專利名稱：有機(jī)el裝置及其制造方法以及電子儀器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及有機(jī)EL裝置及其制造方法和電子儀器。
背景技術(shù)：
近年來(lái)作為替代液晶顯示器的發(fā)光型顯示器，加速開(kāi)發(fā)了使用有機(jī)物的電場(chǎng)發(fā)光元件。作為使用有機(jī)物的有機(jī)EL元件，主要開(kāi)發(fā)了在《應(yīng)用物理通訊》51卷12期(1987年9月12日)第913頁(yè)上所示的用蒸鍍法將低分子制膜的方法，和《應(yīng)用物理通訊》71卷1期(1997年7月7日)第34頁(yè)上所示的涂布高分子的方法。特別是在高分子體系中彩色化時(shí)，采用噴墨法容易實(shí)現(xiàn)圖案化的這一點(diǎn)受到的注目。采用高分子的情況下，大多在陰極與發(fā)光層之間形成空穴注入層或空穴輸送層。過(guò)去，作為上述緩沖層或空穴注入層，大多采用導(dǎo)電性高分子，例如聚噻吩衍生物或聚苯胺衍生物。在低分子體系中大多采用苯基胺衍生物作為空穴注入層或空穴輸送層。
而且正如專利文獻(xiàn)1所示，還有人提出高分子系材料的采用噴墨方式(液滴噴出方式)的圖案形成，和低分子系材料的采用蒸鍍法以層疊結(jié)構(gòu)形成的方式。
在形成高分子層時(shí)，噴墨法能夠?qū)⑼坎己蛨D案化一次完成。而且使用的材料能以最低限度完成。另一方面對(duì)于其他涂布法來(lái)說(shuō)，具有使用的機(jī)械是旋涂器等簡(jiǎn)單設(shè)備完成的優(yōu)點(diǎn)。
專利文獻(xiàn)1特開(kāi)平1-153967號(hào)公報(bào)然而，上述的已有技術(shù)中存在以下問(wèn)題。
采用上述的涂布法圖案化和進(jìn)行層疊的情況下，由于空穴注入層和發(fā)光層相鄰地制膜，所以涂布液的溶劑將會(huì)溶解已經(jīng)形成的有機(jī)膜，所謂存在互溶性的問(wèn)題。因此，形成這些層的情況下，必須使用不同溶劑(例如空穴輸送層用水系溶劑，發(fā)光層用芳香族系溶劑)。
這種情況下，因?yàn)橹貜?fù)涂布時(shí)的親和性低，濕潤(rùn)擴(kuò)展性差，所以難于形成均勻的膜。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明正是考慮到上述問(wèn)題而提出的，其目的在于提供一種能夠回避互溶并形成均勻膜的有機(jī)EL裝置及其制造方法，以及具備這種有機(jī)EL裝置的電子儀器。
為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明采用了以下構(gòu)成。
本發(fā)明的有機(jī)EL裝置，是用液滴噴出法形成空穴注入層或空穴輸送層和發(fā)光層的有機(jī)EL裝置，其特征在于，在空穴注入層或空穴輸送層和所述發(fā)光層之間存在使其間親和性提高的親和膜。
而且本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法，是具有用液滴噴出法形成空穴注入層或空穴輸送層的工序，和用液滴噴出法形成發(fā)光層工序的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于，其中具有在空穴注入層或空穴輸送層，和發(fā)光層的任一層上形成使其間親和性提高的親和膜的形成工序。
因此，對(duì)于本發(fā)明的有機(jī)EL裝置及其制造方法來(lái)說(shuō)，為避免互溶而即使采用互相不同的溶劑以液滴噴出法形成空穴注入層或空穴輸送層和發(fā)光層的情況下，在空穴注入層或空穴輸送層，和發(fā)光層的任一層上，借助于親和膜液滴噴出空穴注入層或空穴輸送層和發(fā)光層中任一層時(shí)，因?yàn)槠溟g的親和性提高，所以能使上述他方的液滴濕潤(rùn)擴(kuò)展，形成均勻的上述他方的膜。
作為上述的親和膜，可以適當(dāng)采用含有硅烷偶合劑等硅烷化合物或表面活性劑的。
而且將親和膜制膜之際，可以適當(dāng)采用化學(xué)氣相沉積法、浸漬法、旋涂法、液滴噴出方式等的用任一液相方式進(jìn)行的方法。
本發(fā)明的有機(jī)EL裝置中，優(yōu)選具有分區(qū)所述空穴注入層或所述空穴輸送層，與所述發(fā)光層的分區(qū)隔壁，所述隔壁對(duì)于所述親和膜的形成材料具有疏液性。而且本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法中，優(yōu)選具有對(duì)于所述親和膜的形成材料具有疏液性，分區(qū)所述空穴注入層或所述空穴輸送層，與所述發(fā)光層的分區(qū)隔壁的形成工序。
這樣一來(lái)，對(duì)于本發(fā)明的有機(jī)EL裝置及其制造方法而言，當(dāng)對(duì)所述空穴注入層或所述空穴輸送層，和所述發(fā)光層制膜之際，通過(guò)向分區(qū)隔壁中噴出液滴，能夠在不會(huì)混色的情況下形成所定顏色的像素。而且本發(fā)明中，即使在形成親和膜時(shí)也能防止親和膜在分區(qū)隔壁上制膜。
另一方面，本發(fā)明的電子儀器，其特征在于其中具備上述的有機(jī)EL裝置。
因此，本發(fā)明能夠得到一種具有均勻膜厚的所述空穴注入層或所述空穴輸送層和所述發(fā)光層，顯示品質(zhì)、發(fā)光效率等元件特性均優(yōu)良的顯示裝置的電子儀器。


圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的有機(jī)EL裝置的電路構(gòu)成圖。
圖2是表示一個(gè)像素的平面構(gòu)成圖。
圖3是圖2中沿著A-A直線的剖面構(gòu)成圖。
圖4是表示中間層結(jié)合狀態(tài)的圖。
圖5是實(shí)施方式涉及的液滴噴出裝置的立體圖。
圖6是液滴噴頭的分解立體圖。
圖7是液滴噴頭放大的分解立體圖。
圖8是表示實(shí)施方式涉及的制造工序的剖面工序圖。
圖9是表示實(shí)施方式涉及的制造工序的剖面工序圖。
圖10是表示發(fā)光層形成材料液滴的濕潤(rùn)擴(kuò)散狀態(tài)的圖。
圖11是表示本發(fā)明涉及的電子儀器實(shí)例的圖。
圖中70…有機(jī)EL裝置，140A…空穴輸送層，140B…發(fā)光層，150…貯格圍堰(分區(qū)隔壁)，155…中間層(親和膜)，200…有機(jī)EL元件，600…移動(dòng)電話機(jī)主體(電子儀器)，700…信息處理裝置(電子儀器)，800…鐘表主體(電子儀器)
具體實(shí)施例方式
以下參照

本發(fā)明的有機(jī)EL裝置及其制造方法和電子儀器的實(shí)施方式。在以下的實(shí)施方式中，以將本發(fā)明涉及的有機(jī)EL裝置作為像素在基體上排列而成的有機(jī)EL裝置為例來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。這種有機(jī)EL裝置，例如能夠作為電子儀器等的顯示機(jī)構(gòu)而適當(dāng)加以采用。
(有機(jī)EL裝置)圖1是本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置的電路構(gòu)成圖，圖2是表示該有機(jī)EL裝置具備的各像素71的平面結(jié)構(gòu)的圖，表示除去了反射電極和有機(jī)功能層后狀態(tài)的圖。而且圖3是表示沿著圖2中A-A直線的剖面構(gòu)成的圖。
如圖1所示，有機(jī)EL顯示裝置70，是由在透明基板上，分別設(shè)有多條掃描線(配線、電流導(dǎo)通部分)131、沿著與這些掃描線131交叉方向延伸的多條信號(hào)線(配線、電流導(dǎo)通部分)132、與這些信號(hào)線132并列延伸的多條共用供電線(配線、電流導(dǎo)通部分)133，在掃描線131和信號(hào)線132的每個(gè)交點(diǎn)上設(shè)有像素(像素區(qū)域)71而構(gòu)成的。
對(duì)于信號(hào)線132而言，設(shè)有其中具備移位寄存器、電平移位器、視頻線和模擬開(kāi)關(guān)等的數(shù)據(jù)側(cè)驅(qū)動(dòng)電路72。另一方面，對(duì)于掃描線131而言，設(shè)有其中具備移位寄存器和電平移位器等的掃描側(cè)驅(qū)動(dòng)電路73。而且在每個(gè)像素區(qū)域71上，設(shè)有借助于掃描線131向柵電極供給掃描信號(hào)(電力)的開(kāi)關(guān)用TFT(薄膜晶體管)142、保持借助于此開(kāi)關(guān)薄膜晶體管142由信號(hào)線132供給的像素信號(hào)(電力)的保持電容cap、將被保持電容cap保持的像素信號(hào)供給柵電極的驅(qū)動(dòng)用TFT143、借助于此電流薄膜晶體管143與共用供電線133電連接時(shí)，從共用供電線133流入驅(qū)動(dòng)電流(電力)的像素電極141、和被夾持在此像素電極141與共用電極154之間的發(fā)光部140。于是，由上述像素電極141、共用電極154和發(fā)光部140構(gòu)成的元件，就是本發(fā)明涉及的有機(jī)EL元件(有機(jī)EL元件)。
在這種構(gòu)成下，一旦掃描線131被驅(qū)動(dòng)使開(kāi)關(guān)薄膜晶體管142處于開(kāi)啟的狀態(tài)，此時(shí)信號(hào)線132的電位(電力)就被保持電容cap所保持，根據(jù)該保持電容cap的狀態(tài)，決定電流薄膜晶體管143的開(kāi)·關(guān)狀態(tài)。而且電流(電力)通過(guò)電流薄膜晶體管143的通道，從共用供電線133向像素電極141流過(guò)，電流進(jìn)而通過(guò)發(fā)光部140流到共用電極154，從而形成發(fā)光部140根據(jù)流過(guò)其中的電流量而發(fā)光的構(gòu)成。
進(jìn)而參照?qǐng)D2所示的像素71的平面構(gòu)成，像素71的配置如下俯視大體呈矩形的像素電極141的四邊，被信號(hào)線132、共用供電線133、掃描線131和未圖示的其他像素電極用掃描線所包圍。而且若觀察圖3所示的像素71的剖面構(gòu)成，則可以發(fā)現(xiàn)在基板(基體)P上設(shè)有驅(qū)動(dòng)用TFT143，在將驅(qū)動(dòng)用TFT143覆蓋形成的中間介有多個(gè)絕緣膜的基板P上，形成有機(jī)EL元件200。有機(jī)EL元件200，被設(shè)置在事先在基板P上垂直設(shè)置的貯格圍堰(bank分區(qū)隔壁)150所包圍的區(qū)域內(nèi)，具備在像素電極141與共用電極154之間夾持有機(jī)功能層140的構(gòu)成。
驅(qū)動(dòng)用TFT143，主要由在半導(dǎo)體層上形成的源區(qū)143a、漏區(qū)143b、和通道區(qū)域143c、以及借助于在半導(dǎo)體層的表面上形成的柵絕緣膜220與通道區(qū)域143c相對(duì)向的柵電極143A構(gòu)成的。事先形成有將半導(dǎo)體層210和柵絕緣膜220覆蓋的第一層間絕緣膜230，分別將漏電極236和源電極238埋設(shè)在貫通此第一層間絕緣膜230抵達(dá)半導(dǎo)體層210的接觸孔232、234內(nèi)，分別將各電極與漏區(qū)143b和源區(qū)143a電連接導(dǎo)通。在第一層間絕緣膜230上形成有第二層間絕緣膜240，將像素電極141的一部分埋設(shè)在貫通設(shè)置在此第二層間絕緣膜240上的接觸孔內(nèi)。于是在將像素電極141與漏電極236電連接的情況下，將驅(qū)動(dòng)用TFT143與像素電極141(有機(jī)EL元件200)電連接。而且在此像素電極141的周緣部，形成由無(wú)機(jī)絕緣材料組成的無(wú)機(jī)貯格圍堰149，使一部分向上凸起，在此無(wú)機(jī)貯格圍堰149上形成著由有機(jī)材料構(gòu)成的貯格圍堰150。
構(gòu)成有機(jī)EL元件200的有機(jī)功能層140，包括空穴輸送層140A和發(fā)光層140B，在這些空穴輸送層140A與發(fā)光層140B之間存在作為親和膜的中間層155。空穴輸送層140A，是為提高對(duì)發(fā)光層140B的電荷輸送性，提高發(fā)光效率而設(shè)置的層，作為其形成材料，可以舉出聯(lián)苯胺衍生物、苯乙烯基胺衍生物、三苯甲烷衍生物、三苯基(或芳基)胺衍生物和腙衍生物等低分子化合物，聚苯胺、聚噻吩、聚乙烯基咔唑、聚(3，4-乙烯二氧噻吩)與聚苯乙烯磺酸的混合物(PEDOT/PSS；Polyethylendioxythiophene/Polystyrenesulfonete(Baytron P拜爾株式會(huì)社的商標(biāo)))等高分子化合物。這些物質(zhì)中，特別優(yōu)選使用α-NPD(α-萘酚二胺)。
作為有機(jī)EL裝置200的主要發(fā)光部的發(fā)光層140B的形成材料，可以使用能夠發(fā)出熒光或磷光的公知的發(fā)光材料。而且在本實(shí)施方式的情況下，這種發(fā)光層140B是用液滴噴出法等液相法形成的層。
若要列舉發(fā)光層140B的形成材料的具體實(shí)例，則可以適當(dāng)使用(聚)熒烷衍生物(PF)、(聚)對(duì)苯撐乙烯撐(PPV)、聚苯撐衍生物(PP)、聚對(duì)苯撐衍生物(PPP)、聚乙烯基咔唑(PVK)、聚噻吩衍生物、聚甲基苯基甲硅烷(PMPS)等聚甲硅烷系等。而且也可以使用在這些高分子材料中摻雜了二萘嵌苯(perylene)系色素、香豆素系色素、羅丹明系色素等高分子系材料，以及紅熒烯、二萘嵌苯、9，10-二苯基蒽、四苯基丁二烯、尼羅紅、香豆素6、喹吖酮等低分子材料的。
而且作為這種有機(jī)化合物中發(fā)出紅色光的，例如可以舉出在聚乙烯撐苯乙烯衍生物的苯環(huán)上有烷基或烷氧基取代基的高分子化合物，或在聚乙烯撐苯乙烯衍生物的亞乙烯基上具有氨基的高分子化合物等。作為發(fā)出綠色光的有機(jī)化合物，例如可以舉出在苯環(huán)上導(dǎo)入了烷基、烷氧基或芳基的在聚乙烯撐苯乙烯衍生物等。作為發(fā)出藍(lán)色光的有機(jī)化合物，例如可以舉出二烷基芴與蒽的共聚物之類的聚芴衍生物等。
此外，還可以使用過(guò)去已知的低分子材料代替上述的高分子材料。而且必要時(shí)也可以在發(fā)光層140B上設(shè)置氟化鋰和鈣的層疊膜等的電子注入層。
而且在形成發(fā)光層140B之際，將上述列舉的形成材料溶解在溶劑中制成液體材料后，將其配置在后述的中間層155上，適當(dāng)采用使溶劑蒸發(fā)的方法。作為上述溶劑，可以舉出甲苯、二甲苯、環(huán)己基苯、二氫苯并呋喃、三甲基苯、四甲基苯等非極性溶劑。
被設(shè)置空穴輸送層140A與發(fā)光層140B之間的中間層155，是具有使空穴輸送層140A與發(fā)光層140B間的親和性提高的表面改質(zhì)作用的層。本實(shí)施方式的情況下，設(shè)置中間層155的情況下，空穴輸送層140A的表面特性得到改善，因此可以改善形成發(fā)光層140B用液體材料的覆蓋性能，得到具有均勻膜厚及膜質(zhì)的發(fā)光層140B。以下說(shuō)明中間層155的作用。
首先，為了用液相法形成空穴輸送層140A而使用PEDOT/PSS的分散液的情況下，因?yàn)檫@種分散液是使用了極性溶劑的溶液，所以所得到的空穴輸送層140A的表面將會(huì)變成親和性的。在這樣的空穴輸送層140A上用液相法形成發(fā)光層140B的情況下，一旦在該液體材料中使用芳香族溶劑(非極性溶劑)，因與空穴輸送層140A的親和性低而使?jié)駶?rùn)性惡化。其結(jié)果，液體材料會(huì)偏在表面上，使得到的發(fā)光層140B的膜厚和膜質(zhì)的均勻性降低。
與此相比，若設(shè)置像本發(fā)明那樣的中間層155，則由于能夠?qū)昭ㄝ斔蛯?40A的表面進(jìn)行改質(zhì)，例如將其做成親油性的，所以能夠提高與發(fā)光層140B液體材料的親和性，能夠提高因液體材料的涂布性改善而形成發(fā)光層140B膜厚和膜質(zhì)的均勻性。
另外，中間層155的膜厚一旦過(guò)厚，由于有可能達(dá)到電子與空穴不能結(jié)合的距離，所以優(yōu)選的厚度為1～10個(gè)左右分子層。
而且中間層155，優(yōu)選由分子構(gòu)成內(nèi)有極性基團(tuán)和非極性基團(tuán)的、所謂雙親介質(zhì)性分子構(gòu)成。而且，當(dāng)這種雙親介質(zhì)性分子沿著層厚方向取向的情況下，能使上述極性基團(tuán)乃至非極性基團(tuán)排列在表面上，獲得表面該值的作用。
也就是說(shuō)，如果使上述雙親介質(zhì)性分子的極性基團(tuán)結(jié)合在空穴輸送層140A的表面上形成中間層155，則中間層155的表面配置有非極性基團(tuán)的狀態(tài)，可以將空穴輸送層140A的表面改質(zhì)。其結(jié)果，發(fā)光層140B形成用液體材料的涂布性將會(huì)變得良好。
作為這種中間層155的形成材料，可以適當(dāng)使用硅烷偶合劑(硅烷化合物)或表面活性劑。使用硅烷化合物的情況下，在形成中間層155的空穴輸送層140A的表面上因硅烷化合物的一部分水解性基團(tuán)水解而吸附生成的SiOH。或者空穴輸送層140A的表面原子M與硅烷化合物直接或間接反應(yīng)而結(jié)合。例如，硅烷化合物的一部分水解性基團(tuán)水解而生成的SiOH，與表面的原子M(或MOH等)反應(yīng)而形成Si-O-M鍵。
其中在中間層155的實(shí)施方式中，使用由通式(I)表示的一種或兩種以上硅烷化合物(成分)(A)通式(I)R1SiX1mX2(3-m)…(I)(式中，R1表示有機(jī)基團(tuán)，X1和X2表示-OR2、-R2、-Cl，R2表示1～4個(gè)碳原子的烷基，m是1～3的整數(shù))或
(B)通式(II)表示的雙親介質(zhì)性化合物，R1Y1…(II)(式中，Y1是親水性的極性基團(tuán)、-OH、-(CH2CH2O)nH、-COOH、-COOK、-COONa、-COONH2、-SO3H、-SO3Na、-OSO3H、-OSO3Na、-PO3H2、-PO3Na2、-PO3K2、-NO2、-NH2、-NH3Cl(銨鹽)、-NH3Br(銨鹽)、≡NHCl(吡啶翁鹽)、≡NHBR(吡啶翁鹽)等)。
由通式(I)表示的化合物，硅烷原子上有機(jī)基團(tuán)置換，其余的結(jié)合基團(tuán)是烷氧基、烷基或氯原子取代的。R1是具有提高與發(fā)光層材料的親和性和附著性的效果的。這種親和性和附著性是因在空穴輸送層之間，存在與溶劑的親和力或范德華力、靜電引力等親和力，或者共價(jià)鍵、離子鍵、配位鍵、氫鍵等鍵的形成而引起的。作為有機(jī)基團(tuán)R1的實(shí)例，例如可以舉出苯基、芐基、苯乙基、羥基苯基、氯代苯基、氨基苯基、萘基、蒽基、芘基、噻嗯基、吡咯基、環(huán)己基、環(huán)己烯基、環(huán)戊基、環(huán)戊烯基、吡啶基、甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、十八烷基、正辛基、氯代甲基、甲氧基乙基、羥基乙基、氨基乙基、氰基、巰基丙基、乙烯基、烯丙基、丙酰氧基乙基、甲基丙酰氧基乙基、環(huán)氧丙氧基丙基、乙酰氧基等。X1是形成烷氧基和氯代基團(tuán)、Si-O-Si價(jià)鍵等用的官能團(tuán)，因水的水解形成醇或酸而脫離。作為烷氧基，例如可以舉出甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、仲丁氧基、叔丁氧基等。R2的碳原子數(shù)與脫離的醇的分子量相比較小，容易除去，抑制所形成膜的致密性降低的觀點(diǎn)來(lái)看，優(yōu)選處于1～4范圍內(nèi)。
作為通式(I)表示的化合物，可以舉出二甲基二甲氧基硅烷、二乙基二乙氧基硅烷、1-丙烯基甲基二氯硅烷、丙基二甲基氯代硅烷、丙基甲基二氯硅烷、丙基三氯代硅烷、丙基三乙氧基硅烷、丙基三甲氧基硅烷、苯乙烯基乙基三甲氧基硅烷、十四烷基三氯代硅烷、3-硫代氰酸酯丙基三乙氧基硅烷、對(duì)甲苯基二甲基氯代硅烷、對(duì)甲苯基甲基二氯代硅烷、對(duì)甲苯基三氯代硅烷、對(duì)甲苯基三甲氧基硅烷、對(duì)甲苯基三乙氧基硅烷、二正丙基二正丁氧基硅烷、二異丙基二異丙氧基硅烷、二正丁基二正丁氧基硅烷、二仲丁基二仲丁氧基硅烷、二叔丁基二叔丁氧基硅烷、十八烷基三氯代硅烷、十八烷基甲基二乙氧基硅烷、十八烷基三乙氧基硅烷、十八烷基三甲氧基硅烷、十八烷基二甲基氯代硅烷、十八烷基甲基二氯代硅烷、十八烷基甲氧基二氯代硅烷、7-辛烯基二甲基氯代硅烷、7-辛烯基三氯代硅烷、7-辛烯基三甲氧基硅烷、辛基甲基二氯代硅烷、辛基二甲基氯代硅烷、辛基三氯代硅烷、10-十一碳烯基二甲基氯代硅烷、十一烷基三氯代硅烷、乙烯基二甲基氯代硅烷、甲基十八烷基二甲氧基硅烷、甲基十二烷基二乙氧基硅烷、甲基十八烷基二甲氧基硅烷、甲基十八烷基二乙氧基硅烷、正辛基甲基二甲氧基硅烷、正辛基甲基二乙氧基硅烷、三十烷基二甲基氯代硅烷、三十烷基三氯代硅烷、甲基三甲氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、甲基三正丙氧基硅烷、甲基異丙氧基硅烷、甲基正丁氧基硅烷、甲基三仲丁氧基硅烷、甲基三叔丁氧基硅烷、乙基三甲氧基硅烷、乙基三乙氧基硅烷、乙基三正丙氧基硅烷、乙基異丙氧基硅烷、乙基正丁氧基硅烷、乙基三仲丁氧基硅烷、乙基三叔丁氧基硅烷、正丙基三甲氧基硅烷、異丁基三甲氧基硅烷、正己基三甲氧基硅烷、十六烷基三甲氧基硅烷、正辛基三甲氧基硅烷、正十二烷基三甲氧基硅烷、正十八烷基三甲氧基硅烷、正丙基三乙氧基硅烷、異丙基三乙氧基硅烷、正己基三乙氧基硅烷、十六烷基三乙氧基硅烷、正辛基三乙氧基硅烷、正十二烷基三甲氧基硅烷、正十八烷基三乙氧基硅烷、2-[2-(三氯硅烷基)乙基]吡啶、4-[2-(三氯硅烷基)乙基]吡啶、二苯基二甲氧基硅烷、二苯基二乙氧基硅烷、1，3-(三氯硅烷基甲基)二十七碳烷、二芐基二甲氧基硅烷、二芐基二乙氧基硅烷、苯基三甲氧基硅烷、苯基甲基二甲氧基硅烷、苯基二甲基甲氧基硅烷、苯基二甲氧基硅烷、苯基二乙氧基硅烷、苯基甲基二乙氧基硅烷、苯基二甲基乙氧基硅烷、芐基三乙氧基硅烷、芐基三甲氧基硅烷、芐基甲基二甲氧基硅烷、芐基二甲基甲氧基硅烷、芐基二甲氧基硅烷、芐基二乙氧基硅烷、芐基甲基二乙氧基硅烷、芐基二甲基乙氧基氧基硅烷、芐基三乙氧基硅烷、二芐基二甲氧基硅烷、二芐基二已氧基硅烷、3-乙酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-丙酰氧基丙基三甲氧基硅烷、烯丙基三甲氧基硅烷、烯丙基三乙氧基硅烷、4-氨基丁基三乙氧基硅烷、(氨基乙基氨基甲基)苯乙基三甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、6-(氨基己基氨基丙基)三甲氧基硅烷、對(duì)氨基苯基三甲氧基硅烷、對(duì)氨基苯基三乙氧基硅烷、間氨基苯基三甲氧基硅烷、間氨基苯基三乙氧基硅烷、3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、ω-氨基十一碳烷基三甲氧基硅烷、戊基三乙氧基硅烷、苯并氧雜硅烷基二甲酯(benzooxasilepin dimetyl ester化學(xué)式C11H16O3Si)、5-(雙環(huán)庚烯基)三乙氧基硅烷、雙(羥基乙基)-3-氨基丙基三乙氧基硅烷、8-溴代辛基三甲氧基硅烷、溴代苯基三甲氧基硅烷、3-溴代丙基三甲氧基硅烷、正丁基三甲氧基硅烷、2-氯代甲基三乙氧基硅烷、氯代甲基甲基二乙氧基硅烷、氯代甲基甲基二異丙氧基硅烷、對(duì)(氯代甲基)苯基三甲氧基硅烷、氯代甲基三乙氧基硅烷、氯代苯基三乙氧基硅烷、3-氯代丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯代丙基三乙氧基硅烷、3-氯代丙基三甲氧基硅烷、2-(4-氯代磺?；交?乙基三甲氧基硅烷、2-氰基乙基三乙氧基硅烷、2-氰基乙基三甲氧基硅烷、氰基甲基苯乙基三乙氧基硅烷、3-氰基丙基三乙氧基硅烷、2-(3-環(huán)己烯基)乙基三甲氧基硅烷、2-(3-環(huán)己烯基)乙基三乙氧基硅烷、3-環(huán)己烯基三氯代硅烷、2-(3-環(huán)己烯基)乙基三氯代硅烷、2-(3-環(huán)己烯基)乙基二甲基氯代硅烷、2-(3-環(huán)己烯基)乙基甲基二氯代硅烷、環(huán)己基二甲基氯代硅烷、環(huán)己基乙基二甲基硅烷、環(huán)己基甲基二氯代硅烷、環(huán)己基甲基二甲氧基硅烷、(環(huán)己基甲基)三氯代硅烷、環(huán)己基三氯代硅烷、環(huán)己基三甲基硅烷、環(huán)辛基三氯代硅烷、(4-環(huán)辛烯基)三氯代硅烷、環(huán)庚烯基三氯代硅烷、環(huán)戊烯基三氯代硅烷、環(huán)戊烯基三甲氧基硅烷、1，1-二乙氧基-1-硅烷基環(huán)戊-3烯、3-(2，4-二硝基苯基氨基)丙基三乙氧基硅烷、(二甲基氯代硅烷基)甲基-7，7-二甲基降蒎烷、(環(huán)己基氨基甲基)甲基二乙氧基硅烷、(3-環(huán)戊二烯基丙基)三乙氧基硅烷、(N，N-二乙基-3-氨基丙基)三甲氧基硅烷、2-(3，4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三乙氧基硅烷、(糠醛氧基甲基)三乙氧基硅烷、2-羥基-4-(3-三乙氧基丙氧基)二苯酮、3-(對(duì)甲氧基苯基)丙基甲基二氯代硅烷、3-(對(duì)甲氧基苯基)丙基三氯代硅烷、對(duì)(甲基苯乙基)甲基二氯代硅烷、對(duì)(甲基苯乙基)三氯代硅烷、對(duì)(甲基苯乙基)二甲基氯代硅烷、3-嗎啉子基丙基三甲氧基硅烷、(3-環(huán)氧丙氧基丙基)甲基二乙氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、1，2，3，4，7，7-六氯代-6-甲基二乙氧基硅烷-2-降冰片烯、1，2，3，4，7，7-六氯代-6-三乙氧基硅烷-2-降冰片烯、3-碘代丙基三甲氧基硅烷、3-異氰酸酯基丙基三乙氧基硅烷、(巰基甲基)甲基二乙氧基硅烷、3-巰基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-巰基丙基二甲氧基硅烷、3-巰基丙基三乙甲氧基硅烷、3-甲基丙酰氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、3-甲基丙酰氧基丙基三甲氧基硅烷、甲基{2-(3-三甲氧基硅烷基丙基氨基)乙基氨基}-3-丙酸酯、7-辛烯基三甲氧基硅烷、R-N-α-苯乙基-N’-三乙氧基硅烷基丙基脲、S-N-α-苯乙基-N’-三乙氧基硅烷基丙基脲、苯乙基三甲氧基硅烷、苯乙基甲基二甲氧基硅烷、苯乙基二甲基甲氧基硅烷、苯乙基二甲氧基硅烷、苯乙基二乙氧基硅烷、苯乙基甲基二乙氧基硅烷、苯乙基二甲基乙氧基硅烷、苯乙基三乙氧基硅烷、(3-苯基丙基)二甲基氯代硅烷、(3-苯基丙基)甲基二氯代硅烷、N-苯基氨基丙基三甲氧基硅烷、N-(三乙氧基硅烷基丙基)丹酰胺、N-(3-三乙氧基硅烷基丙基)-4，5-二氫咪唑、2-(三乙氧基硅烷基乙基)-5-(氯代乙酰氧基)雙環(huán)庚烷、(S)-N-三乙氧基硅烷基丙基-鄰-薄荷醇甲酸酯、3-(三乙氧基硅烷基丙基)-對(duì)-硝基苯酰胺、3-(三乙氧基硅烷基)丙基琥珀酸酐、N-[5-(三甲氧基硅烷基)-2-氮雜-1-氧代-戊基]己內(nèi)酰胺、2-(三甲氧基硅烷基乙基)吡啶、N-(三甲氧基硅烷基乙基)芐基-N，N，N-三甲基氯化銨、苯基乙烯基二乙氧基硅烷、3-硫酸酯基丙基三乙氧基硅烷、(十三氟代-1，1，2，2-四氫辛基)三乙氧基硅烷、N-{3-(三乙氧基硅烷基)丙基}鄰苯二甲酰胺酸、(3，3，3-三氟丙基)甲基二甲氧基硅烷、(3，3，3-三氟丙基)三甲氧基硅烷、1-三甲氧基硅烷基-2-(氯代甲基)苯基乙烷、2-(三甲氧基硅烷基)乙基苯基磺?；B氮、β-三甲氧基硅烷基乙基-2-吡啶、三甲氧基硅烷基丙基二亞乙基三胺、N-(3-三甲氧基硅烷基丙基)吡咯、N-三甲氧基硅烷基丙基-N，N，N-三丁基溴化銨、N-三甲氧基硅烷基丙基-N，N，N-三丁基氯化銨、N-三甲氧基硅烷基丙基-N，N，N-三甲基氯化銨、乙烯基甲基二乙氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基甲基二甲氧基硅烷、乙烯基二甲基甲氧基硅烷、乙烯基二甲基乙氧基硅烷、乙烯基甲基二氯代硅烷、乙烯基苯基二氯代硅烷、乙烯基苯基二乙氧基硅烷、乙烯基苯基二甲基硅烷、乙烯基苯基甲基氯代硅烷、乙烯基三苯氧基硅烷、乙烯基三叔丁氧基硅烷、金剛烷基乙基三氯代硅烷、烯丙基苯基三氯代硅烷、(氨基乙基氨基甲基)苯乙基三甲氧基硅烷、3-氨基苯氧基甲基乙烯基硅烷、苯基三氯代硅烷、苯基二甲基氯代硅烷、苯基甲基二氯代硅烷、芐基三氯代硅烷、芐基二甲基氯代硅烷、芐基甲基二氯代硅烷、苯乙基二異丙基氯代硅烷、苯乙基三氯代硅烷、苯乙基二甲基氯代硅烷、苯乙基甲基二氯代硅烷、5-(雙環(huán)庚烯基)三氯代硅烷、5-(雙環(huán)庚烯基)三乙氧基硅烷、2-(雙環(huán)庚烯基)二甲基氯代硅烷、2-(雙環(huán)庚烯基)三氯代硅烷、1，4-雙(三甲氧基硅烷基乙基)苯、溴代苯基三氯代硅烷、3-苯氧基丙基二甲基氯代硅烷、3-苯氧基丙基三氯代硅烷、叔丁基苯基氯代硅烷、叔丁基苯基甲氧基硅烷、叔丁基苯基二氯代硅烷、對(duì)-(叔丁基)苯乙基二甲基氯代硅烷、對(duì)-(叔丁基)苯乙基三氯代硅烷、1，3-(-氯二甲基硅烷基甲基)二十七碳烷、[(氯代甲基)苯基乙基]二甲基氯代硅烷、[(氯代甲基)苯基乙基]甲基二氯代硅烷、[(氯代甲基)苯基乙基]三氯代硅烷、[(氯代甲基)苯基乙基]三甲氧基硅烷、氯代苯基三氯代硅烷、2-氰基乙基三氯代硅烷、2-氰基乙基甲基二氯代硅烷、3-氰基丙基甲基二乙氧基硅烷、3-氰基丙基甲基二氯代硅烷、3-氰基丙基甲基二氯代硅烷、3-氰基丙基二甲基乙氧基硅烷、3-氰基丙基甲基二氯代硅烷、3-氰基丙基三氯代硅烷等。
由通式(II)表示的雙親介質(zhì)性化合物，是在親油性有機(jī)基團(tuán)R1上結(jié)合了親水性官能團(tuán)的化合物。Y1表示親水性的極性基團(tuán)，是在親水面上吸附用的官能團(tuán)，表面活性劑的親油基團(tuán)R1通過(guò)排列在親水面的反側(cè)，可以在親水面上形成親油面。R1是具有提高與發(fā)光層材料的親和性和附著性效果的。這種親和性和附著性，是因在空穴輸送層140A之間，存在與溶劑的親和力或范德華力、靜電引力等親和力，或者形成共價(jià)鍵、離子鍵、配位鍵、氫鍵等引起的。作為有機(jī)基團(tuán)R1的實(shí)例，例如可以舉出苯基、芐基、苯乙基、羥基苯基、氯代苯基、氨基苯基、萘基、蒽基、芘基、噻嗯基、吡咯基、環(huán)己基、環(huán)己烯基、環(huán)戊基、環(huán)戊烯基、吡啶基、甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、十六烷基、正辛基、氯代甲基、甲氧基乙基、羥基乙基、氨基乙基、氰基、巰基丙基、乙烯基、烯丙基、丙酰氧基乙基、甲基丙酰氧基乙基、環(huán)氧丙氧基丙基、乙酰氧基等。
作為以通式(II)表示的雙親介質(zhì)性化合物，可以舉出正癸基三甲基氯化銨、正癸基三甲基溴化銨、正十二烷基三甲基氯化銨、正十二烷基三甲基溴化銨、正十六烷基三甲基氯化銨、正十六烷基三甲基溴化銨、正十八烷基三甲基氯化銨、正十八烷基三甲基溴化銨、二-正十二烷基三甲基氯化銨、二-正十二烷基三甲基溴化銨、正癸基吡啶翁氯化物、正癸基吡啶翁溴化物、正十二烷基吡啶翁氯化物、正十二烷基吡啶翁溴化物、正十二烷基吡啶翁碘化物、正十四烷基吡啶翁氯化物、正十四烷基吡啶翁溴化物、正十六烷基吡啶翁氯化物、正十六烷基吡啶翁溴化物、正十六烷基吡啶翁碘化物、正十八烷基吡啶翁氯化物、正十八烷基吡啶翁溴化物、正十二烷基皮考啉(picolinium)氯化物、正十二烷基皮考啉溴化物、正十二烷基皮考啉碘化物、正十八烷基皮考啉氯化物、正十二烷基皮考啉溴化物、正十二烷基皮考啉碘化物、N，N’-二甲基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁二氯化物、N，N’-二甲基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁二溴化物、N，N’-二甲基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁二(甲基硫化物)、N，N’-二甲基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁二(對(duì)甲苯磺酸鹽)、N，N’-二(正丙基)-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁二氯化物、N，N’-二(正丙基)-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁二溴化物、N，N’-二(正丙基)-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁二(對(duì)甲苯磺酸鹽)、N，N’-二芐基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁二氯化物、N，N’-二芐基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁二溴化物、N，N’-二芐基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁二碘化物、N，N’-二芐基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁二(對(duì)甲苯磺酸鹽)、N，N’-二苯基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁二氯化物、N，N’-二苯基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁二溴化物、N，N’-二(3-磺酸鹽丙基)-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁、1，3-雙{N-(N’-甲基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)}丙烷四氯化物、1，3-雙{N-(N’-甲基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)}丙烷四溴化物、1，3-雙{N-(N’-芐基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)}丙烷四氯化物、1，3-雙{N-(N’-芐基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)}丙烷四溴化物、1，4-雙{N-(N’-甲基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)}丙烷四氯化物、1，4-雙{N-(N’-甲基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)}丙烷四溴化物、1，4-雙{N-(N’-芐基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)}丙烷四氯化物、1，4-雙{N-(N’-芐基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)}丙烷四溴化物、α，α-雙{N-(N’-甲基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)}鄰二甲苯四氯化物、α，α-雙{N-(N’-甲基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)}鄰二甲苯四溴化物、α，α-雙{N-(N’-芐基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)}鄰二甲苯四氯化物、α，α-雙{N-(N’-芐基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)}鄰二甲苯四溴化物、α，α-雙{N-(N’-甲基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)}間二甲苯四氯化物、α，α-雙{N-(N’-甲基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)}間二甲苯四溴化物、α，α-雙{N-(N’-芐基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)}間二甲苯四氯化物、α，α-雙{N-(N’-芐基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)}間二甲苯四溴化物、α，α-雙{N-(N’-甲基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)}對(duì)二甲苯四氯化物、α，α-雙{N-(N’-甲基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)}對(duì)二甲苯四溴化物、α，α-雙{N-(N’-芐基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)}對(duì)二甲苯四氯化物、α，α-雙{N-(N’-芐基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)}對(duì)二甲苯四溴化物、N-正十二烷基-N’-甲基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁二氯化物、N-正十二烷基-N’-甲基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁溴碘化物、N-正十二烷基-N’-甲基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁溴化物甲基硫化物、N-正十二烷基-N’-芐基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁二氯化物、N-正十二烷基-N’-芐基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁二溴化物、N-正十二烷基-N’-芐基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁氯溴化物、N-正十六烷基-N’-甲基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁二氯化物、N-正十六烷基-N’-甲基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁溴碘化物、N-正十六烷基-N’-甲基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁溴化甲基硫化化物、N-正十六烷基-N’-芐基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁二氯化物、N-正十六烷基-N’-芐基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁二溴化物、N-正十八烷基-N’-甲基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁二氯化物、N-正十八烷基-N’-甲基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁溴化碘化物、N-正十八烷基-N’-甲基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁溴化甲基硫化物、N-正十八烷基-N’-芐基-4，4’-雙聯(lián)吡啶翁二溴化物、N，N’-二正十二烷基-4，4’-雙聯(lián)吡啶二氯化物、N，N’-二正十二烷基-4，4’-雙聯(lián)吡啶二溴化物、N，N’-二正十六烷基-4，4’-雙聯(lián)吡啶二氯化物、N，N’-二正十六烷基-4，4’-雙聯(lián)吡啶二溴化物、1，3-雙{N-[(N’-正十二烷基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)]丙烷四氯化物、1，3-雙{N-[(N’-正十二烷基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)]丙烷四溴化物、1，4-雙{N-[(N’-正十二烷基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)]丁烷四溴化物、1，6-雙{N-[(N’-正十二烷基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)]己烷四溴化物、1，3-雙{N-[(N’-正十六烷基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)]丙烷四溴化物、1，4-雙{N-[(N’-正十六烷基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)]丁烷四溴化物、1，6-雙{N-[(N’-正十六烷基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)]己烷四溴化物、α，α’-雙{N-[(N’-正十二烷基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)]鄰二甲苯四氯化物、α，α’-雙{N-[(N’-正十二烷基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)]鄰二甲苯四溴化物、α，α’-雙{N-[(N’-正十二烷基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)]間二甲苯四氯化物、α，α’-雙{N-[(N’-正十二烷基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)]間二甲苯四溴化物、α，α’-雙{N-[(N’-正十二烷基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)]對(duì)二甲苯四氯化物、α，α’-雙{N-[(N’-正十二烷基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)]對(duì)二甲苯四溴化物、α，α’-雙{N-[(N’-正十六烷基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)]鄰二甲苯四氯化物、α，α’-雙{N-[(N’-正十六烷基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)]鄰二甲苯四溴化物、α，α’-雙{N-[(N’-正十六烷基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)]間二甲苯四氯化物、α，α’-雙{N-[(N’-正十六烷基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)]間二甲苯四溴化物、α，α’-雙{N-[(N’-正十六烷基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)]對(duì)二甲苯四氯化物、α，α’-雙{N-[(N’-正十六烷基-4，4’-雙聯(lián)吡啶基)]對(duì)二甲苯四溴化物、丙烯酸環(huán)己酯、甲基丙烯酸環(huán)己酯、環(huán)己基丙烯酰胺、環(huán)己基甲基丙烯酰胺、N-環(huán)己基-N-甲基丙烯酰胺、N-環(huán)己基-N-甲基甲基丙烯酰胺、環(huán)己基甲基丙烯酸酯、環(huán)己基甲基甲基丙烯酸酯、環(huán)己基甲基丙烯酰胺、環(huán)己基甲基甲基丙烯酰胺、N-環(huán)己基甲基-N-甲基丙烯酰胺、N-環(huán)己基甲基-N-甲基甲基丙烯酰胺、丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯、苯基丙烯酰胺、苯基甲基丙烯酰胺、N-甲基-N-苯基丙烯酰胺、N-甲基-N-苯基甲基丙烯酰胺、丙烯酸芐酯、甲基丙烯酸芐酯、芐基丙烯酰胺、芐基甲基丙烯酰胺、N-苯甲醇-N-甲基丙烯酰胺、N-芐基-N-甲基甲基丙烯酰胺、1-降冰片烯基丙烯酸酯、1-降冰片烯基甲基丙烯酸酯、1-降冰片烯基丙烯酰胺、1-降冰片烯基甲基丙烯酰胺、N-甲基-N-(1-降冰片烯基)丙烯酰胺、N-甲基-N-(1-降冰片烯基)甲基丙烯酰胺、丙烯酸環(huán)辛酯、甲基丙烯酸環(huán)辛酯、環(huán)辛基丙烯酰胺、環(huán)辛基甲基丙烯酰胺、N-環(huán)辛基-N-甲基丙烯酰胺、N-環(huán)辛基-N-甲基甲基丙烯酰胺、丙烯酸金剛烷酯、甲基丙烯酸金剛烷酯、金剛烷基丙烯酰胺、金剛烷基甲基丙烯酰胺、N-金剛烷基-N-甲基丙烯酰胺、N-金剛烷基-N-甲基甲基丙烯酰胺、1-萘基丙烯酸酯、1-萘基甲基丙烯酸酯、1-萘基丙烯酰胺、1-萘基甲基丙烯酰胺、N-甲基-N-(1-萘基)丙烯酰胺、N-甲基-N-(1-萘基)甲基丙烯酰胺、2-萘基丙烯酸酯、2-萘基甲基丙烯酸酯、2-萘基丙烯酰胺、2-萘基甲基丙烯酰胺、N-甲基-N-(2-萘基)丙烯酰胺、N-甲基-N-(2-萘基)甲基丙烯酰胺、正十二烷基丙烯酸酯、正十二烷基甲基丙烯酸酯、正十二烷基丙烯酰胺、正十二烷基甲基丙烯酰胺、N-正十二烷基-N-甲基丙烯酰胺、N-正十二烷基-N-甲基甲基丙烯酰胺、環(huán)十二烷基丙烯酸酯、環(huán)十二烷基甲基丙烯酸酯、環(huán)十二烷基丙烯酰胺、環(huán)十二烷基甲基丙烯酰胺、N-環(huán)十二烷基-N-甲基丙烯酰胺、N-環(huán)十二烷基-N-甲基甲基丙烯酰胺、正十六烷基丙烯酸酯、正十六烷基甲基丙烯酸酯、正十六烷基丙烯酰胺、正十六烷基甲基丙烯酰胺、N-正十六烷基-N-甲基丙烯酰胺、N-正十六烷基-N-甲基甲基丙烯酰胺、正十八烷基丙烯酸酯、正十八烷基甲基丙烯酸酯、正十八烷基丙烯酰胺、正十八烷基甲基丙烯酰胺、N-正十八烷基-N-甲基丙烯酰胺、N-正十八烷基-N-甲基甲基丙烯酰胺、二正辛基丙烯酰胺、二正辛基甲基丙烯酰胺、二正癸基丙烯酰胺、二正癸基甲基丙烯酰胺、二正十二烷基丙烯酰胺、二正十二烷基甲基丙烯酰胺、9-蒽甲基丙烯酸酯、9-蒽甲基甲基丙烯酸酯、9-蒽甲基丙烯酰胺、9-蒽甲基甲基丙烯酰胺、9-菲甲基丙烯酸酯、9-菲甲基甲基丙烯酸酯、9-菲甲基丙烯酰胺、9-菲甲基甲基丙烯酰胺、N-甲基-N-(9-菲甲基)丙烯酰胺、N-甲基-N-(9-菲甲基)甲基丙烯酰胺、1-芘甲基丙烯酸酯、1-芘甲基甲基丙烯酸酯、1-芘甲基丙烯酰胺、1-芘甲基甲基丙烯酰胺、N-甲基-N-(1-芘甲基甲基)丙烯酰胺、N-甲基-N-(1-芘甲基甲基)甲基丙烯酰胺、4-丙烯酰氧基甲基酞菁等。
為了用以上列舉的中間層形成材料形成中間層155，可以適當(dāng)采用后述的化學(xué)氣相蒸鍍法的氣相法或液滴噴出法、旋涂法、浸漬法(蘸涂法)等液相法。
作為基板P，在所謂頂部出射型的有機(jī)EL裝置的情況下，由于采用從配置了有機(jī)EL元件200的一側(cè)取出光的構(gòu)成，所以除了玻璃等透明基板以外，也可以使用不透明基板。作為不透明基板，例如可以舉出對(duì)氧化鋁等陶瓷、不銹鋼等金屬片材實(shí)施了表面氧化處理的，或者熱固性樹(shù)脂或熱塑性樹(shù)脂、進(jìn)而其薄膜(塑料薄膜)等。
像素電極141，在頂部出射型的情況下，不必用ITO等透明導(dǎo)電性材料形成，可以采用金屬材料等適當(dāng)?shù)膶?dǎo)電性材料形成。
共用電極154，可以在基板P上形成得將發(fā)光層140B和貯格圍堰150的上面，以及形成貯格圍堰150的側(cè)面部分的壁面覆蓋的狀態(tài)。作為形成此共用電極154用的材料，在頂部出射型的情況下，可以使用透明導(dǎo)電性材料。雖然ITO適于作為透明導(dǎo)電性材料，但是也可以采用其他透光性材料。
在共用電極154的上層側(cè)也可以形成陰極保護(hù)層。設(shè)置有關(guān)陰極保護(hù)層的情況下，在制造過(guò)程中可以獲得防止共用電極154被蝕刻的效果，可以采用無(wú)機(jī)化合物，例如硅氧化物、硅氮化物、硅氮氧化物等硅化合物形成。通過(guò)由無(wú)機(jī)化合物構(gòu)成的陰極保護(hù)層將共用電極154覆蓋，能夠充分防止氧等侵入由無(wú)機(jī)氧化物構(gòu)成的陰極中。
(有機(jī)EL裝置的制造方法)以下參照?qǐng)D5至圖7說(shuō)明本發(fā)明涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法的實(shí)施方式。
<液滴噴出裝置>
首先說(shuō)明本實(shí)施方式涉及的制造方法采用的液滴噴出裝置。圖5是示意表示本發(fā)明的有機(jī)EL裝置制造時(shí)使用的液滴噴出裝置的立體圖，圖6和圖7是表示被設(shè)置在液滴噴出裝置上的液滴噴頭的圖。
圖5中，液滴噴出裝置IJ，是能將液滴(油墨滴)配置在基板P表面上的成膜裝置，備有基座12，被設(shè)置在基座12上支持基板P的臺(tái)架ST，處于基座12與臺(tái)架ST之間能夠移動(dòng)支持臺(tái)架ST的第一移動(dòng)裝置14，對(duì)被臺(tái)架ST支持的基板P能夠定量噴出(滴下)含有所定材料之液滴的液滴噴頭20，和能夠移動(dòng)支持液滴噴頭20的第二移動(dòng)裝置16。包括液滴噴頭20的液滴噴出動(dòng)作，或第一移動(dòng)裝置14和第二移動(dòng)裝置16的移動(dòng)動(dòng)作在內(nèi)的液滴噴出裝置IJ的動(dòng)作，由控制裝置CONT所控制。
第一移動(dòng)裝置14被設(shè)置在基座12上，可以沿著Y軸方向定位。第二移動(dòng)裝置16，被在基座12的后部直立的支柱16A、16B支持在第一移動(dòng)裝置14的上方。第二移動(dòng)裝置16的X軸方向，是與第一移動(dòng)裝置14的Y軸方向正交的方向。其中Y軸方向是沿著基座12的前部12B和后部12A方向的方向。與此相比，X軸方向是沿著基座12左右方向的方向，分別處于水平位置。而且Z軸方向是與X軸和Y軸方向垂直的方向。
第一移動(dòng)裝置14例如由線型馬達(dá)構(gòu)成，其中備有兩根導(dǎo)軌40，和能夠沿著這些導(dǎo)軌40，40移動(dòng)的滑塊42。這種線型馬達(dá)形式的第一移動(dòng)裝置14的滑塊42，能夠沿著導(dǎo)軌40在Y軸方向移動(dòng)并定位?；瑝K42備有沿著Z軸旋轉(zhuǎn)(θZ)用的馬達(dá)44。馬達(dá)44的轉(zhuǎn)子被固定在臺(tái)架ST上。由此，一旦向馬達(dá)44供電，轉(zhuǎn)子與臺(tái)架ST就能沿著θZ方向旋轉(zhuǎn)，使臺(tái)架ST變址(旋轉(zhuǎn)分度)。也就是說(shuō)，第一移動(dòng)裝置14能使臺(tái)架ST沿著Y軸方向和θZ方向移動(dòng)。
臺(tái)架ST是保持基板P和在預(yù)定位置定位用的部件。臺(tái)架ST具有吸附保持裝置50，使吸附保持裝置50動(dòng)作，通過(guò)被設(shè)置在臺(tái)架ST上的吸入孔46A能將基板P吸附保持在臺(tái)架ST上。
第二移動(dòng)裝置16，由線型馬達(dá)構(gòu)成，其中備有被固定在支柱16A、16A上的立柱16B、被這種立柱16B支持的導(dǎo)軌62A、和能夠沿著導(dǎo)軌62A在X軸方向移動(dòng)支持的滑塊60?；瑝K60可以沿著導(dǎo)軌62A在XZ軸方向移動(dòng)并定位，液滴噴頭20被安裝在滑塊60上。
液滴噴頭20具有馬達(dá)62、64、66和68作為擺動(dòng)位置定位裝置。若使馬達(dá)62動(dòng)作，則液滴噴頭20可以沿著Z軸上下移動(dòng)并定位。這種Z軸相對(duì)于X軸和Y軸分別處于正交方向(上下方向)上。一旦使馬達(dá)64動(dòng)作，液滴噴頭20就會(huì)沿著Y軸四周的β方向擺動(dòng)并定位。一旦使馬達(dá)66動(dòng)作，液滴噴頭20就會(huì)沿著X軸四周的γ方向擺動(dòng)并定位。一旦使馬達(dá)68動(dòng)作，液滴噴頭20就會(huì)沿著Z軸四周的α方向擺動(dòng)并定位。也就是說(shuō)，第二移動(dòng)裝置16能夠在X方向和Y方向上移動(dòng)支持液滴噴頭20，同時(shí)能夠在θX方向、θY方向和θZ方向上移動(dòng)支持這種液滴噴頭20。
如此，圖5所示的液滴噴頭20，在滑塊60中能夠沿著Z軸方向直線移動(dòng)并定位，而且能夠沿著α、β、γ方向擺動(dòng)并定位，液滴噴頭20的噴出面20P，能夠被控制得相對(duì)于臺(tái)架ST側(cè)的基板P處于正確位置和姿態(tài)下。而且，在液滴噴頭20的噴出面P上設(shè)置有噴出液滴的多個(gè)噴嘴。
圖6是表示液滴噴頭20的分解立體圖。液滴噴頭20，具備具有多個(gè)噴嘴81的噴嘴板80、具有振動(dòng)板85的壓力室基板90、和嵌入有這些噴嘴板80和振動(dòng)板85而支持的筐體88而構(gòu)成。液滴噴頭20的主要部結(jié)構(gòu)，如圖7所示，是由噴嘴板80和振動(dòng)板85將壓力室基板90夾持的結(jié)構(gòu)。噴嘴板80的噴嘴81，分別與壓力室基板90所分區(qū)而成的壓力室(空腔)91對(duì)應(yīng)。在壓力室基板90上，通過(guò)對(duì)硅單晶基板等進(jìn)行蝕刻，設(shè)置有多個(gè)能夠起著壓力室作用的空腔91。空腔91之間被側(cè)壁92所分割。各空腔91通過(guò)供給口94與作為共用通路的儲(chǔ)槽93相連。振動(dòng)板85例如由熱氧化膜等構(gòu)成。
振動(dòng)板85上設(shè)有儲(chǔ)罐口86，能夠從圖5所示的儲(chǔ)罐30經(jīng)由管道(通路)31供給任意的液滴。在相對(duì)于振動(dòng)板85上的空腔91的位置上，設(shè)置有壓電元件87。壓電元件87具備用上部電極和外部設(shè)備電極(未圖示)將PZT元件等壓電陶瓷晶體夾持的結(jié)構(gòu)。壓電元件87構(gòu)成得能夠與控制裝置CONT供給的噴出信號(hào)對(duì)應(yīng)地發(fā)生體積變化。
為使液滴噴頭20噴出液滴，首先向液滴噴頭20供給控制裝置CONT使液滴噴出用的噴出信號(hào)。事先流入液滴噴頭20的空腔91中，接收到噴出信號(hào)的液滴噴頭20，其壓電元件87因施加在上部電極和下部電極之間的電壓而產(chǎn)生體積變化。這種體積變化使振動(dòng)板85變形，從而使空腔91的體積發(fā)生變化。其結(jié)果，可以從該空腔91的噴嘴81噴出液滴。噴出了液滴的空腔91因噴出而減少的液體材料，由儲(chǔ)罐30重新供給。
本實(shí)施方式涉及的液滴噴出裝置IJ所具備的液滴噴頭20，雖然采用了因使壓電元件產(chǎn)生體積變化而噴出液滴的構(gòu)成，但是也可以采用借助于發(fā)熱體加熱液體材料，使其膨脹而噴出液滴的構(gòu)成。
回到圖5，被設(shè)置在基板P上的液體材料，可以用液體材料調(diào)整裝置S生成。液體材料調(diào)整裝置S，具備可以容納液體材料的儲(chǔ)罐30，被安裝在儲(chǔ)罐30上、被此儲(chǔ)罐30容納的調(diào)整液體材料溫度的溫度調(diào)整裝置32，和被儲(chǔ)罐30容納的攪拌液體材料的攪拌裝置33。溫度調(diào)整裝置32由加熱器構(gòu)成，能將儲(chǔ)罐30內(nèi)的液體材料調(diào)整到任意溫度下。溫度調(diào)整裝置32，由控制裝置CONT加以控制，儲(chǔ)罐30內(nèi)的液體材料在被溫度調(diào)整裝置32的溫度調(diào)整下，可以達(dá)到所需的粘度。
儲(chǔ)罐30通過(guò)管道(通路)31與液滴噴頭20相連接，從液滴噴頭20噴出液體材料的液滴，借助于管道31由儲(chǔ)罐30供給。而且流過(guò)管道31的液體材料，被未圖示的管道溫度調(diào)整裝置控制在所需溫度下，粘度得到調(diào)整。此外，從液滴噴頭20噴出的液滴溫度，由設(shè)置在液滴噴頭20上的未圖示的溫度調(diào)整裝置加以控制，可以調(diào)整到所需的粘度下。
<有機(jī)EL裝置的制造順序>
以下參照?qǐng)D8和圖9，說(shuō)明用上述的液滴噴出裝置IJ制造本發(fā)明涉及的有機(jī)EL裝置的順序。
首先如圖8(a)所示，在玻璃基板等基板P上形成驅(qū)動(dòng)用TFT143，形成與其電連接的像素電極141后，沿著像素電極141的周邊形成無(wú)機(jī)貯格圍堰149和(有機(jī))貯格圍堰150。
貯格圍堰150是起著分區(qū)隔壁作用的部件，貯格圍堰150的形成可以采用光刻法和印刷法等任意方法進(jìn)行。例如采用光刻法的情況下，可以利用旋涂法、噴涂法、輥涂法、模涂法、蘸涂法等所定方法，在基板P上涂布與貯格圍堰高度吻合的有機(jī)系感光材料，在其上涂布抗蝕劑層。而且按照貯格圍堰形狀(像素配置)放置掩模，通過(guò)曝光和顯影使與貯格圍堰形狀一致的抗蝕劑殘留。最后蝕刻除去掩模以外部分的貯格圍堰材料。而且，也可以以下層為無(wú)機(jī)物或有機(jī)物，對(duì)功能液顯示親液性的材料，而上層是有機(jī)物、顯示疏液性的材料構(gòu)成的兩層以上來(lái)形成貯格圍堰(凸部)。
形成貯格圍堰的有機(jī)材料，也可以是與原來(lái)一樣對(duì)液體材料(空穴輸送層形成材料、發(fā)光層形成材料、中間層形成材料)顯示疏液性的材料。正如后述的那樣，也可以是經(jīng)等離子處理能疏液化、與基底基板的密接性優(yōu)良、利用光刻法容易圖案化的絕緣有機(jī)材料。例如丙烯樹(shù)脂、聚酰亞胺樹(shù)脂、烯烴樹(shù)脂、三聚氰胺樹(shù)脂等高分子材料。
接著為除去在貯格圍堰間貯格圍堰形成時(shí)的抗蝕劑殘?jiān)?有機(jī)物)，對(duì)基板P實(shí)施殘?jiān)幚怼?br> 作為殘?jiān)幚黼m然可以選擇通過(guò)照射紫外線進(jìn)行殘?jiān)幚淼淖贤饩€(UV)照射處理或在大氣氣氛中以氧作為處理氣體的O2等離子體處理等，但是這里將實(shí)施O2等離子體處理。通過(guò)這種處理能夠提高像素電極141上的親液性。
進(jìn)而對(duì)貯格圍堰150進(jìn)行疏液化處理，對(duì)其表面賦予疏液性。作為疏液化處理，例如可以采用在大氣氣氛下以四氟甲烷作為處理氣體的等離子體處理(CF4等離子體處理法)。
其中作為處理氣體，并不限于四氟甲烷(四氟化碳)，也可以采用SF6、CHF3等其他氟碳系氣體。
通過(guò)這種疏液化處理，能夠在貯格圍堰150上構(gòu)成其的樹(shù)脂中導(dǎo)入含氟基團(tuán)，賦予高的疏液性。而且作為上述親液化處理用的O2等離子體處理，雖然也可以在貯格圍堰150形成后進(jìn)行，但是對(duì)于丙烯樹(shù)脂和聚酰亞胺樹(shù)脂等而言，由于進(jìn)行O2等離子體處理的前處理具有更加容易氟化(疏液化)的性質(zhì)，所以優(yōu)選在貯格圍堰150形成前作O2等離子體處理。
另外，即使在基體的一側(cè)實(shí)施這種疏液處理，由ITO膜和金屬膜構(gòu)成的無(wú)機(jī)材料的像素電極141或無(wú)機(jī)貯格圍堰149的表面，也比由有機(jī)材料構(gòu)成的貯格圍堰150的表面更難疏液化，所以僅在貯格圍堰150的表面上進(jìn)行選擇性的疏液化處理，在被貯格圍堰150包圍的區(qū)域內(nèi)形成對(duì)液體材料親和性不同的多個(gè)區(qū)域。
另外，關(guān)于上述的驅(qū)動(dòng)用TFT143或像素電極141、貯格圍堰149，都可以采用公知的制造方法，所以在本說(shuō)明書(shū)中省略關(guān)于該制造工序的說(shuō)明。
然后如圖8(b)所示，在基板P的上面(貯格圍堰150的開(kāi)口部)朝上的狀態(tài)下，通過(guò)液滴噴頭20在被貯格圍堰150包圍的涂布為止上選擇性涂布含有前面記載的空穴輸送層形成材料的液體材料114a。形成空穴輸送層用的液體材料114a，通過(guò)圖5所示的液體材料調(diào)整裝置S制備，是含有空穴輸送層形成材料和溶劑的液體，例如使用PEDOT/PSS的分散液。本實(shí)施方式中，雖然采用液滴噴出法形成空穴輸送層，但是也可以利用在基板上形成了非親和性(疏液性)的部位和顯示親和性(親液性)的部位，借助于狹縫涂布法(或者簾涂法)、蘸涂法形成空穴輸送層。
含有上述的空穴輸送層形成材料的液體材料114a，一旦用液滴噴頭20噴出在基板P上，就會(huì)因流動(dòng)性強(qiáng)而向水平方向擴(kuò)展，形成將涂布位置包圍的貯格圍堰150，所以液體材料114a會(huì)越過(guò)貯格圍堰150而向其外側(cè)擴(kuò)展。
接著通過(guò)加熱或光照使液體材料114a的溶劑蒸發(fā)，在像素電極141上形成固體形狀的空穴輸送層140A。或者也可以在大氣環(huán)境下或者在氮?dú)鈿夥障掠谒囟认潞蜁r(shí)間內(nèi)(例如200℃、10分鐘)進(jìn)行燒成。
進(jìn)而在空穴輸送層140A上對(duì)中間層155制膜。
本實(shí)施方式中，將就采用化學(xué)氣相蒸鍍法、浸漬法、旋涂法和液體噴出法對(duì)中間層155制膜的情況進(jìn)行說(shuō)明。
(化學(xué)氣相蒸鍍法)將按照上述制造順序形成了空穴輸送層140A的基板P放入300毫升聚四氟乙烯容器中，將20微升作為中間層的有機(jī)薄膜形成用材料，即苯基三乙氧基硅烷放入取樣瓶中后，在不蓋蓋子的情況下與基板一起放入聚四氟乙烯容器中。然后將聚四氟乙烯容器密封，放入電爐中。使溫度上升至120℃保持1小時(shí)，然后從電爐中取出，如圖9(a)所示，在空穴輸送層140A上形成中間層155。
用橢圓儀測(cè)定了膜厚。經(jīng)原子力顯微鏡(AFM)和X射線測(cè)定(XPS)，經(jīng)鑒定形成了苯基三乙氧基硅烷膜。經(jīng)過(guò)1小時(shí)沉積的苯基三乙氧基硅烷膜的制膜前后，相對(duì)于水和發(fā)光層形成材料的接觸角示于表1之中。
表1 經(jīng)確認(rèn)，由于對(duì)水的接觸角增加，對(duì)發(fā)光材料的接觸角減小，所以形成了親油性的親和膜。而且從與水、二碘甲烷、十六碳烷的接觸角計(jì)算出苯基三乙氧基硅烷膜的表面能量為35mN/m。沒(méi)有形成化學(xué)吸附膜的Si-OH為80mN/m。
這種中間層155，例如當(dāng)含有苯基三乙氧基硅烷作為中間層形成材料的情況下，水解性基團(tuán)(X”基)優(yōu)先吸附在空穴輸送層140A的表面上，作為極性基團(tuán)的苯基變成整齊排列在中間層155表面上的單分子膜或其層疊膜。該中間層155優(yōu)選單分子層～10分子層左右來(lái)形成得極薄，若形成這樣薄，則可以獲得在無(wú)損于空穴輸送層140A與發(fā)光層140B間電荷移動(dòng)度的充分的效果。
(浸漬法)將玻璃染色墊(44×98×41mm)浸漬在溶解有1重量％芐基三甲氧基硅烷的甲苯溶液100毫升中，將基板放入其中在25℃下浸漬1小時(shí)。取出的基板用五水甲苯洗滌兩次，除去多余的有機(jī)薄膜，在空穴輸送層140A上將形成中間層155。
在浸漬法中，與化學(xué)氣相蒸鍍法同樣，也可以在空穴輸送層140A上得到中間層155的薄膜。
(液滴噴出法)如圖8(c)所示，在基板P的上面朝上的狀態(tài)下，通過(guò)液滴噴頭20在貯格圍堰150內(nèi)的空穴注入層140A上選擇性涂布含有前面記載的中間層形成材料和溶劑的液體材料115。此時(shí)由于貯格圍堰150已經(jīng)被賦予對(duì)于液體材料115的疏液性，所以即使液體材料115彈落在貯格圍堰150上的情況下，也可以離開(kāi)落入貯格圍堰150內(nèi)，所以能夠防止在貯格圍堰的表面上形成中間層155。
然后一旦將溶劑蒸發(fā)，就可以得到如圖9(a)所示的中間層155。
如此，一旦在空穴輸送層140A上形成中間層155，進(jìn)而如圖9(b)所示，從液滴噴頭20噴出含有發(fā)光層形成材料的液體材料114b，就能將含有發(fā)光層形成材料和溶劑的液體材料114b涂布在貯格圍堰150內(nèi)的中間層155上。本實(shí)施方式的情況下，這種液體材料114b的溶劑，也可以使用環(huán)己基苯、二氫苯并呋喃、三甲基苯、四甲基苯等非極性溶劑。因?yàn)樯鲜龅谋交已趸柰榈姆菢O性基團(tuán)的親和性優(yōu)良。
一旦這樣涂布液體材料114b，液體材料114b在中間層155的作用下，將會(huì)在中間層155的表面上很好地?cái)U(kuò)展，被均勻充填在貯格圍堰150內(nèi)。
此時(shí)，在沒(méi)有形成中間層155的狀態(tài)下在空穴輸送層140A上噴出含有發(fā)光層形成材料114b的情況下，由于親和性低，如圖10(a)所示，液滴的濕潤(rùn)擴(kuò)展就不充分，但是借助于中間層155在空穴輸送層140A上噴出含有發(fā)光層形成材料的液體材料114b的情況下，因親和性提高，所以如圖10(b)所示，能夠得到液滴充分濕潤(rùn)擴(kuò)展的均勻厚度的發(fā)光層。
此外，在制造多個(gè)顏色的有機(jī)EL元件在基板上排列而成的可以進(jìn)行彩色顯示的有機(jī)EL裝置的情況下，發(fā)光層用液體材料114b噴出法的形成，采用將含有發(fā)出紅色光的發(fā)光層形成材料(例如氰基聚苯撐乙烯撐)、含有發(fā)出綠色光的發(fā)光層形成材料(例如聚苯撐乙烯撐)、和含有發(fā)出藍(lán)色光的發(fā)光層形成材料(例如聚苯撐乙烯撐和聚烷基苯撐，這些都是由劍橋顯示器技術(shù)公司制造的，能以買(mǎi)到)，在分別對(duì)應(yīng)的貯格圍堰150內(nèi)部噴出涂布的方式進(jìn)行。而且與各種顏色對(duì)應(yīng)的像素71，可以事先決定其配置規(guī)則。
如果這樣噴出涂布含有各種顏色的發(fā)光層形成材料的液體材料114b，則使液體材料114b中的溶劑蒸發(fā)。通過(guò)這種工序，如圖9(c)所示，可以在空穴注入層140A上形成固體形態(tài)的發(fā)光層140B。由于上述中間層155而使液體材料114b得到均勻涂布，所以所得到的發(fā)光層140B其膜厚和膜質(zhì)也將變得均勻。
這樣一來(lái)，可以得到由空穴注入層140A與發(fā)光層140B構(gòu)成的有機(jī)功能層140。其中關(guān)于含有發(fā)光層形成材料的液體材料114b中溶劑的蒸發(fā)，雖然必要時(shí)采用加熱或減壓等處理的方式進(jìn)行，但是由于發(fā)光層形成用材料通常干燥性良好是速干性的，所以在不特別進(jìn)行這種處理的情況下，通過(guò)依次噴出涂布各種顏色的發(fā)光層形成材料，能夠以該涂布順序形成各種顏色的發(fā)光層140B。
然后如圖9(c)所示，在透明基板P的全部表面上或者以條狀形成由ITO等透明導(dǎo)電性材料構(gòu)成的共用電極154。這樣能夠制成有機(jī)EL元件200。此外在本實(shí)施方式中，有機(jī)EL元件200包括像素電極141、空穴注入層140A發(fā)光層140B和共用電極154。
綜上所述，本實(shí)施方式中由于中間層155使空穴輸送層140A與發(fā)光層140B的親和性提高，所以當(dāng)考慮到相容性而采用不同溶劑以液滴噴出法形成發(fā)光層140B之際，可以使含有發(fā)光層形成材料的液體材料114b濕潤(rùn)擴(kuò)展，因而能夠在空穴輸送層140A上形成均勻的發(fā)光層140B。
而且在本實(shí)施方式中，貯格圍堰150由于對(duì)空穴輸送層形成材料、發(fā)光層形成材料和中間層形成材料都具有疏液性，所以能夠防止在貯格圍堰150上形成中間層。
(電子儀器)圖11是表示本發(fā)明涉及的電子儀器實(shí)例的立體圖。
圖11(a)是表示移動(dòng)電話機(jī)一例的立體圖。圖11(a)中，符號(hào)600表示移動(dòng)電話機(jī)主體，符號(hào)601表示作為顯示機(jī)構(gòu)采用了上述有機(jī)EL裝置70的顯示部。圖11(b)是表示文字處理器、個(gè)人電腦等便攜式信息處理裝置的立體圖。圖11(b)中，符號(hào)700表示信息處理裝置，符號(hào)701表示鍵盤(pán)等輸入部，符號(hào)702表示用上述EL裝置作為顯示機(jī)構(gòu)的顯示部，符號(hào)703表示信息處理裝置主體。圖11(c)是手表型電子儀器一例的立體圖。在圖11(c)中，符號(hào)800表示手表主體，符號(hào)801表示采用上述有機(jī)EL裝置70作為顯示機(jī)構(gòu)的顯示部。
圖11(a)～(c)所示的電子儀器，由于備有上述實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置70，所以能夠?qū)崿F(xiàn)高畫(huà)質(zhì)、均勻明亮的顯示。
另外，本發(fā)明的技術(shù)范圍并不限于上述實(shí)施方式，可以在不超出本發(fā)明要點(diǎn)的范圍內(nèi)作出各種變更，在實(shí)施方式中列舉的具體材料或?qū)訕?gòu)成等只不過(guò)是一個(gè)實(shí)例，可以適當(dāng)變更。
例如，在上述實(shí)施方式中雖然采用借助于中間層155使空穴輸送層140A與發(fā)光層140B相鄰的構(gòu)成，但是并不限于此，也可以適當(dāng)設(shè)置空穴注入層代替空穴輸送層140A的構(gòu)成。
而且在上述實(shí)施方式中，有機(jī)功能層140雖然決定由空穴輸送層140A和發(fā)光層140B兩層構(gòu)成，但是并不限于此，也可以采用三層以上的多層結(jié)構(gòu)，例如在像素電極141與空穴輸送層140A之間設(shè)置空穴注入層，或者在必要時(shí)在發(fā)光層140B與共用電極154之間設(shè)置電子輸送層或電子注入層等。設(shè)置這些層的情況下，能夠控制驅(qū)動(dòng)電壓的上升，還能延長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)壽命(半衰期)。
此外中間層155就有機(jī)EL元件200而言不必僅有一層，還可以在空穴輸送層140A和發(fā)光層140B之外，于像素電極141與共用電極154之間的任意層間設(shè)置多個(gè)中間層155。
不僅如此，上述實(shí)施方式中，決定采用從基板P側(cè)將空穴輸送層140A、發(fā)光層140B制膜的構(gòu)成，但是也可以采用從基板P側(cè)將發(fā)光層140B、空穴輸送層140A制膜的構(gòu)成。這種情況下，還可以在發(fā)光層140B上將作為親和膜的中間層155制膜，進(jìn)而在中間層155上將空穴輸送層140A制膜。
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)EL裝置，是用液滴噴出法形成空穴注入層或空穴輸送層和發(fā)光層的有機(jī)EL裝置，其特征在于其中使所述空穴注入層或所述空穴輸送層和所述發(fā)光層之間親和性提高的親和膜，處于所述空穴注入層或所述空穴輸送層與所述發(fā)光層之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于所述親和膜含有硅烷化合物或表面活性劑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于其中具有分區(qū)所述空穴注入層或所述空穴輸送層，和所述發(fā)光層的隔壁，所述隔壁對(duì)于形成所述親和膜的材料具有疏液性。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于所述親和膜利用化學(xué)氣相沉積法、浸漬法、旋涂法、液滴噴出法中的任一方法制膜。
5.一種電子儀器，其特征在于其中具備權(quán)利要求1～4的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置。
6.一種有機(jī)EL裝置的制造方法，是具有用液滴噴出法形成空穴注入層或空穴輸送層的工序，和用液滴噴出法形成發(fā)光層工序的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于，其中具有在所述空穴注入層或空穴輸送層，和所述發(fā)光層的任一層上形成使所述空穴注入層或所述空穴輸送層與所述發(fā)光層間親和性提高的親和膜的形成工序。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于其中所述親和膜含有硅烷化合物或表面活性劑。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于其中具有對(duì)形成所述親和膜的材料具有疏液性，分區(qū)所述空穴注入層或所述空穴輸送層，與所述發(fā)光層的硅烷隔壁的形成工序。
9.根據(jù)權(quán)利要求6～8的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于其中所述親和膜制膜的工序，利用化學(xué)氣相沉積法、浸漬法、旋涂法和液滴噴出法中的任一方法進(jìn)行。
全文摘要
提供一種能夠在避免互溶的情況下形成均勻的膜?？昭ㄗ⑷雽踊蚩昭ㄝ斔蛯?140A)和發(fā)光層(140B)可以用液滴噴出法形成。提高空穴注入層或空穴輸送層(140A)與發(fā)光層(140B)之間親和性的親和膜(155)，處于空穴注入層或空穴輸送層(140A)與發(fā)光層(140B)之間。
文檔編號(hào)H05B33/12GK1713787SQ20051007580
公開(kāi)日2005年12月28日 申請(qǐng)日期2005年6月7日 優(yōu)先權(quán)日2004年6月25日
發(fā)明者豐田直之 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社