本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體，尤其涉及一種諧振器及其制備方法、濾波器。

背景技術(shù)：

1、隨著無(wú)線通信的迅猛發(fā)展，無(wú)線信號(hào)變得越來(lái)越擁擠，對(duì)工作在射頻頻段的諧振器提出了更高的要求。

2、目前現(xiàn)有技術(shù)中諧振器的下電極層、壓電層和上電極層在垂直方向上依次層疊設(shè)置，形成一種縱向三明治結(jié)構(gòu)，器件尺寸較大，不利于器件的小型化設(shè)計(jì)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、鑒于上述問(wèn)題，本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N諧振器及其制備方法、濾波器。具體方案如下：

2、本申請(qǐng)第一方面提供一種諧振器，所述諧振器包括：襯底；

3、位于所述襯底一側(cè)的壓電層；

4、在第一方向上位于所述壓電層兩側(cè)的第一電極層和第二電極層，所述第一方向平行于所述襯底所在平面。

5、優(yōu)選的，在上述諧振器中，所述諧振器還包括：

6、鈍化層，所述鈍化層包括頂部部分以及側(cè)壁部分，所述頂部部分與所述襯底相對(duì)設(shè)置，所述鈍化層通過(guò)所述側(cè)壁部分固定在所述襯底上，所述鈍化層和所述襯底形成空腔；

7、所述壓電層、所述第一電極層和所述第二電極層位于所述空腔內(nèi)。

8、優(yōu)選的，在上述諧振器中，所述第一電極層包括第一電極部分和第二電極部分；

9、所述第一電極部分位于所述頂部部分與所述襯底之間；在第二方向上，所述第一電極部分的第一側(cè)與所述頂部部分接觸，所述第一電極部分的第二側(cè)與所述襯底接觸；所述第二方向與所述第一方向垂直；

10、所述第二電極部分位于所述襯底上；在所述第一方向上，所述第二電極部分的第一側(cè)與所述第一電極部分的第二側(cè)接觸，所述第二電極部分的第二側(cè)向遠(yuǎn)離所述第二電極層的方向延伸。

11、優(yōu)選的，在上述諧振器中，所述頂部部分具有第一通孔；所述諧振器還包括：第一焊盤(pán)；

12、所述第一焊盤(pán)位于所述頂部部分背離所述襯底的一側(cè)，所述第一焊盤(pán)通過(guò)所述第一通孔與所述第二電極部分連接。

13、優(yōu)選的，在上述諧振器中，所述第二電極部分延伸至所述鈍化層的外部；

14、所述諧振器還包括：第一焊盤(pán)；

15、所述第一焊盤(pán)與第一目標(biāo)電極連接，所述第一目標(biāo)電極為所述第二電極部分延伸至所述鈍化層外部的電極部分。

16、優(yōu)選的，在上述諧振器中，所述第二電極層包括第三電極部分和第四電極部分；

17、所述第三電極部分位于所述頂部部分與所述襯底之間；在第二方向上，所述第三電極部分的第一側(cè)與所述頂部部分接觸，所述第三電極部分的第二側(cè)與所述襯底接觸；所述第二方向與所述第一方向垂直；

18、所述第四電極部分位于所述襯底上；在所述第一方向上，所述第四電極部分的第一側(cè)與所述第三電極部分的第二側(cè)接觸，所述第四電極部分的第二側(cè)向遠(yuǎn)離所述第一電極層的方向延伸。

19、優(yōu)選的，在上述諧振器中，所述頂部部分具有第二通孔；所述諧振器還包括：第二焊盤(pán)；

20、所述第二焊盤(pán)位于所述頂部部分背離所述襯底的一側(cè)，所述第二焊盤(pán)通過(guò)所述第二通孔與所述第四電極部分連接。

21、優(yōu)選的，在上述諧振器中，所述第四電極部分延伸至所述鈍化層的外部；

22、所述諧振器還包括：第二焊盤(pán)；

23、所述第二焊盤(pán)與第二目標(biāo)電極連接，所述第二目標(biāo)電極為所述第四電極部分延伸至所述鈍化層外部的電極部分。

24、本申請(qǐng)第二方面提供一種諧振器的制備方法，所述諧振器的制備方法包括：

25、提供一襯底；

26、在所述襯底上形成壓電層；

27、形成電極層，所述電極層覆蓋所述壓電層；

28、對(duì)所述電極層進(jìn)行一次刻蝕處理，形成第一電極層和第二電極層；在第一方向上所述第一電極層和所述第二電極層位于所述壓電層的兩側(cè)，所述第一方向平行于所述襯底所在平面。

29、本申請(qǐng)第三方面提供一種濾波器，所述濾波器包括上述任一項(xiàng)所述的諧振器。

30、借由上述技術(shù)方案，本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N諧振器及其制備方法、濾波器，該諧振器中在平行于所述襯底所在平面的方向上第一電極層和第二電極層位于壓電層的兩側(cè)，形成一種橫向三明治結(jié)構(gòu)。現(xiàn)有技術(shù)中的縱向三明治結(jié)構(gòu)可以理解為是面分布的結(jié)構(gòu)，本申請(qǐng)中的橫向三明治結(jié)構(gòu)可以理解為是線分布的結(jié)構(gòu)。顯然橫向三明治結(jié)構(gòu)相比較縱向三明治結(jié)構(gòu)而言，可極大程度的縮小所占區(qū)域的面積，所制備的諧振器的尺寸會(huì)顯著減小，有利于器件的小型化設(shè)計(jì)。

技術(shù)特征：

1.一種諧振器，其特征在于，所述諧振器包括：襯底；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的諧振器，其特征在于，所述諧振器還包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的諧振器，其特征在于，所述第一電極層包括第一電極部分和第二電極部分；

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的諧振器，其特征在于，所述頂部部分具有第一通孔；所述諧振器還包括：第一焊盤(pán)；

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的諧振器，其特征在于，所述第二電極部分延伸至所述鈍化層的外部；

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的諧振器，其特征在于，所述第二電極層包括第三電極部分和第四電極部分；

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的諧振器，其特征在于，所述頂部部分具有第二通孔；所述諧振器還包括：第二焊盤(pán)；

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的諧振器，其特征在于，所述第四電極部分延伸至所述鈍化層的外部；

9.一種諧振器的制備方法，其特征在于，所述諧振器的制備方法包括：

10.一種濾波器，其特征在于，所述濾波器包括權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的諧振器。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種諧振器及其制備方法、濾波器，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。該諧振器中在平行于所述襯底所在平面的方向上第一電極層和第二電極層位于壓電層的兩側(cè)，形成一種橫向三明治結(jié)構(gòu)?，F(xiàn)有技術(shù)中的縱向三明治結(jié)構(gòu)可以理解為是面分布的結(jié)構(gòu)，本申請(qǐng)中的橫向三明治結(jié)構(gòu)可以理解為是線分布的結(jié)構(gòu)。顯然橫向三明治結(jié)構(gòu)相比較縱向三明治結(jié)構(gòu)而言，可極大程度的縮小所占區(qū)域的面積，所制備的諧振器的尺寸會(huì)顯著減小，有利于器件的小型化設(shè)計(jì)。

技術(shù)研發(fā)人員：王友良,馮端
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳新聲半導(dǎo)體有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/30