biāo)面上的安裝位置偏差不是玻璃基板30處在基準(zhǔn)姿勢的狀態(tài)下的偏差，不是在對于電子電路部件安裝機設(shè)定了的基準(zhǔn)坐標(biāo)面上的偏差，不過，修正后，通過進行逆坐標(biāo)變換而自動成為玻璃基板30處在基準(zhǔn)姿勢的狀態(tài)下的偏差，即對于長邊側(cè)安裝部250是部件安裝時的偏差，因而作業(yè)者可以不換算成玻璃基板30處在基準(zhǔn)姿勢的狀態(tài)下的安裝位置偏差，容易地且無錯誤地進行修正。另外，在安裝檢查第一次進行，安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)第一次被修正的場合，作業(yè)者原封不動地輸入所取得的安裝位置偏差即可。在安裝檢查為第2次以后的場合，作業(yè)者輸入把所取得的安裝位置偏差加上已經(jīng)取得、顯示的安裝位置偏差而成的值。該運算也是，在顯示出的值上原封不動地加上所取得的值來進行即可，很容易。第一次安裝位置偏差的輸入是0安裝位置偏差的修正。圖13(b)圖示輸入了安裝位置偏差的狀態(tài)。
如果安裝位置偏差的修正結(jié)束，作業(yè)者就指示逆坐標(biāo)變換的執(zhí)行。在本實施例中，再次選擇執(zhí)行了的坐標(biāo)變換的種類，指示執(zhí)行，從而指示該坐標(biāo)變換的逆坐標(biāo)變換的執(zhí)行。這樣來對設(shè)計安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)和作為被修正了的安裝位置偏差數(shù)據(jù)的修正安裝位置偏差數(shù)據(jù)進行逆坐標(biāo)變換，如圖13(a)所示，顯示初期顯示數(shù)據(jù)，即玻璃基板30處在基準(zhǔn)姿勢的狀態(tài)下的數(shù)據(jù)，也即對于長邊側(cè)安裝部250安裝部件時的數(shù)據(jù)。還有，把包括該被修正、逆變換了的安裝位置修正數(shù)據(jù)的偏差消除安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)取得數(shù)據(jù)與安裝位置偏差修正前的偏差消除安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)取得數(shù)據(jù)進行置換而存儲在RAM104中，在部件安裝時使用。
對于短邊側(cè)安裝部252設(shè)定了的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)也同樣由作業(yè)者來修正。在這種場合，作業(yè)者指定序列號碼5、6的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)，并且與安裝檢查時相同，首先選擇「右旋轉(zhuǎn)」，指示執(zhí)行，使其進行右旋轉(zhuǎn)的坐標(biāo)變換。此后，再在指定了序列號碼5、6的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的狀態(tài)下選擇「翻轉(zhuǎn)」，指示執(zhí)行，在右旋轉(zhuǎn)的坐標(biāo)變換后，使其顯示進行了翻轉(zhuǎn)的坐標(biāo)變換的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)和玻璃基板30等的像，修正進行了坐標(biāo)變換的安裝位置偏差數(shù)據(jù)。在這種場合也是，使第二坐標(biāo)面和檢查坐標(biāo)面為相同的坐標(biāo)面，安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)和玻璃基板30的像等以與檢查時相同的狀態(tài)顯示在顯示畫面124上，因而作業(yè)者可以原封不動地使用打印出的安裝位置偏差，即通過檢查獲得的安裝位置偏差來修正安裝位置偏差。
修正后，如果指示逆坐標(biāo)變換的執(zhí)行，就把安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)和安裝位置偏差數(shù)據(jù)，圖14如(a)所示，自動地逆變換為不進行右旋轉(zhuǎn)和表背反轉(zhuǎn)所致的坐標(biāo)變換的數(shù)據(jù)，自動地變換為第一坐標(biāo)面上的安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)和修正安裝位置偏差數(shù)據(jù)。逆坐標(biāo)變換是通過分別再次以坐標(biāo)變換時的逆順序選擇翻轉(zhuǎn)和右旋轉(zhuǎn)，指示執(zhí)行來進行的。并且，把包括被修正、逆變換了的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的偏差消除安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)取得數(shù)據(jù)與修正前的數(shù)據(jù)進行置換，存儲在RAM104中，在部件安裝時使用。
在部件安裝時，根據(jù)部件安裝的序列號碼，讀出對于實際進行安裝作業(yè)的芯片92的偏差消除安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)取得數(shù)據(jù)，根據(jù)修正安裝位置偏差數(shù)據(jù)來修正設(shè)計安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)，按照該修正數(shù)據(jù)使安裝頭350借助于安裝頭移動裝置352而移動，進行芯片92的安裝。通過部件安裝后的檢查而取得的位置偏差是如上所述，即使芯片92和玻璃基板30不同也會共同產(chǎn)生的位置偏差，對設(shè)計安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)進行修正，以消除該位置偏差而進行安裝，使得芯片92精度很好地安裝在玻璃基板30上。
在這種場合，對于長邊側(cè)安裝部250取得的偏差消除安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)取得數(shù)據(jù)可以原封不動地使用，不過，對于短邊側(cè)安裝部252取得的數(shù)據(jù)要經(jīng)90度右旋轉(zhuǎn)的坐標(biāo)變換才能使用。這是因為在對于短邊側(cè)安裝部252安裝芯片92的場合，要使玻璃基板30右旋轉(zhuǎn)90度，從而使短邊側(cè)安裝部252與電子電路部件安裝機的基準(zhǔn)坐標(biāo)面的X軸方向平行。
這樣，設(shè)計數(shù)據(jù)是在對于安裝在玻璃基板30上的所有芯片92為相同的姿勢的情況下作成的，相比之下，安裝檢查和數(shù)據(jù)修正是在縱橫的姿勢與設(shè)計時不同的方向和姿勢的情況下進行的，不過，修正后，通過逆坐標(biāo)變換就能回到設(shè)計坐標(biāo)面上的數(shù)據(jù)，因而可以不用通過安裝時的玻璃基板30的姿勢來區(qū)別設(shè)計數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)管理很容易。
還有，在部件安裝時和安裝檢查時使玻璃基板30的縱橫的方向相同不是不可缺少的，例如，與在長邊側(cè)安裝部250安裝了的芯片92的安裝檢查一樣，可以以液晶面板28從向上且橫長的姿勢進行表背反轉(zhuǎn)后的姿勢進行在短邊側(cè)安裝部252安裝了的芯片92的安裝檢查。這是因為無論安裝位置偏差取得時的玻璃基板30的姿勢是什么樣的姿勢，都以與取得時相同的姿勢修正進行，并且修正后，把逆變換了的數(shù)據(jù)用于與產(chǎn)生了安裝位置偏差的安裝姿勢相同的姿勢下的部件安裝，就能修正安裝位置偏差。對于檢查對象基板的上下(表背)的方向也同樣。
也可以在使玻璃基板30左旋轉(zhuǎn)，并且使其表背反轉(zhuǎn)了的狀態(tài)下進行檢查和安裝位置偏差的修正，不過，這與在使玻璃基板30右旋轉(zhuǎn)，并且使其表背反轉(zhuǎn)了的狀態(tài)下進行檢查、修正的場合相比，除了X坐標(biāo)值和Y坐標(biāo)值的正負(fù)的符號是相反的這一點以外，是同樣進行的，因而省略圖示和說明。
還有，隨在檢查臺152上設(shè)定了的玻璃基板30的姿勢的不同，有的也進行多次右旋轉(zhuǎn)或左回轉(zhuǎn)的坐標(biāo)變換。
以上說明了根據(jù)安裝檢查來修正安裝位置偏差數(shù)據(jù)，據(jù)此來修正安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)的情況，不過，在本電子電路部件安裝系統(tǒng)中，也可以進行安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)的變更和安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的追加。例如，在通過安裝檢查取得的芯片92的安裝位置偏差在X軸方向和Y軸方向的至少一方大到超過偏差的范圍的場合，例如，可以考慮是設(shè)計數(shù)據(jù)搞錯了。在該場合，就根據(jù)安裝位置偏差來變更設(shè)計上的安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)本身。變更在顯示畫面124上顯示的安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)，變更偏差消除安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)取得數(shù)據(jù)的安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)。該變更是在按照檢查時的玻璃基板30姿勢，對安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)進行坐標(biāo)變換，將其顯示出的狀態(tài)下進行的，這與安裝位置偏差的修正時相同。另外，在取得了的偏差的大小包括小數(shù)點以下的值的場合，例如，用整數(shù)部分來變更安裝位置坐標(biāo)，把小數(shù)點以下的部分作為安裝位置偏差即可。也可以變更部件安裝程序的設(shè)計安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)。
還有，例如，作業(yè)者看著芯片92的實裝結(jié)束了的玻璃基板30，如果芯片92沒安裝在應(yīng)該安裝部位，就追加安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)，安裝芯片92。追加時，讓顯示畫面124顯示玻璃基板30處在基準(zhǔn)姿勢的狀態(tài)下的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)，作業(yè)者選擇在顯示畫面124上顯示的「數(shù)據(jù)追加」，指示執(zhí)行。這樣，例如在顯示畫面124上顯示序列號碼、部件名和安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的輸入欄，作業(yè)者就用輸入裝置114輸入數(shù)據(jù)。這時，作業(yè)者就能參考在顯示畫面124上顯示了的玻璃基板30等的像而輸入數(shù)據(jù)。在對于短邊側(cè)安裝部252追加安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的場合，也可以顯示對于安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)等進行了右旋轉(zhuǎn)的坐標(biāo)變換的數(shù)據(jù)等，進行追加，追加后，進行逆坐標(biāo)變換，將其作為設(shè)計上的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)。根據(jù)安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)等的追加，對于與其所追加的數(shù)據(jù)相同序列號碼以后的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)，自動地錯開序列號碼。被追加了的芯片92的安裝順序也可以根據(jù)包括該安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的所有安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)而被自動地設(shè)定。還有，數(shù)據(jù)的追加也可以與修正一起進行。對于部件安裝程序也要追加安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)，在被追加了的安裝位置上安裝芯片92。
由以上的說明可知，在本實施例中，安裝控制計算機106的RAM104的存儲設(shè)計安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)和安裝位置偏差數(shù)據(jù)的部分構(gòu)成了存儲裝置，輸入裝置114構(gòu)成了數(shù)據(jù)輸入部，并且構(gòu)成了坐標(biāo)變換指示部、逆坐標(biāo)變換指示部、坐標(biāo)變換種類選擇部和逆坐標(biāo)變換種類選擇部，安裝控制計算機106的按照指示了的坐標(biāo)變換的種類和逆坐標(biāo)變換的種類，對于安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)和安裝位置偏差數(shù)據(jù)進行運算，執(zhí)行坐標(biāo)變換和逆坐標(biāo)變換的部分構(gòu)成了坐標(biāo)變換部和逆坐標(biāo)變換部，輸入裝置114構(gòu)成了部件安裝位置修正部、安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)追加部和安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變更部。也可以認(rèn)為逆坐標(biāo)變換部是設(shè)計狀態(tài)數(shù)據(jù)還原部。可以認(rèn)為安裝控制計算機106的根據(jù)作業(yè)者的指示來運算安裝位置偏差的部分構(gòu)成了安裝位置偏差運算部，構(gòu)成了作為充當(dāng)數(shù)據(jù)變更量取得部的數(shù)據(jù)修正量取得部的安裝位置偏差取得部。也可以認(rèn)為安裝控制計算機106的取入由數(shù)據(jù)讀取·寫入裝置116讀取了的數(shù)據(jù)的部分構(gòu)成了數(shù)據(jù)變更量取得部。還有，作業(yè)臺34和作業(yè)臺34上設(shè)置的基板吸著裝置構(gòu)成了基板保持裝置，作業(yè)臺移動裝置36和安裝頭移動裝置352構(gòu)成了使基板保持裝置和安裝頭350相對移動的相對移動裝置。安裝頭350是加壓頭，也是加熱頭。
另外，也可以通過通訊，把記號位置數(shù)據(jù)等從檢查計算機210向安裝控制計算機106輸入。
還有，也可以在檢查計算機210中求出芯片92的安裝位置偏差。在這種場合，例如，在安裝檢查機150上設(shè)置打印機，作業(yè)者把求出了的安裝位置偏差打印出來，在電子電路部件安裝機中修正安裝位置偏差數(shù)據(jù)?；蚴且部梢宰層涗浗橘|(zhì)存儲安裝位置偏差數(shù)據(jù)等，讓電子電路部件安裝機的打印機打印。
以下根據(jù)圖16和圖17來說明可請求發(fā)明的別的實施例。在本實施例中，安裝檢查時，使檢查頭154根據(jù)安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)而自動地按安裝順序移動到芯片92，對記號82、96進行攝像，在電子電路部件安裝機中自動地修正安裝位置偏差。還有，在電子電路部件安裝機和安裝檢查機之間，數(shù)據(jù)的取予是通過通訊線路來進行的。因此，如圖16所示，電子電路部件安裝機的控制裝置300，與上述控制裝置24一樣，是以安裝控制計算機302為主體而構(gòu)成的，不過，其輸入輸出接口108通過通訊線路而與作為部件安裝檢查機的控制裝置310的主體的檢查計算機312連接。如圖17所示，部件安裝檢查機的控制裝置310的檢查計算機312的輸入輸出接口212也通過通訊線路而與安裝控制計算機302連接。還有，部件安裝檢查機的檢查攝像裝置316和照明裝置318是與上述檢查攝像裝置400和照明裝置402同樣的構(gòu)成，不過在本實施例中是能對2個部件記號96和2個基板記號82同時進行照明、攝像的裝置。
通過通訊而把設(shè)計安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)和安裝順序數(shù)據(jù)從安裝控制計算機302向檢查計算機312輸入，存儲在RAM204中。并且，在部件安裝檢查機150中，按部件安裝位置順序而讀出安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)，使檢查頭154自動地移動到作為攝像對象的芯片92之上。如上所述，玻璃基板30以各種姿勢設(shè)定在檢查臺152上，與該姿勢對應(yīng)，玻璃基板30的基準(zhǔn)點在檢查坐標(biāo)面內(nèi)的位置會變化。因此，例如，以與基準(zhǔn)姿勢相同的姿勢在檢查臺152上設(shè)定了玻璃基板30之后，作業(yè)者通過馬達176、178的微動操作而使玻璃基板30移動到基準(zhǔn)點，讓檢查攝像裝置316對基準(zhǔn)點進行攝像，并且用光標(biāo)在檢查計算機312上取得檢查頭154的基準(zhǔn)點的位置?；蚴且部梢栽O(shè)置使在基準(zhǔn)點正交的2邊處在X軸方向和Y軸方向而把玻璃基板30定位在檢查臺152上的定位裝置，根據(jù)定位裝置所進行的玻璃基板30的定位位置來取得基準(zhǔn)點的位置。也可以在設(shè)定為檢查姿勢的狀態(tài)下取得基準(zhǔn)點的位置。根據(jù)在該檢查坐標(biāo)面內(nèi)的玻璃基板30的基準(zhǔn)點的位置、設(shè)計安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)和玻璃基板30的檢查姿勢就能求出檢查頭154的移動位置。玻璃基板30的檢查姿勢由作業(yè)者輸入。這時，在檢查計算機312中，根據(jù)玻璃基板30的檢查姿勢，對設(shè)計安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)進行坐標(biāo)變換，就能求出檢查頭154的移動位置。也可以在安裝控制計算機302中進行該坐標(biāo)變換，并將其供給檢查計算機312。
在檢查頭154的移動后，對芯片92進行攝像，并且將其放大顯示在顯示畫面232上，作業(yè)者使光標(biāo)CX1、CX2、CY1、CY2與基板記號82和部件記號96分別相合，使檢查計算機312取得2個基板記號82各自在X軸、Y軸方向的位置和2個部件記號96各自在X軸、Y軸方向的位置，這與上述實施例相同。對于各2個的基板記號82和部件記號96中的接近的一組基板記號82和部件記號96，在使光標(biāo)相合，取得了位置之后，對于另一組基板記號82和部件記號96，使光標(biāo)相合，取得位置。把取得了的基板記號82和部件記號96的各位置與安裝順序和記號識別數(shù)據(jù)對應(yīng)起來進行存儲。這樣就能取得記號82、96的位置，作業(yè)者讓電子電路部件安裝機的顯示畫面124在與玻璃基板30的檢查姿勢相合的狀態(tài)下顯示安裝序列號碼、部件名、安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)和玻璃基板30等的像。如果是在玻璃基板30從橫長姿勢進行了表背反轉(zhuǎn)的姿勢下進行檢查，作業(yè)者就指示翻轉(zhuǎn)的坐標(biāo)變換，從而把坐標(biāo)變換了的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)和翻轉(zhuǎn)了的玻璃基板30的像顯示在顯示畫面124上，例如，作業(yè)者可以一邊看著顯示畫面124確認(rèn)安裝檢查被執(zhí)行的芯片92是哪個，一邊指示攝像等。如果對1個芯片92進行攝像，取得了基板記號82和部件記號96的位置，就由作業(yè)者指示下一芯片92的攝像以及記號82、96的位置的取得，這樣，就使檢查頭154根據(jù)安裝順序和安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)自動地移動到芯片92，由檢查攝像裝置316進行攝像。
如果對于所有芯片92取得了各2個的基板記號82和部件記號96的各X軸、Y軸方向的位置，就把這些記號位置數(shù)據(jù)、安裝順序數(shù)據(jù)和檢查時的玻璃基板30的姿勢數(shù)據(jù)通過通訊向安裝控制計算機302供給而將其輸入。安裝控制計算機302根據(jù)輸入了的記號位置數(shù)據(jù)來求出芯片92的安裝位置偏差，并且對作為偏差消除安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)取得數(shù)據(jù)的一部分而存儲在RAM104中的安裝位置偏差數(shù)據(jù)進行修正。在上述實施例中由作業(yè)者進行的安裝位置偏差修正作業(yè)由安裝控制計算機302自動地進行。
這時，安裝位置偏差數(shù)據(jù)的修正是與安裝檢查時的玻璃基板30的姿勢相合來進行的。如果是在使玻璃基板30從橫長姿勢進行了表背反轉(zhuǎn)的姿勢下取得了安裝位置偏差，進行了翻轉(zhuǎn)的坐標(biāo)變換的安裝位置偏差數(shù)據(jù)就要根據(jù)取得了的安裝位置偏差來修正。修正后，自動進行逆坐標(biāo)變換，使安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)和修正安裝位置偏差數(shù)據(jù)成為對于處于基準(zhǔn)姿勢的玻璃基板30的數(shù)據(jù)。也可以根據(jù)作業(yè)者所作的逆坐標(biāo)變換的執(zhí)行的指示來進行逆坐標(biāo)變換。
在本實施例中，作業(yè)者對于部件安裝檢查機150，使光標(biāo)CX1、CX2、CY1、CY2與記號82、96相合，取得其位置，取得安裝位置偏差，這是數(shù)據(jù)變更，進行使光標(biāo)CX1、CX2、CY1、CY2移動的操作等的輸入裝置158構(gòu)成了數(shù)據(jù)變更部。數(shù)據(jù)變更部設(shè)在安裝檢查機150側(cè)。還有，安裝控制計算機302的RAM104構(gòu)成了存儲裝置，在安裝位置偏差數(shù)據(jù)的修正時，指示、執(zhí)行與玻璃基板30的檢查姿勢相合的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的坐標(biāo)變換的部分構(gòu)成了坐標(biāo)變換指示部和坐標(biāo)變換部，修正后，指示、執(zhí)行逆坐標(biāo)變換的部分構(gòu)成了逆坐標(biāo)變換指示部和逆坐標(biāo)變換部，它們與部件安裝檢查機150側(cè)的數(shù)據(jù)變更部一起構(gòu)成了安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置。在本實施例中，坐標(biāo)變換的指示和逆坐標(biāo)變換的指示都是自動進行的。
也可以認(rèn)為安裝控制計算機302的受取記號位置數(shù)據(jù)的部分構(gòu)成了作為數(shù)據(jù)變更部的數(shù)據(jù)受取部，也可以認(rèn)為根據(jù)記號位置數(shù)據(jù)來修正作為安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)而被存儲了的安裝位置偏差數(shù)據(jù)的部分構(gòu)成了部件安裝位置修正部，構(gòu)成了數(shù)據(jù)變更部。在這些場合，數(shù)據(jù)變更是自動進行的，安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置都設(shè)在電子電路部件安裝機側(cè)。這時，如果認(rèn)為作業(yè)者使光標(biāo)CX1、CX2、CY1、CY2與各2個的基板記號82和部件記號96相合的操作也是數(shù)據(jù)變更部的一部分，則數(shù)據(jù)變更部就是跨電子電路部件安裝機和部件安裝檢查機150兩方而設(shè)置的。還有，也可以認(rèn)為從安裝控制計算機302的從檢查計算機312受取記號位置數(shù)據(jù)的部分構(gòu)成了作為數(shù)據(jù)變更量取得部的數(shù)據(jù)修正量取得部，也可以認(rèn)為根據(jù)記號位置數(shù)據(jù)來求出安裝位置偏差的部分構(gòu)成了作為數(shù)據(jù)變更量取得部的數(shù)據(jù)修正量取得部，也可以認(rèn)為數(shù)據(jù)修正量取得部構(gòu)成了部件安裝位置修正部的一部分。也可以在檢查計算機312中運算基于記號位置數(shù)據(jù)的安裝位置偏差，通過通訊將其供給安裝控制計算機302。在這種場合，也可以認(rèn)為檢查計算機312的運算安裝位置偏差的部分也構(gòu)成了數(shù)據(jù)變更部的一部分，也可以認(rèn)為安裝控制計算機302的受取安裝位置偏差的部分構(gòu)成了作為數(shù)據(jù)變更部的數(shù)據(jù)受取部，并且構(gòu)成了數(shù)據(jù)變更量取得部。
也可以使檢查頭154每次在1個芯片92被攝像，光標(biāo)與記號82、96相合而取得了安裝位置的偏差時，就自動地移動到下一取得位置偏差的芯片92。
上述各實施例的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置可以用于不使部件安裝基板進行表背反轉(zhuǎn)而取得安裝位置偏差的場合的數(shù)據(jù)變換等各種數(shù)據(jù)變換。例如，如果能從表側(cè)(部件安裝基板的部件安裝面?zhèn)?進行部件安裝檢查，就以部件既安裝面為向上的姿勢，且部件安裝基板為橫長的姿勢進行檢查，或者在部件既安裝面向上的狀態(tài)下以使其從橫長姿勢進行了右旋轉(zhuǎn)或左旋轉(zhuǎn)的姿勢進行檢查，與該姿勢對應(yīng)而使安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置進行坐標(biāo)變換、逆坐標(biāo)變換、數(shù)據(jù)變更。例如，有時即使在部件安裝基板不透明，不能從背側(cè)透視在部件安裝面上設(shè)置的部件和安裝的電子電路部件的場合，也能從部件裝面?zhèn)冗M行檢查，取得位置偏差。例如，在電極可識別地從部件安裝面?zhèn)仍O(shè)在電子電路部件的本體上的場合，在電子電路部件的本體的部件安裝面?zhèn)鹊南喾磦?cè)的面上設(shè)有記號，從部件安裝面?zhèn)瓤勺R別該記號的場合，以及引線從本體向側(cè)方突出而設(shè)置的場合等，就可在部件安裝基板上安裝了電子電路部件的狀態(tài)下從部件安裝面?zhèn)茸R別這些電極、記號和引線，根據(jù)該識別來取得安裝位置偏差，或者根據(jù)部件記號和基板記號的位置來取得安裝位置偏差。也可以對電子電路部件的本體進行攝像，求出其位置，將其與正規(guī)的位置進行比較而求出安裝位置偏差。在電子電路部件的本體是透明的場合，例如，如果電子電路部件是FPC基板，本體是透明的，則也能從被安裝面的相反側(cè)的面?zhèn)葋碜R別在該部件安裝基板的被安裝面上設(shè)置的部件記號。安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置可以設(shè)在向透明的部件安裝基板安裝電子電路部件的電子電路部件安裝機、向不透明的部件安裝基板安裝電子電路部件的電子電路部件安裝機、兩者都能進行的電子電路部件安裝機等各種電子電路部件安裝機上，進行數(shù)據(jù)變換。安裝檢查可以在例如從橫長姿勢進行了右旋轉(zhuǎn)或左旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，或是進行了多次右旋轉(zhuǎn)或左回轉(zhuǎn)的狀態(tài)下進行。在能這樣取得位置偏差的場合，即使部件安裝基板是透明的，也能不使其表背反轉(zhuǎn)而從部件安裝基板的部件安裝面?zhèn)热〉梦恢闷?，?jù)此來變更位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)。
還有，如果部件安裝基板是透明的，且能通過電路圖形和ACF等連接材而識別部件的電極或引線，則可以在使部件安裝基板進行表背反轉(zhuǎn)而檢查安裝位置偏差時，根據(jù)電路圖形和電極或引線的識別(攝像)來檢出位置偏差。把電路圖形等用作基板記號和部件記號。
在位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置設(shè)在電子電路部件安裝系統(tǒng)以外的作業(yè)系統(tǒng)上的場合，也可以按照坐標(biāo)變換對象物的特性、作業(yè)的內(nèi)容等，以各種方式來進行坐標(biāo)變換。
還有，安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的修正也可以在每次檢出安裝位置偏差時進行。例如，在修正由作業(yè)者進行的場合，每次在安裝檢查機中對于電子電路部件取得各2個的部件記號和基準(zhǔn)記號的各位置時，就運算并顯示安裝位置偏差，作業(yè)者看著它來進行修正?；蚴牵看卧诎惭b控制計算機中運算1個安裝位置偏差時進行顯示，讓作業(yè)者修正。在修正是自動進行的場合，例如，使得在安裝控制計算機和檢查計算機之間，數(shù)據(jù)的取予總是通過通訊來進行，每次取得記號位置數(shù)據(jù)，就將其從檢查計算機送給安裝控制計算機，求出安裝位置偏差而進行修正。在檢查和修正由相同的計算機來進行的場合不需要數(shù)據(jù)傳送。
逆坐標(biāo)變換可以在對于所有安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)進行了變更之后一并進行，也可以每次進行1個或預(yù)先設(shè)定的多個安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的變更。
還有，逆坐標(biāo)變換也可以是例如在顯示畫面上與坐標(biāo)變換的種類一起顯示「逆坐標(biāo)變換」的顯示，通過該選擇、執(zhí)行的指示來進行，或是也可以在顯示畫面上設(shè)置進入顯示、結(jié)束顯示或向初期顯示的還原顯示，數(shù)據(jù)輸入后，選擇進入、結(jié)束或初期顯示，指示執(zhí)行，這是逆變換的執(zhí)行指示，這樣來進行逆變換。
再有，也可以根據(jù)取得了的安裝位置偏差而直接修正安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)。
還有，也可以顯示安裝位置偏差消除數(shù)據(jù)，代替安裝位置偏差，根據(jù)檢出了的安裝位置偏差而更新、顯示安裝位置偏差消除數(shù)據(jù)。
再有，如果在顯示畫面上顯示部件安裝基板的基準(zhǔn)點、X軸和Y軸，作業(yè)者就容易明白，不過，該顯示不是不可缺少的，至少可以省略1個顯示。
再有，也可以在部件安裝檢查機上設(shè)置安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置。在這種場合，通過記錄介質(zhì)的使用和通訊等，把偏差消除安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)取得數(shù)據(jù)等必要的數(shù)據(jù)輸入到檢查計算機，并且在檢查計算機中設(shè)置用于坐標(biāo)變換和逆坐標(biāo)變換的程序。還有，可以設(shè)置2個顯示畫面，或是把1個顯示畫面進行2分割，在一方上顯示被攝像了的基板記號等，在另一方上顯示安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)等，進行安裝檢查，檢查后，在顯示畫面上顯示安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)等并自動或是手動地進行安裝位置偏差的修正。把修正后的數(shù)據(jù)記錄在記錄介質(zhì)上，或通過無線或有線的通訊等向安裝控制計算機輸入。
再有，也可以在電子電路部件安裝機上設(shè)置存儲裝置，坐標(biāo)變換指示部等位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置以外的構(gòu)成要素可以設(shè)置在安裝檢查機等其它裝置上。在這種場合，把在其它裝置中進行了的坐標(biāo)變換、數(shù)據(jù)變更和逆坐標(biāo)變換的結(jié)果送回到電子電路部件安裝機中，使存儲裝置的存儲進行更新。
再有，在部件安裝檢查機中使檢查頭自動地移動到安裝部件，讓攝像裝置對基板記號和部件記號進行攝像的場合，也可以只對互相接近的各1個的基板記號和部件記號同時進行攝像。在這種場合，從安裝控制計算機到檢查計算機，與包括設(shè)計安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)和電子電路部件上的部件記號的配置位置數(shù)據(jù)的部件數(shù)據(jù)一起，供給基板記號的位置數(shù)據(jù)，根據(jù)它們就能求出攝像裝置的移動位置。攝像裝置對對于安裝部件設(shè)置的2個部件記號中的一方和與該部件記號接近的基板記號同時進行攝像之后，使其自動移動到另一方部件記號和與該部件記號接近的基板記號，對其同時進行攝像，就能對部件記號和基板記號更清晰地進行攝像。
還有，在上述實施例中，ACF是包括熱塑性樹脂薄膜的裝置，不過，也可以是包括熱固化性樹脂薄膜的裝置。
再有，ACF帶子也可以分別粘貼在部件安裝基板上設(shè)定了的至少1個部件安裝位置中的各個上。
還有，在部件安裝基板上粘貼ACF帶子時，避開與基板記號和部件安裝基板的部件記號對應(yīng)的部分，不掩蓋它們而粘貼。這樣就能做成部件記號不通過ACF帶子而被攝像，照明裝置只包括可見光源的裝置，或者在ACF帶子不允許光的透過的場合也能識別部件記號。
還有，在用ACF把電子電路部件部件與安裝基板連接起來的場合，也可以在1臺作業(yè)機上進行預(yù)壓接和本壓接。
再有，部件安裝基板不限于玻璃基板，也可以是FPC基板(FlexiblePrinted Circuit Board)、電路基板等，各種基板都可以作為坐標(biāo)變換對象物。柔性打印布線板是在具有撓性和絕緣性的薄膜上形成了導(dǎo)體圖形的打印布線板，例如，在具有耐熱性，具有撓性、絕緣性的透明的聚酰亞胺樹脂和聚酯樹脂制的薄膜上形成導(dǎo)體圖形，搭載倒裝芯片等電子電路部件。FPC基板有時也作為電子電路部件而安裝在玻璃基板上，可以對在其上設(shè)置的記號和在玻璃基板上設(shè)置的記號進行攝像，取得、修正安裝位置偏差，可以為該取得、修正而使用安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置。還有，電子電路部件的電極和部件安裝基板的電極不限于采用ACF帶子的連接方法，例如，也可以采用熔融焊料結(jié)合方法、金屬結(jié)合方法來連接。熔融焊料結(jié)合方法是熔融焊料而電連接電極端子彼此的方法，例如，在部件安裝基板的電極端子上涂覆膏狀焊料，在涂敷焊料上載置了的狀態(tài)下對電子電路部件的電極端子進行加熱，使其熔融，在使電子電路部件上設(shè)置的焊料突起與部件安裝基板的電極端子接觸了的狀態(tài)下進行加熱，使其熔融。金屬結(jié)合方法是使金屬制，例如金制的電極端子彼此直接接觸，通過加上壓力和超聲波振動而連接的方法。也有采用光或熱固化性樹脂連接的方法。這些部件連接方法可以根據(jù)部件安裝基板和電子電路部件等的種類和特性等來適當(dāng)選擇。例如，熔融焊料結(jié)合方法適合于耐熱性出色、能耐焊料熔融時的加熱的部件安裝基板的電極端子的連接，例如，在柔性打印布線板由耐熱性的樹脂作成的場合，可以用于電子電路部件的連接。在柔性打印布線板的基材是透明的合成樹脂制的場合，可以在表背反轉(zhuǎn)了的狀態(tài)下進行在柔性打印布線板上安裝了的部件的位置檢查。
在用焊料把電子電路部件與部件安裝基板連接起來的場合，如果在用焊料把電子電路部件與部件安裝基板預(yù)固定了的狀態(tài)下電子電路部件不會偏離，則可以在預(yù)固定了的狀態(tài)下進行安裝檢查，也可以在焊料被熔融、電子電路部件與部件安裝基板電連接了的狀態(tài)下進行檢查。
還有，也可以檢查ACF粘貼頭所致的對部件安裝基板的ACF粘貼位置或ACF切斷頭所致的ACF的切割長度等，對位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)加以變更。ACF切斷頭是把部件安裝基板上粘貼了的ACF帶子按設(shè)定長度進行切斷而間接地在部件安裝基板上實施作業(yè)的作業(yè)頭。ACF粘貼位置數(shù)據(jù)是與作為坐標(biāo)變換對象物的部件安裝基板的位置相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)，ACF的切割長度也可以根據(jù)該粘貼位置來獲得，規(guī)定長度的粘貼位置數(shù)據(jù)是位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)。ACF粘貼位置可以在ACF帶子向部件安裝基板的粘貼以后、電子電路部件的安裝前進行檢查，也可以在安裝后進行檢查。如果部件安裝基板是透明基板，也可以在電子電路部件的安裝后，使部件安裝基板進行表背反轉(zhuǎn)而取得ACF帶子的粘貼位置。在檢查ACF粘貼位置的場合，可以對于ACF的預(yù)先設(shè)定的1部位取得位置，取得位置偏差等，也可以對于多個部位取得位置，根據(jù)它們而取得位置偏差等。ACF中含有導(dǎo)電粒子，例如，由攝像裝置所進行的ACF的攝像來取得導(dǎo)電粒子的有無、數(shù)和密度，據(jù)此來取得ACF的粘貼位置和長度。還有，在檢查ACF切割長度的場合，例如，對于ACF帶子上預(yù)先設(shè)定的多個部位，例如，在較長方向相隔的4個部位，設(shè)定檢查位置，根據(jù)在各檢查位置的ACF帶子的有無來取得ACF帶子的端的位置，求出長度，取得對正規(guī)的長度的差。再根據(jù)這些取得了的實際的ACF粘貼位置偏差、ACF切割長度的與正規(guī)的長度的差，例如，對于設(shè)定了的ACF粘貼位置、切割位置加以變更，修正在ACF粘貼時的ACF粘貼頭和部件安裝基板的相對位置，修正帶子切斷裝置所進行的切斷位置。在該變更中使用位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置。
在ACF粘貼頭是在電子電路部件上粘貼ACF的裝置的場合，也可以檢查該粘貼位置等，對于位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)加以變更。在這種場合，電子電路部件就成為坐標(biāo)變換對象物。
電路部件的安裝檢查也可以在部件安裝基板向檢查機的設(shè)置后，全部自動地進行。例如，根據(jù)電子電路部件的安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)等，使檢查頭自動地移動到電子電路部件，例如，對電子電路部件整體進行攝像，取得其位置，將其與沒有偏差的正規(guī)的位置進行比較，取得位置偏差量?；蚴且部梢詫Σ考浱?、基板記號進行攝像，取得安裝位置偏差。在這種場合，也可以從安裝檢查后，到安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的變更，都自動地進行。
坐標(biāo)變換對象物不限于電子電路部件和部件安裝基板，例如，只要是由作業(yè)頭實施某種作業(yè)的部件就能成為坐標(biāo)變換對象物。還有，在坐標(biāo)變換對象物是部件安裝基板的場合，被安裝的電子電路部件不限于液晶驅(qū)動電路部件，可以按照QFP(Quad Flat Package)、CSP(ChipSize Package)等封裝部件等、部件安裝基板的種類等而安裝各種電子電路部件，例如，這些電子電路部件的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)由安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置來變更。
以上說明了的與位置偏差的取得和位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置等有關(guān)各種方式，在電子電路部件安裝系統(tǒng)以外的對部件安裝基板作業(yè)系統(tǒng)中也可以采用。
權(quán)利要求
1.一種位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，包括存儲作為與第一坐標(biāo)面上的坐標(biāo)變換對象物的至少1點的位置相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的存儲裝置；指示應(yīng)該對于存儲在該存儲裝置中的所述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)實施向第二坐標(biāo)面的坐標(biāo)變換的坐標(biāo)變換指示部；遵照該坐標(biāo)變換指示部所作的坐標(biāo)變換指示，實施存儲在所述存儲裝置中的所述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)向第二坐標(biāo)面的坐標(biāo)變換的坐標(biāo)變換部；在該第二坐標(biāo)面上對所述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)加以變更的數(shù)據(jù)變更部；指示應(yīng)該把由數(shù)據(jù)變更部變更了的所述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)逆坐標(biāo)變換為所述第一坐標(biāo)面上的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的逆坐標(biāo)變換指示部；以及遵照該逆坐標(biāo)變換指示部的指示，實施逆坐標(biāo)變換的逆坐標(biāo)變換部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，其特征在于，所述坐標(biāo)變換指示部包括指示對于存儲在所述存儲裝置中的所述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)應(yīng)該實施坐標(biāo)變換的種類的變換坐標(biāo)指示部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，其特征在于，包括顯示由所述坐標(biāo)變換部進行了坐標(biāo)變換的所述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)和進行了坐標(biāo)變換的所述坐標(biāo)變換對象物的像的至少一方的顯示畫面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，其特征在于，所述坐標(biāo)變換部是以所述坐標(biāo)變換對象物對所述第一坐標(biāo)面的原點的實體性的相對位置和對所述第二坐標(biāo)面的原點的實體性的相對位置在所述坐標(biāo)變換前后不變的方式進行坐標(biāo)變換的裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，其特征在于，所述坐標(biāo)變換部是以所述坐標(biāo)變換對象物上設(shè)定了的基準(zhǔn)點和所述第一坐標(biāo)面的原點及第二坐標(biāo)面的原點一致的方式進行坐標(biāo)變換的裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，其特征在于，對于所述第一坐標(biāo)面和第二坐標(biāo)面而言，X軸彼此和Y軸彼此都是互相平行的，且對于X軸和Y軸各自，正負(fù)方向相同。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，其特征在于，所述坐標(biāo)變換指示部包括指示對于存儲在所述存儲裝置中的所述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)應(yīng)該實施的坐標(biāo)變換的種類的變換坐標(biāo)指示部，可由該變換坐標(biāo)指示部指示的坐標(biāo)變換的種類包括繞X軸的回轉(zhuǎn)所致的表背反轉(zhuǎn)、繞Y軸的回轉(zhuǎn)所致的表背反轉(zhuǎn)、正方向的回轉(zhuǎn)和逆方向的回轉(zhuǎn)中的至少2種。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，其特征在于，所述坐標(biāo)變換指示部和所述逆坐標(biāo)變換指示部各自可以多個種類地重疊地指示所述坐標(biāo)變換和所述逆坐標(biāo)變換。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置，其特征在于，所述坐標(biāo)變換對象物是部件安裝基板，所述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)包括與安裝在設(shè)在所述部件安裝基板上的電路圖形上而構(gòu)成電子電路的電子電路部件的安裝位置相關(guān)聯(lián)的安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)，該安裝位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)包括規(guī)定電子電路部件的安裝位置的安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)和與所述電子電路部件的安裝位置的偏差有關(guān)的安裝位置偏差關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的至少一方，所述數(shù)據(jù)變更部包括對所述安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)和所述安裝位置偏差關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的至少一方進行修正，取得安裝位置修正數(shù)據(jù)的部件安裝位置修正部。
10.一種對部件安裝基板作業(yè)系統(tǒng)，其特征在于包括所述坐標(biāo)變換對象物是部件安裝基板的權(quán)利要求1至9中任意一項所述的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置；保持所述部件安裝基板的基板保持裝置；對所述部件安裝基板實施作業(yè)的作業(yè)頭；使所述基板保持裝置和所述作業(yè)頭相對移動的相對移動裝置；以及控制所述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置、所述基板保持裝置、所述作業(yè)頭和所述相對移動裝置的控制裝置。
11.一種電子電路部件安裝系統(tǒng)，其特征在于包括權(quán)利要求1至9中任意一項所述的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置；供給電子電路部件的部件供給裝置；保持部件安裝基板的基板保持裝置；從所述部件供給裝置受取所述電子電路部件，將其安裝在所述部件安裝基板上的安裝頭；使所述部件供給裝置、所述基板保持裝置和所述安裝頭相對移動的相對移動裝置；以及至少控制所述位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置、所述基板保持裝置、所述安裝頭和所述相對移動裝置的控制裝置。
全文摘要
本發(fā)明的課題在于提供一種包括使數(shù)據(jù)變更容易的位置關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)變換裝置及其數(shù)據(jù)變換裝置的對部件安裝基板作業(yè)機。在部件安裝檢查機中，在使構(gòu)成液晶面板的透明的玻璃基板(30)表背反轉(zhuǎn)了的狀態(tài)下，對分別設(shè)置在部件、玻璃基板(30)上的基準(zhǔn)記號從背側(cè)進行攝像，取得其位置，在電子電路部件安裝機中求出、打印安裝位置偏差，由作業(yè)者進行修正。這時，使在顯示畫面(124)上顯示出的設(shè)計上的安裝位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)、安裝位置偏差數(shù)據(jù)、玻璃基板(30)的像(圖13(a))與檢查時的玻璃基板(30)的姿勢相合，對其進行坐標(biāo)變換(圖13(b))，在與檢查坐標(biāo)面相同的坐標(biāo)面上以相同的姿勢放置了玻璃基板(30)的狀態(tài)下，作業(yè)者一邊看著打印出的安裝位置偏差，一邊修正畫面上的安裝位置偏差數(shù)據(jù)。修正后，通過逆坐標(biāo)變換，把安裝位置偏差數(shù)據(jù)等還原為玻璃基板(30)的設(shè)計姿勢下的數(shù)據(jù)(圖13(a))。
文檔編號H05K13/08GK1764367SQ200510113530
公開日2006年4月26日 申請日期2005年10月17日 優(yōu)先權(quán)日2004年10月15日
發(fā)明者保坂英希, 仙石重德 申請人:富士機械制造株式會社