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一種功率半導(dǎo)體模塊的制作方法

文檔序號(hào):11387322閱讀:208來(lái)源:國(guó)知局
一種功率半導(dǎo)體模塊的制造方法與工藝

本實(shí)用新型涉及的是一種預(yù)涂覆相變材料的功率半導(dǎo)體模塊,屬于功率半導(dǎo)體模塊技術(shù)領(lǐng)域。



背景技術(shù):

目前常規(guī)的功率模塊在出廠時(shí),功率模塊的基板底部不涂覆任何導(dǎo)熱材料,而是在功率模塊安裝到散熱器上時(shí),在功率模塊的底面涂覆導(dǎo)熱硅脂。功率模塊運(yùn)行過(guò)程中,通過(guò)導(dǎo)熱硅脂將功率模塊的熱量傳導(dǎo)至散熱器。然而導(dǎo)熱硅脂的導(dǎo)熱性能并不優(yōu)良,目前市場(chǎng)上常用的導(dǎo)熱硅脂導(dǎo)熱能力相對(duì)來(lái)說(shuō)較差,由其材料特性決定了導(dǎo)熱硅脂的熱阻占了整個(gè)模塊熱阻的50%左右。因此目前市場(chǎng)需要一種導(dǎo)熱性能更加優(yōu)良的熱界面材料,提升模塊的整體散熱能力。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的不足,而提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便,能提高功率模塊的散熱性能,提高功率模塊使用壽命的、預(yù)涂覆相變材料的功率半導(dǎo)體模塊及其制備方法。

本實(shí)用新型的目的是通過(guò)如下技術(shù)方案來(lái)完成的,一種功率半導(dǎo)體模塊,它包括一功率半導(dǎo)體模塊,所述功率半導(dǎo)體模塊的底部散熱界面上涂覆有受熱融化的導(dǎo)熱相變材料,另在功率半導(dǎo)體模塊的散熱界面上固定安裝有散熱器,且所述導(dǎo)熱相變材料介于散熱界面與散熱器之間的空間中。

作為優(yōu)選:所述功率半導(dǎo)體模塊底面帶有銅散熱底板;所述的散熱界面所涂覆的導(dǎo)熱相變材料,其厚度范圍為0.05mm——0.20mm之間。

作為優(yōu)選:所述的導(dǎo)熱相變材料使用鋼網(wǎng)印刷技術(shù)進(jìn)行印制,所述的鋼網(wǎng)上單孔形狀為圓形、矩形、六邊形或者其它規(guī)則的易于陣列排布的形狀。

一種如上所述功率半導(dǎo)體模塊的制備方法,所述的制備方法包括如下步驟:

a)在完成常規(guī)功率半導(dǎo)體模塊的制作以后,使用鋼網(wǎng)印刷技術(shù),在功率半導(dǎo)體模塊底面的熱接觸面、即散熱界面涂覆導(dǎo)熱相變材料;

b)導(dǎo)熱相變材料涂覆完成以后使用烘箱烘烤,烘烤溫度在80—100℃,烘烤完成后在常溫條件下放置1-2個(gè)小時(shí),使涂覆在熱接觸面表面的相變材料固化到固體的狀態(tài);

c)導(dǎo)熱相變材料在固化到固體之后,依然保持印制時(shí)的形狀。

作為優(yōu)選:所述的功率半導(dǎo)體模塊在安裝到散熱器上,由于導(dǎo)熱相變材料為固態(tài),功率半導(dǎo)體的散熱界面與散熱器之間存在空隙,未被散熱界面材料所填滿,散熱界面材料指的是涂覆在功率半導(dǎo)體模塊散熱界面的導(dǎo)熱相變材料;內(nèi)部的半導(dǎo)體器件發(fā)熱之后,熱量傳導(dǎo)至涂覆在散熱界面上的導(dǎo)熱相變材料,導(dǎo)熱相變材料融化之后即可填滿功率半導(dǎo)體模塊熱接觸面與散熱器之間的空隙,形成良好的導(dǎo)熱效果。

本實(shí)用新型所述的功率半導(dǎo)體模塊在系統(tǒng)初始啟動(dòng)時(shí),由于相變材料還屬于固態(tài),相比較于有軟接觸材料的系統(tǒng),涂覆了相變材料的功率半導(dǎo)體模塊從芯片到散熱器之間的熱阻比有軟接觸材料的功率半導(dǎo)體模塊會(huì)高10%-15%。系統(tǒng)運(yùn)行開(kāi)始發(fā)熱,當(dāng)模塊底板的溫度上升到45℃以上時(shí),導(dǎo)熱相變材料開(kāi)始相變過(guò)程,逐漸由原先的固態(tài)轉(zhuǎn)變成液態(tài),相變材料液化以后會(huì)開(kāi)始轉(zhuǎn)變成最優(yōu)化的厚度。初始狀態(tài)時(shí),由于散熱器的溫度還在45℃到50℃之間,因此稍高的熱阻并不會(huì)造成功率半導(dǎo)體模塊的過(guò)溫?fù)p壞。

功率半導(dǎo)體模塊安裝到系統(tǒng)上以后,在系統(tǒng)的老化測(cè)試時(shí),整個(gè)系統(tǒng)會(huì)被加熱,這樣就給相變材料的液化提供了足夠的時(shí)間。導(dǎo)熱相變材料在45℃開(kāi)始液化,在很短的時(shí)間內(nèi)填補(bǔ)功率半導(dǎo)體模塊以及散熱器之間的空隙。相變材料液化以后模塊的安裝螺絲不需要重新加固。

當(dāng)系統(tǒng)停機(jī)以后,功率半導(dǎo)體模塊溫度下降至45℃以下時(shí),相變材料重新凝固到固態(tài),系統(tǒng)再次運(yùn)行底板重新加熱以后相變材料又會(huì)再次融化,填滿功率半導(dǎo)體模塊以及散熱器之間的空隙。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型所述功率半導(dǎo)體模塊安裝到散熱器以后的系統(tǒng)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型所述帶有銅散熱底板的功率半導(dǎo)體模塊示意圖。

圖3是本實(shí)用新型所述不帶銅散熱底板的功率半導(dǎo)體模塊示意圖。

圖4是本實(shí)用新型所述功率半導(dǎo)體模塊散熱界面示意圖。

圖5是本實(shí)用新型所述矩形陣列排布的印刷鋼網(wǎng)圖形圖。

圖6是本實(shí)用新型所述圓形陣列排布的印刷鋼網(wǎng)圖形圖。

圖7是本實(shí)用新型所述六邊形陣列排布的印刷鋼網(wǎng)圖形圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)的介紹:圖1-7所示,本實(shí)用新型所述的一種功率半導(dǎo)體模塊,所述功率半導(dǎo)體模塊1的底部散熱界面5上涂覆有受熱融化的導(dǎo)熱相變材料2,另在功率半導(dǎo)體模塊1的散熱界面5上固定安裝有散熱器3,且所述導(dǎo)熱相變材料2介于散熱界面5與散熱器3之間的空間中。

所述的功率半導(dǎo)體模塊可以是包含銅散熱基板4的中到大功率模塊,如圖2所示,也可以是不包含銅散熱基板的小功率半導(dǎo)體模塊,如圖3所示。

所述功率半導(dǎo)體模塊1底面帶有銅散熱底板;所述的散熱界面5所涂覆的導(dǎo)熱相變材料2,其厚度范圍為0.05mm——0.20mm之間。

所述的導(dǎo)熱相變材料2使用鋼網(wǎng)印刷技術(shù)進(jìn)行印制,所述的鋼網(wǎng)上單孔形狀為圓形、矩形、六邊形或者其它規(guī)則的易于陣列排布的形狀,見(jiàn)圖5-7所示。

一種如上所述功率半導(dǎo)體模塊的制備方法,所述的制備方法包括如下步驟:

a)在完成常規(guī)功率半導(dǎo)體模塊的制作以后,使用鋼網(wǎng)印刷技術(shù),在功率半導(dǎo)體模塊1底面的熱接觸面5、即散熱界面涂覆導(dǎo)熱相變材料2;

b)導(dǎo)熱相變材料2涂覆完成以后使用烘箱烘烤,烘烤溫度在80—100℃,烘烤完成后在常溫條件下放置1-2個(gè)小時(shí),使涂覆在熱接觸面表面的導(dǎo)熱相變材料2固化到固體的狀態(tài);

c)導(dǎo)熱相變材料2在固化到固體之后,依然保持印制時(shí)的形狀。

本實(shí)用新型所述的功率半導(dǎo)體模塊1在安裝到散熱器3上,由于導(dǎo)熱相變材料2為固態(tài),功率半導(dǎo)體1的散熱界面5與散熱器3之間存在空隙,未被散熱界面材料所填滿,散熱界面材料指的是涂覆在功率半導(dǎo)體模塊1散熱界面5的導(dǎo)熱相變材料2;內(nèi)部的半導(dǎo)體器件發(fā)熱之后,熱量傳導(dǎo)至涂覆在散熱界面上的導(dǎo)熱相變材料2,導(dǎo)熱相變材料融化之后即可填滿功率半導(dǎo)體模塊熱接觸面5與散熱器3之間的空隙,形成良好的導(dǎo)熱效果。

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