專利名稱：：聲光元件、光偏轉器、光束掃描裝置及圖象記錄裝置的制作方法
技術領域：
：本發(fā)明涉及聲光元件、光偏轉器、光束掃描裝置及圖象記錄裝置，尤其是涉及利用聲光效應的聲光調制元件(AOM)或聲光偏轉元件(AOD)等聲光元件、光偏轉器、利用該聲光元件并在圖象記錄或圖象讀取中使用的光束掃描裝置、及利用該聲光元件進行圖象記錄的圖象記錄裝置。以往，已知一種利用聲光效應進行光偏轉的聲光偏轉元件(AcoustoOpticDeflector以下，簡稱AOD)。這種AOD，例如配置在光束掃描裝置等的光束的光路上，在由該AOD預先使例如掃描裝置的掃描光束偏轉以便對射向被照射體的光束照射位置進行校正等用途中使用?？墒牵谏鲜鯝OD中，作為利用在各向異性晶體內傳播的超聲波和在各向異性晶體內傳播的光波之間發(fā)生的各向異性布雷格衍射而進行光偏轉的AOD，已知一種采用能以低功率驅動的二氧化碲(TeO2)單晶體作為聲光媒體、利用沿TeO2晶體的[110]軸方向傳播、且向[1′10]軸方向(這里，1′意味著-1方向)偏移的橫波超聲波對入射到TeO2晶體內的光波進行衍射的結構(所謂的ON-[110]型光偏轉元件)。采用該TeO2的AOD與采用鈮酸鋰晶體或水晶的AOD相比，可以獲得較大的聲光性能指數(shù)，并能得到高的衍射效率。但是，ON-[110]型光偏轉元件對超聲波頻率變化的衍射效率變化特性不是平坦的，由于在中心頻率附近衍射效率明顯降低，因而衍射光的光量大幅度降低，所以存在著可使用頻帶窄的問題。另外，為了在ON-[110]型光偏轉元件中獲得高的衍射效率，必須使入射到光偏轉元件的光為圓偏振光，因而需要用于將從激光源射出的直線偏振光的激光變換為圓偏振光的λ/4偏振片，所以還存在著使成本增加的問題。作為能解決上述問題的AOD，已知一種使超聲波的傳播方向與TeO2晶體的[110]軸方向有很大傾斜的OFF-[110]型光偏轉元件(參照特開昭51-99039號公報)。如采用這種OFF-[110]型光偏轉元件，則能解決作為上述ON-[110]型光偏轉元件的問題的中心頻率附近的光量降低，同時，入射的激光也可以是直線偏振光，因而也就不需要λ/4偏振片了。但是，在OFF-[110]型光偏轉元件中，由于使超聲波的傳播方向與[110]軸方向有很大傾斜，所以作為聲光元件采用的TeO2晶體的尺寸必須比以往增大，因而存在著使成本增加的問題。同時，在光束掃描裝置中，當想要對射向被照射體的光束照射位置進行二維校正(移動)時，可考慮將2個AOD沿光束的光路串聯(lián)組合，并且配置成使2個AOD的光束偏轉方向相互正交(串列配置)，但如上所述的成本增加的問題將更為突出。本發(fā)明是為解決上述問題而開發(fā)的，所以其第1目的是提供一種能在寬的頻帶上獲得高衍射效率的低成本聲光元件、及利用該聲光元件的光束掃描裝置和圖象記錄裝置。本發(fā)明是考慮上述實際情況而完成的，所以其第2目的是得到一種能在寬的頻帶上以高衍射效率對入射光進行二維偏轉而且成本低的光偏轉器、及利用該光偏轉器的光束掃描裝置和圖象記錄裝置。為達到上述第1目的，第1發(fā)明將聲光元件配置成可以利用各向異性布雷格衍射、同時使各向異性晶體的光軸與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面不平行。更具體地說，第1發(fā)明將聲光元件配置成可以利用各向異性布雷格衍射、同時滿足使各向異性晶體的光軸與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面不平行而使入射光的偏光面與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面平行的條件、及使各向異性晶體的光軸與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面不平行并使入射光的偏光面與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面不平行的條件中的任何1個條件。由于配置成使各向異性晶體的光軸與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面不平行、并使入射光的偏光面與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面平行，所以，各向異性晶體的光軸對包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面構成傾斜規(guī)定角度后的狀態(tài)。另外，由于配置成使各向異性晶體的光軸與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面不平行、并使入射光的偏光面與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面不平行，所以，各向異性晶體的光軸對包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面構成傾斜規(guī)定角度后的狀態(tài)，并且，入射光的偏光面對包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面構成傾斜規(guī)定角度后的狀態(tài)。本發(fā)明者等通過實驗觀察發(fā)現(xiàn)，如果將聲光元件的方位調整到以往沒有調整過的布雷格角以外的方向并將聲光元件配置成使各向異性晶體的光軸與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面不平行，則不必使超聲波的傳播方向與各向異性晶體的[110]軸方向有很大傾斜，即能使衍射效率在寬的頻帶上得到提高，因而開發(fā)出本發(fā)明。通過以如上所述的方式配置聲光元件，不必增大各向異性晶體并使用直線偏振光，即能使衍射效率比以往提高。如果將聲光元件配置成使各向異性晶體的光軸與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面不平行，則能滿足使各向異性晶體的光軸與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面不平行而使入射光的偏光面與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面平行的條件、及使各向異性晶體的光軸與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面不平行并使入射光的偏光面與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面不平行的條件中的任何1個條件。更具體地說，確定以入射光的傳播方向為z軸、以入射光的偏光方向為x軸的xyz坐標系，將在各向異性晶體內傳播的超聲波傳播方向與x軸平行、且各向異性晶體的光軸與z軸一致的狀態(tài)作為初始狀態(tài)，并從初始狀態(tài)起圍繞與包含z軸和超聲波傳播方向的面垂直的軸轉動規(guī)定角度，以便能夠利用在各向異性晶體內傳播的超聲波和在各向異性晶體內傳播的光波之間產(chǎn)生的各向異性布雷格衍射，同時，圍繞與超聲波傳播方向同向的軸、或圍繞與超聲波傳播方向同向的軸和z軸2個軸轉動。即，其配置方式是，在將各向異性晶體的[110]方向與x軸平行、且使方向與z軸一致的狀態(tài)作為初始狀態(tài)時，從初始狀態(tài)起圍繞[110]方向的軸、或圍繞[110]方向的軸和z軸2個軸轉動，同時圍繞著與包含z軸和超聲波傳播方向的面垂直的軸轉動規(guī)定角度。當假定從初始狀態(tài)起圍繞與包含z軸和超聲波傳播方向的面垂直的軸轉動的角度為第1規(guī)定角度、圍繞[110]方向的軸轉動的角度為第2規(guī)定角度、圍繞z軸的轉動角度為第3規(guī)定角度時，在調整第1規(guī)定角度和第2規(guī)定角度的情況下，可以使第1規(guī)定角度為布雷格角(例如，約4°)、第2規(guī)定角度為大約3°以上、最好約為9°，如將這些角度設定在該范圍內則能使衍射效率為理想的值。另外，當同時調整第1～第3規(guī)定角度時，可以使第1規(guī)定角度為布雷格角(例如，約4°)、第2規(guī)定角度為大約3°以上、第3規(guī)定角度為約30°～90°，如將這些角度設定在該范圍內則能使衍射效率為理想的值。另外，還可以使第1規(guī)定角度為布雷格角(例如，約4°)、第2規(guī)定角度為約5°～10°、第3規(guī)定角度為約30°～90°，最好是使第1規(guī)定角度為布雷格角(例如，約4°)、第2規(guī)定角度為約7°～10°、第3規(guī)定角度為約45°～90°，更為理想的是使第1規(guī)定角度為布雷格角(例如，約4°)、第2規(guī)定角度為約9°～10°、第3規(guī)定角度為約70°～75°。當根據(jù)上述將第1～第3規(guī)定角度調整為最適當?shù)闹禃r，可在寬的頻帶上得到最高且平坦的衍射效率。另外，本發(fā)明的聲光元件最好是聲光偏轉元件。上述聲光元件可以應用于使光束掃描而進行圖象記錄的圖象記錄裝置、或使光束掃描而進行圖象讀取的圖象讀取裝置的光束掃描裝置。即，圖象記錄裝置在結構上備有激光束發(fā)生裝置，用于發(fā)生多條激光束；多個上述聲光元件，配置在各激光束的光路中，用于將激光束變更；及相對于圓筒的中心軸傾斜的反射面，還備有掃描裝置，通過以圓筒的中心軸為中心轉動，沿圓筒的內表面進行掃描；光學系統(tǒng)，用于將由上述聲光元件偏轉后的多條激光束入射到上述反射面；及控制裝置，生成用于使沿上述圓筒內表面形成的各激光束的掃描線平行而且在上述掃描裝置的同一掃描角范圍內使各激光束的掃描長度相等的超聲波，并使生成的超聲波在上述聲光元件內傳播。另外，為達到上述第2目的，第2發(fā)明的光偏轉器備有利用在各向異性晶體內傳播的超聲波和在各向異性晶體中傳播的光波之間產(chǎn)生的布雷格衍射的第1及第2聲光偏轉元件，由上述第1聲光偏轉元件偏轉后的光入射到上述第2聲光偏轉元件，該光偏轉器的特征在于將第1聲光偏轉元件配置成使第1聲光偏轉元件的各向異性晶體的光軸與包含入射到第1聲光偏轉元件的入射光傳播方向和上述各向異性晶體內的超聲波傳播方向的面不平行；將第2聲光偏轉元件配置成使第2聲光偏轉元件的偏轉方向與第1聲光偏轉元件的偏光方向交叉，并使第2聲光偏轉元件的各向異性晶體的光軸與包含入射到第2聲光偏轉元件的入射光傳播方向和上述各向異性晶體內的超聲波傳播方向的面不平行。在第2發(fā)明中，使第2聲光偏轉元件的偏轉方向與第1聲光偏轉元件的偏光方向交叉，同時按第1發(fā)明配置各偏轉元件。此外，第2發(fā)明中的入射光的偏光面，當入射光為直線偏振光時，指的是包含入射光偏光方向的面，當入射光為橢圓偏振光時，指的是包含入射光的偏光分量的長軸偏光方向的面。按照如上所述的方式，即可將各偏轉元件分別配置成滿足上述各條件中的任何1個條件。為了按如上所述的方式配置聲光偏轉元件，可以將入射光固定而調整聲光偏轉元件的方位，也可以將聲光偏轉元件固定而調整入射光的傳播方向，還可以對聲光偏轉元件的方位和入射光的傳播方向二者都進行調整。本發(fā)明者等通過實驗觀察發(fā)現(xiàn)，對于將第1及第2聲光偏轉元件配置成使由第1聲光偏轉元件偏轉后的光入射到第2聲光偏轉元件、且與入射光對應的偏轉方向相互交叉從而能對入射光進行二維偏轉的光偏轉器，如果配置各偏轉元件使光偏轉器的各偏轉元件的各向異性晶體的光軸與包含各偏轉元件的入射光傳播方向和各偏轉元件的各向異性晶體內的超聲波傳播方向的面不平行，則能在寬的頻帶上得到高的衍射效率，因而開發(fā)出本發(fā)明。通過按如上所述的方式配置光偏轉器的各偏轉元件，不必增大各向異性晶體的尺寸并使用直線偏振光作為入射光，即可使衍射效率比以往提高，并能以低成本得到可以在寬的頻帶上以高衍射效率對入射光進行二維偏轉的光偏轉器。具體地說，當按如上所述的方式配置光偏轉器的各偏轉元件并將入射光固定而調整各偏轉元件的方位時，第1聲光偏轉元件的配置方式可以是，在確定了以對第1聲光偏轉元件的入射光傳播方向為z軸、以上述入射光的偏光方向為x軸的xyz坐標系后，將第1聲光偏轉元件的各向異性晶體內的超聲波傳播方向與x軸平行、且上述各向異性晶體的光軸與z軸一致的狀態(tài)作為初始狀態(tài)，并從該初始狀態(tài)起，圍繞與上述超聲波傳播方向同向的軸轉動，同時圍繞與包含z軸及上述超聲波傳播方向的面垂直的軸轉動規(guī)定角度；第2聲光偏轉元件的配置方式可以是，使第2聲光偏轉元件的偏轉方向與第1聲光偏轉元件的偏轉方向交叉，并在確定了以對第2聲光偏轉元件的入射光傳播方向為z′軸、以上述入射光的偏光方向為x′軸的x′y′z′坐標系后，將第2聲光偏轉元件的各向異性晶體內的超聲波傳播方向與x′軸平行、且上述各向異性晶體的光軸與z′軸一致的狀態(tài)作為初始狀態(tài)，并從該初始狀態(tài)起，圍繞與上述超聲波傳播方向同向的軸轉動，同時圍繞與包含z′軸及上述超聲波傳播方向的面垂直的軸轉動規(guī)定角度。即，第1聲光偏轉元件的配置方式是，在將第1聲光偏轉元件的各向異性晶體的[110]方向與入射光的偏光面平行、且使方向與z軸一致的狀態(tài)作為初始狀態(tài)時，從上述初始狀態(tài)起，圍繞[110]方向的軸轉動，同時圍繞與包含z軸及第1聲光偏轉元件的各向異性晶體內的超聲波傳播方向的面垂直的軸轉動規(guī)定角度；而第2聲光偏轉元件的配置方式是，在將第2聲光偏轉元件的各向異性晶體的[110]方向與入射光的偏光面平行、且使方向與z′軸一致的狀態(tài)作為初始狀態(tài)時，使第2聲光偏轉元件的偏轉方向與第1聲光偏轉元件的偏轉方向交叉，并從上述初始狀態(tài)起，圍繞[110]方向的軸轉動，同時圍繞與包含z′軸及第2聲光偏轉元件的各向異性晶體內的超聲波傳播方向的面垂直的軸轉動規(guī)定角度。當假定從第1聲光偏轉元件的初始狀態(tài)起、圍繞與包含z軸和超聲波傳播方向的面垂直的軸轉動的角度為第1聲光偏轉元件的第1規(guī)定角度、圍繞[110]方向的軸轉動的角度為第1聲光偏轉元件的第2規(guī)定角度；從第2聲光偏轉元件的初始狀態(tài)起、環(huán)繞與包含z′軸和超聲波傳播方向的面垂直的軸轉動的角度為第2聲光偏轉元件的第1規(guī)定角度、圍繞[110]方向的軸轉動的角度為第2聲光偏轉元件的第2規(guī)定角度時，在調整各偏轉元件的第1規(guī)定角度和第2規(guī)定角度時，可以使第1規(guī)定角度為布雷格角(例如，約4°)、第2規(guī)定角度為大約3°以上、最好約為9°，如將這些角度調整在該范圍內則能使衍射效率為理想的值。另外，如配置成使第1聲光偏轉元件還圍繞z軸轉動、并使第2聲光偏轉元件還環(huán)繞z′軸轉動，則是有效的。即，將第1聲光偏轉元件配置成從第1聲光偏轉元件的初始狀態(tài)起圍繞與包含z軸及超聲波傳播方向的面垂直的軸轉動第1規(guī)定角度，圍繞[110]方向的軸轉動第2規(guī)定角度，圍繞z軸轉動第3規(guī)定角度，同時，將第2聲光偏轉元件配置成從第2聲光偏轉元件的初始狀態(tài)起圍繞與包含z′軸及超聲波傳播方向的面垂直的軸轉動第1規(guī)定角度，圍繞[110]方向的軸轉動第2規(guī)定角度，圍繞z′軸轉動第3規(guī)定角度。上述各規(guī)定角度，可以使第1規(guī)定角度為布雷格角(例如，約4°)、第2規(guī)定角度為大約3°以上、第3規(guī)定角度為約30°～90°，如將這些角度設定在該范圍內則能使衍射效率為理想的值。另外，當同時調整第1及第2聲光偏轉元件的第1～第3規(guī)定角度時，可以使第1規(guī)定角度為布雷格角(例如，約4°)、第2規(guī)定角度為大約3°以上、第3規(guī)定角度為約30°～90°，最好是使第1規(guī)定角度為布雷格角(例如，約4°)、第2規(guī)定角度為約7°～10°、第3規(guī)定角度為約45°～90°，更為理想的是使第1規(guī)定角度為布雷格角(例如，約4°)、第2規(guī)定角度為約9°～10°、第3規(guī)定角度為約70°～90°，如能使第3規(guī)定角度為約70°～75°則更為令人滿意。當根據(jù)上述將第1～第3規(guī)定角度調整為最適當?shù)闹禃r，可在寬的頻帶上得到最高且平坦的衍射效率。另外，第1聲光偏轉元件的偏轉方向與第2聲光偏轉元件的偏光方向最好正交。在第1發(fā)明及第2發(fā)明中，作為各向異性晶體，可使用單軸晶體或二軸晶體，但最好是單軸晶體，TeO2尤為理想。另外，如將第1及第2聲光偏轉元件分別安裝在單獨的殼體里以構成本發(fā)明的光偏轉器，則在將該光偏轉器安裝在光束掃描裝置等內時，只要調整上述單獨殼體的方位，即可完成各偏轉元件的方位調整，因而是最適當?shù)?。上述光偏轉器還可以應用于使光束掃描而進行圖象記錄的圖象記錄裝置、或使光束掃描而進行圖象讀取的圖象讀取裝置等光束掃描裝置。即，圖象記錄裝置在結構上備有激光束發(fā)生器，用于發(fā)生多條激光束；多個上述光偏轉器，配置在各激光束的光路中，用于將激光束變更；及相對于圓筒的中心軸傾斜的反射面，還備有掃描裝置，通過以圓筒的中心軸為中心轉動，沿圓筒的內表面進行掃描；光學系統(tǒng)，將由上述光偏轉器偏轉后的多條激光束入射到上述反射面；及控制裝置，生成用于使沿上述圓筒內表面形成的各激光束的掃描線平行而且在上述掃描裝置的同一掃描角范圍內使各激光束的掃描長度相等的超聲波，并使生成的超聲波在上述光偏轉器內傳播。圖1是本發(fā)明實施形態(tài)的AOD的簡圖。圖2是用于說明在本發(fā)明實施形態(tài)中使AOD轉動的軸的AOD斜視圖。圖3是表示本發(fā)明實施形態(tài)的只與傾斜角θA的變化對應的衍射效率變化的曲線圖。圖4是表示本發(fā)明實施形態(tài)的與圍繞入射光傳播方向的軸的轉角θZ的變化對應的衍射效率變化的曲線圖。圖5是表示用于得到圖4的衍射效率的圍繞入射光傳播方向的軸的轉角θZ與傾斜角θA的關系的曲線圖。圖6是表示與入射光傳播方向的軸旋轉的轉角θZ的變化對應的衍射效率變化(衍射效率的頻率特性形狀呈峰值狀時)的曲線圖。圖7是表示入射光傳播方向的軸旋轉的轉角θZ為70°時與傾斜角θA的變化對應的衍射效率變化的曲線圖。圖8是表示本發(fā)明實施形態(tài)的一定頻帶上的衍射效率的曲線圖。圖9是本發(fā)明實施形態(tài)的圖象記錄裝置的簡圖。圖10是本發(fā)明實施形態(tài)的圖象記錄裝置的控制裝置的框圖。圖11是本發(fā)明實施形態(tài)的圖象記錄裝置的控制電路的框圖。圖12是表示本發(fā)明實施形態(tài)的圖象記錄裝置的控制時鐘信號的時序的曲線圖。圖13A是表示沒有對旋轉鏡的像的旋轉進行校正時的掃描線的圖。圖13B是表示對旋轉鏡的像的旋轉進行了校正時的掃描線的圖。圖13C是表示對掃描長度的差異進行了校正時的掃描線的圖。圖14是在將第1AOD及第2AOD串聯(lián)配置的光偏轉器中用于說明使各AOD轉動的軸的光偏轉器的斜視圖。圖15是表示使入射光傳播方向的軸旋轉的轉角θZ改變時從AOD射出的衍射光的長軸偏光方向θdi(這里，以入射光的偏光方向為基準(＝0°))的變化的曲線圖。圖16是分別表示當驅動頻率取不同值且使入射光傳播方向的軸轉動的轉角θZ改變時衍射光的偏光分量的長軸和短軸的比率變化的曲線圖。圖17A是表示用于說明光偏轉器的第1AOD及第2AOD的偏光方向正交及用于獲得高衍射效率的條件的對第1AOD的入射光的偏光方向的簡圖。圖17B是表示用于說明上述條件的第1AOD的方位的簡圖。圖17C是表示用于說明上述條件的從第1AOD射出的衍射光的偏光方向的簡圖。圖17D是表示用于說明上述條件的第2AOD的方位的簡圖。圖17E是表示用于說明上述條件的從第2AOD射出的衍射光的偏光方向的簡圖。圖18是分別表示使第1AOD的圍繞入射光傳播方向的軸的轉角θZ1為+80°、+90°、±0°、且使驅動頻率在規(guī)定頻帶內變化時第1AOD及第2AOD的總和的(光偏轉器的)衍射效率變化的曲線圖。圖19A是表示用于說明用于以光偏轉器獲得高衍射效率的其他條件的對第1AOD的入射光的偏光方向的簡圖。圖19B是表示用于說明上述其他條件的第1AOD的方位的簡圖。圖19C是表示用于說明上述其他條件的從第1AOD射出的衍射光的偏光方向的簡圖。圖19D是表示用于說明上述其他件的第2AOD的方位的簡圖。圖19E是表示用于說明上述其他條件的從第2AOD射出的衍射光的偏光方向的簡圖。圖20是表示本發(fā)明實施形態(tài)的圖象記錄裝置簡略結構的斜視圖。圖21是表示構成光偏轉器的第1AOD及第2AOD安裝在同一殼體內的狀態(tài)的斜視圖。圖22A是表示利用由旋轉鏡偏轉后的3條激光束在記錄紙上記錄的掃描線的平面圖。圖22B是表示使激光束向與x軸方向相當?shù)姆较蚱D而對像進行校正時的掃描線的平面圖。圖22C是表示還使激光束按二維偏轉而對掃描線長度的差異進行校正時的掃描線的平面圖。圖23A是表示使入射到旋轉鏡的反射面的激光束L0的入射方向僅向X軸方向偏移-θx時的斜視圖。圖23B是表示使上述入射方向僅向Y軸方向偏移-θy時的斜視圖。圖23C是表示使上述入射方向僅向X、Y軸方向偏移-θxy時的斜視圖。圖24A是說明入射到旋轉鏡的反射面的3條激光束的光點投射在與記錄紙共軛的面S′上時的示意圖。圖24B是表示在面S′上的各激光束的光點軌跡的平面圖。圖25是本實施形態(tài)的圖象記錄裝置的簡略框圖。圖26是用于說明求取當?shù)?AOD的偏轉方向和第2AOD的偏轉方向非正交時用于使激光束的光點軌跡為正圓的條件的過程的示意圖。以下，參照附圖詳細說明第1發(fā)明的實施形態(tài)。首先，說明將本發(fā)明應用于采用TeO2單晶體的ON-[110]型偏轉器(AOD)的情況。如圖1所示，該AOD由頭部斜切的TeO2單晶體10及轉換器12構成，該轉換器12粘貼在TeO2單晶體的底部，用于產(chǎn)生沿晶體的[110]方向傳播并向[1′10]方向偏移的橫波超聲波。在TeO2單晶體的頭部還可以粘貼吸聲材料(圖中未示出)。另外，如圖1和圖2所示，確定使z軸與入射光的傳播方向一致、x軸與入射光的偏光方向一致、而y軸由x軸和z軸按右手坐標系決定的xyz坐標系。另外，如圖1所示，假定在TeO2單晶體10內傳播的超聲波的傳播方向即晶體的[110]方向與x軸平行、且作為光軸的方向與z軸一致的狀態(tài)為初始狀態(tài)。并且，分別如圖2所示確定用于從該初始狀態(tài)調整AOD的方位的圍繞3個軸轉動的角度，即布雷格角θB、傾斜角θA、圍繞入射光傳播方向的軸的轉角θZ。布雷格角θB是AOD在包含入射光傳播方向(z軸)和超聲波傳播方向的平面內的轉動、即圍繞與由z軸和超聲波傳播方向形成的平面垂直的B軸的轉動。該布雷格角θB，假定當從z軸的正向側向超聲波傳播方向的正向轉動時，即當對著軸B的正向按右旋方向轉動時為正，當超聲波傳播方向與z軸垂直時，θB＝0。傾斜角θA是圍繞超聲波傳播方向的軸的轉動、即圍繞[110]方向的軸A的轉動。該傾斜角θA，假定當對著超聲波傳播方向按右旋方向轉動時為正，當晶體的光軸與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面平行時，θA＝0。圍繞入射光傳播方向的軸的轉角θZ是圍繞z軸的轉動，假定當對著z軸方向的正向按右旋方向轉動時為正，當超聲波傳播方向與x軸平行時(入射光的偏光面與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面平行時)，θZ＝0。對轉換器12施加功率為0.25W的高頻信號使超聲波傳播，同時將偏光方向為x軸方向的激光束從z軸方向入射，改變傾斜角θA，并進行調整使布雷格角θB滿足布雷格條件，這時的衍射效率特性示于圖3，改變圍繞入射光傳播方向的軸的轉角θZ，調整傾斜角θA，使得在各圍繞入射光傳播方向的軸的轉角θZ下衍射效率達到最大，并進行調整使布雷格角θB滿足布雷格條件，這時的中心頻率76、80、84MHz的衍射效率特性示于圖4。此外，這時的圍繞入射光傳播方向的軸的轉角θZ與傾斜角θA的關系示于圖5。另外，當相對于同一轉角θZ而調整傾斜角θA時，由本發(fā)明者等對所得到的2種特性進行了確認，上述圖4的衍射效率的頻率特性有時是平坦的(衍射效率與頻率無關大致保持一定)，但作為參考在圖6中示出衍射效率的頻率特性形狀呈峰值狀(衍射效率在中心頻率處高，在周圍較低)的情況。從圖3可以看出，與象以往那樣只調整布雷格角θB時(θB≈4°，θZ＝θA＝0°)的衍射效率(在80MHz下約為58％)相比，由于對布雷格角θB和傾斜角θA兩個角度都進行調整，所以衍射效率提高。特別是，在θA≈±9°時，衍射效率η達到η≈95％。而在θA≈±6°～±9°時，衍射效率η為η≈80～95％，在θA≈±4°～±9°時，衍射效率η為η≈70～95％。如使衍射效率η比以往的衍射效率高大約10％，則只須使傾斜角θA在大約3°以上即可。另外，從圖4可以看出，與象以往那樣進行調整時相比，由于在調整布雷格角θB的同時，還在正或負的方向上調整圍繞入射光傳播方向的軸的轉角θZ及傾斜角θA，所以衍射效率提高。特別是，在θZ≈±(70°～75°)、θA≈±(9°～10°)時，衍射效率η達到η≈95％。而在θZ≈±(45°～90°)、θA≈±(7°～10°)時，衍射效率η為η≈80～95％，在θZ≈±(30°～90°)、θA≈±(5°～10°)時，衍射效率η為η≈70～95％。以上是布雷格角θB為正的情況，當布雷格角θB為負(θB≈-4°)時也同樣，如歸納衍射效率達到峰值(約95％)的情況則如以下的表1所示。</tables>此外，還在圖7示出將圍繞入射光傳播方向的軸的轉角θZ固定為從圖4得到的衍射效率達到峰值的角度、例如θZ＝70°并改變傾斜角θA時的衍射效率特性。從圖7可以看出，即使是在將圍繞入射光傳播方向的軸的轉角θZ固定并只改變傾斜角θA的情況下，在將傾斜角θA調節(jié)到θA≈1.5°以上時仍能使衍射效率比以往提高，衍射效率，當θA≈9°時約為95％，當θA≈4.5°以上時約為80～95％，當θA≈3°以上時約為70～95％。因此，在調整圍繞入射光傳播方向的軸的轉角θZ及傾斜角θA的情況下，當從獲得最大衍射效率的狀態(tài)將圍繞入射光傳播方向的軸的轉角θZ固定而改變傾斜角θA時，如傾斜角θA在大約1.5°以上，則與以往相比可以使衍射效率提高，當傾斜角θA在大約3°以上時，可得到約為70～95％的衍射效率，而當傾斜角θA在大約4.5°以上時，可得到約為80～95％的衍射效率。以上所述是中心頻率的結果，但即使在規(guī)定的頻帶上與以往相比也能使衍射效率得到提高。在圖8中，示出表1的衍射效率達到峰值的條件之一的θZ＝70°、且θA＝9°的衍射效率頻率特性、使圍繞入射光傳播方向的軸的轉角θZ為90°(θA＝9°)的衍射效率頻率特性、及以往的衍射效率頻率特性(θZ＝θA＝0°)。在本實施形態(tài)中，在規(guī)定的頻帶上衍射效率與以往相比得到提高。按照以上方式，由于在配置成能夠利用各向異性布雷格衍射的同時，將各向異性晶體的光軸配置成與包含入射光傳播方向及超聲波傳播方向的面不平行，所以能提高衍射效率。即，由于在配置成能夠利用各向異性布雷格衍射的同時，將各向異性晶體的光軸配置成與包含入射光傳播方向及超聲波傳播方向的面不平行而使入射光的偏光面與包含入射光傳播方向及超聲波傳播方向的面平行、或將各向異性晶體的光軸配置成與包含入射光傳播方向及超聲波傳播方向的面不平行并使入射光的偏光面與包含入射光傳播方向及超聲波傳播方向的面不平行，所以能提高衍射效率。另外，在上述中，說明了作為聲光媒體采用TeO2單晶體的例子，但本發(fā)明也可以使用PbMoO4等其他的單軸晶體或二軸晶體。此外，在上述中，對AOD進行了說明，但本發(fā)明對AOM也能適用。下面，參照在光束掃描裝置中利用了上述AOD的圓筒內表面掃描型圖象記錄裝置的實施形態(tài)。該圓筒內表面掃描型圖象記錄裝置備有激光束發(fā)生裝置，用于發(fā)生按規(guī)定方向排列的多條激光束；多個偏轉器，配置在各激光束的光路中，用于將激光束向與激光束排列方向正交的方向偏轉；及相對于圓筒中心軸傾斜的反射面；并且，在結構上還包括掃描裝置，通過以圓筒中心軸為中心轉動，沿圓筒內表面進行掃描；及光學系統(tǒng)，用于將由偏轉器偏轉后的多條激光束入射到掃描裝置的反射面上。如圖9所示，本實施形態(tài)的圖象記錄裝置備有發(fā)生激光束L的激光束發(fā)生器14、將由激光束發(fā)生器14發(fā)生的激光束分割成按規(guī)定方向排列的3條激光束L1、L2、L3的激光分離器16。在激光束L1的射出側，配置著將激光束L1向與激光束的排列方向正交的方向即圖9的y軸方向(在記錄紙上與激光束的排列方向正交的方向)偏轉、同時，按照圖象信息對激光束進行強度調制(通斷調制)的AOD18x，在激光束L2的射出側，配置著不對激光束L2進行偏轉并按照圖象信息對激光束進行通斷調制的AOD20，在激光束L3的射出側，配置著與AOD18x同樣將激光束L3向y軸偏轉、同時按照圖象信息對激光束進行通斷調制的AOD22x。AOD18x、20、22x，如上所述，將各向異性晶體的光軸配置成與包含入射光傳播方向及超聲波傳播方向的面不平行。另外，在本實施形態(tài)中，最好調整為θB≈4°、θZ≈70°、θA≈9°，也可使θZ≈0°而對θB和θA進行調整。在AOD18x、20、22x的激光束射出側，配置著將各激光束向x軸的負向反射的反射鏡24、26、28，在反射鏡的激光反射側，配置著對由這些反射鏡反射的激光束進行聚光的聚光透鏡30、具有對軸傾斜45°的反射面并以軸為中心由電機34帶動旋轉的圓柱狀旋轉鏡32。此外，記錄紙S被保持在展開后圖示的圓筒狀記錄筒36的內表面上，將旋轉鏡32配置成與記錄筒36的中心軸一致。在上述圖象記錄裝置中，如果從由激光束記錄的點在記錄紙S上沿x軸方向排列的狀態(tài)(圖9的狀態(tài))起將旋轉鏡32轉動90°，則如圖13A所示，隨著旋轉鏡32的轉動，點的排列轉動90°。即，點的排列隨旋轉鏡32的轉動而轉動，由不入射到旋轉鏡32的反射面中心的激光束L1、L3記錄的點為簡諧振動，因而由激光束L1、L3記錄的點的軌跡R1、R3為正弦波形狀。在這種情況下，由激光束L1記錄的點的軌跡與由激光束L3記錄的點的軌跡的相位相差180°。激光束L2，由于入射到旋轉鏡32的反射面的中心，所以由激光束L2記錄的點不是簡諧振動，由激光束L2記錄的點的軌跡R2為直線。在本實施形態(tài)中，為了對該點的排列的轉動進行校正以使各掃描線平行，設置著圖10所示的控制裝置。如圖10所示，控制裝置38與各AOD的轉換器連接?？刂蒲b置38備有控制電路40，根據(jù)來自安裝在電機34上的圖中未示出的旋轉編碼器的與電機轉動同步的轉動位置信號P、及在主掃描開始位置輸出的主掃描開始信號LSYNC，生成基本時鐘信號及控制時鐘信號；余弦波電壓信號生成電路42a，按照基本時鐘信號生成余弦波電壓信號(x＝-a·cosωt，其中，a為常數(shù)，ω為由基本時鐘信號決定的電機角速度，t為經(jīng)過時間)；余弦波電壓信號生成電路42c，按照基本時鐘信號生成其相位與上述相差180°的余弦波電壓信號(x＝a·cosωt)；及恒壓信號生成電路42b，用于生成恒壓信號。電壓信號生成電路42a、42b、42c，連接于從電壓信號生成頻率調制信號的電壓控制振蕩器(VCO)44a、44b、44c。另外，生成二值圖象信號的二值圖象信號生成電路48A與控制電路40連接，從VCO44a、44b、44c輸出的頻率調制信號由調制器46a、46b、46c按照來自二值圖象信號生成電路48A的二值圖象信號進行通斷調制，在由放大電路50a、50b、50c放大后，輸入到各AOD的轉換器。如上所述，通過將由余弦波電壓信號(x＝-a·cosωt、a·cosωt)調制后的電壓信號施加到AOD18x、22x的轉換器，可將通過AOD18x、22x的激光束從圖9的狀態(tài)(圖13A的0°位置)向y軸方向偏轉。這時，在記錄紙S上，通過AOD18x后的激光束的點由于向與點的排列方向正交的方向移動而向x軸的正向移動，通過AOD22x后的激光束的點由于向與點的排列方向正交的方向、且與通過AOD18x后的激光束的點相反的方向移動而向x軸的負向移動，通過這種偏轉，可以將正弦波形狀的簡諧振動抵消并使掃描線變成如圖13B所示的平行的直線。但是，由于各激光束的軌跡長度不同，所以，當如本實施例的形態(tài)那樣在-90°～90°的范圍內掃描時，如圖13B所示，在1行的掃描開始端側，由激光束L3記錄的點的軌跡R3，與由激光束L1、L2記錄的點的軌跡R1、R2分別相差Td1、Td2，在1行的掃描結束端側，分別相差Td3、Td2。因此，由于各軌跡按由激光束L1記錄的點的軌跡R1、激光束L2記錄的點的軌跡R2，激光束L3記錄的點的軌跡R3的順序變短，其掃描長度就變得不同了。在本實施形態(tài)中，為了對這種掃描長度的差異進行校正，在控制電路40內設有在圖11中示出的控制時鐘信號生成電路52?？刂茣r鐘信號生成電路52包括PLL電路54，用于從上述轉動位置信號P生成相位同步信號；基本時鐘信號生成電路56，根據(jù)上述主掃描開始信號LSYNC及PLL電路54的輸出生成基本時鐘信號B；計數(shù)器58A，用于對基本時鐘信號進行計數(shù)；查找表60，根據(jù)計數(shù)器58A的計數(shù)值輸出用于設定延遲量的延遲量設定信號；及延遲電路62a、62b、62c，根據(jù)延遲設定信號使來自基本時鐘信號生成電路56的基本時鐘信號延遲，并作為控制時鐘信號CL1、CL2、CL3輸出。該控制時鐘信號CL1、CL2、CL3被供給到上述二值圖象信號生成電路48A。用于對圖13B所示的偏差值進行校正并將由激光束記錄的點在記錄紙上按x軸方向排列用的延遲量，隨主掃描位置而不同。因此，查找表60的延遲量，對每條激光束按主掃描方向的掃描位置、即基本時鐘信號的每個脈沖預先確定。以下，說明上述實施形態(tài)的圖象記錄裝置的動作。來自安設在電機34上的圖中未示出的旋轉編碼器的轉動位置信號P輸入到PLL電路54，被進行相位控制，并生成相位同步信號。相位同步信號輸入到基本時鐘信號生成電路56，按照主掃描開始信號LSYNC的發(fā)生時序輸出圖12所示的基本時鐘信號B。基本輸出信號由計數(shù)器58A進行計數(shù)，同時被輸入到延遲電路62a、62b、62c。由計數(shù)器58A計數(shù)后的基本時鐘信號的計數(shù)值，供給查找表60。查找表60按照計數(shù)值、即按照記錄紙的主掃描方向的記錄位置根據(jù)對每條激光束L1、L2、L3預定的延遲量將延遲量設定信號輸入到各延遲電路62a、62b、62c。延遲電路62a、62b、62c根據(jù)所輸入的延遲量設定信號將基本時鐘信號作為控制時鐘信號CL1、CL2、CL3輸出?？刂茣r鐘信號CL1是控制由激光束L1記錄的二值圖象信號的輸出定時的信號，延遲電路62a根據(jù)延遲量設定信號，如圖12所示，將由激光束L1記錄的二值圖象信號的圖象記錄開始時間從基本時鐘信號的發(fā)生時刻、即主掃描開始信號LSYNC的發(fā)生時刻起僅延遲Td1，并且輸出使記錄結束時間與基本時鐘信號的主掃描結束時刻(第m個時鐘脈沖)一致的控制時鐘信號CL1?？刂茣r鐘信號CL2是控制由激光束L2記錄的二值圖象信號的輸出定時的信號，延遲電路62b根據(jù)延遲量設定信號，如圖12所示，將由激光束L2記錄的二值圖象信號的圖象記錄開始時間從主掃描開始信號LSYNC的發(fā)生時刻起僅延遲Td2，并且輸出使記錄結束時間從基本時鐘信號的主掃描結束時刻起僅延遲Td2的控制時鐘信號CL2?？刂茣r鐘信號CL3是控制由激光束L3記錄的二值圖象信號的輸出定時的信號，延遲電路62c根據(jù)延遲量設定信號，如圖12所示，使由激光束L3記錄的二值圖象信號的圖象記錄開始時間與主掃描開始信號LSYNC的發(fā)生時刻相同，并且輸出使記錄結束時間從基本時鐘信號的主掃描結束時刻起僅延遲Td3的控制時鐘信號CL3。另外，查找表的延遲量按照各主掃描位置設定，盡可能使各控制時鐘信號的脈沖間隔為等間隔。而如果相鄰的掃描線間的延遲位置重疊，則在網(wǎng)點的周期之間將有可能發(fā)生差拍而使圖象變得不均勻，所以查找表的延遲量在各掃描線之間最好是隨機地設定。按如上所述方式輸出的控制時鐘信號CL1、CL2、CL3被供給到二值圖象信號生成電路48A，二值圖象信號生成電路48A按照圖12所示的時序將二值圖象信號輸出到各調制器46a、46b、46c。另一方面，電壓信號生成電路42a、42b根據(jù)所輸入的基本時鐘信號生成余弦波電壓信號(x＝-a·cosωt、a·cosωt)，并將頻率調制信號通過VCO44a、44c輸入到調制器46a、46c，恒壓信號生成電路42b將頻率調制信號通過VCO44b輸入到調制器46b。因此，從電壓信號生成電路42a、42b、42c輸出的頻率調制信號，在調制器46a、46b、46c中由從二值圖象信號生成電路48A來的二值圖象信號進行通斷調制，在由放大電路50a、50b、50c放大后，輸入到各AOD的轉換器。由激光束發(fā)生器14發(fā)生并由光束分離器16分割后的激光束L1、L2、L3，由AOD18x、22x向y軸方向偏轉，同時按照二值圖象信號進行通斷調制，由反射鏡24、28反射后通過聚光透鏡30入射到旋轉鏡32。此外，激光束L2不由AOD20偏轉，而是按照二值圖象信號進行通斷調制，由反射鏡26反射后通過聚光透鏡30入射到旋轉鏡32。旋轉鏡32以x軸為中心旋轉，所以通過反射使激光束在記錄紙上進行掃描。在這種情況下，由二值圖象信號進行了通斷調制的激光束L1、L2，與激光束L3在同一記錄范圍內(圖13C)在記錄紙上記錄圖象。因此，能記錄到主掃描方向的記錄范圍相同且無畸變的高精度圖象。按照如上所述的本實施形態(tài)，由于將AOD配置成使各向異性晶體的光軸與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面不平行，所以能提供使衍射效率提高的低成本的圓筒內表面掃描型圖象記錄裝置。另外，在上述中說明了將本發(fā)明應用于圓筒內表面掃描型圖象記錄裝置的實施形態(tài)，但本發(fā)明對一面在副掃描方向上輸送記錄紙一面使激光束在主掃描方向進行掃描而進行記錄的平面掃描型圖象記錄裝置、或將記錄紙保持在記錄筒外表面并一面使記錄筒轉動一面使激光束在主掃描方向進行掃描而進行記錄的圓筒外表面掃描型圖象記錄裝置的光束掃描裝置也能適用。此外，本發(fā)明對使激光束掃描而進行讀取的各種讀取裝置也能適用。如上所述，由于將聲光元件配置成使各向異性晶體的光軸與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面不平行，所以不必增大各向異性晶體并使用直線偏振光，即可提供使衍射效率進一步提高的低成本聲光元件。另外，由于利用按如上所述方式配置的聲光元件，所以能提供使衍射效率進一步提高的低成本的光束掃描裝置及圖象記錄裝置。下面，說明在為了對入射光進行二維偏轉而以如上所述的聲光偏轉元件作為第1聲光偏轉元件并進一步將第1聲光偏轉元件與第2發(fā)明的第2聲光偏轉元件組合的情況下(本發(fā)明的光偏轉器)采用與第1聲光偏轉元件結構相同的偏轉元件(ON-[110]型TeO2偏轉元件)作為第2聲光偏轉元件時的例子。以下將第1聲光偏轉元件稱為第1AOD，將第2聲光偏轉元件稱為第2AOD。如圖14所示，將第2AOD配置成使從第1AOD射出的衍射光入射。對第2AOD確定由與對第2AOD的入射光傳播方向一致的z′軸、與對第2AOD的入射光偏光方向(在圖14中為了方便示出使對第2聲光偏轉元件的入射光偏光方向與對第1聲光偏轉元件的入射光偏光方向相差90°)一致的x′軸、由x′軸和z′軸按右手坐標系決定的y′軸構成的x′y′z′坐標系。此外，將使超聲波的傳播方向即晶體的[110]軸方向與x′軸一致、且使作為光軸的軸方向與z′軸一致的狀態(tài)作為第2AOD的初始狀態(tài)(參照圖1)。并且，為了區(qū)別與第2AOD對應的方位角，假定與第1AOD對應的布雷格角為θB1、傾斜角為θA1、圍繞入射光傳播方向的軸的轉角為θZ1，同時與對應于第1AOD的布雷格角θB1、傾斜角θA1、圍繞入射光傳播方向的軸的轉角θZ1一樣，作為從上述初始狀態(tài)調整第2AOD用的圍繞3個軸轉動的角度，分別定義為表示第2AOD在由對第2AOD的入射光傳播方向(z′軸)和超聲波傳播方向形成的面內的轉動(圍繞與由z′軸和超聲波傳播方向形成的面垂直的軸B′的轉動)的布雷格角θB′2；表示圍繞超聲波傳播方向的軸、即圍繞[110]軸方向的軸A′的轉動的傾斜角θA′2；表示圍繞對第2AOD的入射光傳播方向即z′軸的轉動的圍繞入射光傳播方向的軸的轉角θZ2′。與第2AOD對應的x′y′z′坐標系由從第1AOD射出的衍射光的偏光方向(及射出方向)決定，所以，當確定第2AOD的方位時，從第1AOD射出的衍射光的偏光方向及偏光狀態(tài)(直線偏振光或橢圓偏振光)成為主要問題。在圖15中，示出當使圍繞AOD的入射光傳播方向的軸的轉角θZ改變時從AOD射出的衍射光的長軸偏光方向θdi(這里，以入射光的偏光方向為基準(＝0°))的變化，在圖16中，示出當使圍繞AOD的入射光傳播方向的軸的轉角θZ改變時衍射光的偏光分量的長軸和短軸的比率變化。從圖15和圖16所示的關系可以看出，如果調整圍繞第1AOD及第2AOD的入射光傳播方向的軸的轉角和傾斜角，使其滿足例如以下條件，則第1AOD和第2AOD的偏轉方向正交，而且能得到高的衍射效率。第1AODθZ1≈+80°、θA1≈+10°第2AODθZ2≈-10°(θZ′2≈-80°)、θA′2≈+10°而θZ2是從xyz坐標系觀察圍繞第2AOD的入射光傳播方向的軸的轉角θZ＇2時的角度(假定對第1AOD的入射光偏光方向為0°時的角度)。參照圖17A～圖17E說明上述條件。圖17A～圖17E是用于說明根據(jù)上述條件調整第1AOD及第2AOD的方位時的圖。為了方便而將垂直于圖17A～圖17E的紙面的方向看作入射及衍射光的傳播方向，并從下起按圖17A～圖17E的順序分別示意地在圖17A示出對第1AOD的入射光的偏光方向、在圖17B示出第1AOD的方位、在圖17C示出從第1AOD射出的衍射光的偏光方向、在圖17D示出第2AOD的方位、在圖17E示出從第2AOD射出的衍射光的偏光方向。如圖17A所示，如假定對第1AOD的入射光的偏光方向為圖17A～圖17E的上下方向，則與第1AOD對應的xyz坐標系按如圖17A所示確定。由于從上列條件可知圍繞第1AOD的入射光傳播方向的軸轉動的角度為θZ1≈+80°，所以，如圖17B所示，將第1AOD圍繞入射光傳播方向的軸轉動+80°后配置。在圖17B中，空心箭頭表示超聲波的傳播方向。與圍繞第1AOD的入射光傳播方向的軸轉動的角度θZ1≈+80°對應的最佳傾斜角θA1，從圖5可知為θA1≈+10°。從圖4也可以清楚看出，由于將第1AOD調整到上述方位角，所以第1AOD的衍射效率可達到接近峰值的高值。當將第1AOD調整到上述方位角時，從第1AOD射出的衍射光的(長軸的)偏光方向，由圖15可知為θdi1≈+70°(參照圖17C)，從圖16也可以清楚看出，該衍射光基本上可以看作是直線偏振光。并且，以該衍射光的偏光方向為基準，如圖17C所示確定與第2AOD對應的x′y′z′坐標系。為了由第1AOD及第2AOD對入射光進行二維偏轉，必須使第1AOD的偏轉方向與第2AOD的偏轉方向交叉(最好是正交)。當使第2AOD的偏轉方向相對于第1AOD的偏轉方向正交時，從xyz坐標系觀察的圍繞第2AOD的入射光傳播方向的軸的轉角θZ2為θZ2＝θZ1-90°＝-10°。由于從第1AOD射出的衍射光的偏光方向θdi1為θdi1＝+70°，因此以該偏光方向為基準時的(從x′y′z′坐標系觀察的)圍繞第2AOD的入射光傳播方向的軸的轉角θZ′2為θZ′2＝θZ2-θdi1≈-80°。另外，與圍繞第2AOD的入射光傳播方向的軸轉動的角度θZ′2≈-80°對應的最佳傾斜角θA′2，從圖5可知為θA′2≈-10°。從圖4也可以清楚看出，由于將第2AOD調整到上述方位角，所以與從第1AOD射出的衍射光對應的第2AOD的衍射效率達到接近峰值的高值。并且，從圖15也可以清楚看出，當以對第2AOD的入射光的偏光方向為基準時從第2AOD射出的衍射光的偏光方向θdi′2為θdi′2＝-70°，所以從xyz坐標系觀察的從第2AOD射出的衍射光的偏光方向θdi2為θdi2＝θdi1+θdi′2≈-0°，并與對第1AOD的入射光的偏光方向基本一致。將第1AOD及第2AOD串聯(lián)配置時的第1AOD及第2AOD的總和的衍射效率頻率特性示于圖18。在圖18中，作為θZ1＝+80°示出的曲線，是將第1AOD及第2AOD按在前面說明過的條件配置時的頻率特性，將其與以往配置方法的衍射效率頻率特性進行比較后可以清地看出，在規(guī)定頻帶內的任何頻率上都比以往有大幅度的提高。在上述中舉例說明了配置成θZ1＝+80°的情況，但為使第1AOD及第2AOD的衍射效率都得到提高，也不限定于上述條件。例如當配置成θZ1＝-80°時，也存在獲得與上述條件同等的衍射效率的條件，而當取θB＜0時，也存在著獲得與上述條件同等的衍射效率的條件。此外，也不限定于|θZ1|＝+80°，例如也可以配置成|θZ1|＝+70°、或|θZ1|＝+85°。另外，在圖18中，作為θZ1＝+90°示出的曲線，是將圍繞第1AOD的入射光傳播方向的軸的轉角θZ1配置成θZ1＝+90°、將圍繞第2AOD的入射光傳播方向的軸的轉角θZ2配置成θZ2＝0°的情況，但可按照圍繞入射光傳播方向的軸的轉角θZ1、θZ2(準確地說應為θZ′2)，對第1AOD及第2AOD分別根據(jù)圖5對傾斜角進行適當?shù)恼{整，所以即使在這種情況下，衍射效率也比以往提高。另外，第1AOD的偏轉方向與第2AOD的偏轉方向也不一定非正交不可，在第1AOD的偏轉方向與第2AOD的偏轉方向交叉的這樣的條件下，也可以適當調整第1AOD及第2AOD的方位，使第1AOD的衍射效率及第2AOD的衍射效率大體上分別達到最大。例如當調整第1AOD及第2AOD的圍繞入射光傳播方向的軸的轉角及傾斜角以滿足下列條件時，即使是交叉而不是正交，也能使第1AOD的衍射效率及第2AOD的衍射效率大體上分別達到最大，所以作為光偏轉器能得到更高的衍射效率。第1AODθZ1≈+70°、θA1≈+10°第2AODθZ2≈-5°(θZ′2≈-70°)、θA′2≈+10°參照圖19A～圖19E說明上述條件。圖19是用于說明根據(jù)上述條件調整第1AOD及第2AOD方位時的圖，為了方便而將垂直于圖19A～圖19E的紙面的方向看作入射及衍射光的傳播方向，并從下起按圖19A～圖19E的順序分別示意地在圖19A示出對第1AOD的入射光的偏光方向、在圖19B示出第1AOD的方位、在圖19C示出從第1AOD射出的衍射光的偏光方向、在圖19D示出第2AOD的方位、在圖19E示出從第2AOD射出的衍射光的偏光方向。如圖19A所示，如假定對第1AOD的入射光的偏光方向為圖19的上下方向，則與第1AOD對應的xyz坐標系按如圖19A所示確定。由于從上列條件可知圍繞第1AOD的入射光傳播方向的軸轉動的角度為θZ1≈+70°，所以，如圖19B所示，將第1AOD圍繞入射光傳播方向的軸轉動+70°后配置。在圖19B中，空心箭頭表示超聲波的傳播方向。與圍繞第1AOD的入射光傳播方向的軸轉動的角度θZ1≈+70°對應的最佳傾斜角θA1，從圖5可知為θA1≈+10°。從圖4也可以清楚看出，由于將第1AOD調整到上述方位角，所以第1AOD的衍射效率大體上達到最大。當將第1AOD調整到上述方位角時，從第1AOD射出的衍射光的(長軸的)偏光方向，由圖15可知為θdi1≈+65°(參照圖19C)，從圖16也可以清楚看出，該衍射光基本上可以看作是直線偏振光。并且，以該衍射光的偏光方向為基準，如圖19C所示確定與第2AOD對應的x′y′z′坐標系。從圖4可以清楚看出，第2AOD相對于從第1AOD射出的衍射光的衍射效率大體上達到最大時從x′y′z′坐標系觀察的圍繞第2AOD的入射光傳播方向的軸的轉角θZ′2，為θZ′2≈+70°或-70°。為了由第1AOD及第2AOD對入射光進行二維偏轉，應使第1AOD的偏轉方向與第2AOD的偏轉方向交叉、且交叉角度最好是盡量接近90°的角度，所以取θZ′2≈-70°(參照圖19D)。此外，與圍繞第2AOD的入射光傳播方向的軸轉動的角度θZ′2≈-70°對應的最佳傾斜角θA′2，從圖5可知為θA′2≈-10°。由于從第1AOD射出的衍射光的(長軸的)偏光方向θdi1為θdi1≈+65°，所以從xyz坐標系觀察的圍繞第2AOD的入射光傳播方向的軸的轉角θZ2為θZ2＝θdi1+θZ′2＝-5°，第1AOD的偏轉方向與第2AOD的偏轉方向的交叉角度為交叉角度＝θZ1-θZ2＝75°(參照圖19E)。從圖4也可以清楚看出，通過將第1AOD及第2AOD調整到上述方位角，可使第1AOD及第2AOD的衍射效率大體上達到最大，所以將第1AOD及第2AOD串聯(lián)配置的光偏轉器的衍射效率也大體上達到最大。另外，從圖15也可以清楚看出，當以對第2AOD的入射光的偏光方向為基準時從第2AOD射出的衍射光的偏光方向θdi′2為θdi′2＝-65°，所以從xyz坐標系觀察的從第2AOD射出的衍射光的偏光方向θdi2為θdi2＝θdi1+θdi′2≈-0°，并與對第1AOD的入射光的偏光方向基本一致。另外，如上所述，即使在光偏轉器的第1AOD的偏轉方向與第2AOD的偏轉方向不是正交的情況下，如后文所述，如果對第1AOD及第2AOD的至少一個供給頻率調制相位錯開且振幅經(jīng)過調整的驅動信號，則仍能沿著相互正交的2個方向對入射到光偏轉器的光進行二維偏轉。按照以上方式，即使在將第1AOD和第2AOD串聯(lián)配置的光偏轉器中，在將各AOD配置成能夠利用各向異性布雷格衍射的同時，將各AOD的各向異性晶體的光軸分別配置成與包含各AOD的入射光傳播方向和各AOD的超聲波傳播方向的面不平行，所以仍能提高光偏轉器的衍射效率。其次，參照利用上述光偏轉器的圓筒內表面掃描型圖象記錄裝置的實施形態(tài)。如圖20所示，本實施形態(tài)的圖象記錄裝置備有發(fā)生激光束L的激光束發(fā)生器14、將由激光束發(fā)生器14發(fā)生的激光束分割成3條激光束L1、L2、L3的激光分離器16。在激光束L1的射出側，配置著光偏轉器18，該光偏轉器18包括將激光束L1向著與對入射到旋轉鏡32的激光束(關于旋轉鏡如后文所述)設定的XYZ坐標系中的X軸方向相當?shù)姆较蚱D的第1AOD18x、及將由第1AOD18x衍射后的激光束L1向與Y軸方向相當?shù)姆较蚱D同時按照圖象信息對激光束進行強度調制(通斷調制)的第2AOD18y。而在激光束L2的射出側，配置著不對激光束L2進行偏轉而按圖象信息對激光束進行通斷調制的AOD20，在激光束L3的射出側配置著光偏轉器22，該光偏轉器22包括將激光束L3向與X軸方向相當?shù)姆较蚱D的第1AOD22x、及將由第1AOD22x衍射后的激光束L3向與Y軸方向相當?shù)姆较蚱D同時按照圖象信息對激光束進行通斷調制的第2AOD22y。如圖21所示，光偏轉器18的第1AOD18x及第2AOD18y，以調整到各自的方位的狀態(tài)安裝在同一個殼體18A內。此外，在圖中雖然省略，但光偏轉器22的第1AOD22x及第2AOD22y，也以調整到各自的方位的狀態(tài)安裝在同一個殼體內。因此，通過調整與入射光對應的各光偏轉器的殼體的方位，即可完成第1AOD及第2AOD的方位調整，所以使本實施形態(tài)的圖象記錄裝置更容易制造。在本實施形態(tài)中，各殼體內的光偏轉器18的第1AOD18x及第2AOD18y、光偏轉器22的第1AOD22x及第2AOD22y的各自的方位，可以調整到前面說明過的條件、即布雷格角θB為θB≈4°、圍繞第1AOD的入射光傳播方向的軸的轉角θZ1為θZ1≈+80°、第1AOD的傾斜角θA1為θA1≈+10°、圍繞第2AOD的入射光傳播方向的軸的轉角θZ2為θZ2＝-10°、第2AOD的傾斜角θA′2為θA′2≈-10°。在光偏轉器18、AOD20、及光偏轉器22的激光束射出側，配置將各激光束向x軸的負向反射的反射鏡24、26、28，在這些反射鏡的反射側，配置著對從各反射鏡反射的激光束進行聚光的聚光透鏡30，具有對軸傾斜45°的反射面并以軸為中心由電機34帶動旋轉的圓柱狀旋轉鏡32。此外，記錄紙S被保持在展開后圖示的圓筒狀記錄筒36的內表面上，將旋轉鏡32配置成與記錄筒36的中心軸一致。在上述圖象記錄裝置中，如果從由激光束記錄的點在記錄紙S上沿M方向排列的狀態(tài)(圖20的狀態(tài))起將旋轉鏡32轉動90°，則如圖22A所示，點的排列轉動90°。即，點的排列隨旋轉鏡32的轉動而轉動，由不入射到旋轉鏡32的反射面中心的激光束L1、L3記錄的點為簡諧振動，因而由激光束L1、L3記錄的點的軌跡R1、R3為正弦波形狀。與此不同，當旋轉鏡32的反射面為圖23A所示方向(反射面的短軸與Y軸一致)時，如果將沿Z軸入射到反射面中心的激光束L0的對旋轉鏡32的入射方向僅向X軸方向偏移-θx，則由反射面反射的激光束在與X軸正交的平面上的照射位置沿Z軸偏移-Δz。如假定上述與X軸正交的平面是記錄紙S，則該激光束照射位置的偏移方向是圖20及圖22A～圖22C所示的M方向(與激光束隨旋轉鏡32轉動的掃描方向(θ方向)正交的方向)。因此，對激光束L1，通過由光偏轉器18的第1AOD18x將其向與X軸相當?shù)姆较蚱D，同時使偏轉量按余弦波狀變化使之抵消正弦波狀的振動，可以使如圖22A所示的激光束L1的軌跡成為沿掃描方向的直線。而對激光束L3，通過由光偏轉器22的第1AOD22x將其向與X軸相當?shù)姆较蚱D，同時使偏轉量按余弦波狀變化使之抵消正弦波狀的振動，可以使如圖22A所示的激光束L3的軌跡成為沿掃描方向的直線。因此，可以使由激光束L1、L2、L3形成的3條掃描線互相平行，但由各激光束形成的掃描線端部的位置，如圖22B所示，彼此存在偏差。為了將各掃描線端部的位置對齊，還必須使激光束對記錄紙S的照射位置向掃描方向(θ方向)偏移。與此不同，當旋轉鏡32的反射面為圖23B所示方向(反射面的短軸與Y軸一致與前面說明過的圖23A所示方向相同)時，如果將沿Z軸入射到反射面中心的激光束L0的對旋轉鏡32的入射方向僅向Y軸方向偏移-θy，則由反射面反射的激光束在與X軸正交的平面上的照射位置沿Y軸偏移-θy。如假定上述與X軸正交的平面是記錄紙S，則該激光束照射位置的偏移方向是圖20及圖22A～圖22C所示的θ方向(激光束隨旋轉鏡32轉動的掃描方向)。因此，作為例子，如圖23C所示，通過使激光束L0的對旋轉鏡32的入射方向向X軸方向和Y軸方向偏移(在圖中僅向X、Y軸偏移θxy)，便可以對激光束的照射位置進行二維偏移。如圖24所示，如設旋轉鏡32的角速度為ω，則當入射到旋轉鏡32的反射面的激光束L1、L2、L3的光點投射在與記錄紙S共軛的面S′上時，在面S′上的L1及L3的光點隨著旋轉鏡32轉動的軌跡是用下式表示的圓(參照圖24B)。激光束L1X＝-a·cosωt，Y＝-a·sinωt…(1)激光束L3X＝a·cosωt，Y＝a·sinωt…(2)因此，通過由光偏轉器18的第1AOD18x、第2AOD18y將激光束L1按上列式(1)向與X軸方向相當?shù)姆较蚣芭cY軸方向相當?shù)姆较蚱D、并由光偏轉器22的第1AOD22x、第2AOD22y將激光束L1按上列式(2)向與X軸方向相當?shù)姆较蚣芭cY軸方向相當?shù)姆较蚱D，總是能使激光束L1、L2、L3以一定間隔沿Z軸方向(記錄紙S上的M方向)排列，并如圖22C所示，能使激光束L1、L2、L3相互平行而且能將其端部位置對齊。根據(jù)上述，在本實施形態(tài)中，設有在圖25中示出的控制裝置38。如圖25所示，控制裝置38與各AOD的轉換器連接?？刂蒲b置38備有控制電路40?？刂齐娐?0與安裝在電機34上的圖中未示出的旋轉編碼器連接，并根據(jù)從旋轉編碼器輸入的與電機轉動同步的轉動位置信號P、及主掃描開始信號LSYNC生成時鐘信號?？刂齐娐?0連接著余弦波電壓信號生成電路42、正弦波電壓信號生成電路44、恒壓信號生成電路46、余弦波電壓信號生成電路48、正弦波電壓信號生成電路50。余弦波電壓信號生成電路42根據(jù)從控制電路40輸入的時鐘信號生成余弦波電壓信號X＝-a·cosωt(其中，a為常數(shù)，ω為由時鐘信號表示的電機34(旋轉鏡32)的角速度，t為經(jīng)過時間)。而正弦波電壓信號生成電路44根據(jù)從控制電路40輸入的時鐘信號生成正弦波電壓信號Y＝-a·sinωt。另外，恒壓信號生成電路46生成恒定電壓的信號。余弦波電壓信號生成電路48根據(jù)從控制電路40輸入的時鐘信號生成余弦波電壓信號X＝a·cosωt。而正弦波電壓信號生成電路50根據(jù)從控制電路40輸入的時鐘信號生成正弦波電壓信號Y＝a·sinωt。上述電壓信號生成電路42～50，連接于輸出其頻率與所輸入的信號電壓電平對應的高頻信號的電壓控制振蕩器(VCO)52A、52B、52C、52D、52E。因此，從VCO52A輸出按照余弦波電壓信號X＝-a·cosωt進行頻率調制后的高頻信號，從VCO52B輸出按照正弦波電壓信號Y＝-a·sinωt進行頻率調制后的高頻信號，從VCO52D輸出按照余弦波電壓信號X＝a·cosωt進行頻率調制后的高頻信號，從VCO52E輸出按照正弦波電壓信號Y＝a·sinωt進行頻率調制后的高頻信號。此外，還從VCO52C輸出固定頻率的高頻信號。VCO52A的輸出端通過放大器56A與光偏轉器18的第1AOD18x的轉換器連接，VCO52D的輸出端通過放大器56D與光偏轉器22的第1AOD22x的轉換器連接。從VCO52A、52D輸出的信號經(jīng)放大器56A、56D放大后分別輸入到第1AOD18x、第1AOD22x的轉換器。另外，VCO52B的輸出端通過調制器54A、放大器56B與光偏轉器18的第2AOD18y的轉換器連接，VCO52C的輸出端通過調制器54B、放大器56C與AOD20的轉換器連接，VCO52E的輸出端通過調制器54C、放大器56E與光偏轉器22的第2AOD22y的轉換器連接。此外，二值圖象信號生成電路58與控制電路40連接，二值圖象信號生成電路58的輸出端分別連接于調制器54A、54B、54C。二值圖象信號生成電路58按照與從控制電路40輸入的時鐘信號同步的時序向調制器54A、54B、54C輸出二值圖象信號。從VCO52B、VCO52C、VCO52E輸出的高頻信號，由調制器54A、54B、54C按照從二值圖象信號生成電路58輸入的二值圖象信號分別進行通斷調制，在由放大電路56B、56C、56E放大后，分別輸入到第2AOD18y、AOD20、第2AOD22y的轉換器。以下，說明圖象記錄裝置的動作。由激光束發(fā)生器14發(fā)生的激光束L由光束分離器16分割成激光束L1、L2、L3。從光束分離器16射出的激光束L2入射到AOD20。由于對AOD20的轉換器輸入按二值圖象信號進行通斷調制后的固定頻率的高頻信號，所以入射到AOD20的激光束L2，不向與X軸方向相當?shù)姆较蚣芭cY軸方向相當?shù)姆较蚱D(衍射)，只按二值圖象信號進行通斷調制后從AOD20射出，由反射鏡26反射，并通過聚光透鏡30入射到旋轉鏡32。另外，從光束分離器16射出的激光束L1，入射到光偏轉器18的第1AOD18x。由于對第1AOD18x的轉換器輸入按余弦波電壓信號X＝-a·cosωt進行頻率調制后的高頻信號，所以，入射到第1AOD18x的激光束L1向與x軸相當?shù)姆较蚱D(衍射)，同時其偏轉量不時地隨X＝-a·cosωt變化，并從第1AOD18x射出，入射到光偏轉器18的第2AOD18y。另外，由于對第2AOD18y的轉換器輸入按正弦波電壓信號Y＝-a·sinωt進行頻率調制、同時按二值圖象信號進行通斷調制后的高頻信號，所以，入射到第2AOD18y的激光束L1向與y軸相當?shù)姆较蚱D，同時其偏轉量不時地隨Y＝-a·sinωt變化，并進一步按照二值圖象信號進行通斷調制后從第2AOD18y射出。從第2AOD18y射出的激光束L1由反射鏡24反射后，通過聚光透鏡30入射到旋轉鏡32。另外，從光束分離器16射出的激光束L3入射到光偏轉器22的第1AOD22x。由于對第1AOD22x的轉換器輸入按余弦波電壓信號X＝a·cosωt進行頻率調制后的高頻信號，所以，入射到第1AOD22x的激光束L3向與x軸相當?shù)姆较蚱D(衍射)，同時其偏轉量不時地隨X＝a·cosωt變化，并從第1AOD22x射出，入射到光偏轉器22的第2AOD22y。另外，由于對第2AOD22y的轉換器輸入按正弦波電壓信號Y＝a·sinωt進行頻率調制、同時按二值圖象信號進行通斷調制后的高頻信號，所以，入射到第2AOD22y的激光束L3向與y軸相當?shù)姆较蚱D，同時其偏轉量不時地隨Y＝a·sinωt變化，并進一步按照二值圖象信號進行通斷調制后從第2AOD22y射出。從第2AOD22y射出的激光束L3由反射鏡28反射后，通過聚光透鏡30入射到旋轉鏡32。由于旋轉鏡32以z軸為中心轉動，所以入射到旋轉鏡32的3條激光束L1、L2、L3，由旋轉鏡32的反射面反射，從而對記錄紙S進行掃描。激光束L1由光偏轉器18按照式(1)向與x軸相當?shù)姆较蚣芭cy軸相當?shù)姆较蚱D，激光束L3由光偏轉器22按照式(2)向與x軸相當?shù)姆较蚣芭cy軸相當?shù)姆较蚱D，所以，如圖22C所示，能使由激光束L1、L2、L3在記錄紙S上形成的3條掃描線相互平行而且能將其端部位置對齊。因此，能在記錄紙S上高精度地記錄圖象，并使構成圖象的各掃描線的主掃描方向的記錄范圍相同且無畸變。另外，在本實施形態(tài)中，如上所述，由于將光偏轉器18的第1AOD18x及第2AOD18y、光偏轉器22的第1AOD22x及第2AOD22y的各自的方位調整成使布雷格角θB為θB≈4°、圍繞第1AOD的入射光傳播方向的軸的轉角θZ1為θZ1≈+80°、第1AOD的傾斜角θA1為θA1≈+10°、圍繞第2AOD的入射光傳播方向的軸的轉角θZ2為θZ2＝-10°、第2AOD的傾斜角θA′2為θA′2≈+10°，所以第1AOD及第2AOD的總和的衍射效率與以往相比非常高，能有效地利用從激光束發(fā)生器14射出的激光束能量進行圖象記錄。在上述中舉例說明了將光偏轉器18的第1AOD18x及第2AOD18y、光偏轉器22的第1AOD22x及第2AOD22y的各自的方位調整成使布雷格角θB為θB≈4°、圍繞第1AOD的入射光傳播方向的軸的轉角θZ1為θZ1≈+80°、第1AOD的傾斜角θA1為θA1≈+10°、圍繞第2AOD的入射光傳播方向的軸的轉角θZ2為θX2＝-10°、第2AOD的傾斜角θA′2為θA′2≈+10°、即，調整到使第1AOD的偏轉方向與第2AOD的偏轉方向正交的情況，但為了對入射光進行二維偏轉，只要至少使第1AOD的偏轉方向與第2AOD的偏轉方向交叉即可，例如，也可將第1AOD及第2AOD的方位調整到使布雷格角θB為θB≈4°、圍繞第1AOD的入射光傳播方向的軸的轉角θZ1為θZ1≈+70°、第1AOD的傾斜角θA1為θA1≈+10°、圍繞第2AOD的入射光傳播方向的軸的轉角θZ2為θZ2＝-5°、第2AOD的傾斜角θA′2為θA′2≈+10°。因此，能使第1AOD的衍射效率及第2AOD的衍射效率大體上分別達到最大，第1AOD及第2AOD的總和的衍射效率也大體上達到最大。但是，在這種情況下，第1AOD的偏轉方向和第2AOD的偏轉方向的至少一方在對入射到旋轉鏡32的入射光設定的XYZ坐標系中要從與X軸方向相當?shù)姆较蚧蚺cY軸方向相當?shù)姆较蚱x，所以如果以與第1AOD的偏轉方向和第2AOD的偏轉方向正交的情況同樣的方式對第1AOD和第2AOD進行驅動，則存在如下問題，即當入射到旋轉鏡32的反射面的激光束L1、L2、L3的光點投射在與記錄紙S共軛的面S′上時(參照圖24A)，在面S′上的激光束L1及L3的光點軌跡就不是用式(1)和式(2)表示的正圓而是橢圓了。與此不同，如果改變輸入到第1AOD和第2AOD的轉換器的高頻信號的頻率調制相位和振幅(改變輸入到VCO52的余弦波電壓信號和正弦波電壓信號的相位和振幅)并改變第1AOD和第2AOD的激光束偏轉量，則可以使激光束L1及L3的光點軌跡成為用式(1)和式(2)表示的正圓。以下，求取在使第1AOD的偏轉方向和第2AOD的偏轉方向非正交的情況下用于使光點的軌跡成為正圓的第1AOD和第2AOD的偏轉量。作為例子，如圖26所示，假定用單位矢量i0、j0表示使第1AOD的偏轉方向和第2AOD的偏轉方向正交時的各AOD的偏轉方向，用單位矢量i、j表示使第1AOD的偏轉方向和第2AOD的偏轉方向非正交時(這時的交叉角為θ)的各AOD的偏轉方向。如用正交著的單位矢量i0、j0及非正交的單位矢量i、j表示任意位置的矢量，則x＝a0·i0+b0·j0…(3)x＝a·i+b·j…(4)系數(shù)a0、b0與系數(shù)a、b的關系為a＝a0-cotθ·b0…(5)b=1sinθ·b0.....(6)]]>以下，將矢量x看作激光束的光點位置，并求取用于使光點軌跡(矢量x的軌跡)成為正圓的條件。如采用單位矢量i0、j0表示光點的軌跡(正圓)，則式(3)的系數(shù)a0、b0為時間函數(shù)，并表示如下。a0(t)＝cos(ωt+φ)…(7)b0(t)＝sin(ωt+φ)…(8)式中，φ表示t＝0時的相位，并假定t＝0(假定光點位置與矢量i0一致時為t＝0)時φ＝0。此外，在式(7)和式(8)中，假定光點沿著從單位矢量i0向單位矢量j0的方向(圖26中的順時針方向)旋轉。接著，如通過將式(7)和式(8)代入式(5)和式(6)求取用單位矢量i0、j0表示光點軌跡(正圓)時的式(4)的系數(shù)a、b，則可得下式。a(t)=1cos(tan-1(cotθ))·cos(ωt+φ+tan-1(cotθ))....(9)]]>b(t)=1sinθ·sin(ωt+φ).....(10)]]>這里，如定義非正交角θC為θC＝π/2-θ，則因cotθ＝tanθC，所以式(9)和式(10)變?yōu)閍(t)=1cosθ·cos(ωt+φ+θC).......(11)]]>b(t)=1cosθ·sin(ωt+φ).....(12)]]>因此，即使是第1AOD的偏轉方向和第2AOD的偏轉方向非正交(θ≠90°)時，也可以使第1AOD的偏轉量和第2AOD的偏轉量按式(11)和式(12)所示變化，即，與第1AOD的偏轉方向和第2AOD的偏轉方向正交時相比，第1AOD和第2AOD的偏轉量分別增大1/cosθ倍，而且，一個AOD的偏轉量變化相位與另一個AOD的偏轉量變化相位僅相差θC，所以，如果改變輸入到第1AOD和第2AOD的高頻信號的頻率調制相位和振幅，則能夠使激光束的光點軌跡成為正圓。另外，在上述中說明了使用TeO2單晶體的例，但也可以使用PbMoO4等其他的單軸晶體或二軸晶體。另外，在上述中舉例說明了本發(fā)明的作為光束掃描裝置的圖象記錄裝置，但并不限于此，也可以應用于使光束在被照射體上掃描并檢測使被照射體反射或透射的光束的光量以讀取記錄在被照射體上的圖象的圖象讀取裝置等其他光束掃描裝置。如上所述，由于將第1聲光偏轉元件配置成使第1聲光偏轉元件的各向異性晶體的光軸與包含入射到第1聲光偏轉元件的入射光傳播方向和在第1聲光偏轉元件的各向異性晶體內的超聲波傳播方向的面不平行，同時將第2聲光偏轉元件配置成使第2聲光偏轉元件的偏轉方向與第1聲光偏轉元件的偏光方向交叉，并使第2聲光偏轉元件的各向異性晶體的光軸與包含入射到第2聲光偏轉元件的入射光傳播方向和在第2聲光偏轉元件的各向異性晶體內的超聲波傳播方向的面不平行，所以能在寬的頻帶上以高的衍射效率對入射光進行二維偏轉，并能獲得低成本的光偏轉器。另外，利用上述光偏轉器能得到使衍射效率提高的低成本的光束掃描裝置及圖象記錄裝置。權利要求1.一種聲光元件，它利用在各向異性晶體內傳播的超聲波和在各向異性晶體內傳播的光波之間發(fā)生的各向異性布雷格衍射，該聲光元件的特征在于配置成使各向異性晶體的光軸與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面不平行。2.一種聲光元件，它利用在各向異性晶體內傳播的超聲波和在各向異性晶體內傳播的光波之間發(fā)生的各向異性布雷格衍射，該聲光元件的特征在于配置成滿足使各向異性晶體的光軸與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面不平行并使入射光的偏光面與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面平行的條件、及使各向異性晶體的光軸與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面不平行并使入射光的偏光面與包含入射光傳播方向和超聲波傳播方向的面不平行的條件中的任何1個條件。3.一種聲光元件，確定以入射光的傳播方向為z軸、以入射光的偏光方向為x軸的xyz坐標系，將在各向異性晶體內傳播的超聲波傳播方向與x軸平行、且各向異性晶體的光軸與z軸一致的狀態(tài)作為初始狀態(tài)，從初始狀態(tài)起圍繞與包含z軸和超聲波傳播方向的面垂直的軸轉動規(guī)定角度，并利用在各向異性晶體中傳播的超聲波和在各向異性晶體中傳播的光波之間產(chǎn)生的布雷格衍射，該聲光元件的特征還在于圍繞與超聲波傳播方向同向的軸轉動配置。4.根據(jù)權利要求3所述的聲光元件，其特征在于使上述圍繞與超聲波傳播方向同向的軸轉動的角度為大約3°以上。5.根據(jù)權利要求3所述的聲光元件，其特征在于還圍繞z軸轉動配置。6.根據(jù)權利要求5所述的聲光元件，其特征在于使圍繞與包含上述z軸和超聲波傳播方向的面垂直的軸轉動的規(guī)定角度為布雷格角、使圍繞與上述超聲波傳播方向同向的軸轉動的角度為大約3°以上、使圍繞上述z軸轉動的角度為約30°～90°。7.根據(jù)權利要求1所述的聲光元件，其特征在于上述各向異性晶體為單軸晶體。8.根據(jù)權利要求1所述的聲光元件，其特征在于上述各向異性晶體為TeO2。9.根據(jù)權利要求1所述的聲光元件，其特征在于上述聲光元件是聲光偏轉元件。10.一種光束掃描裝置，其特征在于備有權利要求1的聲光元件。11.一種圖象記錄裝置，其特征在于備有激光束發(fā)生器，用于發(fā)生多條激光束；多個權利要求1的聲光元件，配置在各激光束的光路中，并用于將激光束變更；及相對于圓筒中心軸傾斜的反射面，還備有掃描裝置，通過以圓筒中心軸為中心轉動，沿圓筒內表面進行掃描；光學系統(tǒng)，用于將由上述聲光元件偏轉后的多條激光束入射到上述反射面；及控制裝置，生成用于使沿上述圓筒內表面形成的各激光束的掃描線平行而且在上述掃描裝置的同一掃描角范圍內使各激光束的掃描長度相等的超聲波，并使生成的超聲波在上述聲光元件內傳播。12.一種光偏轉器，它備有利用在各向異性晶體內傳播的超聲波和在各向異性晶體內傳播的光波之間產(chǎn)生的布雷格衍射的第1及第2聲光偏轉元件，由上述第1聲光偏轉元件偏轉后的光入射到上述第2聲光偏轉元件，該光偏轉器的特征在于將第1聲光偏轉元件配置成使第1聲光偏轉元件的各向異性晶體的光軸與包含入射到第1聲光偏轉元件的入射光傳播方向和上述各向異性晶體內的超聲波傳播方向的面不平行；將第2聲光偏轉元件配置成使第2聲光偏轉元件的偏轉方向與第1聲光偏轉元件的偏光方向交叉，并使第2聲光偏轉元件的各向異性晶體的光軸與包含入射到第2聲光偏轉元件的入射光傳播方向和上述各向異性晶體內的超聲波傳播方向的面不平行。13.一種光偏轉器，它備有利用在各向異性晶體內傳播的超聲波和在各向異性晶體內傳播的光波之間產(chǎn)生的布雷格衍射的第1及第2聲光偏轉元件，由上述第1聲光偏轉元件偏轉后的光入射到上述第2聲光偏轉元件，該光偏轉器的特征在于將第1聲光偏轉元件配置成滿足使第1聲光偏轉元件的各向異性晶體的光軸與包含入射到第1聲光偏轉元件的入射光傳播方向和上述各向異性晶體內的超聲波傳播方向的面不平行而使上述入射光的偏光面與包含上述入射光傳播方向和上述超聲波傳播方向的面平行的條件、及使上述各向異性晶體的光軸與包含上述入射光傳播方向和上述超聲波傳播方向的面不平行并使上述入射光的偏光面與包含上述入射光傳播方向和上述超聲波傳播方向的面不平行的條件中的任何1個條件；將第2聲光偏轉元件配置成使第2聲光偏轉元件的偏轉方向與第1聲光偏轉元件的偏光方向交叉，并滿足使第2聲光偏轉元件的各向異性晶體的光軸與包含入射到第2聲光偏轉元件的入射光傳播方向和上述各向異性晶體內的超聲波傳播方向的面不平行而使上述入射光的偏光面與包含上述入射光傳播方向和上述超聲波傳播方向的面平行的條件、及第二聲光偏轉元件的偏轉方向與第一聲光偏轉元件的偏轉方向交叉，而且使上述各向異性晶體的光軸與包含上述入射光傳播方向和上述超聲波傳播方向的面不平行并使上述入射光的偏光面與包含上述入射光傳播方向和上述超聲波傳播方向的面不平行的條件中的任何1個條件。14.一種光偏轉器，它備有利用在各向異性晶體內傳播的超聲波和在各向異性晶體內傳播的光波之間產(chǎn)生的布雷格衍射的第1及第2聲光偏轉元件，由上述第1聲光偏轉元件偏轉后的光入射到上述第2聲光偏轉元件，該光偏轉器的特征在于上述第1聲光偏轉元件的配置方式是，在確定了以對第1聲光偏轉元件的入射光傳播方向為z軸、以上述入射光的偏光方向為x軸的xyz坐標系后，將第1聲光偏轉元件的各向異性晶體內的超聲波傳播方向與x軸平行、且上述各向異性晶體的光軸與z軸一致的狀態(tài)作為第1聲光偏轉元件的初始狀態(tài)，并從該初始狀態(tài)起，圍繞與上述超聲波傳播方向同向的軸轉動，同時圍繞與包含z軸及上述超聲波傳播方向的面垂直的軸轉動規(guī)定角度；第2聲光偏轉元件的配置方式是，使第2聲光偏轉元件的偏轉方向與第1聲光偏轉元件的偏光方向交叉，并在確定了以對第2聲光偏轉元件的入射光傳播方向為z′軸、以上述入射光的偏光方向為x′軸的x′y′z′坐標系后，將第2聲光偏轉元件的各向異性晶體內的超聲波傳播方向與x′軸平行、且上述各向異性晶體的光軸與z′軸一致的狀態(tài)作為第2聲光偏轉元件的初始狀態(tài)，并從該初始狀態(tài)起，圍繞與上述超聲波傳播方向同向的軸轉動，同時圍繞與包含z′軸及上述超聲波傳播方向的面垂直的軸轉動規(guī)定角度。15.根據(jù)權利要求14所述的光偏轉器，其特征在于上述第1聲光偏轉元件，圍繞與第1聲光偏轉元件的各向異性晶體內的超聲波傳播方向同向的軸轉動的角度為大約3°以上；上述第2聲光偏轉元件，圍繞與第2聲光偏轉元件的各向異性晶體內的超聲波傳播方向同向的軸轉動的角度為大約3°以上；16.根據(jù)權利要求14所述的光偏轉器，其特征在于上述第1聲光偏轉元件還圍繞上述z軸轉動配置；上述第2聲光偏轉元件還圍繞上述z′軸轉動配置。17.根據(jù)權利要求16所述的光偏轉器，其特征在于使與上述第1聲光偏轉元件對應的圍繞與包含上述z軸和第1聲光偏轉元件的各向異性晶體內的超聲波傳播方向的面垂直的軸轉動的角度為布雷格角、使圍繞與上述超聲波傳播方向同向的軸轉動的角度為大約3°以上、使圍繞上述z軸轉動的角度為約30°～90°；使與上述第2聲光偏轉元件對應的圍繞與包含上述z′軸和第2聲光偏轉元件的各向異性晶體內的超聲波傳播方向的面垂直的軸轉動的角度為布雷格角、使圍繞與上述超聲波傳播方向同向的軸轉動的角度為大約3°以上、使圍繞上述z′軸轉動的角度為約30°～90°。18.根據(jù)權利要求17所述的光偏轉器，其特征在于使上述第1聲光偏轉元件圍繞上述z軸轉動的角度為約70°～75°；使上述第2聲光偏轉元件圍繞上述z′軸轉動的角度為約70°～75°。19.根據(jù)權利要求12所述的光偏轉器，其特征在于將第1及第2聲光偏轉元件配置成使第1聲光偏轉元件的偏轉方向與第2聲光偏轉元件的偏轉方向正交。20.根據(jù)權利要求12所述的光偏轉器，其特征在于上述各向異性晶體為單軸晶體。21.根據(jù)權利要求12所述的光偏轉器，其特征在于上述各向異性晶體為TeO2。22.根據(jù)權利要求12所述的光偏轉器，其特征在于上述第1及第2聲光偏轉元件分別安裝在單獨的殼體內。23.一種光束掃描裝置，其特征在于備有權利要求12的光偏轉器。24.一種圖象記錄裝置，其特征在于備有激光束發(fā)生器，用于發(fā)生多條激光束；多個權利要求12的聲光元件，配置在各激光束的光路中，并用于將激光束變更；及相對于圓筒中心軸傾斜的反射面，還備有掃描裝置，通過以圓筒中心軸為中心轉動，沿圓筒內表面進行掃描；光學系統(tǒng)，用于將由上述聲光元件偏轉后的多條激光束入射到上述反射面；及控制裝置，生成用于使沿上述圓筒內表面形成的各激光束的掃描線平行而且在上述掃描裝置的同一掃描角范圍內使各激光束的掃描長度相等的超聲波，并使生成的超聲波在上述聲光元件內傳播。全文摘要確定z軸與入射光的傳播方向一致、x軸與入射光的偏光方向一致、而y軸由x軸和z軸按右手坐標系決定的xyz坐標系。圍繞z軸、圍繞超聲波傳播方向、并圍繞與由z軸和超聲波傳播方向形成的面垂直的軸轉動,借以調整與入射光對應的聲光元件的方位。文檔編號H04N1/06GK1180176SQ9711794公開日1998年4月29日申請日期1997年9月5日優(yōu)先權日1996年9月6日發(fā)明者山下明子,角克人申請人:富士寫真菲林株式會社