專利名稱：搬運設備的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及搬運設備，這種搬運設備配有用來升降物品的升降裝置及移動該升降裝置的移動體。
更具體地說，被搬運的搬運容器具有形成物品容納用開口部并且上部設置有懸掛支持用的支持部的容器本體以及關閉該容器本體的開口部使其處于密閉狀態(tài)的蓋體，而且當用上述蓋體關閉上述開口部時，上述容器本體的內部空間處于密閉狀態(tài)。并且涉及搬運設備，該搬運設備包括在支持該搬運容器的支持部的懸掛支持狀態(tài)下進行搬運容器的升降的升降裝置以及使上述升降裝置移動的移動體。
背景技術：
上述構成的搬運設備，例如將半導體基板之類的易受塵埃等惡劣影響的物品容納在搬運容器內，從而可在不受塵埃影響的狀態(tài)下進行搬運，該搬運設備用于制造設備，該制造設備相對用于制造半導體基板等的進行各種制造用處理的多個處理裝置，順次搬運容器，并對物品進行給定處理。并且在這樣的制造設備中，將搬運容器載置在上述處理裝置的物品搬出、搬入場所的載置面上的狀態(tài)下進行放置。搬運搬運容器時，懸掛并支持容器本體的上部所形成的支持部，使搬運容器升降，在必要的情況下，沿水平方向進行搬運。
在這樣的搬運設備中，按照以往技術，在搬運該搬運容器時，開始搬運之后到搬運結束，懸掛并支持容器本體的上部所形成的支持部的狀態(tài)一直持續(xù)著(參照例如特開平9-77455號公報)。
在上述以往構成中，在搬運途中，有例如搬運容器沿上下方向振動的情況。但是，由于搬運容器處在由把持部懸掛并支持上部所形成的支持部的狀態(tài)，所以，隨著上述搬運的進行，會引起上下振動，導致容納在容器本體內部的物品載荷產生動態(tài)作用。因此，搬運容器產生撓曲變形，使容器本體的內部空間的容積變大，外部空氣有可能從蓋體與容器本體的密封部分侵入容器本體的內部空間。用于容納半導體基板等的物品的搬運容器大多情況下由合成樹脂構成，如果是這樣的合成樹脂材料，隨著搬運的進行所產生的上下振動，會導致容器本體變形，因此，容器本體的內部空間的容積就會變大，外部空氣侵入，有可能受到物品質量下降等惡劣影響。
本發(fā)明的說明本發(fā)明就是為了解決這些問題而提出的，其目的是，提供一種可以避免外部空氣隨著搬運的進行侵入搬運容器的內部空間的搬運設備。
根據本發(fā)明，搬運搬運容器時，托住裝置被切換到保持狀態(tài)。因此，托住裝置承接由升降裝置懸掛支持的搬運容器的底面，托住并保持搬運容器的載荷。由此，升降裝置對支持部的支持力減小或為零。于是，例如，即使搬運容器隨著搬運產生上下方向的振動，也可以抑制容器本體的變形或消除這種變形，避免外部空氣侵入容器本體的內部空間。
因此，可以提供能避免外部空氣隨著搬運的進行侵入搬運容器的內部的搬運設備。
附圖的簡要說明圖1是搬運設備的平面圖。
圖2是搬運設備的透視圖。
圖3是搬運容器的示意圖。
圖4是表示搬運狀態(tài)的側視圖。
圖5是表示搬運車構成的側視圖。
圖6是表示升降操作機構的平面圖。
圖7是表示搬運車構成的縱斷面正面圖。
圖8是表示托住保持部構成的平面圖。
圖9是表示搬運狀態(tài)的正面圖。
圖10是表示其他實施形式的托住裝置的示意圖。
發(fā)明的實施形式以下，參照


本發(fā)明的搬運設備。
圖1示出了用于制造半導體基板的制造用設備的一部分。該設備設置在塵埃少的凈化室內空間內。該設備上設置有對半導體基板的制造過程中的半成品等物品進行給定處理的多個物品處理裝置A、相對這些物品處理裝置的容器接受位置H搬運上述物品的搬運設備B。上述物品處理裝置A以沿著搬運設備B的物品搬運方向(參照箭頭)排列的狀態(tài)設置多個。通過圖示可以看出，一列物品處理裝置A與另一列物品處理裝置A對峙。由于這些都是公知的，因此不再詳述，但是，這些多個的上述物品處理裝置A，要順次進行用于制造半導體基板的化學的多種處理。
下文參照圖1及圖2，說明上述搬運設備B的構成。作為處理對象物品的半導體基板1，以設定枚數置于搬運容器2內。搬運容器2被搬運到多個物品處理裝置A的各個容器接受場所H。在多個物品處理裝置A的各個容器接受場所H，設置有容器接受用設置臺3。利用該搬運設備，將搬運容器2置于容器接受用設置臺3上。
上述搬運容器2由合成樹脂材料形成，并且如圖3所示，由容器本體2a和蓋體2b構成，容器本體2a備有用于容納半導體基板1的在橫側部開口的開口部4，蓋體2用于關閉該開口部4，使其處于密閉狀態(tài)。容器本體2a的上部形成有凸緣5，該凸緣5具有借助后述的把持部懸掛的作為支持部的功能。該搬運容器2通過蓋體2b關閉上述開口部4時，使容器本體2a的內部空間成為密閉狀態(tài)，外部的污染空氣不會從間隙侵入到內部。
下面，說明用于搬運該搬運容器2的設備。如圖4所示，搬運車8沿著導軌7行走，該導軌7通過托架6相對頂壁固定。該搬運車8備有作為移動體的一個例子的、配置在導軌7內側空間的行走車體8A以及相對該行走車體8A連接的位于導軌7下方的搬運作用部8B。該行走車體8A通過線性馬達驅動，該線性馬達用于產生使行走車體8A沿導軌7行走的行走推力。搬運作用部8B通過前后配置的連接桿9、10相對于該行走車體8A連接。從圖7所示的導軌7的斷面可以理解，導軌7具有整體沿上下方向延伸、并隔開間隔的左右一對腳部。在該左右腳部之間形成內部空間。腳部的下端形成有用于支持設置在搬運車8上的行走輪13的行走導向面14。除此之外，在腳部上還形成有相對振動限制輪15接觸的振動限制導向面16。
上述行走車體8A通過線性馬達LM得到搬運車8的行走推力。該線性馬達LM如圖7所示，由裝配在導軌7內部空間的磁鐵11及與該磁鐵11鄰接并對峙的裝配在搬運車8上的一次線圈12構成。另外，圖中，17是裝配在導軌7一側的供電電線，18是裝配在搬運車8一側的受電線圈。借助于交流電流的通電，在供電電線17上產生磁場，通過該磁場，在受電線圈18中產生搬運車8一側所需要的電力，由此，在無接觸狀態(tài)下進行供電。
上述搬運作用部8B具有通過前后連桿9、10相對行走車體8A連接的框體19。在該框體19上支持有升降操作部20，該升降操作部20把持上述凸緣5，可在懸掛支持狀態(tài)下一邊升降操作搬運容器2，一邊進行搬運。此外，搬運作用部8B還具有作為托住裝置的托住保持部21，該托住保持部21托住并支持由升降操作部20懸掛支持的搬運容器2的底面2c，并在托住并保持該搬運容器2的載荷的保持狀態(tài)和從該搬運容器2的底面2c避開的退避狀態(tài)自由地進行切換。
更詳細地說，升降操作部20具有相對行走車體8A可自由升降操作的升降體23，而且還包括由該升降體23支持的、在把持搬運容器2的凸緣5的作用狀態(tài)和解除該把持的解除狀態(tài)之間自由切換的把持部22。該升降體23通過設置在框體19上的升降操作機構24沿上下方向自由升降操作地支持著。該升降操作部20和升降操作機構24形成升降裝置。如圖6及圖7所示，該升降操作機構24具有旋轉滾筒25，旋轉滾筒25在滾筒驅動用馬達M1的作用下，圍繞上下方向的軸心旋轉。該旋轉滾筒25可同時卷繞或抽出4根鋼絲索26。通過旋轉滾筒25的正反旋轉，可一邊維持由4根鋼絲索26懸掛支持的上述升降體23大致為水平姿勢，一邊進行操作。升降操作機構24不一定非得配置該旋轉滾筒25，也可以利用由單獨的馬達卷繞各鋼絲索26的結構。
通過圖5及圖7所示的結構，可以理解，上述把持部22，可在把持動作用馬達M2通過連桿機構27沿相互接近的方向擺動一對把持部件28、由此把持住凸緣5的把持姿勢以及沿相互分離的方向擺動一對把持部件28、由此解除把持的解除姿勢之間進行切換。進一步，該把持部22可圍繞縱軸線自由旋轉地安裝在升降體23上，并且可通過旋轉用馬達M3圍繞縱軸線旋轉。
上述托住保持部21具有從上述框體19置于車體移動方向的前側與后側并沿下方一側延伸設置的一對縱框部分29、29。在該縱框部分29、29的下端部分別設置一對托住部件30、30。各個托住部件30、30可在由上述升降操作部20托住并支持被提升操作的搬運容器2的底面2c的伸出姿勢以及從升降用路徑向外方退避從而允許升降操作部20對搬運容器2進行升降操作的退避姿勢之間進行切換。
該托住部件30、30如圖8、圖9所示，其一端側在嵌入上述各縱框部分上所形成的凹部31的狀態(tài)下，通過縱向支撐軸32可圍繞上下軸心自由旋轉地支持著。該支撐軸32通過帶減速機構的電動馬達M4以及圖中未示的連桿機構轉動，其自由端可在朝向搬運容器2的升降用路徑側伸出的伸出姿勢和引退到上述凹部31內的退避姿勢之間進行切換。于是，上述各托住部件30由于其一端是嵌入各縱框部分29上所形成的凹部31的，因此，通過凹部31的上下內表面限制其上下變位。結果，即使在單懸臂狀態(tài)下伸出的自由端作用有搬運容器2的載荷，也能夠承受該載荷。
圖7所示的部件33，是根據來自設置設施側的上位控制裝置的指令以及雖然未詳述但副設在搬運車8上的傳感器類的檢測信息，進行搬運車8的行走控制及搬運作用部8B的控制等的控制器。
下面，說明這樣構成的搬運設備從搬運開始場所(一個容器接受場所H)將上述搬運容器2搬運到搬運目標場所(其他容器接受場所H)的搬運動作。另外，托住保持部21及升降操作部20的動作由上述控制器33控制。如圖4所示，首先，將搬運車8移動到與搬運開始場所對應位置，在這里，使升降操作部20下降，用把持部22把持住載置在容器接受場所H的搬運容器2的凸緣5，將該搬運容器2提升到搬運車8的附近。這是，通過升降操作部20使搬運容器2上升到最高位置。然后，當搬運車8朝向搬運目標場所開始行走時，將上述托住保持部21從上述退避狀態(tài)切換到上述保持狀態(tài)。具體地，將上述一對托住部件30切換到各個伸出姿勢。之后，使升降操作部20下降設定量。于是，一旦升降操作部20下降設定量，搬運容器2的底面2c就會由上述各托住部件30托住，使凸緣5處于相對于把持部22稍稍離開的狀態(tài)，升降操作部20對凸緣5的支持力為零(0)。當把上述一對托住部件30切換到各自的伸出姿勢時，搬運容器2上升到最高位置，上述各托住部件30位于搬運容器2的底面2c稍下方一側的位置，處在很容易切換到伸出姿勢的狀態(tài)。
于是，在搬運容器2的載荷由各托住部件30承受的狀態(tài)下，搬運車8沿著導軌7移動行走，借此，可以減少搬運車8的移動過程中因振動使搬運容器2變形而導致外部空氣向內部的侵入。
上述搬運車8到達與搬運目標場所對應的位置時，停止搬運車8的行走之后，使升降操作部20上升，搬運容器2在由把持部22把持凸緣5的狀態(tài)下，以設定量上升。搬運容器2的底面2c處于從各托住部件30浮起的狀態(tài)，把各托住部件30從保持狀態(tài)切換到退避姿勢。之后，在把持部22把持凸緣5的狀態(tài)下，使升降操作部20下降，將搬運容器2載置在容器接受場所H處，解除把持部22的把持狀態(tài)，結束搬運。
其他實施形式下文，敘述其他實施形式。
(1)在上述實施形式中，在將搬運容器2提升操作到搬運車8附近之后，在搬運車8向搬運目標場所開始行走時，實施從上述退避狀態(tài)將上述托住保持部21切換到上述保持狀態(tài)的切換動作。但是并不限于這種結構，也可以采用當把搬運容器2提升操作到搬運車8附近時立刻實施上述切換動作的結構。此外，在上述實施形式中，上述托住保持部21從上述保持狀態(tài)切換到上述退避狀態(tài)的切換動作，是在搬運車8到達對應于搬運目標場所的位置、停止行走之后實施的。但是，并不限于這種構成，也可以在停止行走的稍稍之前，在行走過程中進行。
(2)在上述實施形式中，采用了這樣的構成當把上述托住保持部21切換到上述保持狀態(tài)時，上述操作部20對上述凸緣5的支持力為零，但是，并不限于這種使支持力為零的結構，也可以采用使上述操作部20對上述凸緣5的支持力減小到小于升降操作部20用于支持搬運容器2的全部載荷時的支持力的值的結構。
(3)在上述實施形式中，雖然采用了上述托住裝置設置在與行走車體8A連接的框體19上的構成，但是，并不限于這種構成，也可以采用將上述托住裝置21設置在上述實施形式的升降操作部20的升降體23上的構成。例如，如圖10所示，在與上述實施形式同樣構成的升降操作機構24升降操作的升降體23上，設置有一對通過例如由電動馬達和連桿機構等構成的驅動機構，圍繞水平軸心自由擺動操作的擺動式托住部件40，在凸緣5由把持部22把持稍微提升的狀態(tài)下，立刻將托住部件40切換到保持狀態(tài)，這時，通過該保持動作稍微提升搬運容器2，使凸緣5相對把持部22處在稍微浮起的狀態(tài)(參照圖10(A))。并且，采用在搬運容器2由該托住部件40保持的狀態(tài)下，提升操作該搬運容器2的同時，使行走車體8A行走移動的構成。于是，不僅在行走車體8A的移動時，也能在搬運容器2的提升操作時，避免外部污染空氣向容器內部的侵入。
(4)在上述實施形式中，作為上述把持部，例示了在沿著相互接近的方向擺動一對把持部件、把持凸緣的把持姿勢和沿著相互遠離的方向擺動一對把持部件、解除把持的解除姿勢之間切換的機構，但是，并不限于這種構成，也可以采用例如，在圍繞上下軸心旋轉操作與凸緣卡合作用的把持部件、在把持凸緣的把持姿勢以及解除把持姿勢的解除姿勢之間進行切換的結構，或者采用通過朝水平方向的移動進行切換的構成等各種構成來實施。此外，托住裝置的具體構成也一樣，不限于上述實施形式的圍繞上下軸心轉動的切換結構以及圍繞水平軸心朝相互接近或遠離的方向擺動的構成，可以采用通過沿水平方向的移動切換的構成等各種構成來實施。
(5)在上述實施形式中，移動體是沿著導軌行走的行走車體8A，但是，并不限于這種結構，沿著導軌的行走也可以利用根本沒有車輪的線性馬達車輛。再者，例如也可以用多關節(jié)型搬運機器人等的各種形式實施。
(6)在上述實施形式的說明中，揭示了對行走車體8A的供電在無接觸狀態(tài)下進行的結構。但是并不限于此，也可以采用通過設置在行走車體上的導體與供電用導軌接觸進行供電的接觸式給電結構。此外，也可以不進行無接觸或接觸供電，采用在臺車上設置電池、電容等的蓄電裝置、根本不進行無接觸或接觸供電的方法?；蛘咴O置蓄電裝置，根據情況進行無接觸或接觸供電。例如，利用無接觸或接觸供電等方法，在不可能從外部供電的情況下，借助蓄電裝置進行供電。
權利要求
1.一種搬運設備，以搬運容器(2)作為搬運對象，所述搬運容器(2)具有形成物品容納用開口部(4)并且上部設置有懸掛支持用的支持部(5)的容器本體(2a)以及關閉該容器本體(2a)的開口部(4)使其處于密閉狀態(tài)的蓋體(2b)，而且當所述蓋體(2b)關閉所述開口部(4)時，所述容器本體(2a)的內部空間處于密閉狀態(tài)，所述搬運設備包括在所述支持支持部(5)懸掛的狀態(tài)下進行所述搬運容器(2)的升降的升降裝置(20、24)以及進行所述升降裝置(20、24)的移動的移動體(8A)，其特征是，還包括托住裝置(21)，該托住裝置(21)可在通過與所述搬運容器的底面(2c)接觸、承受所述搬運容器(2)的載荷的可保持狀態(tài)和從該搬運容器的底面(2c)避開的退避狀態(tài)之間進行切換，由此，當所述托住裝置(21)切換到所述保持狀態(tài)時，所述升降裝置(20、24)對所述支持部(5)的支持力減小或為零。
2.根據權利要求1記載的搬運設備，其特征是，所述移動體(8A)是沿導軌(7)移動的行走車體(8A)。
3.根據權利要求2記載的搬運設備，其特征是，所述升降裝置(20、24)包括可相對所述行走車體(8A)升降的升降體(23)以及設置在所述升降體(23)上的用于把持所述支持部(5)的把持部(22)。
4.根據權利要求2或3記載的搬運設備，其特征是，所述托住裝置(21)相對所述行走車體(8A)固定。
5.根據權利要求4記載的搬運設備，其特征是，所述托住裝置(21)包括固定在所述行走車體(8A)上的一對剛體的縱框部分(29)以及設置在該縱框部分(29)的下端附近、并具有可在伸出狀態(tài)與退避狀態(tài)之間變位的自由端的托住部件(30)。
6.根據權利要求5記載的搬運設備，其特征是，所述托住部件(30)基本上可圍繞縱向的軸(32)擺動。
7.根據權利要求4記載的搬運設備，其特征是，所述搬運設備具有控制器(33)，所述控制器(33)在所述托住裝置(21)切換到所述保持狀態(tài)后，通過使所述升降體(23)下降，依此借助所述托住裝置(21)支持所述搬運容器(2)重量的至少一部分，對于所述支持部(5)的支持力減小或為零。
8.根據權利要求3記載的搬運設備，其特征是，所述托住裝置(21)設置在所述升降體(23)上。
9.根據權利要求1記載的搬運設備，其特征是，所述搬運容器(2)由合成樹脂制成。
全文摘要
提供一種可避免塵埃隨搬運的進行侵入搬運容器內部的搬運設備。作為搬運對象的搬運容器(2)具有形成物品容納用開口部的容器本體(2a)以及關閉開口部的蓋體，當關閉開口部時，其內部空間處于密閉狀態(tài)。搬運設備包括支持支持部(5)的懸掛支持狀態(tài)下一邊升降操作搬運容器(2)一邊進行搬運的升降裝置(20)以及用來移動升降裝置(20)的移動體(8A)，和托住并支持被懸掛支持的搬運容器(2)的底面(2c)、可在托住并保持該搬運容器(2)的載荷的保持狀態(tài)和從該搬運容器(2)的底面(2c)避開的退避狀態(tài)自由切換的托住裝置(21)。在托住裝置(21)切換到保持狀態(tài)時，升降裝置(20)對支持部(5)的支持力減小或為零。
文檔編號B66C11/12GK1413903SQ02147128
公開日2003年4月30日 申請日期2002年10月22日 優(yōu)先權日2001年10月22日
發(fā)明者飯塚雪夫 申請人:株式會社大福