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高溫石英加熱槽及制作方法

文檔序號:8925838閱讀:1434來源:國知局
高溫石英加熱槽及制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及LED生產(chǎn)制造領(lǐng)域,具體涉及一種高溫石英加熱槽及制作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)代LED生產(chǎn)制造過程中,晶片需要進(jìn)行酸洗,通常在石英加熱槽中進(jìn)行,酸洗溶液配置時溫度高達(dá)200°C以上,高溫會對槽體造成損傷,所以槽體由耐高溫的石英制成。
[0003]而國內(nèi)如中電45所、臺灣鴻基、北京華聯(lián)、常州硅密等設(shè)備制造廠家所用的石英槽是由槽體外壁上貼上加熱膜片,石英槽和外側(cè)固定板之間填充保溫棉,外部采用鹽白聚丙烯板固定石英槽。在CN201110110726.7中公開了一種石英加熱槽,該石英加熱槽槽體上端部沒有防護(hù),在芯片取放過程中會使芯片上的高溫混合溶液低落到外部用于固定石英缸的聚丙烯槽體上,導(dǎo)致聚丙烯槽體出現(xiàn)皸裂、老化現(xiàn)象,使得槽體使用壽命大大降低,備件消耗費(fèi)用增加。
[0004]由于聚丙烯板最高承受溫度為100°C,在石英槽外邊緣的聚丙烯材料再取放產(chǎn)品過程中,高溫酸堿溶液滴落至聚丙烯板上,導(dǎo)致聚丙烯材料在高溫環(huán)境使用一段時間后,石英缸外側(cè)的固定聚丙烯材料就出現(xiàn)皸裂、老化現(xiàn)象,縮短設(shè)備使用壽命、增大操作時的危險性、增加設(shè)備維護(hù)成本、增加設(shè)備故障處理時間。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005](一)解決的技術(shù)問題
[0006]針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明提供了一種高溫石英加熱槽及制作方法,解決了石英缸外側(cè)固定支架被高溫混合溶液燙壞的問題。
[0007]( 二)技術(shù)方案
[0008]為實(shí)現(xiàn)以上目的,本發(fā)明通過以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn):
[0009]一種高溫石英加熱槽,包括石英缸(I)、石英缸固定支架(4)、加熱貼膜(5)、保溫棉(6),其特征在于,還包括水槽(2);
[0010]所述水槽⑵上安裝有水槽擋板⑶;
[0011]所述水槽擋板(3)上開設(shè)有進(jìn)水口(31)和出水口(32);
[0012]所述水槽(2)與石英缸固定支架(4)連接,所述石英缸固定支架(4)連接在石英缸(I)外側(cè),所述石英缸固定支架(4)和石英缸(I)的連接體放置于槽體(7)內(nèi);
[0013]所述石英缸⑴的外壁和槽體(7)內(nèi)壁之間放置有保溫棉(6),所述石英缸⑴四壁貼有加熱貼膜(5)。
[0014]優(yōu)選的,所述進(jìn)水口(31)有三個,出水口(32)有一個。
[0015]優(yōu)選的,所述水槽(2)與石英缸固定支架(4)之間的連接的方式為焊接。
[0016]優(yōu)選的,所述水槽(2)在槽體(7)外部。
[0017]一種高溫石英加熱槽的制作方法,其特征在于,包括以下步驟:
[0018]S1、測量石英缸⑴外圍最大空間尺寸,設(shè)計并繪制水槽(2)的結(jié)構(gòu)圖紙;
[0019]S2、依據(jù)設(shè)計好的水槽(2)的結(jié)構(gòu)圖紙選用相應(yīng)材料制作水槽(2);
[0020]S3、將制作好的水槽(2)安裝在石英缸固定支架(4)上;
[0021]S4、在水槽擋板四側(cè)分別開設(shè)一個孔,選擇水槽擋板任意一側(cè)的孔為出水口(32),其余三側(cè)的孔為進(jìn)水口(31);
[0022]S5、將石英缸⑴和石英缸固定支架⑷組合后安裝在槽體(7)內(nèi)。
[0023]優(yōu)選的,步驟S5中石英缸⑴和石英缸固定支架⑷組合安裝成為石英槽體,所述石英槽體安裝在槽體(7)內(nèi)部,所述石英缸(I)四壁貼有加熱貼膜(5),所述石英缸(I)外壁和槽體(7)內(nèi)壁之間填充保溫棉(6),所述槽體(7)的材料為聚丙烯。
[0024]優(yōu)選的,步驟S3中所述水槽(2)和石英缸固定支架⑷的連接方式為焊接。
[0025]優(yōu)選的,步驟S4中所述進(jìn)水口(31)和出水口(32)分別安裝有進(jìn)水口接頭和出水口接頭。
[0026]優(yōu)選的,步驟S4中所述進(jìn)水管直徑為1/8英寸,所述出水管直徑為1/4英寸,所述出水管出水口(32)低于進(jìn)水管進(jìn)水口(31) 5mm。
[0027](三)有益效果
[0028]本發(fā)明提供了一種高溫石英加熱槽的制作方法,通過在石英加熱槽槽體外側(cè)的固定支架上增添水槽,保證在生產(chǎn)過程中滴落至石英槽外側(cè)聚丙烯板上的高溫溶液能落入水槽并及時被流動的水進(jìn)行降溫和稀釋,從而有效保證聚丙烯板不被高溫溶液損壞,使得槽體使用壽命得到大幅延長,減少石英體外部固定支架更換頻率,降低備件消耗費(fèi)用,降低設(shè)備故障率、提高設(shè)備安全運(yùn)行性能。
【附圖說明】
[0029]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0030]圖1為本發(fā)明實(shí)施例中高溫石英加熱槽立體圖;
[0031]圖2為本發(fā)明實(shí)施例中高溫石英加熱槽俯視圖;
[0032]圖3為本發(fā)明實(shí)施例中高溫石英加熱槽水槽擋板截面圖;
[0033]圖4為本發(fā)明實(shí)施例中高溫石英加熱槽剖面圖。
[0034]圖中,1-石英缸、2-水槽、3-水槽擋板、31-進(jìn)水口、32-出水口、4_石英缸固定支架、5-加熱貼膜、6-保溫棉、7-槽體。
【具體實(shí)施方式】
[0035]為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚,下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0036]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明實(shí)施例做進(jìn)一步說明:
[0037]實(shí)施例1
[0038]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種高溫石英加熱槽,包括石英缸1、石英缸固定支架4、加熱貼膜5、保溫棉6,其特征在于,還包括水槽2 ;所述水槽2上安裝有水槽擋板3 ;所述水槽擋板3上開設(shè)有進(jìn)水口 31和出水口 32 ;所述水槽2與所述石英缸固定支架4連接;所述石英缸固定支架4連接在石英缸I外側(cè),所述石英缸固定支架4和石英缸I的連接體放置于槽體7內(nèi);所述石英缸I的外壁和槽體7內(nèi)壁之間放置有保溫棉6,所述石英缸I四壁貼有加熱貼
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