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一種新型的用于DiFEM射頻模組的BDMP封裝方法與流程

文檔序號(hào):40589627發(fā)布日期:2025-01-07 20:29閱讀:7來(lái)源:國(guó)知局

本發(fā)明公開(kāi)一種bdmp封裝方法,特別是一種新型的用于difem射頻模組的bdmp封裝方法。


背景技術(shù):

1、國(guó)內(nèi)射頻前端模組廠商通常會(huì)采用bdmp的封裝方式來(lái)實(shí)現(xiàn)射頻模組的封裝。"bdmp"全稱是?"bare?die?molded?package",這種封裝是將裸saw芯片上生長(zhǎng)出錫球(bump),然后直接倒裝在基板上,再注塑成模組的方式。

2、在saw晶圓上形成錫球(solder?bumps)的工藝流程為:

3、①首先清洗晶圓,以去除表面污染物和氧化層。通過(guò)化學(xué)鍍的方式,在晶圓焊盤(pad)上沉積鎳、鈀和金。這些金屬層對(duì)于確保良好的焊接接合和防止錫擴(kuò)散至焊料中非常重要。

4、②使用專門的設(shè)備(如絲網(wǎng)印刷)在金層上精確地涂抹錫膏,這一步是為了在晶圓上建立物理和電氣連接點(diǎn),為接下來(lái)的回流焊過(guò)程做好準(zhǔn)備。錫膏通常由錫焊料與助焊劑組成。錫焊料:通常由錫(sn)和其他金屬(如鉛、銀、銅)的合金組成,選擇合金的成份取決于所需的熔點(diǎn)和機(jī)械特性。助焊劑是為了幫助清除金屬表面的氧化物,減少表面張力,使焊料能更好地流動(dòng)和粘附。

5、③將晶圓放入回流焊爐,逐漸加熱至超過(guò)錫膏的熔點(diǎn)。這個(gè)過(guò)程中,錫膏熔化并在金屬墊上形成圓頂形的錫球。隨著爐溫的下降,錫固化,形成堅(jiān)固的焊點(diǎn)。

6、④使用適當(dāng)?shù)娜軇┗蚯逑匆簩?duì)晶圓進(jìn)行清洗,以去除助焊劑殘留物。徹底干燥晶圓,確保沒(méi)有殘留的清洗液。

7、⑤將晶圓切割,打包編帶。

8、該工藝的缺點(diǎn)主要有:ⅰ.需要進(jìn)行化學(xué)鍍,化學(xué)鍍時(shí)需要高溫,但是saw晶圓很薄,在巨大溫差下容易發(fā)生裂片情況;ⅱ.在植錫球時(shí),由于要刷錫膏,需要對(duì)不同類型的晶圓定制不同的鋼網(wǎng),制作費(fèi)用昂貴且不易于變更植球方案;ⅲ.在清洗助焊劑時(shí)需要用到一些化學(xué)藥水,容易腐蝕saw濾波器。

9、將已經(jīng)植球的芯片sip封裝為模組的工藝流程如下:

10、①用smt機(jī)臺(tái)將saw濾波器芯片,開(kāi)關(guān)精確放置在pcb基板上,pcb基板上刷有錫膏,之后通過(guò)回流爐進(jìn)行回流焊接,以將濾波器芯片與開(kāi)關(guān)固定在基板上。

11、②在pcb基板上附上一層50μm厚的tsa膜,以保護(hù)saw濾波器,以免使后續(xù)的cmolding工序中的環(huán)氧樹(shù)脂進(jìn)入空腔。

12、③使用環(huán)氧樹(shù)脂通過(guò)壓力對(duì)pcb基板、濾波器、開(kāi)關(guān)進(jìn)行擠壓注塑。

13、④固化后,使用劃片機(jī)對(duì)封裝后的pcb基板進(jìn)行切割,得到一粒粒的difem射頻模組。

14、該工藝的缺點(diǎn)主要為:在smt工序中,需要將植球后的芯片倒裝在基板上,在此過(guò)程中,錫球倒裝到基板上會(huì)出現(xiàn)很多的工藝問(wèn)題,如:空洞等。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)上述提到的現(xiàn)有技術(shù)中的通常采用bdmp的封裝方式來(lái)實(shí)現(xiàn)射頻模組的封裝,錫球倒裝到基板上會(huì)出現(xiàn)很多的工藝問(wèn)題的缺點(diǎn),本發(fā)明提供一種新型的用于difem射頻模組的bdmp封裝方法,用球焊機(jī)在晶圓上植金球的方式替代印刷錫膏植錫球的方式,采用倒裝機(jī)進(jìn)行封裝,可解決上述問(wèn)題。

2、本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題采用的技術(shù)方案是:一種新型的用于difem射頻模組的bdmp封裝方法,該封裝方法包括下述步驟:

3、步驟s1、植金球:將待處理的晶圓固定在載具上,通過(guò)打火桿加熱金絲,使金絲的末端熔化形成一個(gè)圓球,然后將金球?qū)?zhǔn)到晶圓上的特定焊盤,將金球輕輕壓在焊盤上,并同時(shí)施加超聲波振動(dòng),超聲波振動(dòng)和壓力共同作用使金球與焊盤焊接在一起,形成一個(gè)微小的金球焊點(diǎn),金球焊接在焊盤上,金絲被切斷,留下一個(gè)完整的金球焊點(diǎn)在焊盤上;

4、步驟s2、晶圓切割:使用劃片機(jī)沿預(yù)定的切割道將晶圓切割成單獨(dú)的芯片;

5、步驟s3、芯片和開(kāi)關(guān)倒裝:用倒裝機(jī)通過(guò)金-金鍵合的原理,將saw芯片和開(kāi)關(guān)倒裝到射頻模組的pcb基板上;

6、步驟s4、覆膜:將膜附在貼有saw芯片和開(kāi)關(guān)的pcb基板上;

7、步驟s5、覆保護(hù)膜:將保護(hù)膜附在步驟s4的覆膜表面,并對(duì)其進(jìn)行固化;

8、步驟s6、切割pcb基板:將固化后的pcb板沿著pcb板的切割道進(jìn)行切割編帶,得到difem模組。

9、本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題采用的技術(shù)方案進(jìn)一步還包括:

10、所述的步驟s2中,晶圓切割之前在晶圓表面涂上保護(hù)層。

11、所述的步驟s2中,晶圓切割之后去除表面的保護(hù)層,得到切割后的芯片。

12、所述的步驟s1中,植金球時(shí),在同一個(gè)位置上,連續(xù)植兩個(gè)金球。

13、所述的步驟s4中,覆膜時(shí)采用tsa膜或者環(huán)氧樹(shù)脂膜。

14、所述的tsa膜或者環(huán)氧樹(shù)脂膜厚度為50μm。

15、所述的保護(hù)膜采用氧樹(shù)脂膜或塑膠膜。

16、所述的保護(hù)膜采用氧樹(shù)脂膜時(shí),采用烘箱進(jìn)行固化,烘箱的固化溫度為150℃~250℃。

17、本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明大大簡(jiǎn)化了bdmp封裝的工藝步驟,提高了生產(chǎn)效率;減少了生產(chǎn)中所需的材料和能源消耗,還降低了人力和維護(hù)成本;降低了工藝問(wèn)題出現(xiàn)的概率,從而提高了產(chǎn)品的整體質(zhì)量和一致性。

18、下面將結(jié)合具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步說(shuō)明。



技術(shù)特征:

1.一種新型的用于difem射頻模組的bdmp封裝方法,其特征是:所述的封裝方法包括下述步驟:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型的用于difem射頻模組的bdmp封裝方法,其特征是:所述的步驟s2中,晶圓切割之前在晶圓表面涂上保護(hù)層。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的新型的用于difem射頻模組的bdmp封裝方法,其特征是:所述的步驟s2中,晶圓切割之后去除表面的保護(hù)層,得到切割后的芯片。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型的用于difem射頻模組的bdmp封裝方法,其特征是:所述的步驟s1中,植金球時(shí),在同一個(gè)位置上,連續(xù)植兩個(gè)金球。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型的用于difem射頻模組的bdmp封裝方法,其特征是:所述的步驟s4中,覆膜時(shí)采用tsa膜或者環(huán)氧樹(shù)脂膜。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的新型的用于difem射頻模組的bdmp封裝方法,其特征是:所述的tsa膜或者環(huán)氧樹(shù)脂膜厚度為50μm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型的用于difem射頻模組的bdmp封裝方法,其特征是:所述的保護(hù)膜采用氧樹(shù)脂膜或塑膠膜。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型的用于difem射頻模組的bdmp封裝方法,其特征是:所述的保護(hù)膜采用氧樹(shù)脂膜時(shí),采用烘箱進(jìn)行固化,烘箱的固化溫度為150℃~250℃。


技術(shù)總結(jié)
一種新型的用于DiFEM射頻模組的BDMP封裝方法,該方法包括下述步驟:步驟S1、植金球:將待處理的晶圓固定在載具上,形成一個(gè)微小的金球焊點(diǎn),金球焊接在焊盤上,金絲被切斷,留下一個(gè)完整的金球焊點(diǎn)在焊盤上;步驟S2、晶圓切割:使用劃片機(jī)沿預(yù)定的切割道將晶圓切割成單獨(dú)的芯片;步驟S3、芯片和開(kāi)關(guān)倒裝:用倒裝機(jī)通過(guò)金?金鍵合的原理,將SAW芯片和開(kāi)關(guān)倒裝到射頻模組的PCB基板上;步驟S4、覆膜:將膜附在貼有SAW芯片和開(kāi)關(guān)的PCB基板上;步驟S5、覆保護(hù)膜:將保護(hù)膜附在步驟S4的覆膜表面,并對(duì)其進(jìn)行固化;步驟S6、切割PCB基板:將固化后的PCB板沿著切割道進(jìn)行切割編帶,得到DiFEM模組。

技術(shù)研發(fā)人員:賴定權(quán),湯飛凡
受保護(hù)的技術(shù)使用者:深圳市麥捷微電子科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/6
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