專利名稱：壓電諧振器、它的制造方法和調(diào)節(jié)其諧振頻率的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種壓電諧振器、這種壓電諧振器的制造方法和調(diào)節(jié)這種壓電諧振器的諧振頻率的調(diào)節(jié)方法。本發(fā)明尤其涉及以方形的振動模式振動，并設(shè)置在梯形濾波器、振蕩器、濾波器、鑒頻器或其它合適的電子元件中的壓電諧振器，和制造和調(diào)節(jié)這種諧振器諧振頻率的方法。


圖11中示出適合于以方形的振動模式振動的傳統(tǒng)的壓電諧振器。
壓電諧振器51的電極結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在矩形壓電基片52的一個主表面的中心區(qū)域上的部分電極，以及設(shè)置在壓電基片52的另一個主表面的整個表面上的電極54。
這種壓電諧振器51的諧振由其諧振頻率確定。另外，當(dāng)被用于梯形濾波器或其它類似的電子元件時，衰減性質(zhì)由設(shè)置在其中的壓電諧振器的靜電電容確定。
因此，當(dāng)制造壓電諧振器時，必需控制靜電電容或諧振頻率的值。
已經(jīng)傳統(tǒng)地制造了壓電諧振器，如圖12A到12G中所示。
首先，將導(dǎo)電膏(諸如銀膏)幾乎完全涂敷在壓電基片55的兩個主表面上。對銀膏進行烘焙，由此形成電極56和57(圖12A和12B)。
然后，通過位于壓電母基片55的第一和第二主表面上的電極56和57在壓電母基片55的第一和第二主表面之間施加DC電壓。結(jié)果，實現(xiàn)極化步驟，以便施加和確定壓電母基片55預(yù)定的壓電特性(圖12C)。
此后，在壓電母基片55第一主表面的電極56上進行抗蝕油墨58圖案的印刷以提供部分電極圖案，并在在壓電母基片55的第二主表面的電極57大體上整個表面上，進行抗蝕油墨的印刷以提供部分電極圖案(圖12D)。
然后，把壓電母基片55(印刷有抗蝕油墨)浸在蝕刻液體中，以便通過蝕刻去除從抗蝕油墨58中露出的電極部分(圖12E)。
如果去除了抗蝕油墨，則將在壓電母基片55的第一主表面上形成電極56的圖案，以便確定一個部分電極圖案，并且在壓電基片55的幾乎整個第二主表面由于壓電諧振器51的靜電電容由部分電極53的面積確定，故壓電諧振器51的部分電極53如此設(shè)計，從而其電極面積提供了需要的靜電電容。
由此，在上述步驟中，必須將抗蝕油墨58以較高的圖案準(zhǔn)確性印刷在電極56上，并且必須通過蝕刻準(zhǔn)確地形成電極56的圖案，從而電極圖案(部分電極)的面積根據(jù)設(shè)計精確地形成，以提供準(zhǔn)確的需要的靜電電容(圖12D)。
另外，如果壓電母基片55如此切割，從而第一主表面上的每一個電極56都居于中心，則部分電極53形成在每一個被切割的壓電基片52中心處的第一主表面上，并且表面電極54形成在整個第二主表面上。
結(jié)果，同時制造出適合于以如圖11所示的方形振動模式振動的許多壓電諧振器51。
在如上所述制造出壓電諧振器51之后，以下面的方式測量和調(diào)節(jié)壓電諧振器51的諧振頻率，從而可以得到所需的諧振頻率。
當(dāng)諧振頻率太高時，如圖13中所示，通過磨削壓電諧振器51周邊以便在諧振器51中形成多個凹槽或切口而升高壓電諧振器51的諧振頻率。
相反地，當(dāng)諧振頻率太低(如圖14中所示)時，壓電諧振器51的諧振頻率通過對壓電諧振器磨削和倒角而升高。然而由于對上述的壓電諧振器來說，部分電極的面積，(即，壓電諧振器的靜電電容)通過抗蝕油墨的圖案印刷來確定，為了制造具有不同靜電電容的各種壓電諧振器，必需分別制造需要不同靜電電容的每個壓電諧振器。
另外，對于如上所述制造出的壓電諧振器來說，由于抗蝕油墨在圖案印刷時的滲出，而使部分電極的周邊散開并且為模糊。部分電極由于抗蝕油墨的印刷圖案中的變形而改變其形狀導(dǎo)致了壓電諧振器的電特性的降低。
此外，由于部分電極通過蝕刻電極而形成，其中將抗蝕油墨用作蝕刻掩膜，故蝕刻液腐蝕了壓電基片，并且因此降低了壓電諧振器的電特性。
此外，即使當(dāng)這種壓電諧振器的靜電電容如此形成，從而偏離設(shè)計規(guī)格，也很難在以后精細調(diào)節(jié)靜電電容。
此外，為了調(diào)節(jié)壓電諧振器的諧振頻率，必需磨削或切割壓電諧振器的周邊，尤其是其角，這使諧振頻率的調(diào)諧困難和花費勞力。
此外，使用傳統(tǒng)的制造方法，以在壓電諧振器的兩個主表面上形成部分電極和全表面電極，需要許多困難的步驟，產(chǎn)生時間長，并且成本非常高。和全表面電極，需要許多困難的步驟，產(chǎn)生時間長，并且成本非常高。
此外，當(dāng)在大的壓電基片壓電母基片上形成許多部分電極后，由于壓電基片是通過切割每一個包括部分電極的區(qū)域而形成的，故當(dāng)切割的位置偏離時，壓電基片的電特性降低。
為了解決上述問題，本發(fā)明的較佳實施例提供了一種壓電諧振器，在其制造過程中其電特性不會遭到降低，并且使這種改進的壓電諧振器的制造步驟和諧振頻率的調(diào)節(jié)步驟變得更方便。
本發(fā)明的一個較佳實施例提供了一種以方形振動模式振動的壓電諧振器，包括具有第一和第二主表面的壓電基片；設(shè)置在壓電基片的第一主表面和第二主表面上的電極，和設(shè)置在壓電基片第一主表面和第二主表面的至少一個主表面上的凹槽，凹槽把至少一個電極分為多個區(qū)域。
在上述壓電諧振器中，由凹槽分開的多個區(qū)域中的一個區(qū)域可以安排得用作信號輸入電極。信號輸入電極最好具有對稱形狀。
本發(fā)明的較佳實施例還提供了一種調(diào)節(jié)適合于以方形振動模式振動的壓電諧振器的諧振頻率的方法，壓電諧振器包括具有第一主表面和第二主表面的壓電基片和設(shè)置在壓電基片的第一主表面和第二主表面上的電極，該方法包括下述步驟在壓電基片的第一主表面和第二主表面的至少一個主表面上形成凹槽，由此將電極中的至少一個電極分為多個區(qū)域，并且改變凹槽的寬度或深度，由此調(diào)節(jié)壓電諧振器的諧振頻率。
本發(fā)明的較佳實施例還提供了適合于以方形振動模式振動的壓電諧振器的制造方法，其中壓電諧振器包括具有第一主表面和第二主表面的壓電基片，和設(shè)置在壓電基片的第一主表面和第二主表面上的電極，該方法包括下述步驟在大體上整個第一和第二主表面上形成電極，并在壓電基片的第一主表面的第二主表面中至少一個主表面上形成凹槽，由此把至少一個電極分為多個區(qū)域。
本發(fā)明的較佳實施例還提供了適合于以方形振動模式振動的壓電諧振器的制造方法，壓電諧振器包括具有第一主表面和第二主表面的壓電基片和設(shè)置在壓電基片的第一主表面和第二主表面上的電極，該方法包括下述步驟在壓電基片的大體上整個第一和第二主表面上形成電極，并在壓電基片的第一主表面和第二主表面中的至少一個主表面上形成凹槽，由此將至少一個電極分為多個區(qū)域，并將壓電母基片切割成多個單獨壓電基片的每一個基片。
根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例的壓電諧振器，諧振器的靜電電容可以通過改變設(shè)置在壓電基片上的凹槽的位置、寬度和深度而改變。
如果在其大體上整個主表面上具有電極的壓電基片(壓電母基片)設(shè)置為公共零件，當(dāng)在主表面上產(chǎn)生凹槽時，則可以通過改變凹槽的位置、寬度和深度制造出靜電電容和諧振頻率不同的各種壓電諧振器。
由此，在其大體上整個主表面上有電極的壓電基片(壓電母基片)可以是公共零件，并且可以從這種公共零件便宜而容易地制造出靜電電容和諧振頻率不同的壓電諧振器。
此外，即使在制造出壓電諧振器后，如果電極的面積通過使凹槽變寬而減小，則其諧振頻率可以容易而精確地調(diào)節(jié)?？梢酝ㄟ^增加凹槽的寬度或凹槽的深度而調(diào)節(jié)諧振頻率。由此，這種新型壓電諧振器的電特性可以以這種方式精確而容易地調(diào)節(jié)。
此外，當(dāng)由凹槽分開的電極的多個區(qū)域中的一個區(qū)域用作信號輸入電極，并且信號輸入電極具有對稱形狀時，大大改進了這種壓電諧振器的電特性。
此外，根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例，壓電諧振器最好通過在大體上整個第一和第二主表面上形成電極，和在壓電基片的第一主表面和第二主表面的至少一個主表面上形成凹槽，并由此將至少一個電極分為多個區(qū)域而形成。由此，和上述需要抗蝕油墨的圖案印刷和其它復(fù)雜、昂貴而又費時的步驟的傳統(tǒng)的方法相比，制造這種壓電諧振器所需的制造步驟簡單、時間短和成本很低。
此外，在本發(fā)明的較佳實施例中去除了，降低壓電諧振器電特性的因素(諸如由抗蝕油墨的印刷圖案的變形引起的電極變形、由抗蝕油墨的滲出/變模糊引起的電極形狀的改變、壓電基片被蝕刻液的蝕刻等等)因為不用為形成電極使用蝕刻。結(jié)果，根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例的壓電諧振器的電特性可以大大改善。
此外，當(dāng)從壓電母基片形成多個壓電諧振器時，可以在壓電母基片的大體上整個第一和第二主表面上形成電極，并可以在壓電母基片的第一主表面和第二主表面的至少一個主表面上形成凹槽，由此將至少一個電極分為多個區(qū)域，并且然后將壓電母基片切割以形成多個壓電基片的每個基片。
通過這種方法，將壓電母基片切割為多個壓電基片的步驟和形成凹槽的步驟可以用單個的步驟來進行。因此，根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例的制造步驟更簡化了。
此外，當(dāng)進行將壓電母基片切割為多個壓電基片以及形成凹槽的步驟可以通過單個步驟進行時，涉及壓電諧振器的凹槽的不需要的位置差距不容易發(fā)生。因此，按照本發(fā)明的較佳實施例顯著減小了壓電諧振器的電特性的降低。
從下面參照附圖對本發(fā)明的較佳實施例的描述，本發(fā)明其它的特征和優(yōu)點是顯然的。
圖1是透視圖，示出本發(fā)明的較佳實施例的壓電諧振器。
圖2是示出圖1的壓電諧振器的制造方法的圖。
圖3是示出在壓電諧振器上設(shè)置的凹槽的深度和諧振頻率變化之間的關(guān)系的圖。
圖4是示出在壓電諧振器上設(shè)置的凹槽的寬度和諧振頻率變化之間的關(guān)系的圖。
圖5是示出用于圖3和4中使用的量的確定的圖。
圖6是示出根據(jù)本發(fā)明另一個較佳實施例的壓電諧振器的平面圖。
圖7是示出根據(jù)本發(fā)明的另一個較佳實施例的壓電諧振器的透視圖。
圖8是示出根據(jù)本發(fā)明的另一個較佳實施例的壓電諧振器的平面圖。
圖9A和9B分別是平面剖視圖和截面圖，示出使用本發(fā)明的較佳實施例的壓電諧振器的梯形濾波器的結(jié)構(gòu)。
圖10是圖9A和9B的梯形濾波器電路圖。
圖11是示出現(xiàn)有技術(shù)的壓電諧振器的透視圖。
圖12是解釋圖11的壓電諧振器的制造方法的圖。
圖13是解釋圖11的壓電諧振器諧振頻率的調(diào)節(jié)方法的圖。
圖14解釋圖11的壓電諧振器的諧振頻率的調(diào)節(jié)方法的圖。
圖1是根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例，適合于以方形的振動模式振動的壓電諧振器1的透視圖。
在這個壓電諧振器1中，電極設(shè)置在壓電基片2的兩個主表面(第一主表面和第二主表面)的整個表面上，該壓電基片最好由經(jīng)極化的壓電陶瓷材料制成。
在第一主表面上，由多個直線割槽5形成分為多個區(qū)域的電極3a和3b。被劃分的電極3a和3b相互電氣絕緣。
在被劃分的電極中，安排將電極3a作為部分電極，用于壓電諧振器1的信號輸入-輸出，并大約位于壓電諧振器1的中心部分。沿壓電諧振器1的周邊部分的電極。
在壓電諧振器基片2的第二主表面的大體上整個區(qū)域處，連續(xù)而均勻地形成電極4。安排電極4用作壓電諧振器1的信號輸入-輸出的全表面電極。
在壓電諧振器1的這種結(jié)構(gòu)中，壓電諧振器1的靜電電容隨通過壓電基片2相互面對的電極(部分電極)3a和電極(全表面電極)4的面積而變化。
由此，通過改變壓電基片2上在割出的凹槽5的位置，能容易地使壓電諧振器1的靜電電容，由此改變電極3a的面積。
此外，壓電諧振器1的諧振頻率可以通過調(diào)節(jié)在壓電基片2上形成的凹槽5的深度和厚度而改變。
具體地說，如果凹槽5作得較深，將降低諧振頻率，而如果凹槽5的寬度作得較大，則諧振頻率將較高。
圖3中示出，當(dāng)使凹槽5的深度變化但保持凹槽5的寬度不變時，諧振頻率Fr的變化的例子。
圖3是曲線圖表，其中橫軸是凹槽5的深度h與壓電諧振器1的厚度H的比值(h/H)，而縱軸是諧振頻率Fr與諧振頻率Fr0的比值。凹槽5的深度h和壓電諧振器1的厚度H表示在圖5中。諧振頻率Fr0是在沒有凹槽5(h=0)時的諧振頻率。
圖3示出，當(dāng)使凹槽5的深度更深時，諧振頻率Fr變得更低。
此外，圖4中示出，當(dāng)改變凹槽5的寬度而而保持凹槽5的深度不變時，諧振頻率Fr的變化的例子。
圖4是曲線圖，其中橫軸是凹槽5的寬度w與壓電諧振器1的寬度W的比值(w/W)，而縱軸是諧振頻率Fr與諧振頻率Fr0的比值。凹槽5的寬度和壓電諧振器1的寬度W表示在圖5中。諧振頻率Fr0是在沒有凹槽5(w=0)時的諧振頻率。
圖4示出，當(dāng)凹槽5的寬度變大時，諧振頻率Fr變得更高。
在壓電諧振器1中，如果公共零件通過在壓電基片2的兩個主表面的整個表面上形成電極(圖2中的電極7和8)而制造，則當(dāng)在主表面上產(chǎn)生凹槽5時，可以容易地改變凹槽5的位置，由此改變電極3a的面積。由此，該較佳實施例的新穎結(jié)構(gòu)和方法容易地滿足了具有不同靜電電容的壓電諧振器的要求。
此外，當(dāng)形成凹槽5時，可以通過調(diào)節(jié)凹槽5的寬度和厚度制造具有各種諧振頻率的壓電諧振器1。
由此，在其兩個主表面的整個表面上都形成有電極的壓電基片2可用作多個由此，在其兩個主表面的整個表面上都形成有電極的壓電基片2可用作多個具有不同靜電電容和諧振頻率的壓電諧振器的公共零件。結(jié)果，包括以壓電基片2的形式使用通用公共零件的較佳實施例降低了制造壓電諧振器1的成本，并允許同時制造具有不同靜電電容和諧振頻率的各種壓電諧振器。
此外，當(dāng)必須在制造壓電諧振器1之后精細地調(diào)節(jié)靜電電容時，所有需要做的只是將使凹槽5延伸到電極3a側(cè)，而使電極3a的區(qū)域減小。如果靜電電容有可能改變，則電極3a的面積可以事先稍稍增大。
或者，當(dāng)必須精細地調(diào)節(jié)諧振頻率時，只需簡單地增加凹槽5的寬度或者使凹槽5更深。
由此，所有需要做的就是切割壓電基片2的表面，以調(diào)節(jié)諧振頻率，從而精確而容易地調(diào)節(jié)靜電電容和諧振頻率，而不必如在傳統(tǒng)的調(diào)節(jié)諧振頻率的方法中那樣切割壓電基片的整個厚度。
然后，參照圖2A、2B、2C和2D，解釋根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例的上述壓電諧振器1的制造方法。
首先，將導(dǎo)電膏(諸如銀膏)設(shè)置在由壓電材料制成的壓電基片6的大體上整個第一和第二主表面上，并通過烘焙導(dǎo)電膏形成電極7和8(圖2A和2B)。
然后，在壓電基片6的第一和第二主表面之間，通過電極7和8施加DC電壓，以使壓電母基片6極化(圖2C)。
接著，凹槽5形成在每一個壓電諧振器1的預(yù)定位置處，從而凹槽具有預(yù)定的寬度和預(yù)定的深度，與此同時，壓電母基片6通過諸如切割鋸之類的精細切割設(shè)備被切割為每一個壓電諧振器1(圖2D)。
注意，將壓電母基片6切割為多個壓電諧振器1的步驟和在每個壓電諧振器1上形成凹槽5的步驟將分開執(zhí)行。
由于本發(fā)明的較佳實施例的壓電諧振器1能夠以上述方法制造，故制造步驟大為簡化，從而和需要通過抗蝕油墨的圖案印刷、蝕刻等等形成電極的傳統(tǒng)方法相比，生成出壓電諧振器所需時間和費用大大減少了。
此外，在本發(fā)明的較佳實施例中，因為不使用蝕刻形成電極，故消除了降低壓電諧振器1的電特性的因素，諸如由抗蝕油墨的圖案印刷的變形引起的電極變形、由抗蝕油墨的滲出/刮痕引起的電極形狀的變模糊和由蝕刻液體等引起的壓電基片2的腐蝕(這在傳統(tǒng)方法中造成許多缺點)。結(jié)果，大大改善了壓電諧振器1的電特性。
由于將壓電母基片6切割為多個壓電諧振器1的步驟和將切割壓電諧振器1中的凹槽5的步驟通過單個步驟完成，故根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例的制造步驟更加簡化了。
并且，因為可用的切割設(shè)備具有較高的切割精度，并可以同時進行將壓電母基片6切割為多個壓電諧振器1的步驟和在壓電諧振器1中切割凹槽的步驟，故不發(fā)生和壓電諧振器1有關(guān)的凹槽5的位置誤差或差距。結(jié)果由于壓電母基片6的精確的切割位置、凹槽5的位置和切割量是預(yù)先設(shè)定的，防止了壓電諧振器1的電特性的降低。
此外，即使在制造壓電諧振器1之后需精細調(diào)節(jié)靜電電容或諧振頻率，由于凹槽5的位置、寬度和深度能夠通過使用上述切割設(shè)備而校正，故電容和諧振能夠精細而容易地調(diào)節(jié)。
在圖1所示的壓電諧振器1中，大約在中心部分的電極3a最好具有大體上為矩形的形狀。
凹槽5的方向不必平行于壓電基片2的每條邊。如圖6中所示，電極3a可以由凹槽5(該凹槽相對于壓電基片2的每條邊而傾斜)大約在中心部分形成。
如果電極的面積相等，則為了得到相等靜電電容不必與凹槽5和壓電基片2的每條邊的角度有關(guān)。
用于提供適合于以方形的振動模式振動的壓電諧振器1的信號輸入-輸出的電極3a可以被制成任何的形狀。但是，為了得到無畸變的電特性，想要圓或具有許多個角的正多邊形。
為了使制造步驟最容易，并將步驟數(shù)減至最小，最好是具有很少個角的正多邊形。
此外，為了使步驟最容易，凹槽5最好是直線形的。此外，為了更為簡單的步驟在壓電基片2上只具有兩個安排得大致上相互平行的凹槽5的壓電諧振器1(如圖7中所示)是適合的。
在這個壓電諧振器1中，大約在第一主表面的中心處設(shè)置的電極3a和設(shè)置在第二主表面處的電極4安排得用作信號的輸入-輸出。電極3b和凹槽5電氣絕緣，并且電極3b不用作壓電諧振器1的電極。
靜電電容由凹槽5的位置調(diào)節(jié)，而諧振頻率由凹槽5的深度和寬度調(diào)節(jié)。
此外，切入壓電基片2的凹槽5不必從壓電基片2的一端子延伸到另一端子。電極3a和電極3b可以沿另一方向切割，只要它們相互電氣絕緣，例如，它們可以如圖8中所示部分地形成。
在上述較佳實施例中，解釋了凹槽只設(shè)置在壓電基片的一個主表面上，由此劃分設(shè)置在其上的電極。但是，凹槽可以設(shè)置在壓電基片的兩個主表面上，以分別劃分在兩個主表面上的電極。
圖9A和9B分別是平面剖視圖和截面圖，示出使用本發(fā)明的較佳實施例的壓電諧振器的帶通濾波器的結(jié)構(gòu)，而圖10是其電路圖。
一個輸入端子22、一個接地端子26和一個輸出端子28通過底座21，而它們之間具有空隙。底座21最好由一種絕緣材料制成。
在外殼31(該外殼覆蓋了底座21的上側(cè))的內(nèi)部，安排了輸入端子22、壓電諧振器23、大致上為U形端子24的一個部分電極24a、壓電諧振器25、接地端子26、壓電諧振器27、輸出端子28、壓電諧振器29和大致上為U形的端子24的另一個部分電極24b。
由于安排在大致上為U形的端子24的另一個部分電極24b和外殼31的內(nèi)部之間的彈性端子30提供的彈性力，每一個壓電諧振器和每一個端子電氣上相連。
此外，在基座21的下表面上，把密封劑32填入外殼31的下側(cè)開口。
由此，在用于上述梯形濾波器中的壓電諧振器23、25、27和29中，壓電諧振器23和29最好是具有上述本發(fā)明的較佳實施例的結(jié)構(gòu)和新穎特點的壓電諧振器。壓電諧振器23和29的靜電電容小于壓電諧振器25和27的靜電電容。
雖然已經(jīng)參照本發(fā)明的較佳實施例具體示出和描述了本發(fā)明，但熟悉本領(lǐng)域的人將知道，可以有上述和其它形式上和細節(jié)上的改變，而不背離本發(fā)明的主旨。
權(quán)利要求
1．一種壓電諧振器，其特征在于包括具有第一主表面和第二主表面的壓電基片；至少兩個電極，每個所述電極設(shè)置在所述壓電基片的所述第一主表面和所述第二主表面各自的一個主表面上；及設(shè)置在所述第一主表面和所述第二主表面的至少一個主表面上的凹槽，所述凹槽將至少所述兩個電極之中的至少一個電極分為多個區(qū)域。
2．如權(quán)利要求1所述的壓電諧振器，其特征在于所述至少兩個電極中的一個電極由所述凹槽分開的所述多個區(qū)域之一是信號輸入電極，并具有對稱形狀。
3．如權(quán)利要求1所述的壓電諧振器，其特征在于設(shè)置在所述壓電基片的所述第一主表面和所述第二主表面的至少一個主表面中的凹槽是第一凹槽，諧振器還包括設(shè)置在所述壓電基片的所述第一主表面和所述第二主表面的另一個主表面中的第二凹槽，用于將所述至少兩個電極中的另一個電極分為多個區(qū)域。
4．如權(quán)利要求1所述的壓電諧振器，其特征在于所述多個區(qū)域大致上為方形。
5．如權(quán)利要求1所述的壓電諧振器，其特征在于所述凹槽經(jīng)過所述至少兩個電極的至少一個電極延伸，并進入壓電基片。
6．如權(quán)利要求1所述的壓電諧振器，其特征在于還包括設(shè)置在所述壓電基片的所述第一主表面和所述第二主表面的至少一個主表面中的多個凹槽，從而確定所述至少兩個電極的至少一個電極的多個區(qū)域的矩陣圖案。
7．如權(quán)利要求6所述的壓電諧振器，其特征在于所述至少兩個凹槽大致上相互垂直。
8．如權(quán)利要求1所述的壓電諧振器，其特征在于所述凹槽延伸到所述壓電基片的邊緣。
9．如權(quán)利要求1所述的壓電諧振器，其特征在于凹槽確定了多個電極，所述多個電極相互電氣絕緣。
10．如權(quán)利要求2所述的壓電諧振器，其特征在于所述輸入電極大致位于所述壓電基片的中心處。
11．如權(quán)利要求1所述的壓電諧振器，其特征在于所述壓電基片的所述第一主表面和所述第二主表面的至少一個主表面的另一個表面上設(shè)置的所述至少兩個電極中的另一個電極沿所述壓電基片的所述第一主表面和所述第二主表面沒有形成凹槽的另一個主表面的整個表面延伸，其中在所述另一個電極中沒有形成凹槽。
12．如權(quán)利要求1所述的壓電諧振器，其特征在于所述壓電諧振器適合于以方形振動模式振動。
13．一種調(diào)節(jié)壓電諧振器的諧振頻率的方法，所述壓電諧振器包括具有第一主表面和第二主表面的壓電基片和設(shè)置在所述壓電基片的第一主表面和所述第二主表面上的電極，其特征在于所述方法包括下述步驟在所述壓電基片的所述第一主表面和第二主表面的至少一個主表面上形成凹槽，以將所述電極的至少一個電極分為多個區(qū)域；及改變凹槽的寬度和深度，以改變所述壓電諧振器的所述諧振頻率。
14．如權(quán)利要求13所述的方法，其特征在于還包括在所述壓電基片的所述第一主表面和所述第二主表面的至少一個主表面上形成多個凹槽，以形成相互電氣絕緣多個被分開的電極的步驟。
15．如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于所述多個分開電極形成多一矩陣，并且所述多個凹槽中的至少兩個大致上相互垂直。
16．如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于所述凹槽延伸到所述壓電基片的邊緣。
17．如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于所述多個分開的電極中的大約位于壓電基片中心的一個電極是輸入電極，并具有對稱的形狀。
18．如權(quán)利要求13所述的方法，其特征在于所述凹槽相對于所述壓電基片的邊緣形成銳角。
19．一種制造壓電諧振器的方法，所述壓電諧振器包括具有第一主表面和第二主表面的壓電基片和設(shè)置在所述壓電基片的所述第一主表面和所述第二主表面上的電極，其特征在于所述方法包括下述步驟在所述第一和第二主表面的大致整個表面上形成電極；及在所述壓電基片的所述第一主表面和所述第二主表面的至少一個主表面上形成凹槽，以將所述電極的至少一個電極分為多個區(qū)域。
20．一種制造多個壓電諧振器的方法，其中所述多個壓電諧振器的每一個都包括具有第一主表面和第二主表面的壓電基片以及設(shè)置在所述壓電基片的所述第一主表面和所述第二主表面上的電極，其特征在于所述方法包括下述步驟在所述壓電基片的所述第一主表面和所述第二主表面的大致整個表面上形成電極；及在所述壓電母基片的所述第一主表面和所述第二主表面的至少一個主表面中形成凹槽，以將所述電極的至少一個電極分為多個區(qū)域，并大體上同時將所述壓電母基片切割為多個單獨的壓電基片。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種以方形振動模式振動的壓電諧振器,包括具有第一主表面和第二主表面的壓電基片;設(shè)置在壓電基片的第一主表面和第二主表面上的電極和設(shè)置在壓電基片的第一主表面和第二主表面的至少一個主表面中的凹槽。凹槽將所述電極中的至少一個電極分為多個區(qū)域,從而通過改變設(shè)置在壓電基片上的凹槽的位置、寬度和深度而變化諧振器的靜電電容。
文檔編號H03H9/00GK1233884SQ9910238
公開日1999年11月3日 申請日期1999年2月12日 優(yōu)先權(quán)日1998年2月12日
發(fā)明者板坂康浩 申請人:株式會社村田制作所