1.一種基于電子回旋共振的等離子體炬，包括矩形波導(dǎo)(2)管、對稱設(shè)置在所述矩形波導(dǎo)(2)管上的兩個(gè)圓波導(dǎo)管(7)，所述矩形波導(dǎo)(2)管的長度方向與所述圓波導(dǎo)管(7)的中心線正交，所述圓波導(dǎo)管(7)與所述矩形波導(dǎo)(2)管內(nèi)部貫通，其特征在于，還包括微波等離子體放電管(4)，所述微波等離子體放電管(4)貫穿所述矩形波導(dǎo)(2)管和兩個(gè)所述圓波導(dǎo)管(7)的石英管(6)，所述石英管(6)上等間距纏繞有直流線圈(8)，所述石英管(6)內(nèi)為等離子體放電區(qū)(9)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于電子回旋共振的等離子體炬，其特征在于，所述矩形波導(dǎo)(2)管一端為微波入口，所述微波入口與磁控管連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于電子回旋共振的等離子體炬，其特征在于，所述矩形波導(dǎo)(2)管的起始頻率為1.72ghz，終止頻率為2.61ghz，截面長為109.22mm，寬為54.61mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于電子回旋共振的等離子體炬，其特征在于，位于所述圓波導(dǎo)管(7)與所述磁控管之間的矩形波導(dǎo)(2)管上設(shè)置有多個(gè)用于調(diào)節(jié)阻抗匹配和改善傳輸效率的調(diào)節(jié)銷釘。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于電子回旋共振的等離子體炬，其特征在于，所述直流線圈(8)的兩端分別與直流電源發(fā)生器(10)的正負(fù)極通過導(dǎo)線連接，所述石英管(6)一端為進(jìn)氣口，另一端連接有真空泵(11)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于電子回旋共振的等離子體炬，其特征在于，所述位置調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)(5)調(diào)整所述可調(diào)節(jié)短路面到所述微波等離子體放電管(4)之間的距離，當(dāng)距離為(2*n+1)*λg/4時(shí)，電場最大，其中，n為自然數(shù)，λg為空氣中的波導(dǎo)波長。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于電子回旋共振的等離子體炬，其特征在于，所述石英管(6)的厚度為2mm，是等離子體的放電區(qū)域。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于電子回旋共振的等離子體炬，其特征在于，所述圓波導(dǎo)管(7)的直徑為32mm。
9.一種用于分析電子回旋共振的等離子體炬的簡化仿真方法，其特征在于，適用于權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的一種基于電子回旋共振的等離子體炬。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種用于分析電子回旋共振的等離子體炬的簡化仿真方法，其特征在于，包括如下步驟：