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一種聲表面波諧振器和聲表面波濾波器的制作方法

文檔序號(hào):40650478發(fā)布日期:2025-01-10 18:56閱讀:6來(lái)源:國(guó)知局
一種聲表面波諧振器和聲表面波濾波器的制作方法

本發(fā)明涉及通信用器件領(lǐng)域,具體涉及一種聲表面波諧振器和聲表面波濾波器。


背景技術(shù):

1、poi襯底的saw以其獨(dú)特的性能優(yōu)勢(shì)在5g架構(gòu)上能夠取代tc-saw(溫度補(bǔ)償型saw)和baw。基于poi襯底的saw技術(shù)優(yōu)勢(shì)就是能源效率更高,比tc-saw的能源損耗更小。所以它相對(duì)于saw和tc-saw,獲得了更高頻率、更廣帶寬。相對(duì)baw來(lái)說(shuō),這種基于poi襯底的saw工藝流程更簡(jiǎn)單且成本更低。從生產(chǎn)角度來(lái)講,它的生產(chǎn)流程跟saw是相似的,但是比tc-saw和baw都要簡(jiǎn)單很多。相較于tc-saw一般用于低頻段和中頻段的濾波技術(shù),baw則一般用于中頻段和高頻段,poi襯底的saw可以解決中頻段和高頻段這兩個(gè)頻段的技術(shù)難題,在5g濾波器方面成為取代tc-saw和baw的更優(yōu)解決方案。

2、但是現(xiàn)有poi工藝的諧振器橫模較大,需要將諧振器傾斜一定角度來(lái)抑制橫模,來(lái)實(shí)現(xiàn)高q值、帶內(nèi)平坦的濾波器。高通等公司采用雙匯流條的方式來(lái)抑制橫模,此時(shí)諧振器不需傾斜。但以上方案都在原本諧振器的基礎(chǔ)上增加了體積,對(duì)于成本敏感的集成電路器件來(lái)講,是需要想方設(shè)法減小體積、降低成本的,因此如何保證性能又不增加諧振器體積是亟需解決的技術(shù)問(wèn)題。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的上述不足,本發(fā)明提供了一種聲表面波諧振器和聲表面波濾波器,在不增加諧振器體積的情況下,利用相鄰指條之間的空間以及短指與長(zhǎng)指之間的空間,添加變速部,來(lái)實(shí)現(xiàn)橫模抑制的效果,達(dá)到小體積、降成本的目的。

2、為了達(dá)到上述發(fā)明目的,本發(fā)明采用的技術(shù)方案為:

3、第一方面,本發(fā)明提出了一種聲表面波諧振器,包括:

4、復(fù)合襯底,以及設(shè)置在所述復(fù)合襯底上的叉指換能器;

5、所述叉指換能器包括匯流條、以及在所述匯流條上交替設(shè)置的至少兩對(duì)叉指電極和電極短指;其中正對(duì)設(shè)置的所述叉指電極與所述電極短指之間設(shè)置u型的變速部,所述電極短指嵌入所述變速部的開(kāi)口內(nèi)部。

6、作為優(yōu)選地,所述變速部的兩個(gè)開(kāi)口邊平行于所述電極短指,所述變速部的底邊垂直于所述電極短指。

7、作為優(yōu)選地,所述變速部的兩個(gè)開(kāi)口邊以及底邊的線寬均相同。

8、作為優(yōu)選地,所述變速部的兩個(gè)開(kāi)口邊以及底邊的線寬均為四分之一的叉指電極的線寬。

9、作為優(yōu)選地,所述變速部的兩個(gè)開(kāi)口邊以及底邊的長(zhǎng)度均相同。

10、作為優(yōu)選地,所述變速部的兩個(gè)開(kāi)口邊以及底邊的長(zhǎng)度均為二分之一波長(zhǎng)。

11、作為優(yōu)選地,所述變速部的開(kāi)口位置設(shè)置閉口邊。

12、作為優(yōu)選地,所述叉指換能器兩側(cè)的反射柵中,每個(gè)柵條均背對(duì)設(shè)置u型的變速部。

13、作為優(yōu)選地,所述變速部的開(kāi)口位置設(shè)置閉口邊。

14、第二方面,本發(fā)明提出了一種聲表面波濾波器,包括如上述的聲表面波諧振器。

15、本發(fā)明具有以下有益效果:

16、本發(fā)明在不增加諧振器體積的情況下,利用相鄰指條之間的空間以及短指與長(zhǎng)指之間的空間,添加變速部,來(lái)實(shí)現(xiàn)橫模抑制的效果,達(dá)到小體積、降成本的目的。



技術(shù)特征:

1.一種聲表面波諧振器,其特征在于,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聲表面波諧振器,其特征在于,所述變速部的兩個(gè)開(kāi)口邊平行于所述電極短指,所述變速部的底邊垂直于所述電極短指。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種聲表面波諧振器,其特征在于,所述變速部的兩個(gè)開(kāi)口邊以及底邊的線寬均相同。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種聲表面波諧振器,其特征在于,所述變速部的兩個(gè)開(kāi)口邊以及底邊的線寬均為四分之一的叉指電極的線寬。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種聲表面波諧振器,其特征在于,所述變速部的兩個(gè)開(kāi)口邊以及底邊的長(zhǎng)度均相同。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種聲表面波諧振器,其特征在于,所述變速部的兩個(gè)開(kāi)口邊以及底邊的長(zhǎng)度均為二分之一波長(zhǎng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聲表面波諧振器,其特征在于,所述變速部的開(kāi)口位置設(shè)置閉口邊。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聲表面波諧振器,其特征在于,所述叉指換能器兩側(cè)的反射柵中,每個(gè)柵條均背對(duì)設(shè)置u型的變速部。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種聲表面波諧振器,其特征在于,所述變速部的開(kāi)口位置設(shè)置閉口邊。

10.一種聲表面波濾波器,其特征在于,包括如權(quán)利要求1-9任一所述的聲表面波諧振器。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及通信用器件領(lǐng)域,公開(kāi)了一種聲表面波諧振器和聲表面波濾波器,包括復(fù)合襯底,以及設(shè)置在所述復(fù)合襯底上的叉指換能器;所述叉指換能器包括匯流條、以及在所述匯流條上交替設(shè)置的至少兩對(duì)叉指電極和電極短指;其中正對(duì)設(shè)置的所述叉指電極與所述電極短指之間設(shè)置U型的變速部,所述電極短指嵌入所述變速部的開(kāi)口內(nèi)部。本發(fā)明在不增加諧振器體積的情況下,利用相鄰指條之間的空間以及短指與長(zhǎng)指之間的空間,添加變速部,來(lái)實(shí)現(xiàn)橫模抑制的效果,達(dá)到小體積、降成本的目的。

技術(shù)研發(fā)人員:請(qǐng)求不公布姓名,請(qǐng)求不公布姓名,請(qǐng)求不公布姓名
受保護(hù)的技術(shù)使用者:成都頻岢微電子有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/9
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