專利名稱：壓電聲學(xué)元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種壓電聲學(xué)元件，諸如壓電蜂鳴器或壓電接收器。
諸如用于產(chǎn)生報(bào)警或工作笛音的笛子蜂鳴器的壓電聲學(xué)元件被廣泛地使用于例如電子設(shè)備、家用電氣和蜂窩電話中。
如在第7-107593和第7-203590號(hào)日本專利申請(qǐng)(已公開(kāi))中揭示的，這樣的壓電聲學(xué)元件典型地具有如此的結(jié)構(gòu)，其中將圓形金屬板粘合到設(shè)置在壓電板的一個(gè)主表面上的電極，由此構(gòu)成單端負(fù)載(unimorph)型振動(dòng)體。在這樣的結(jié)構(gòu)中，振動(dòng)體設(shè)置在圓形外殼中，從而金屬板的周圍邊緣部分由外殼支持，并且外殼的開(kāi)口部分由蓋子覆蓋。
但是，采用這種圓形的振動(dòng)體引起了差的生產(chǎn)效率，低的聲學(xué)轉(zhuǎn)換效率，并且表面安裝結(jié)構(gòu)困難。這些問(wèn)題將在下面詳細(xì)地描述。
首先，將討論生產(chǎn)效率和聲學(xué)轉(zhuǎn)換效率。制造這樣的壓電聲學(xué)元件的過(guò)程包括步驟如

圖1A所示，通過(guò)使用空心沖頭41，從由未處理薄片40形成圓形壓電板42；如圖1B所示，將圓形金屬板43電氣和機(jī)械地結(jié)合到設(shè)置在壓電板42的一個(gè)主表面上的電極；在位于壓電板42相對(duì)的主表面上的電極之間施加高壓直流電場(chǎng)使之極化，由此得到振動(dòng)體44；在外殼45內(nèi)設(shè)置振動(dòng)體44；將分別連接到位于壓電板42另一個(gè)主表面上的電極和金屬板43上的導(dǎo)線46和47向外延伸到外殼45的外部，如圖1C所示。
但是，如圖1A所示，由未處理薄片40使用空心沖頭形成盤狀壓電板42導(dǎo)致了未處理薄片40的大部分未被使用，導(dǎo)致差的材料利用率。由于在沖切后在個(gè)別基體上形成電極并極化，故處理的效率是差的。另外，由于空心沖頭41必需根據(jù)壓電板42的尺寸制造，故整個(gè)生產(chǎn)效率更差。
如圖2A所示，由于盤狀振動(dòng)體44由外殼45固定在周緣部分處，因此只有在其中心出現(xiàn)最大位移點(diǎn)P，故位移量小，并且聲學(xué)轉(zhuǎn)換效率低。結(jié)果，聲壓相對(duì)于輸入的能量非常低。另外，由于振動(dòng)體44沿圓周受到限制，故產(chǎn)生較高的頻率。為了得到低頻壓電振動(dòng)體，振動(dòng)體的半徑必需增加。
其次，將討論表面安裝結(jié)構(gòu)的實(shí)施。表面安裝結(jié)構(gòu)的壓電聲學(xué)元件被揭示在例如第3-125396號(hào)日本實(shí)用新型申請(qǐng)(已公開(kāi))中。但是，整這個(gè)結(jié)構(gòu)具有許多缺點(diǎn)。更具體地說(shuō)，由于引線端子必需整體地形成在金屬板上，故金屬板的形狀變得復(fù)雜。還有，由于需要將引線端子從外殼向外延伸，外殼的形狀變復(fù)雜。另外，由于使引線端子接觸或者固定地安裝到壓電板，故負(fù)載易作用在壓電板上。因此，由于可靠性差和生產(chǎn)成本高，這種表面安裝結(jié)構(gòu)的壓電聲學(xué)元件的實(shí)行是低級(jí)的。
為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明的較佳實(shí)施例提供了一種壓電聲學(xué)元件，它包含振動(dòng)體，所述振動(dòng)體具有大致上矩形的壓電板，具有第一主表面和第二主表面，設(shè)置在壓電板的第一主表面上的第一振動(dòng)體電極，以及設(shè)置在壓電板的第二主表面上的大致上矩形的金屬板；安裝基片，所述安裝基片包括設(shè)置在其上的第一電路電極和第二電路電極，第一電路電極連接到金屬板，第二電路電極連接到第一振動(dòng)體電極；支持部件，安排得使將振動(dòng)體通過(guò)支持部件安裝在安裝基片上的縱向相對(duì)的端部，從而在安裝基片和振動(dòng)體的縱向相對(duì)端部之間限定了空隙；一種彈性密封材料，密封安裝基片和振動(dòng)體的每一個(gè)橫向相對(duì)端部之間的空隙，由此限定了振動(dòng)體和安裝基片之間的聲學(xué)空間，以及蓋子其中設(shè)置有聲音釋放孔，并且結(jié)合到安裝基片上，以覆蓋振動(dòng)體而不接觸振動(dòng)體。
由于壓電板大致上為矩形，故即使壓電板由未處理薄片上沖切下來(lái)，未處理薄片的剩下未使用的部分和現(xiàn)有技術(shù)相比大大減小，從而大大改進(jìn)了材料的利用率，它在本發(fā)明的較佳實(shí)施例中非常高。另外，由于電極的形成和極化可以在母板上進(jìn)行，其中多個(gè)壓電板在所述母板上切割，故大大改進(jìn)了生產(chǎn)效率。另外，由于具有不同設(shè)計(jì)尺寸的各種壓電板可以通過(guò)改變母板的切割尺寸或位置而得到，故和傳統(tǒng)的壓電聲學(xué)元件相比，不需為每一種壓電板制造不同尺寸的空心沖頭。更具體地說(shuō)，用于從未處理薄片的沖切到母板的切割的各個(gè)生產(chǎn)步驟中的種類大大的減小，由此顯著地減小了生產(chǎn)成本，并改進(jìn)了生產(chǎn)效率。
在根據(jù)本發(fā)明的較佳實(shí)施例的壓電聲學(xué)元件中，大致上為矩形的振動(dòng)體的縱向的相對(duì)的端部通過(guò)各個(gè)支持部件固定到安裝基片上。由此，當(dāng)將預(yù)定頻率的信號(hào)輸入設(shè)置在壓電板的另一個(gè)主表面上的金屬板和電極之間時(shí)，壓電板膨脹和收縮，由此，大致上為矩形的振動(dòng)體相應(yīng)地彎曲。此時(shí)，振動(dòng)體沿大致上垂直于其主表面的方向振動(dòng)，同時(shí)以縱向相對(duì)的端部作為振動(dòng)的節(jié)點(diǎn)，并且沿縱向的中心線產(chǎn)生最大位移點(diǎn)P。即，位移量大大增加。由于位移量直接和移動(dòng)空氣的能量成比例，故由此大大增加了聲學(xué)轉(zhuǎn)換效率。
雖然振動(dòng)體的安裝基片和每一個(gè)橫向的相對(duì)的端部之間的空隙由密封材料密封，但密封材料由于其彈性而不阻礙振動(dòng)體的振動(dòng)。由于位于固定的縱向相對(duì)端部之間的振動(dòng)體的部分可以自由位移動(dòng)，振動(dòng)體可以產(chǎn)生低于現(xiàn)有技術(shù)中使用的盤狀振動(dòng)體產(chǎn)生的頻率。換句話說(shuō)，當(dāng)要產(chǎn)生所需的頻率時(shí)，本發(fā)明的較佳實(shí)施例中使用的大致上矩形的振動(dòng)體可以比現(xiàn)有技術(shù)中使用的盤狀振動(dòng)體小。
由于蓋子結(jié)合到安裝基片，以便以不接觸的方式覆蓋振動(dòng)體，故在振動(dòng)體周圍建立大致上的密封的條件，并且表面安裝可以容易實(shí)現(xiàn)。更具體地說(shuō)，設(shè)置在安裝基片上的第一和第二電極可以被引導(dǎo)到安裝基片的端面或相對(duì)側(cè)，從而用作外部端子。這樣的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化了金屬板、外殼和其它元件的形狀。
在上述壓電聲學(xué)元件中，支持部件可以由導(dǎo)電材料制成，并且可以將振動(dòng)體的金屬板通過(guò)支持部件固定地連接到設(shè)置在安裝基片上的第一電路電極，而設(shè)置在壓電板第一主表面上的第一振動(dòng)體電極可以通過(guò)導(dǎo)電線連接到設(shè)置在安裝基片上的第二電路電極。
由于振動(dòng)體和安裝基片可以電氣和機(jī)械的方式通過(guò)支持部件連接，故壓電聲學(xué)元件的結(jié)構(gòu)變得簡(jiǎn)單，并且建立可靠的電氣連接。另外，由于引線端子不連接到振動(dòng)體，故外部負(fù)載不作用在振動(dòng)體上，由此完成高度可靠的壓電聲學(xué)元件。
通過(guò)下面參照附圖對(duì)本發(fā)明的較佳實(shí)施例的描述，本發(fā)明的其它特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)是顯而易見(jiàn)的。
圖1A-1C是示出根據(jù)傳統(tǒng)方法制造或者壓電蜂鳴器的工藝步驟的示圖；圖2A是示出傳統(tǒng)圓形振動(dòng)體中位移分布的示圖；圖2B是示出根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的大致上矩形的振動(dòng)體位移的分布的示圖；圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的較佳實(shí)施例的壓電聲學(xué)元件的一個(gè)例子的壓電蜂鳴器的透視圖；圖4是壓電蜂鳴器的透視圖；圖5是沿圖3的線V-V的截面圖；圖6是根據(jù)尺寸和諧振頻率之間的關(guān)系比較圓形振動(dòng)體和大致上矩形的振動(dòng)體的曲線圖7A-7C是示出用于制造大致上矩形的振動(dòng)體的工藝的步驟的示圖；圖8A-8D是示出用于制造大致上矩形的壓電蜂鳴器的示圖。
圖3到5示出根據(jù)本發(fā)明的較佳實(shí)施例壓電聲學(xué)元件的壓電蜂鳴器。
壓電蜂鳴器最好包含單端負(fù)載型振動(dòng)體1，安裝基片10和蓋子20。
振動(dòng)體1包括大致上矩形的壓電板2，它由壓電陶瓷，諸如PZT制成，以及大致上矩形的金屬板，所述金屬板電氣和機(jī)械地結(jié)合到壓電板2的第二主表面上。金屬板3最好由具有良好的導(dǎo)電性和彈性的材料，諸如磷銅或42Ni制成。當(dāng)金屬板3由42Ni制成時(shí)，金屬板3具有接近于陶瓷(例如，PZT)的熱膨脹系數(shù)，從而可以得到更加可靠的振動(dòng)體1。第一和第二振動(dòng)體電極2a和2b分別設(shè)置在壓電板2的第一和第二主表面上。金屬箔3粘到第二振動(dòng)體電極2b，由此在它們之間建立電氣傳導(dǎo)。代替使用第二振動(dòng)體電極2b，可以通過(guò)使用導(dǎo)電粘劑，直接將金屬板3結(jié)合到壓電板2的第二主表面，即，金屬板3也可以用作第二振動(dòng)體電極2b。
由導(dǎo)電材料制成的支持部件4和5固定到振動(dòng)體1的第二主表面上它的沿縱向的相對(duì)的端部?？梢酝ㄟ^(guò)例如，沿直線將導(dǎo)電粘劑施加給金屬板3的下表面，并固化所施加的線形粘劑，或通過(guò)將線形的導(dǎo)電材料(諸如金屬線)固定地安裝到金屬板3的下表面，來(lái)限定支持部件4和5。
振動(dòng)體1通過(guò)支持部件4和5，電氣而機(jī)械地結(jié)合到絕緣安裝基片10上。更具體地說(shuō)，將支持部件4的下表面通過(guò)導(dǎo)電粘劑(圖中未示)結(jié)合到設(shè)置在安裝基片10上的第一電路電極11，而支持部件5的下表面通過(guò)導(dǎo)電粘劑或絕緣粘劑(圖中未示)結(jié)合到安裝基片10未設(shè)置電極的部分上。由此，振動(dòng)體1被可靠地和固定地支持在縱向相對(duì)的端部，同時(shí)在振動(dòng)體1和安裝基片10之間限定了預(yù)定的空隙。由此，振動(dòng)體1可以垂直地振動(dòng)，同時(shí)振動(dòng)體1的縱向相對(duì)的端部作為節(jié)點(diǎn)。
在上述描述中，支持部件4和5固定地附到振動(dòng)體1的第二主表面上，然后支持部件4和5的下表面通過(guò)導(dǎo)電粘劑結(jié)合到安裝基片10上。但是，形成支持部件4和5的步驟和將振動(dòng)體1和安裝基片10結(jié)合到一起的步驟同時(shí)地執(zhí)行。更具體地說(shuō)，導(dǎo)電粘劑可以通過(guò)印刷或通過(guò)使用散布器或其它適當(dāng)?shù)姆椒ǎ€形地施加到安裝基片10的上表面或者振動(dòng)體1的下表面。然后，在固化導(dǎo)電粘劑前，可以固化導(dǎo)電粘劑。該工藝包含更少的步驟，由此進(jìn)一步更加的生產(chǎn)效率。
振動(dòng)體的第一主表面，即，第一振動(dòng)體電極2a較好地通過(guò)導(dǎo)電線6連接到設(shè)置在安裝基片10上的第二電路電極12。第一電路電極11設(shè)置在安裝基片10的上表面上結(jié)合相對(duì)的端面中的一個(gè)的位置，并沿端面延伸，到達(dá)背側(cè)。第二電路電極12設(shè)置在安裝基片10的上表面上結(jié)合另一個(gè)端面的部分，并沿端面延伸，并到達(dá)背側(cè)。
安裝基片10和振動(dòng)體1的每一個(gè)橫向相對(duì)端部之間的空隙用彈性密封材料13，諸如硅橡膠充滿，由此在振動(dòng)體1和安裝基片10之間限定聲空間14(見(jiàn)圖5)。聲空間不必完全密封。例如，可以在安裝基片10中形成適當(dāng)?shù)淖枘峥?，以和元件的外部?lián)系。密封材料13由于其彈性而不阻礙振動(dòng)體1的振動(dòng)。
將樹(shù)脂蓋子20結(jié)合到安裝基片10上，以不接觸的方式覆蓋振動(dòng)體1。即，蓋子20不在如何部分接觸振動(dòng)體1。蓋子20具有一個(gè)聲音釋放孔21，設(shè)置在其頂部，因此將諸如蜂鳴笛音之類的聲音通過(guò)孔21釋放到元件的外部。
圖6比較了現(xiàn)有技術(shù)中使用的圓形振動(dòng)體和本發(fā)明的較佳實(shí)施例中使用的大致上為矩形的振動(dòng)體的尺寸和諧振頻率之間的關(guān)系。
如圖6所示，對(duì)于相同諧振頻率時(shí)的尺寸大致上矩形的振動(dòng)體的尺寸(長(zhǎng)度)可以制得小于圓形振動(dòng)體。換句話說(shuō)，當(dāng)大致上矩形的振動(dòng)體和圓形振動(dòng)體尺寸相同時(shí)，大致上矩形的振動(dòng)體比圓形振動(dòng)體產(chǎn)生更低的諧振頻率。
圖6的比較通過(guò)使用厚度大約50μm(而由42Ni制成的金屬板厚度大約50μm)的PZT壓電板完成。大致上矩形的振動(dòng)體的長(zhǎng)度L和寬度W的比值大約1.67。
圖7A到7C示出制造振動(dòng)體1的過(guò)程。
首先，如圖7A所示，大致上矩形的母板32使用空心沖頭31從未處理薄片30沖切。
然后，如圖7B所示，母板32經(jīng)受電極形成和極化，然后沿縱向和橫向的切割線CL切割，由此產(chǎn)生壓電板2。
然后，如圖7C所示，通過(guò)使用導(dǎo)電粘劑，壓電板2結(jié)合到金屬板3，所述金屬板3最好具有類似于壓電板2的形狀。支持部件4和5設(shè)置在金屬板3的下表面上相對(duì)的頂部，由此產(chǎn)生了振動(dòng)體1。
由于由未處理薄片30沖切的母板32大致上矩形，故大大減小了未處理薄片30的未使用的部分的量，由此達(dá)到高的材料利用率。由于在母板32上實(shí)施電極的形成和極化，其中多個(gè)壓電板2在所述母板32上切割，即，由于對(duì)于多個(gè)壓電板2同時(shí)進(jìn)行工藝步驟，故生產(chǎn)效率大大改進(jìn)，并非常高。由于可以通過(guò)改變母板的切割尺寸或者位置生產(chǎn)具有不同設(shè)計(jì)尺寸的各種類型的壓電板，不需要改變空心沖頭32的大小，因?yàn)榭梢允褂猛ㄓ玫目招臎_頭故減小了設(shè)備的成本。尤其是分布在未處理薄片30的沖切到母板32的切割的生產(chǎn)步驟中使用的模具、夾具和壓電體種類的種類都大大減小。
根據(jù)圖7B和7C所示的生產(chǎn)步驟，在將母板32切割為壓電板2時(shí)，每一個(gè)壓電板都結(jié)合到金屬板3。但是，已經(jīng)經(jīng)受了電極的形狀和極化的母板32可以結(jié)合到金屬的母板。然后，得到的結(jié)合體可以切割為振動(dòng)體，其中每一個(gè)振動(dòng)體都包括一個(gè)壓電板2和金屬板3。
下面將參照?qǐng)D8A到8D描述制造壓電蜂鳴器的處理。
首先，如圖8A所示，將振動(dòng)體1結(jié)合到安裝基片10，其中在所示安裝基片10上已經(jīng)分別形成了第一和第二電路電極11和12，同時(shí)支持部件4和5插在它們之間。在這種情況下，將支持部件4結(jié)合到第一電路電極，并將支持部件5結(jié)合到?jīng)]有電極的安裝基片10。
然后，如圖8B所示，壓電板2的振動(dòng)體電極2a和第二電路電極12通過(guò)導(dǎo)電線6較好地連接。這樣的連接可以通過(guò)例如線連接方式或其它適當(dāng)?shù)姆绞酵瓿?。較好地，將導(dǎo)電線6連接到振動(dòng)體電極2a位于支持部件5上的位置，它作為振動(dòng)體1的振動(dòng)節(jié)點(diǎn)。
然后，如圖8C所示，將硅橡膠13填充到安裝基片10和振動(dòng)體1的每一個(gè)側(cè)向相對(duì)端部之間限定的空隙中，由此在振動(dòng)體1和安裝基片10之間限定了聲空間14。硅橡膠13的應(yīng)用范圍不限于振動(dòng)體1的橫向相對(duì)端部?；蛘撸柘鹉z13可以施加到振動(dòng)體整個(gè)周圍。
最后，如圖8D所示，蓋子20結(jié)合到安裝基片10上，以覆蓋振動(dòng)體1。由此，產(chǎn)生了表面安裝壓電聲學(xué)元件。
根據(jù)上述的制造程序，將振動(dòng)體1和蓋子20結(jié)合在每一安裝基片10上。但是，母安裝基片可以代替安裝基片10使用。在這種情況下，制造過(guò)程包括步驟將多個(gè)振動(dòng)體1以大致恒定的間隔結(jié)合到母安裝基片上；粘接多個(gè)蓋子20到母安裝基片上以覆蓋對(duì)應(yīng)的振動(dòng)體1，并切割母安裝基片，由此產(chǎn)生各個(gè)壓電聲學(xué)元件。
上述較佳實(shí)施例以制成單個(gè)振動(dòng)體1的安裝基片10的情況進(jìn)行描述。但是，本發(fā)明不限于此。安裝基片10可以支持多個(gè)振動(dòng)體1。在這種情況下，相應(yīng)于振動(dòng)體1的各個(gè)電極可以設(shè)置在安裝基片10上。通過(guò)將電極連接到相應(yīng)的振動(dòng)體1，振動(dòng)體1可以產(chǎn)生各自不同的聲音。
上述較佳實(shí)施例描述中包括提及了導(dǎo)電材料的支持部件。但是，本發(fā)明不限于此。支持部件可以由絕緣材料(例如，粘劑)支持。在這種情況下，金屬板和設(shè)置在安裝基片上的第一電極可以通過(guò)例如，焊料、導(dǎo)電粘劑或?qū)Ь€連接。
壓電板和金屬板不需具有相同尺寸。例如，金屬板的尺寸可以稍稍大于壓電板。例如，當(dāng)金屬板比壓電板長(zhǎng)時(shí)，產(chǎn)生的諧振頻率依賴于長(zhǎng)度的差。
上述的較佳實(shí)施例描述了將設(shè)置在壓電板的第二主表面上的第二振動(dòng)體電極連接到設(shè)置在安裝基片上的第二電路電極的情況。第但是，本發(fā)明不限于此。引線端子可以代替導(dǎo)線使用。在這種情況下，引線端子的一端可以彈性地和設(shè)置在壓電板的第二主表面上的第二振動(dòng)體電極接觸，或可以通過(guò)使用焊料或?qū)щ娔z，固定地連接。
結(jié)合單端負(fù)載型振動(dòng)體，描述上述較佳實(shí)施例。本發(fā)明不限于此。還可以使用雙端負(fù)載型振動(dòng)體，它包含壓電板和附在壓電板的相對(duì)側(cè)上的兩個(gè)金屬板。
雖然已經(jīng)參照本發(fā)明的較佳實(shí)施例具體示出和描述了本發(fā)明，對(duì)熟悉本領(lǐng)域的人將知道，在不背離本發(fā)明的主旨的條件下，可以有上述和其它形式和細(xì)節(jié)上的變化。
權(quán)利要求
1.一種壓電聲學(xué)元件，其特征在于包含振動(dòng)體，包含大致上矩形的壓電板，所述壓電板具有第一主表面和第二主表面，第一振動(dòng)體電極設(shè)置在所述壓電板的第一主表面上，并且·大致上矩形的金屬板設(shè)置在所述壓電板的第二主表面上；安裝基片，包含設(shè)置在其上的第一電路電極和第二電路電極，第一電路電極連接到金屬板，第二電路電極連接到第一振動(dòng)體電極；支持部件，所述支持部件如此設(shè)置，從而振動(dòng)體通過(guò)所述支持部件，被安裝在安裝基片的縱向的相對(duì)的端部，由此在振動(dòng)體縱向相對(duì)的端部和安裝基片之間形成聲空隙；及彈性密封材料，密封所述安裝基片和振動(dòng)體的每一個(gè)橫向相對(duì)端部之間的空隙，由此限定了振動(dòng)體和按照基片之間的聲學(xué)空間，以及蓋子，所述蓋子具有設(shè)置在其中的聲釋放孔，所述蓋子粘合到安裝基片，從而不接觸振動(dòng)體地覆蓋了振動(dòng)體。
2.如權(quán)利要求1所述的壓電聲學(xué)元件，其特征在于支持部件由導(dǎo)電材料制成。
3.如權(quán)利要求2所述的壓電聲學(xué)元件，其特征在于振動(dòng)體的金屬板通過(guò)至少一個(gè)支持部件，固定地連接到設(shè)置在安裝基片上的第一電路電極。
4.如權(quán)利要求1所述的壓電聲學(xué)元件，其特征在于支持部件由絕緣材料制成。
5.如權(quán)利要求1所述的壓電聲學(xué)元件，其特征在于還包含導(dǎo)電線，其中設(shè)置在壓電板的第一主表面上的振動(dòng)體電極通過(guò)導(dǎo)電線，連接到設(shè)置在安裝基片上的第二電路電極。
6.如權(quán)利要求1所述的壓電聲學(xué)元件，其特征在于壓電板和金屬板具有大致上相同的尺寸。
7.如權(quán)利要求1所述的壓電聲學(xué)元件，其特征在于壓電板和金屬板具有不同的尺寸。
8.如權(quán)利要求1所述的壓電聲學(xué)元件，其特征在于振動(dòng)體是單端負(fù)載型振動(dòng)體。
9.如權(quán)利要求1所述的壓電聲學(xué)元件，其特征在于彈性的密封材料是硅橡膠。
10.如權(quán)利要求1所述的壓電元件，其特征在于將彈性密封材料施加到3振動(dòng)體的整個(gè)周圍表面。
11.一種壓電聲學(xué)元件，其特征在于包含振動(dòng)體，包含大致上矩形的壓電板，所述壓電板具有第一主表面和第二主表面，第一振動(dòng)體電極設(shè)置在壓電板的第一主表面上，并且大致上矩形的金屬板設(shè)置在壓電板的第二主表面上；安裝基片，包括設(shè)置在其上的第一電路電極和第二電路電極，第一電路電極連接到金屬板，第二電路電極連接到第一振動(dòng)體電極；及支持部件，所述支持部件如此安排，從而振動(dòng)體通過(guò)支持部件安裝到安裝基片上，從而在安裝基片和振動(dòng)體之間限定空隙。
12.如權(quán)利要求11所述的壓電聲學(xué)元件，其特征在于還包含密封安裝基片和振動(dòng)體橫向向相對(duì)端部中每一個(gè)端部之間的空隙的彈性密封材料，由此在振動(dòng)體和安裝基片之間限定了聲學(xué)空間。
13.如權(quán)利要求11所述的壓電元件，其特征在于還包含其中設(shè)置有聲釋放孔的蓋子，所述蓋子粘合到安裝基片，以便不接觸振動(dòng)體地覆蓋振動(dòng)體。
14.如權(quán)利要求11所述的壓電聲學(xué)元件，其特征在于支持部件由導(dǎo)電材料制成。
15.如權(quán)利要求14所述的壓電聲學(xué)元件，其特征在于振動(dòng)體的金屬板通過(guò)至少一個(gè)支持部件，固定地連接到設(shè)置在安裝基片上的第一電路電極。
16.如權(quán)利要求11所述的壓電聲學(xué)元件，其特征在于還包含導(dǎo)電線，其中設(shè)置在壓電板的第一主表面上的第一振動(dòng)體電極通過(guò)導(dǎo)電線連接到設(shè)置在安裝基片上的第二電路電極。
17.如權(quán)利要求11所述的壓電聲學(xué)元件，其特征在于壓電板和金屬板的尺寸大致上相同。
18.根據(jù)權(quán)利要求11所述的壓電聲學(xué)元件，其特征在于壓電板和金屬板具有不同尺寸。
19.如權(quán)利要求11所述的壓電聲學(xué)元件，其特征在于振動(dòng)體是單端負(fù)載型振動(dòng)體。
20.如權(quán)利要求12所述的壓電聲學(xué)元件，其特征在于將彈性密封材料施加到振動(dòng)體的整個(gè)周圍表面上。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種壓電聲學(xué)元件，包含單端負(fù)載型振動(dòng)體，安裝基片和蓋子。振動(dòng)體包含大致上矩形的壓電板和大致上矩形并結(jié)合到壓電板的背側(cè)的金屬板。振動(dòng)體的縱向的相對(duì)端部通過(guò)各自支持部件固定到安裝基片上。振動(dòng)體的金屬板通過(guò)一個(gè)支持部件固定地連接到位于安裝基片上的第一電極，而位于壓電板的前側(cè)上的電極通過(guò)導(dǎo)電線連接到位于安裝基片上的第二電極。用硅橡膠填充安裝基片和振動(dòng)體的側(cè)向相對(duì)端部中的每一個(gè)端部之間的空隙，由此在振動(dòng)體和安裝基片之間限定了聲空間。其中形成有聲釋放孔的蓋子結(jié)合到安裝基片，以便覆蓋振動(dòng)體不接觸該振動(dòng)體。
文檔編號(hào)H04R17/00GK1239394SQ99108409
公開(kāi)日1999年12月22日 申請(qǐng)日期1999年6月8日 優(yōu)先權(quán)日1998年6月11日
發(fā)明者山本隆, 竹島哲夫, 岸本健嗣 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所