專利名稱：主動式有機發(fā)光顯示元件及其制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種發(fā)光顯示元件及其制造方法，尤其是指一種主動式有機發(fā)光顯示元件及其制造方法。
背景技術：
有機發(fā)光顯示元件是一種可將電能轉換成光能且具有高轉換效率的半導體元件，常見的用途為指示燈、顯示面板以及光學讀寫頭的發(fā)光元件等等。由于有機發(fā)光顯示元件元件具備一些特性，如無視角、制作過程簡易、低成本、高應答速度、使用溫度范圍廣泛與全彩化等，符合多媒體時代顯示器特性的要求，近年來已成為研究的熱潮。
現今一種主動式有機發(fā)光顯示元件已在積極的發(fā)展中，其是于形成有薄膜電晶體陣列的一基板上形成一有機發(fā)光層以及一陰極層，而構成一主動式有機發(fā)光顯示元件。因此主動式有機發(fā)光顯示元件是利用薄膜電晶體以驅動發(fā)光顯示元件。
請參照圖1，其是公知主動式有機發(fā)光顯示元件的剖面示意圖。公知主動式有機發(fā)光顯示顯示元件的制造方法是首先在基板100上形成一薄膜電晶體130，其中薄膜電晶體130是包括閘極102、通道層106、歐姆接觸層108以及源極/汲極110a/110b，且閘極102以及通道層106的間是形成有一閘絕緣層104。
之后，在基板100的上方形成一絕緣層112，覆蓋薄膜電晶體130。隨后，于絕緣層112中形成一接觸窗開口114，暴露出薄膜電晶體130的汲極110b。接著，于絕緣層112以及開口114的表面形成一陽極層116。然后，于陽極層116上形成一發(fā)光層118，并且在發(fā)光層118上形成一陰極層120。
然而，在上述的方法中，發(fā)光層118于接觸窗開口114處往往會有覆蓋不良的問題，如此，將會導致后續(xù)于發(fā)光層118上形成陰極層120時，會使陰極層120在接觸窗開口114處與陽極層116形成短路，而造成顯示元件上有暗線產生，且元件使用壽命也會下降。
上述造成發(fā)光層118覆蓋不良的情形，是因為陽極層116于接觸窗開口114處會形成較大的倒角，因此后續(xù)在陽極層116上形成發(fā)光層118時，便容易有沉積不完全的情形。

發(fā)明內容
因此本發(fā)明的目的就是提供一種主動式有機發(fā)光顯示元件及其制造方法，減少和防止發(fā)光顯示元件于接觸窗開口處容易發(fā)生陽極層與陰極層短路。
本發(fā)明的再一目的是提供一種主動式有機發(fā)光顯示元件及其制造方法，以改善公知因陽極層于接觸窗開口處有過大的倒角，而導致發(fā)光層會有沉積不完全的情形。
本發(fā)明提出一種主動式有機發(fā)光顯示元件的制造方法，此方法是首先在一基板上形成一開關元件，其中此開關元件例如是一薄膜電晶體，其包括一閘極、形成在閘極上的一通道層、形成在通道層上的一歐姆接觸層以及形成在歐姆接觸層上的一源極/汲極，且閘極與通道層的間是形成有一閘絕緣層。其中絕緣層是一具有平坦表面的絕緣層。其中絕緣層為有機感光材質層。接著在基板上形成一絕緣層，覆蓋住上述的薄膜電晶體。之后，在絕緣層中形成一接觸窗開口，暴露出薄膜電晶體的汲極。隨后，在絕緣層上以及接觸窗開口的表面形成一陽極層，然后于接觸窗開口處填入一平坦層。在此，形成平坦層的方法例如是先在陽極層上全面性的涂布一層有機感光材質層，并填滿接觸窗開口處，之后進行一微影制作過程，以圖案化有機感光材質層，而保留下位在接觸窗開口處的有機感光材質層，而形成平坦層。之后，在陽極層以及平坦層上形成一發(fā)光層，并且在發(fā)光層上形成一陰極層，以構成一主動式有機發(fā)光顯示元件。
本發(fā)明提出一種主動式有機發(fā)光顯示元件，其包括一開關元件、一絕緣層、一接觸窗、一陽極層、一平坦層、一發(fā)光層以及一陰極層。其中，開關元件是配置在一基板上，且此開關元件例如是一薄膜電晶體，其包括一閘極、形成在閘極上的一通道層、形成在通道層上的一歐姆接觸層以及形成在歐姆接觸層上的一源極/汲極，且閘極與通道層的間更包括有一閘絕緣層。其中絕緣層是一具有平坦表面的絕緣層。其中絕緣層為有機感光材質層。另外，絕緣層是配置在基板上，覆蓋住上述的薄膜電晶體。而接觸窗是配置在絕緣層中，且此接觸窗是與薄膜電晶體的汲極電性連接。陽極層是配置在絕緣層上，且陽極層是與接觸窗電性連接。此外，平坦層是填于接觸窗處，以使接觸窗處能被填平，其中平坦層的材質是有機感光材質。再者，發(fā)光層是配置在陽極層以及平坦層上，且陰極層是配置在發(fā)光層上。
由于本發(fā)明在形成陽極層之后，會在接觸窗開口處填入有機感光材質的平坦層，因此后續(xù)在陽極層以及平坦層上形成發(fā)光層時，就不會發(fā)生發(fā)光層沉積不完全的情形，如此，便可以避免陽極層以及陰極層在接觸窗開口處產生短路。
另外，因本發(fā)明在接觸窗開口處所填入的平坦層是使用有機感光材質，因此于形成平坦層的步驟中并不需使用到蝕刻制作過程，如此可以避免蝕刻制作過程對陽極層的表面造成傷害。
綜合以上所述，本發(fā)明具有下列優(yōu)點1、由于本發(fā)明在形成陽極層之后，會在接觸窗開口處填入有機感光材質的平坦層，因此后續(xù)在陽極層以及平坦層上形成發(fā)光層時，就不會發(fā)生發(fā)光層沉積不完全的情形，因此可以避免陽極層以及陰極層在接觸窗開口處產生短路。
2、因本發(fā)明在接觸窗開口處所填入的平坦層是使用有機感光材質，因此在形成平坦層的步驟中并不需使用蝕刻制作過程，如此便可以避免蝕刻制作過程對陽極層的表面造成傷害。


圖1是公知主動式有機發(fā)光顯示元件的剖面示意圖；圖2是依照本發(fā)明一較佳實施例的主動式有機發(fā)光顯示元件的剖面示意圖。
具體實施例方式
為讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征、和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉一較佳實施例，并配合所附圖式，作詳細說明如下請參照圖2，其繪示依照本發(fā)明一較佳實施例的主動式有機發(fā)光顯示元件的剖面示意圖。本發(fā)明的主動式有機發(fā)光顯示元件的制造方法是首先提供一基板100，其中基板100例如是玻璃基板或是塑膠基板。接著，在基板100上形成一開關元件130。
在一較佳實施例中，開關元件130例如是一薄膜電晶體，其包括形成在基板100上的閘極102、形成在閘極102上方的通道層106、形成在通道層106上的歐姆接觸層108以及形成在歐姆接觸層108上的源極/汲極110a/110b，其中在形成閘極102之后，更包括先形成一閘絕緣層104之后，才在閘絕緣層104上形成通道層106。
之后，在基板100的上方形成一絕緣層112，覆蓋薄膜電晶體130。在一較佳實施例中，絕緣層112的材質例如是有機感光材質，而形成絕緣層112的方法例如是進行一旋轉涂布制作過程，以在基板100上方全面性的涂布一層絕緣層112，由于絕緣層112是利用旋轉涂布法所形成，因此所形成的絕緣層具有一平坦的表面，其后續(xù)可以使形成在其表面上的陽極層的粗糙度降低。
接著，在絕緣層112中形成一接觸窗開口114，暴露出薄膜電晶體130的汲極110b。
隨后，在絕緣層112的表面上以及接觸窗開口114的表面上形成一陽極層116。其中，陽極層116的材質例如是氧化銦錫或是氧化銦鋅，而形成陽極層116的方法例如是濺鍍法。
特別值得一提的是，由于先前所形成的絕緣層112是以旋轉涂布法而形成的，因此絕緣層112具有一平坦的表面，如此一來，后續(xù)在絕緣層112上所形成的陽極層116其表面粗糙度便可以降低。
在形成陽極層116之后，于接觸窗開口114處填入一平坦層200，其中平坦層200的材質例如是有機感光材質。而且形成平坦層200的方法例如是先進行一旋轉涂布制作過程以在陽極層112的表面上涂布一層有機感光材質層(未繪示)，并且填滿接觸窗開口114處，之后，再進行一微影制作過程，以圖案化有機感光材質層，而保留下位于接觸窗開口114處的有機感光材質層，而形成如圖中所示的平坦層200。
在形成平坦層200之后，于陽極層116以及平坦層200上形成一發(fā)光層118，其中發(fā)光層118的材質例如是一有機發(fā)光材料或是一高分子發(fā)光材料。
之后，再于發(fā)光層118上形成一陰極層120，以構成一主動式有機發(fā)光顯示元件。
在本發(fā)明中，由于在形成陽極層116之后，會先在接觸窗開口114處填入平坦層200，因此可以使接觸窗開口114處被填平，而且因有機感光材質的平坦層200具有較緩的斜角，因此可以解決形成在陽極層116上的發(fā)光層118會有沉積不完全的問題。另外，因本發(fā)明所使用的平坦層200是有機感光材質，因此，僅需要利用微影制作過程就可以將其圖案化，而不需使用到蝕刻制作過程，如此，可以避免蝕刻制作過程對陽極層116表面的損害。
因此，本發(fā)明的主動式有機發(fā)光顯示元件包括一開關元件130、一絕緣層112、一接觸窗114、一陽極層116、一平坦層200、一發(fā)光層118以及一陰極層120。
其中，開關元件130是配置在一基板100上，且此開關元件130例如是一薄膜電晶體，其包括一閘極102、形成在閘極102上的一通道層106、形成在通道層106上的一歐姆接觸層108以及形成在歐姆接觸層108上的一源極/汲極110a/110b，且閘極102與通道層106的間更包括有一閘絕緣層104。
另外，絕緣層112是配置在基板100上，覆蓋住上述的薄膜電晶體130。而接觸窗114是配置在絕緣層112中，且此接觸窗114是與薄膜電晶體130的汲極110b電性連接。
此外，陽極層116是配置在絕緣層112上，且陽極層116是與接觸窗114電性連接。而平坦層200是填于接觸窗114處，以使接觸窗114處能被填平，其中平坦層200的材質例如是有機感光材質。再者，發(fā)光層118是配置在陽極層116以及平坦層200上，且陰極層120是配置在發(fā)光層118上。
雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何熟習此技術的人，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內，當可作些許的更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護范圍以權利要求為準。
權利要求
1.一種主動式有機發(fā)光顯示元件的制造方法，其特征在于，包括在一基板上形成一開關元件；在該基板上形成一絕緣層，覆蓋該開關元件；在該絕緣層中形成一接觸窗開口，暴露出部分該開關元件；在該絕緣層上以及該接觸窗開口的表面形成一陽極層；在該接觸窗開口處填入一平坦層；在該陽極層以及該平坦層上形成一發(fā)光層；在該發(fā)光層上形成一陰極層。
2.根據權利要求1所述的主動式有機發(fā)光顯示元件的制造方法，其特征在于，其中該平坦層的材質是一有機感光材質。
3.根據權利要求1所述的主動式有機發(fā)光顯示元件的制造方法，其特征在于，其中形成該平坦層的方法包括在該陽極層上涂布一有機感光材質層；進行一微影制作過程，以圖案化該有機感光材質層，保留下位于該接觸窗開口處的該有機感光材質層，而形成該平坦層。
4.根據權利要求1所述的主動式有機發(fā)光顯示元件的制造方法，其特征在于，其中該開關元件包括一薄膜電晶體。
5.根據權利要求1所述的主動式有機發(fā)光顯示元件的制造方法，其特征在于，其中該絕緣層是一具有平坦表面的絕緣層。
6.根據權利要求1所述的主動式有機發(fā)光顯示元件的制造方法，其特征在于，其中該絕緣層是一有機感光材質層。
7.一種主動式有機發(fā)光顯示元件，其特征在于，包括一開關元件，配置在一基板上；一絕緣層，配置在該基板上，并覆蓋該開關元件；一接觸窗，配置在該絕緣層中，且該接觸窗是與該開關元件電性連接；一陽極層，配置在該絕緣層上，且該陽極層是與該接觸窗電性連接；一平坦層，填于該接觸窗處，以使該接觸窗處能被填平；一發(fā)光層，配置在該陽極層以及該平坦層上；一陰極層，配置在該發(fā)光層上。
8.根據權利要求7所述的主動式有機發(fā)光顯示元件，其特征在于，其中該平坦層的材質是一有機感光材質。
9.根據權利要求7所述的主動式有機發(fā)光顯示元件，其特征在于，其中該開關元件包括一薄膜電晶體。
10.根據權利要求7所述的主動式有機發(fā)光顯示元件，其特征在于，其中該絕緣層是一具有平坦表面的絕緣層。
11.根據權利要求7所述的主動式有機發(fā)光顯示元件，其特征在于，其中該絕緣層是一有機感光材質層。
全文摘要
一種主動式有機發(fā)光顯示元件及其制造方法，此方法是首先在一基板上形成一開關元件，接著在基板上形成一絕緣層，覆蓋開關元件。之后，在絕緣層中形成一接觸窗開口，暴露出部分開關元件。隨后，在絕緣層上以及接觸窗開口的表面形成一陽極層，然后于接觸窗開口處填入一平坦層。之后，在陽極層以及平坦層上形成一發(fā)光層，并且在發(fā)光層上形成一陰極層。由于本發(fā)明利用平坦層將接觸窗開口處填平，因此后續(xù)于陽極層上形成發(fā)光層與陰極層時，就可以避免接觸窗開口處會有覆蓋不良，而導致陽極層與陰極層短路的問題。
文檔編號H05B33/12GK1536941SQ03109220
公開日2004年10月13日 申請日期2003年4月3日 優(yōu)先權日2003年4月3日
發(fā)明者黃維邦 申請人:友達光電股份有限公司