113首先使用控制信號(hào)RST1來(lái)接通開(kāi)關(guān)SW_RST，并且重置積分放大器201以去除先前的信號(hào)。之后，使用控制信號(hào)⑶si_l來(lái)接通開(kāi)關(guān)SW_CDS1，并且對(duì)噪聲信號(hào)進(jìn)行采樣并將其寫(xiě)入電容器CSH1中。柵極線Vgl隨后達(dá)到高電平，由此接通TFT開(kāi)關(guān)Tll、T12和T13，并且第一轉(zhuǎn)換元件S11、S12和S13的信號(hào)分別輸出到信號(hào)線Sigl、Sig2和Sig3。然后使用控制信號(hào)⑶Sl_2來(lái)接通開(kāi)關(guān)SW_CDS2，并且對(duì)從第一轉(zhuǎn)換元件SI 1、S12和S13輸出的信號(hào)的積分值進(jìn)行采樣并將其保持在電容器CSH2中。之后，復(fù)用器115按時(shí)間序列將第一轉(zhuǎn)換元件Sll、S12和S13的信號(hào)輸出到米樣和保持放大器116。米樣和保持放大器116然后將電容器CSH1中的信號(hào)和電容器CSH2中的信號(hào)的差分信號(hào)輸出到模數(shù)轉(zhuǎn)換器117。模數(shù)轉(zhuǎn)換器117將采樣和保持放大器116的輸出信號(hào)從模擬值轉(zhuǎn)換為數(shù)字值。
[0043]列放大器111至113再次使用控制信號(hào)RST1來(lái)接通開(kāi)關(guān)SW_RST，并且重置積分放大器201以去除先前的信號(hào)。之后，使用控制信號(hào)⑶Sl_l來(lái)接通開(kāi)關(guān)SW_CDS1，并且對(duì)噪聲信號(hào)進(jìn)行采樣并將其寫(xiě)入電容器CSH1中。柵極線Vg2隨后達(dá)到高電平，由此接通TFT開(kāi)關(guān)T21、T22和T23，并且第一轉(zhuǎn)換元件S21、S22和S23的信號(hào)分別輸出到信號(hào)線Sigl、Sig2和Sig3。然后使用控制信號(hào)⑶Sl_2來(lái)接通開(kāi)關(guān)SW_CDS2，并且對(duì)從第一轉(zhuǎn)換元件S21、S22和S23輸出的信號(hào)的積分值進(jìn)行采樣并將其保持在電容器CSH2中。之后，復(fù)用器115按時(shí)間序列將第一轉(zhuǎn)換元件S21、S22和S23的信號(hào)輸出到采樣和保持放大器116。采樣和保持放大器116然后將電容器CSH1中的信號(hào)和電容器C SH2中的信號(hào)的差分信號(hào)輸出到模數(shù)轉(zhuǎn)換器117。模數(shù)轉(zhuǎn)換器117將采樣和保持放大器116的輸出信號(hào)從模擬值轉(zhuǎn)換為數(shù)字值。
[0044]列放大器111至113再次使用控制信號(hào)RST1來(lái)接通開(kāi)關(guān)SW_RST，并且重置積分放大器201以去除先前的信號(hào)。之后，使用控制信號(hào)⑶Sl_l來(lái)接通開(kāi)關(guān)SW_CDS1，并且對(duì)噪聲信號(hào)進(jìn)行采樣并將其寫(xiě)入電容器CSH1中。柵極線Vg3隨后達(dá)到高電平，由此接通TFT開(kāi)關(guān)T31、T32和T33，并且第一轉(zhuǎn)換元件S31、S32和S33的信號(hào)分別輸出到信號(hào)線Sigl、Sig2和Sig3。然后使用控制信號(hào)⑶Sl_2來(lái)接通開(kāi)關(guān)SW_CDS2，并且對(duì)從第一轉(zhuǎn)換元件S31、S32和S33輸出的信號(hào)的積分值進(jìn)行采樣并將其保持在電容器CSH2中。之后，復(fù)用器115按時(shí)間序列將第一轉(zhuǎn)換元件S31、S32和S33的信號(hào)輸出到采樣和保持放大器116。采樣和保持放大器116然后將電容器CSH1中的信號(hào)和電容器C SH2中的信號(hào)的差分信號(hào)輸出到模數(shù)轉(zhuǎn)換器117。模數(shù)轉(zhuǎn)換器117將采樣和保持放大器116的輸出信號(hào)從模擬值轉(zhuǎn)換為數(shù)字值。
[0045]X射線圖像讀出操作中的列放大器114執(zhí)行重置操作，在重置操作中，信號(hào)線Sig4的電位被牢固地穩(wěn)定下來(lái)，以防止信號(hào)線Sig4的電位在讀出第一轉(zhuǎn)換元件S11至S33的操作期間波動(dòng)而因此影響圖像質(zhì)量。在轉(zhuǎn)變?yōu)槔鄯e操作之后，可以讀出未用X射線照射的圖像以用于X射線圖像的校正。
[0046]如上所述，控制電路105可以與對(duì)列放大器111至113施加的控制相獨(dú)立地控制列放大器114。其中列放大器111至113輸出與第一轉(zhuǎn)換元件S11至S33的電荷對(duì)應(yīng)的電壓的X射線圖像讀出時(shí)段不同于其中列放大器114輸出與第二轉(zhuǎn)換元件XI至X3的電荷對(duì)應(yīng)的電壓的AEC控制時(shí)段。復(fù)用器115在AEC控制時(shí)段(第一時(shí)段)中選擇并輸出列放大器114的輸出電壓，而在X射線圖像讀出時(shí)段(第二時(shí)段)中，選擇并輸出多個(gè)列放大器111至113的輸出電壓。在放射線成像裝置接收放射線(X射線)的照射的AEC控制時(shí)段內(nèi)，列放大器114輸出與第二轉(zhuǎn)換元件XI至X3的電荷對(duì)應(yīng)的電壓，并且列放大器111至113不輸出與第一轉(zhuǎn)換元件S11至S33的電荷對(duì)應(yīng)的電壓。列放大器111至113和列放大器114在功耗、增益、采樣和保持操作、重置操作以及低通濾波器中的至少一個(gè)方面上受到彼此不同的控制。
[0047]圖4是用于示出根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的放射線成像裝置的另一驅(qū)動(dòng)方法(X射線檢測(cè)操作)的時(shí)序圖。放射線成像裝置需要執(zhí)行與圖3中的操作一樣的三種操作以便獲得X射線圖像。第一操作是空閑操作。該操作用于在放射線成像裝置上電之后使像素特性穩(wěn)定。該操作所需的時(shí)間長(zhǎng)度盡管取決于像素特性而變化，但是大約為10秒。在空閑操作的持續(xù)時(shí)間內(nèi)，TFT開(kāi)關(guān)T11至T33由柵極線Vgl至Vg3的脈沖接通/斷開(kāi)，以去除累積在第一轉(zhuǎn)換元件S11至S33中的暗電流并且使暗電流對(duì)X射線圖像的影響最小化。
[0048]使用控制信號(hào)Powerf將列放大器114在此時(shí)的功率模式設(shè)置為讀出模式以保持檢測(cè)第二轉(zhuǎn)換元件XI至X3的信號(hào)。通過(guò)用柵極線Vgl至Vg3的脈沖來(lái)協(xié)調(diào)對(duì)積分放大器201的經(jīng)由控制信號(hào)RST2的重置與經(jīng)由控制信號(hào)⑶Sl_2和⑶S2_2的采樣和保持，執(zhí)行讀出第二轉(zhuǎn)換元件XI至X3的信號(hào)的操作。下面描述其原因。柵極線Vgl至Vg3和信號(hào)線Sigl至Sig3由現(xiàn)有的電容器耦接，信號(hào)線Sigl至Sig3和偏壓Vs的線由現(xiàn)有的電容器耦接。因此，為了防止柵極線Vgl至Vg3的操作使信號(hào)線Sig4的電位波動(dòng)而因此在讀出第二轉(zhuǎn)換元件XI至X3時(shí)引起誤差，用柵極線Vgl至Vg3的脈沖來(lái)對(duì)重置以及采樣和保持進(jìn)行協(xié)調(diào)。
[0049]此時(shí)，不需要圖像讀出，因此通過(guò)使用控制信號(hào)Powerl將列放大器111至113置于低功耗模式并從而減少發(fā)熱，來(lái)使列放大器111至113的功耗最小化。為了防止積分放大器201的輸入偏移電流使積分放大器201的輸出漂移，可以重置積分放大器201。
[0050]第二操作是累積操作(檢測(cè)操作)。監(jiān)視第二轉(zhuǎn)換元件XI至X3的信號(hào)，并且當(dāng)信號(hào)處理單元106確定已超過(guò)預(yù)先設(shè)置的閾值時(shí)，將柵極線Vgl至Vg3固定為低電平以斷開(kāi)所有的TFT開(kāi)關(guān)Tll至T33。放射線成像裝置因此從第一操作轉(zhuǎn)移到第二操作，第二操作是累積在第一轉(zhuǎn)換元件S11至S33中產(chǎn)生的電荷的操作。
[0051]在累積操作期間，斷開(kāi)TFT開(kāi)關(guān)Tll至T33，并且使用控制信號(hào)Powerl來(lái)將除了連接到第二轉(zhuǎn)換元件XI至X3的列放大器114之外的其它列放大器(具體而言，列放大器111至113)置于空閑模式，以便降低功耗。
[0052]連接到第二轉(zhuǎn)換元件XI至X3的列放大器114與圖3中的操作一樣在X射線照射期間一直讀出信號(hào)，并且在檢測(cè)到X射線照射結(jié)束之前繼續(xù)讀出操作。根據(jù)通過(guò)該操作獲得的信號(hào)，控制電路105和信號(hào)處理單元106確定X射線照射已經(jīng)完成，然后執(zhí)行作為第三操作的X射線圖像讀出操作。所述確定可以改由控制系統(tǒng)505 (圖5)進(jìn)行。
[0053]X射線圖像讀出操作涉及使用列放大器111至113讀出累積在第一轉(zhuǎn)換元件S11至S33中的電荷。在X射線圖像讀出操作中，列放大器111至113首先使用控制信號(hào)RST1的高電平脈沖來(lái)重置積分放大器201。緊接著重置之后，將控制信號(hào)CDS1_1設(shè)置為高電平以開(kāi)始對(duì)積分放大器201的信號(hào)之中的噪聲信號(hào)的采樣。該采樣在積分放大器201的重置完成之后過(guò)去期望的時(shí)間時(shí)完成。柵極驅(qū)動(dòng)器102隨后將柵極脈沖輸出到柵極線Vgl以接通第一行中的TFT開(kāi)關(guān)Tll、T12和T13，并且累積在第一轉(zhuǎn)換元件Sll、S12和S13中的電荷被傳送到列放大器111至113。在TFT開(kāi)關(guān)T11、T12和T13保持接通期望的時(shí)間長(zhǎng)度之后，斷開(kāi)TFT開(kāi)關(guān)Tll、T12和T13。接下來(lái)，將控制信號(hào)CDS2_1設(shè)置為高電平以開(kāi)始對(duì)積分放大器201的信號(hào)之中的像素信號(hào)(圖像信號(hào))的采樣。在過(guò)去期望的時(shí)間長(zhǎng)度之后，將控制信號(hào)⑶S2_l設(shè)置為低電平以結(jié)束采樣。之后，復(fù)用器115按時(shí)間序列將第一轉(zhuǎn)換元件S11、S12和S13的信號(hào)輸出到采樣和保持放大器116。采樣和保持放大器116然后將電容器CSH1中的信號(hào)和電容器CSH2中的信號(hào)的差分信號(hào)輸出到模數(shù)轉(zhuǎn)換器117。模數(shù)轉(zhuǎn)換器117將采樣和保持放大器116的輸出信號(hào)從模擬值轉(zhuǎn)換為數(shù)字值。
[0054]再次使用控制信號(hào)RST1的高電平脈沖來(lái)重置積分放大器201。緊接著重置之后，將控制信號(hào)CDS1_1設(shè)置為高電平以開(kāi)始對(duì)積分放大器201的信號(hào)之中的噪聲信號(hào)的采樣。該采樣在積分放大器201的重置完成之后過(guò)去期望的時(shí)間時(shí)完成。柵極驅(qū)動(dòng)器102隨后將柵極脈沖輸出到柵極線Vg2以接通第二行中的TFT開(kāi)關(guān)T21、T22和T23，并且累積在第一轉(zhuǎn)換元件S21、S22和S23中的電荷被傳送到列放大器111至113。在TFT開(kāi)關(guān)T21、T22和T23 —直接通期望的時(shí)間長(zhǎng)度之后，斷開(kāi)TFT開(kāi)關(guān)T21、T22和T23。接下來(lái)，將控制信號(hào)CDS2_1設(shè)置為高電平以開(kāi)始對(duì)積分放大器201的信號(hào)之中的像素信號(hào)的采樣。在期望的時(shí)間長(zhǎng)度過(guò)