本發(fā)明涉及電子部件安裝裝置。

背景技術(shù)：

電子部件安裝裝置使用安裝頭將電子部件安裝于基板。如專利文獻(xiàn)1的公開所示，電子部件安裝裝置能夠?qū)⒏鞣N各樣的外形尺寸的電子部件安裝于基板。

專利文獻(xiàn)1：日本特開平11－135990號公報(bào)

在現(xiàn)有技術(shù)中，為了將小型電子部件及大型電子部件分別安裝于基板，在電子部件安裝裝置中設(shè)置有小型電子部件用的吸附單元及大型電子部件用的吸附單元這兩者。但是，根據(jù)電子部件安裝裝置的構(gòu)造，有可能損害電子部件安裝裝置的通用性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的方式的目的在于，提供一種具有高通用性的電子部件安裝裝置。

按照本發(fā)明的方式，提供一種電子部件安裝裝置，其具備：多個吸附單元，它們各自具有可裝卸地保持電子部件的吸嘴及對所述吸嘴進(jìn)行支撐的軸，能夠?qū)⒂伤鑫毂３值碾娮硬考惭b于基板；第1電動機(jī)，其產(chǎn)生用于將多個所述吸附單元中的第1吸附單元的所述吸嘴移動的動力；第2電動機(jī)，其產(chǎn)生用于將多個所述吸附單元中的第2吸附單元的所述吸嘴移動的動力，該動力是以比所述第1電動機(jī)高的輸出產(chǎn)生的；以及支撐部件，其以多個所述吸附單元的所述軸沿規(guī)定面內(nèi)的第1軸方向等間隔地配置的方式對多個所述吸附單元進(jìn)行支撐。

根據(jù)本發(fā)明的方式，通過設(shè)置第1電動機(jī)和以比第1電動機(jī)高的輸出產(chǎn)生動力的第2電動機(jī)，從而能夠使用通過第1電動機(jī)產(chǎn)生的動力而工作的第1吸附單元，將小型電子部件高速地進(jìn)行安裝，使用通過第2電動機(jī)產(chǎn)生的動力而工作的第2吸附單元，將大型電子部件順利地進(jìn)行安裝。多個吸附單元的軸等間隔地配置，因此在僅對小型電子部件進(jìn)行安裝的情況下，能夠使用第1吸附單元及第2吸附單元這兩者同時對多個小型電子部件保持而進(jìn)行安裝。如上所述，通過設(shè)置第1電動機(jī)及第2電動機(jī)，多個軸等間隔地配置，從而能夠應(yīng)對電子部件安裝裝置對小型電子部件及大型電子部件這兩者進(jìn)行安裝的情況、及僅對小型電子部件進(jìn)行安裝的情況這兩種情況。能夠應(yīng)對各種生產(chǎn)方式，因此電子部件安裝裝置的通用性提高。

在本發(fā)明的方式中，優(yōu)選具備：第1驅(qū)動帶輪，其與所述第1電動機(jī)的輸出軸連接；第1傳動帶，其由所述第1驅(qū)動帶輪支撐；第1從動帶輪，其經(jīng)由所述第1傳動帶而與所述第1驅(qū)動帶輪連結(jié)，與多個所述軸中的第1軸連接；第2驅(qū)動帶輪，其與所述第2電動機(jī)的輸出軸連接；第2傳動帶，其由所述第2驅(qū)動帶輪支撐；以及第2從動帶輪，其經(jīng)由所述第2傳動帶而與所述第2驅(qū)動帶輪連結(jié)，與多個所述軸中的第2軸連接，所述第2驅(qū)動帶輪的外徑比所述第1驅(qū)動帶輪的外徑大，所述第2驅(qū)動帶輪的重量比所述第1驅(qū)動帶輪的重量大。

在通過與旋轉(zhuǎn)慣性矩小的帶輪連結(jié)的吸嘴將大型電子部件移動的情況下，吸嘴的移動有可能變得不穩(wěn)定，發(fā)生晃動。所謂晃動，是指通過由電動機(jī)產(chǎn)生的動力而使吸嘴移動，在將電動機(jī)的輸出停止之后，吸嘴仍沒有充分地停止而振動的現(xiàn)象。通過將第2驅(qū)動帶輪的外徑及重量增大，從而第2驅(qū)動帶輪的旋轉(zhuǎn)慣性矩變大。因此，在通過與第2驅(qū)動帶輪連結(jié)的吸嘴將大型電子部件移動的情況下，抑制晃動的發(fā)生。因此，對向大型電子部件的基板進(jìn)行安裝時的定位精度的降低進(jìn)行抑制。

在本發(fā)明的方式中，優(yōu)選所述第1電動機(jī)產(chǎn)生用于使所述第1軸旋轉(zhuǎn)的動力，所述第2電動機(jī)產(chǎn)生用于使所述第2軸旋轉(zhuǎn)的動力。

晃動在使由吸嘴保持的大型電子部件旋轉(zhuǎn)時發(fā)生的可能性高。通過將與用于使第2軸旋轉(zhuǎn)的第2電動機(jī)連接的第2驅(qū)動帶輪的旋轉(zhuǎn)慣性矩增大，從而能夠抑制晃動的發(fā)生。

在本發(fā)明的方式中，優(yōu)選所述第1電動機(jī)與所述第1吸附單元相對應(yīng)地設(shè)置，所述第2電動機(jī)與所述第2吸附單元相對應(yīng)地設(shè)置，所述第2電動機(jī)的數(shù)量比所述第1電動機(jī)的數(shù)量少。

通過使高輸出的第2電動機(jī)的數(shù)量比低輸出的第1電動機(jī)的數(shù)量少，從而能夠抑制安裝頭的大型化，抑制吸附單元所消耗的電力。

在本發(fā)明的方式中，優(yōu)選多個所述第1驅(qū)動帶輪和所述第2驅(qū)動帶輪沿所述第1軸方向配置，相鄰的第1驅(qū)動帶輪與第2驅(qū)動帶輪之間的距離，比相鄰的第1驅(qū)動帶輪與第1驅(qū)動帶輪之間的距離大。

高輸出的第2電動機(jī)的外形比低輸出的第1電動機(jī)的外形大的可能性高。使相鄰的第1電動機(jī)的輸出軸與第2電動機(jī)的輸出軸之間的距離大于相鄰的第1電動機(jī)的輸出軸與第1電動機(jī)的輸出軸之間的距離，使相鄰的第1驅(qū)動帶輪與第2驅(qū)動帶輪之間的距離大于相鄰的第1驅(qū)動帶輪與第1驅(qū)動帶輪之間的距離，通過第1傳動帶將與第1電動機(jī)的輸出軸連接的第1驅(qū)動帶輪和與第1軸連接的第1從動帶輪連結(jié)，通過第2傳動帶將與第2電動機(jī)的輸出軸連接的第2驅(qū)動帶輪和與第2軸連接的第2從動帶輪連結(jié)，由此能夠一邊將第1電動機(jī)和第2電動機(jī)沿第1軸方向順利地配置，一邊將多個吸附單元的軸沿第1軸方向等間隔地配置。

在本發(fā)明的方式中，優(yōu)選具備：定位標(biāo)記，其設(shè)置于所述第2傳動帶；檢測器，其對所述定位標(biāo)記進(jìn)行檢測；以及定位部，其基于所述檢測器的檢測結(jié)果，對所述第2電動機(jī)進(jìn)行控制，以對所述第2傳動帶進(jìn)行定位。

在驅(qū)動帶輪和從動帶輪經(jīng)由傳動帶連結(jié)的情況下，由于傳動帶的移動誤差或制造誤差等，有可能使與驅(qū)動帶輪的旋轉(zhuǎn)量對應(yīng)的從動帶輪的旋轉(zhuǎn)量從目標(biāo)值或預(yù)測值偏離。特別地，如果存在用于對保持大型電子部件的吸嘴進(jìn)行驅(qū)動的第2從動帶輪的旋轉(zhuǎn)誤差，則第2電子部件的旋轉(zhuǎn)方向的位置誤差顯著地顯現(xiàn)，還引起向基板進(jìn)行安裝的第2電子部件的位置誤差。在第2傳動帶設(shè)置定位標(biāo)記，由檢測器對該定位標(biāo)記進(jìn)行檢測，由此能夠進(jìn)行包含第2傳動帶的原點(diǎn)復(fù)位的定位。

在本發(fā)明的方式中，優(yōu)選所述第1吸附單元在所述第1軸方向上配置于所述第2吸附單元的兩側(cè)。

在多個吸附單元沿第1軸方向配置的情況下，在對大型電子部件進(jìn)行保持的第2吸附單元的吸嘴配置于最端部的情況下，由該吸嘴保持的大型電子部件有可能與周圍的部件(例如照相機(jī)等)接觸。通過在第2吸附單元的兩側(cè)配置第1吸附單元，從而抑制由第2吸附單元的吸嘴保持的大型電子部件與周圍的部件接觸。

在本發(fā)明的方式中，優(yōu)選具備控制部，該控制部對所述第1吸附單元及所述第2吸附單元進(jìn)行控制，以使得在通過多個所述第1吸附單元將多個第1電子部件向所述基板安裝前或安裝后，通過所述第2吸附單元，將外形尺寸比所述第1電子部件大的第2電子部件安裝于所述基板。

由此，通過由高輸出的第2電動機(jī)進(jìn)行驅(qū)動的第2吸附單元，將大型電子部件即第2電子部件順利地安裝于基板，通過由第1電動機(jī)進(jìn)行驅(qū)動的第1吸附單元，將小型電子部件即第1電子部件高速地安裝于基板。

在本發(fā)明的方式中，優(yōu)選所述控制部對所述第1吸附單元及所述第2吸附單元進(jìn)行控制，以使得通過多個所述第1吸附單元及所述第2吸附單元將所述第1電子部件安裝于所述基板。

由此，通過包含第1吸附單元及第2吸附單元的多個吸附單元，能夠?qū)⑿⌒碗娮硬考炊鄠€第1電子部件高速地安裝于基板。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明的方式，提供一種具有高通用性的電子部件安裝裝置。

附圖說明

圖1是表示第1實(shí)施方式所涉及的電子部件安裝裝置的一個例子的示意圖。

圖2是示意地表示第1實(shí)施方式所涉及的安裝頭的一個例子的側(cè)視圖。

圖3是示意地表示第1實(shí)施方式所涉及的安裝頭的一個例子的正視圖。

圖4是示意地表示第1實(shí)施方式所涉及的安裝頭的一個例子的斜視圖。

圖5是從后方觀察第1實(shí)施方式所涉及的安裝頭的一部分的圖。

圖6是從下方觀察第1實(shí)施方式所涉及的安裝頭的一部分的斜視圖。

圖7是從下方觀察第1實(shí)施方式所涉及的安裝頭的一部分的圖。

圖8是從上方觀察第1實(shí)施方式所涉及的安裝頭的一部分的圖。

圖9是表示第1實(shí)施方式所涉及的電子部件安裝裝置的一個例子的功能框圖。

圖10是示意地表示通過第1實(shí)施方式所涉及的吸附單元進(jìn)行安裝的第1電子部件及第2電子部件的一個例子的圖。

圖11是表示第1實(shí)施方式所涉及的電子部件安裝方法的一個例子的流程圖。

圖12是示意地表示第2實(shí)施方式所涉及的旋轉(zhuǎn)電動機(jī)及動力傳遞機(jī)構(gòu)的一個例子的圖。

標(biāo)號的說明

1 電子部件安裝裝置

2 基板輸送裝置

2G 引導(dǎo)部件

2H 基板保持部件

3 電子部件供給裝置

4 移動系統(tǒng)

5 更換吸嘴保持裝置

6 基座

7 控制裝置

8 Y軸驅(qū)動裝置

9 X軸驅(qū)動裝置

10 吸附單元

10A 第1吸附單元

10B 第2吸附單元

11 吸嘴

12 支撐部件

12A 鉛垂部

12B 上水平部

12C 下水平部

13 軸

14 保持架

15 Z驅(qū)動裝置

16 θZ驅(qū)動裝置

17 旋轉(zhuǎn)電動機(jī)

18 動力傳遞機(jī)構(gòu)

19 旋轉(zhuǎn)電動機(jī)

19A 第1電動機(jī)

19B 第2電動機(jī)

20 動力傳遞機(jī)構(gòu)

21 部件檢測裝置

22 引導(dǎo)部

23 滑動部

24 驅(qū)動帶輪

25 從動帶輪

26 傳動帶

27 滾珠絲杠機(jī)構(gòu)

27A 絲杠軸

27B 螺母

28 軸承

29 驅(qū)動帶輪

29A 第1驅(qū)動帶輪

29B 第2驅(qū)動帶輪

30 從動帶輪

30A 第1從動帶輪

30B 第2從動帶輪

31 傳動帶

31A 第1傳動帶

31B 第2傳動帶

32 軸承

33 軸承

34 軸承

35 定位標(biāo)記

36 檢測器

37 存儲裝置

38 輸入裝置

71 輸入輸出部

72 定位部

73 控制部

100 安裝頭

171 輸出軸

191 輸出軸

C 電子部件

Ca 第1電子部件

Cb 第2電子部件

P 基板

具體實(shí)施方式

下面，參照附圖，對本發(fā)明所涉及的實(shí)施方式進(jìn)行說明，但本發(fā)明并不限定于此。下面進(jìn)行說明的實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)要素能夠進(jìn)行適當(dāng)組合。另外，也有時不使用一部分的結(jié)構(gòu)要素。另外，在下面進(jìn)行說明的實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)要素中，包含本領(lǐng)域技術(shù)人員容易設(shè)想的結(jié)構(gòu)要素、實(shí)質(zhì)上相同的結(jié)構(gòu)要素、所謂的等同范圍的結(jié)構(gòu)要素。

在下面的說明中，設(shè)定XYZ正交坐標(biāo)系，一邊參照該XYZ正交坐標(biāo)系、一邊對各部的位置關(guān)系進(jìn)行說明。將規(guī)定面內(nèi)的與第1軸平行的方向設(shè)為X軸方向(第1軸方向)，將與第1軸正交的、規(guī)定面內(nèi)的與第2軸平行的方向設(shè)為Y軸方向(第2軸方向)，將與正交于規(guī)定面的第3軸平行的方向設(shè)為Z軸方向(第3軸方向)。將以X軸(第1軸)為中心的旋轉(zhuǎn)(傾斜)方向設(shè)為θX方向，將以Y軸(第2軸)為中心的旋轉(zhuǎn)(傾斜)方向設(shè)為θY方向，將以Z軸(第3軸)為中心的旋轉(zhuǎn)(傾斜)方向設(shè)為θZ方向。規(guī)定面包含XY平面。XY平面包含X軸及Y軸。在本實(shí)施方式中，規(guī)定面與水平面平行。Z軸方向是鉛垂方向(上下方向)。Z軸與XY平面正交。

＜第1實(shí)施方式＞

對第1實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖1是表示本實(shí)施方式所涉及的電子部件安裝裝置1的一個例子的示意圖。圖2是示意地表示本實(shí)施方式所涉及的電子部件安裝裝置1具有的安裝頭100的一個例子的側(cè)視圖。圖3是示意地表示本實(shí)施方式所涉及的安裝頭100的一個例子的正視圖。

電子部件安裝裝置1將電子部件C安裝于基板P。電子部件安裝裝置1也被稱為表面安裝裝置1或貼片機(jī)1。電子部件C可以是具有引線的引線型電子部件(插入型電子部件)，也可以是不具有引線的芯片型電子部件(搭載型電子部件)。引線型電子部件通過將引線插入至基板P的開口而被安裝于基板P。芯片型電子部件通過搭載于基板P而被安裝于基板P。

電子部件安裝裝置1具備：基板輸送裝置2，其輸送基板P；電子部件供給裝置3，其能夠供給電子部件C；安裝頭100，其具有多個吸附單元10，將電子部件C從電子部件供給裝置3輸送至基板P；移動系統(tǒng)4，其將安裝頭100移動；更換吸嘴保持裝置5，其對實(shí)施更換的吸嘴11進(jìn)行保持；電子部件安裝裝置1的基座6；以及控制裝置7，其對電子部件安裝裝置1進(jìn)行控制。

基板輸送裝置2輸送對電子部件C進(jìn)行安裝的基板P?；遢斔脱b置2具備：輸送帶，其用于將未圖示的基板沿X軸方向進(jìn)行輸送；輸送帶驅(qū)動部，其將輸送帶進(jìn)給；支撐體，其對輸送帶進(jìn)行支撐；以及升降體，其將支撐體上下移動。而且，如果通過升降體使支撐體上升，則基板由支撐體和基板引導(dǎo)件保持。

電子部件供給裝置3將電子部件C供給至吸附單元10。電子部件供給裝置3支撐多個電子部件C。安裝頭100能夠在從電子部件供給裝置3供給電子部件C的電子部件供給區(qū)域、和配置基板P的安裝區(qū)域之間移動。電子部件供給區(qū)域和安裝區(qū)域是不同的區(qū)域。在本實(shí)施方式中，電子部件供給裝置3配置于基板輸送裝置2的基板P的輸送路徑的兩側(cè)(+X側(cè)及－X側(cè))。吸附單元10將從電子部件供給裝置3供給的電子部件C安裝于基板P。從電子部件供給裝置3供給的電子部件C可以是相同種類的電子部件，也可以是不同種類的電子部件。

更換吸嘴保持裝置5對多個種類的吸嘴11進(jìn)行保持。更換吸嘴保持裝置5保持多個相對于吸附單元10實(shí)施更換的吸嘴11。通過更換吸嘴保持裝置5，對裝載于吸附單元10的吸嘴11進(jìn)行更換。吸附單元10通過其所裝載的吸嘴11對電子部件C進(jìn)行保持。

如圖2及圖3所示，安裝頭100具有：多個吸附單元10，它們沿X軸方向配置；以及支撐部件12，其對多個吸附單元10進(jìn)行支撐。吸附單元10具有：吸嘴11，其可裝卸地保持電子部件C；以及軸13，其對吸嘴11進(jìn)行支撐。安裝頭100具有：保持架14，其對軸13進(jìn)行保持；以及支撐部件12，其對保持架14進(jìn)行支撐。

多個吸附單元10沿X軸方向配置為一列。在本實(shí)施方式中，吸附單元10設(shè)置多個(6個)。多個吸附單元10各自具有可裝卸地保持電子部件C的吸嘴11及對吸嘴11進(jìn)行支撐的軸13，可將由吸嘴11保持的電子部件C安裝于基板P。吸嘴11是對電子部件C進(jìn)行吸附的吸附吸嘴，配置于軸13的下端部。在吸嘴11的下端部設(shè)置有吸引氣體的吸附孔。在吸嘴11的下端部與電子部件C接觸的狀態(tài)下，氣體從吸附孔被吸引，由此吸嘴11對電子部件C進(jìn)行保持。另外，通過將來自吸附孔的氣體的吸引停止，從而將電子部件C從吸嘴11釋放。此外，吸嘴11也可以是將電子部件C夾持而保持的抓持吸嘴。

移動系統(tǒng)4具有：X軸驅(qū)動裝置8，其將安裝頭100沿X軸方向移動；Y軸驅(qū)動裝置9，其將安裝頭100沿Y軸方向移動；Z軸驅(qū)動裝置15，其將吸附單元10沿Z軸方向移動；以及θZ驅(qū)動裝置16，其將吸附單元10沿θZ方向移動(旋轉(zhuǎn))。

X軸驅(qū)動裝置8具有：引導(dǎo)部件8G，其將安裝頭100沿X軸方向進(jìn)行引導(dǎo)；以及致動器，其產(chǎn)生用于將安裝頭100沿X軸方向移動的動力。安裝頭100具備對多個吸附單元10進(jìn)行支撐的支撐部件12。支撐部件12與X軸驅(qū)動裝置8連結(jié)，可沿X軸方向移動地被支撐。通過致動器的工作，支撐部件12也與安裝頭100一起沿X軸方向移動。

Y軸驅(qū)動裝置9具有：引導(dǎo)部件9G，其將X軸驅(qū)動裝置8沿Y軸方向進(jìn)行引導(dǎo)；以及致動器，其產(chǎn)生用于將引導(dǎo)部件9G沿Y軸方向移動的動力。通過利用Y軸驅(qū)動裝置9將X軸驅(qū)動裝置8沿Y軸方向移動，從而由引導(dǎo)部件8G支撐的安裝頭100也與引導(dǎo)部件8G一起沿Y軸方向移動。

Z軸驅(qū)動裝置15由支撐部件12支撐，將保持架14沿Z軸方向移動。Z軸驅(qū)動裝置15具有：旋轉(zhuǎn)電動機(jī)17，其產(chǎn)生用于將吸嘴11沿Z軸方向移動的動力；以及動力傳遞機(jī)構(gòu)18，其將由旋轉(zhuǎn)電動機(jī)17產(chǎn)生的動力傳遞至軸13。如果旋轉(zhuǎn)電動機(jī)17工作，則由旋轉(zhuǎn)電動機(jī)17產(chǎn)生的動力經(jīng)由動力傳遞機(jī)構(gòu)18傳遞至保持架14。保持架14通過由旋轉(zhuǎn)電動機(jī)17產(chǎn)生的動力，沿Z軸方向移動。如果保持架14沿Z軸方向移動，則由該保持架14保持的軸13及由該軸13支撐的吸嘴11，與保持架14一起沿Z軸方向移動。

θZ驅(qū)動裝置16由支撐部件12支撐，將軸13沿θZ方向移動(旋轉(zhuǎn))。θZ驅(qū)動裝置16具有：旋轉(zhuǎn)電動機(jī)19，其產(chǎn)生用于將吸嘴11沿θZ方向移動(旋轉(zhuǎn))的動力；以及動力傳遞機(jī)構(gòu)20，其將由旋轉(zhuǎn)電動機(jī)19產(chǎn)生的動力傳遞至軸13。如果旋轉(zhuǎn)電動機(jī)19工作，則由旋轉(zhuǎn)電動機(jī)19產(chǎn)生的動力經(jīng)由動力傳遞機(jī)構(gòu)20傳遞至軸13。軸13通過由旋轉(zhuǎn)電動機(jī)19產(chǎn)生的動力，沿θZ方向移動。如果軸13沿θZ方向移動，則由該軸13支撐的吸嘴11與軸13一起沿θZ方向移動。

針對多個吸附單元10的各個吸附單元，設(shè)置Z軸驅(qū)動裝置15及θZ驅(qū)動裝置16。多個吸附單元10通過Z軸驅(qū)動裝置15及θZ驅(qū)動裝置16的工作，能夠相對于支撐部件12沿Z軸方向及θZ方向這2個方向移動。

在本實(shí)施方式中，通過移動系統(tǒng)4，吸嘴11能夠沿X軸、Y軸、Z軸及θZ這4個方向移動。X軸驅(qū)動裝置8及Y軸驅(qū)動裝置9作為能夠?qū)⒅尾考?2沿X軸方向及Y軸方向移動的安裝頭驅(qū)動裝置起作用。Z軸驅(qū)動裝置15及θZ驅(qū)動裝置16作為能夠?qū)⑽絾卧?0(吸嘴11)相對于支撐部件12沿Z軸方向及θZ方向移動的吸嘴驅(qū)動裝置起作用。

另外，如圖2所示，安裝頭100具有對由吸嘴11保持的電子部件C進(jìn)行檢測的部件檢測裝置21。部件檢測裝置21具有受光部和將激光射出的發(fā)光部，取得電子部件C或吸嘴11的輪廓，對部件形狀進(jìn)行識別。部件檢測裝置21對由吸嘴11保持的電子部件C的狀態(tài)進(jìn)行檢測。電子部件C的狀態(tài)包含電子部件C的形狀、及由吸嘴11保持的電子部件C的姿態(tài)的至少一者。此外，部件檢測裝置21也可以是照相機(jī)。

部件檢測裝置21的發(fā)光部相對于吸附單元10沿－Y方向配置，部件檢測裝置21的受光部相對于吸附單元10沿+Y方向配置。部件檢測裝置21由支撐部件12支撐。通過X軸驅(qū)動裝置8及Y軸驅(qū)動裝置9而將支撐部件12沿X軸方向及Y軸方向移動，由此，由該支撐部件12支撐的部件檢測裝置21與支撐部件12一起移動。

圖4是示意地表示本實(shí)施方式所涉及的安裝頭100的一個例子的斜視圖。圖5是從－Y側(cè)觀察本實(shí)施方式所涉及的安裝頭100的一部分的圖。圖6是從下方觀察本實(shí)施方式所涉及的安裝頭100的一部分的斜視圖。圖7是從下方觀察圖6的一部分的圖。圖8是從上方觀察本實(shí)施方式所涉及的安裝頭100的一部分的圖。

下面，參照圖2至圖8，對安裝頭100的構(gòu)造進(jìn)行說明。如圖2所示，支撐部件12具有：鉛垂部12A，其沿Z軸方向延伸；上水平部12B，其從鉛垂部12A的上端部沿+Y方向延伸；以及下水平部12C，其從鉛垂部12A的下端部沿－Y方向伸出。旋轉(zhuǎn)電動機(jī)17由上水平部12B支撐。旋轉(zhuǎn)電動機(jī)19由下水平部12C支撐。

鉛垂部12A具有沿Z軸方向延伸的引導(dǎo)部22。保持架14具有能夠在引導(dǎo)部22移動的滑動部23。保持架14能夠一邊被引導(dǎo)部22沿Z軸方向引導(dǎo)、一邊移動。

動力傳遞機(jī)構(gòu)18具有：驅(qū)動帶輪24，其與旋轉(zhuǎn)電動機(jī)17的輸出軸171連接；滾珠絲杠機(jī)構(gòu)27，其將保持架14和上水平部12B連結(jié)；從動帶輪25，其與滾珠絲杠機(jī)構(gòu)27的絲杠軸27A連接；以及傳動帶26，其將驅(qū)動帶輪24和從動帶輪25連結(jié)。滾珠絲杠機(jī)構(gòu)27的絲杠軸27A可旋轉(zhuǎn)地由設(shè)置于上水平部12B的軸承28支撐。滾珠絲杠機(jī)構(gòu)27的螺母27B固定于保持架14。

在XY平面內(nèi)，旋轉(zhuǎn)電動機(jī)17的輸出軸171的中心軸的位置與驅(qū)動帶輪24的中心軸的位置一致。在XY平面內(nèi)，絲杠軸27A的中心軸的位置與從動帶輪25的中心軸的位置一致。

如果旋轉(zhuǎn)電動機(jī)17工作，則與輸出軸171連接的驅(qū)動帶輪24旋轉(zhuǎn)。如果驅(qū)動帶輪24旋轉(zhuǎn)，則由驅(qū)動帶輪24支撐的傳動帶26移動，從動帶輪25旋轉(zhuǎn)。如果從動帶輪25旋轉(zhuǎn)，則絲杠軸27A旋轉(zhuǎn)。通過絲杠軸27A旋轉(zhuǎn)，從而固定于螺母27B的保持架14一邊被引導(dǎo)部22引導(dǎo)、一邊沿Z軸方向移動。如果保持架14沿Z軸方向移動，則由該保持架14保持的軸13及由該軸13支撐的吸嘴11，與保持架14一起沿Z軸方向移動。

動力傳遞機(jī)構(gòu)20具有：驅(qū)動帶輪29，其與旋轉(zhuǎn)電動機(jī)19的輸出軸191連接；從動帶輪30，其與軸13連接；以及傳動帶31，其將驅(qū)動帶輪29和從動帶輪30連結(jié)。軸13可旋轉(zhuǎn)地被設(shè)置于保持架14的軸承32、設(shè)置于支撐部件12的軸承33及設(shè)置于支撐部件12的軸承34支撐。

在XY平面內(nèi)，旋轉(zhuǎn)電動機(jī)19的輸出軸191的中心軸的位置與驅(qū)動帶輪29的中心軸的位置一致。在XY平面內(nèi)，軸13的中心軸的位置與從動帶輪30的中心軸的位置一致。

如果旋轉(zhuǎn)電動機(jī)19工作，則與輸出軸191連接的驅(qū)動帶輪29旋轉(zhuǎn)。如果驅(qū)動帶輪29旋轉(zhuǎn)，則由驅(qū)動帶輪29支撐的傳動帶31移動，從動帶輪30旋轉(zhuǎn)。如果從動帶輪30旋轉(zhuǎn)，則固定于從動帶輪30的軸13與從動帶輪30一起沿θZ方向旋轉(zhuǎn)。

軸13沿Z軸方向延伸。如圖3所示，支撐部件12以多個吸附單元10的軸13沿X軸方向等間隔地配置的方式，對這些多個吸附單元10進(jìn)行支撐。

多個(6個)軸13的構(gòu)造及尺寸各自相等。另外，多個軸13的重量也各自相等。軸13的中心軸AX和與該軸13相鄰的軸13的中心軸AX之間的X軸方向的距離Ga各自相等。

針對多個吸附單元10的各個吸附單元，設(shè)置Z軸驅(qū)動裝置15及θZ驅(qū)動裝置16。多個(6個)旋轉(zhuǎn)電動機(jī)19中的特定的旋轉(zhuǎn)電動機(jī)19以比其他旋轉(zhuǎn)電動機(jī)19高的輸出產(chǎn)生動力。

在下面的說明中，將以第1輸出產(chǎn)生動力的旋轉(zhuǎn)電動機(jī)19適當(dāng)?shù)胤Q為第1電動機(jī)19A，將以比第1電動機(jī)19A高的輸出的第2輸出產(chǎn)生動力的旋轉(zhuǎn)電動機(jī)19適當(dāng)?shù)胤Q為第2電動機(jī)19B。

另外，在下面的說明中，將與第1電動機(jī)19A的輸出軸191連接的驅(qū)動帶輪29適當(dāng)?shù)胤Q為第1驅(qū)動帶輪29A，將由第1驅(qū)動帶輪29A支撐的傳動帶31適當(dāng)?shù)胤Q為第1傳動帶31A，將經(jīng)由第1傳動帶31A而與第1驅(qū)動帶輪29A連結(jié)的從動帶輪30適當(dāng)?shù)胤Q為第1從動帶輪30A，將與第1從動帶輪30A連接的軸13適當(dāng)?shù)胤Q為第1軸13A。

另外，在下面的說明中，將與第2電動機(jī)19B的輸出軸191連接的驅(qū)動帶輪29適當(dāng)?shù)胤Q為第2驅(qū)動帶輪29B，將由第2驅(qū)動帶輪29B支撐的傳動帶31適當(dāng)?shù)胤Q為第2傳動帶31B，將經(jīng)由第2傳動帶31B而與第2驅(qū)動帶輪29B連結(jié)的從動帶輪30適當(dāng)?shù)胤Q為第2從動帶輪30B，將與第2從動帶輪30B連接的軸13適當(dāng)?shù)胤Q為第2軸13B。

另外，在下面的說明中，將包含第1軸13A、通過第1電動機(jī)19A而工作的吸附單元10適當(dāng)?shù)胤Q為第1吸附單元10A，將包含第2軸13B、通過第2電動機(jī)19B而工作的吸附單元10適當(dāng)?shù)胤Q為第2吸附單元10B。

第1電動機(jī)19A產(chǎn)生用于使第1吸附單元10A的第1軸13A沿θZ方向旋轉(zhuǎn)的動力。第2電動機(jī)19B產(chǎn)生用于使第2吸附單元10B的第2軸13B沿θZ方向旋轉(zhuǎn)的動力。

第1電動機(jī)19A與第1吸附單元10A以1對1相對應(yīng)而進(jìn)行設(shè)置。第2電動機(jī)19B與第2吸附單元10B以1對1相對應(yīng)而進(jìn)行設(shè)置。在本實(shí)施方式中，第2電動機(jī)19B(第2吸附單元10B)的數(shù)量比第1電動機(jī)19A(第1吸附單元10A)的數(shù)量少。在本實(shí)施方式中，以高輸出產(chǎn)生動力的第2電動機(jī)19B設(shè)置1個。第1電動機(jī)19A設(shè)置5個。第2吸附單元10B設(shè)置1個。第1吸附單元10A設(shè)置5個。

如圖3所示，在X軸方向上，在第2吸附單元10B的兩側(cè)配置第1吸附單元10A。即，第2吸附單元10B配置于中央部，沒有配置于沿X軸方向配置的多個(6個)吸附單元10之中的端部。在沿X軸方向配置的多個吸附單元10之中的端部配置第1吸附單元10A。

如圖5、圖6及圖7所示，第2電動機(jī)19B的外形比第1電動機(jī)19A的外形大。

另外，第2驅(qū)動帶輪29B的外徑比第1驅(qū)動帶輪29A的外徑大。第2驅(qū)動帶輪29B的重量比第1驅(qū)動帶輪29A的重量大。

如圖7所示，多個第1驅(qū)動帶輪29A和第2驅(qū)動帶輪29B沿X軸方向配置。多個驅(qū)動帶輪29的中心軸的Y軸方向的位置實(shí)質(zhì)上相同。相鄰的第1驅(qū)動帶輪29A的中心軸與第2驅(qū)動帶輪29B的中心軸之間的距離Gb，比相鄰的第1驅(qū)動帶輪29A的中心軸與第1驅(qū)動帶輪29A的中心軸之間的距離Gc大。距離Gb相等于相鄰的第1電動機(jī)19A的輸出軸191與第2電動機(jī)19B的輸出軸191之間的距離。距離Gc相等于相鄰的第1電動機(jī)19A的輸出軸191與第1電動機(jī)19A的輸出軸191之間的距離。

多個第1從動帶輪30A和第2從動帶輪30B沿X軸方向配置。多個從動帶輪30的中心軸的Y軸方向的位置實(shí)質(zhì)上相同。相鄰的從動帶輪30的中心軸的距離Ga全部相等。距離Ga相等于相鄰的軸13的中心軸的距離Ga。

距離Ga比距離Gb小。距離Ga比距離Gc小。此外，距離Ga也可以與距離Gc相等。

如圖8所示，多個驅(qū)動帶輪24沿X軸方向配置。多個驅(qū)動帶輪24的中心軸的Y軸方向的位置實(shí)質(zhì)上相同。相鄰的驅(qū)動帶輪24的中心軸的距離Gd全部相等。距離Gd相等于相鄰的旋轉(zhuǎn)電動機(jī)17的輸出軸171的距離。

多個從動帶輪25沿X軸方向配置。多個從動帶輪25的中心軸的Y軸方向的位置實(shí)質(zhì)上相同。相鄰的從動帶輪25的中心軸的距離Ge全部相等。距離Ge相等于相鄰的絲杠軸27A的中心軸的距離。

如圖6所示，在第2傳動帶31B設(shè)置定位標(biāo)記35。定位標(biāo)記35在第2傳動帶31B設(shè)置1個。定位標(biāo)記35是沿Z軸方向形成的白色的線狀或帶狀的標(biāo)記。電子部件安裝裝置1具備對定位標(biāo)記35進(jìn)行檢測的檢測器(在圖6中未圖示)。檢測器由支撐部件12支撐。檢測器對定位標(biāo)記35照射檢測光，對由第2傳動帶31B反射后的檢測光進(jìn)行受光，由此對定位標(biāo)記35的位置進(jìn)行檢測。

圖9是表示本實(shí)施方式所涉及的電子部件安裝裝置1的一個例子的功能框圖?？刂蒲b置7向吸附單元10及移動系統(tǒng)4輸出控制信號，對吸附單元10及移動系統(tǒng)4進(jìn)行控制。存儲裝置37、輸入裝置38及對定位標(biāo)記35進(jìn)行檢測的檢測器36與控制裝置7連接。

控制裝置7包含計(jì)算機(jī)系統(tǒng)。控制裝置7包含諸如CPU(Central Processing Unit)的處理器。控制裝置7具有：輸入輸出部71，其包含能夠在吸附單元10、移動系統(tǒng)4、檢測器36、存儲裝置37及輸入裝置38之間實(shí)施信號的輸入輸出的輸入輸出接口電路；定位部72，其基于檢測器36的檢測結(jié)果，控制第2電動機(jī)19B以對第2傳動帶31B進(jìn)行定位；以及控制部73，其輸出對吸附單元10(第1吸附單元10A及第2吸附單元10B)及旋轉(zhuǎn)電動機(jī)19(第1電動機(jī)19A及第2電動機(jī)19B)進(jìn)行控制的控制信號。

存儲裝置37包含諸如ROM(Read Only Memory)或RAM(Random Access Memory)的內(nèi)部存儲器及諸如硬盤裝置的外部存儲器。輸入裝置38包含由作業(yè)者進(jìn)行操作的輸入設(shè)備。輸入裝置38包含鍵盤、鼠標(biāo)及觸摸面板的至少一個。

控制裝置7的處理器按照在存儲裝置37中存儲的計(jì)算機(jī)程序，生成用于對電子部件安裝裝置1進(jìn)行控制的控制信號。控制裝置7的各種功能由處理器執(zhí)行。

圖10是示意地表示通過吸附單元10向基板P進(jìn)行安裝的第1電子部件Ca及第2電子部件Cb的一個例子的圖。在本實(shí)施方式中，小型電子部件即第1電子部件Ca和外形尺寸比第1電子部件Ca大的第2電子部件Cb被安裝于基板P。

吸附單元10(10A、10B)各自具有中心軸AX。中心軸AX與Z軸平行。如上所述，在本實(shí)施方式中，吸附單元10(10A、10B)沿X軸方向配置多個。多個吸附單元10(10A、10B)的構(gòu)造及尺寸實(shí)質(zhì)上相同。另外，多個吸附單元10(10A、10B)在X軸方向上等間隔地配置。X軸方向及Y軸方向上的多個吸附單元10的相對位置實(shí)質(zhì)上沒有變化。通過包含Z軸驅(qū)動裝置15及θZ驅(qū)動裝置16的吸嘴驅(qū)動裝置，Z軸方向及θZ方向上的多個吸附單元10的相對位置發(fā)生變化。

吸附單元10具有凸緣部41。吸附單元10的凸緣部41的外表面是相距中心軸AX最遠(yuǎn)的、吸附單元10的最外部40。吸附單元10的吸嘴11從吸附單元10的凸緣部41朝向－Z方向凸出。XY平面內(nèi)的吸嘴11的外形尺寸比最外部40的外形尺寸(最大外形尺寸)小。

在本實(shí)施方式中，在吸嘴11的周圍配置螺旋彈簧42。通過螺旋彈簧42，對在由吸嘴11保持電子部件C時作用于吸嘴11及電子部件C的沖擊進(jìn)行緩和。

電子部件供給裝置3配置于吸附單元10(10A、10B)的下方(－Z側(cè))。電子部件供給裝置3供給多個電子部件C。電子部件供給裝置3具有對多個電子部件C進(jìn)行支撐的支撐面3S。支撐面3S與XY平面實(shí)質(zhì)上平行。第1吸附單元10A的吸嘴11A從第1吸附單元10A的包含最外部40的凸緣部41朝向電子部件供給裝置3的支撐面3S凸出。第2吸附單元10B的吸嘴11B從第2吸附單元10B的包含最外部40的凸緣部41朝向電子部件供給裝置3的支撐面3S凸出。

電子部件供給裝置3能夠供給外形尺寸不同的多個電子部件C。如圖10所示，電子部件供給裝置3能夠供給第1電子部件Ca、和外形尺寸比第1電子部件Ca大的第2電子部件Cb。

第1電子部件Ca的外形尺寸包含距離Ra，該距離Ra是第1電子部件Ca的中心軸CXa與在XY平面內(nèi)相距中心軸CXa最遠(yuǎn)的第1電子部件Ca的最外部之間的距離。另外，第1電子部件Ca的外形尺寸包含高度Ha，該高度Ha是Z軸方向上的第1電子部件Ca的上表面與下表面之間的距離。

第2電子部件Cb的外形尺寸包含距離Rb，該距離Rb是第2電子部件Cb的中心軸CXb與在XY平面內(nèi)相距中心軸CXb最遠(yuǎn)的第2電子部件Cb的最外部之間的距離。另外，第2電子部件Cb的外形尺寸包含高度Hb，該高度Hb是Z軸方向上的第2電子部件Cb的上表面與下表面之間的距離。

在本實(shí)施方式中，第2電子部件Cb的距離Rb比第1電子部件Ca的距離Ra大。第2電子部件Cb的高度Hb比第1電子部件Ca的高度Ha大(高)。

第1電子部件Ca具有能夠由相鄰的吸附單元10同時進(jìn)行保持的外形尺寸。即使由相鄰的吸附單元10的吸嘴11同時對第1電子部件Ca進(jìn)行保持，這些第1電子部件Ca也不會接觸。

第2電子部件Cb具有不能由相鄰的吸附單元10同時進(jìn)行保持的外形尺寸。在某個吸附單元10對第2電子部件Cb進(jìn)行保持、該吸附單元10的相鄰的吸附單元10對電子部件C(第1電子部件Ca或第2電子部件Cb)進(jìn)行了保持的情況下，第2電子部件Cb會與相鄰的電子部件C接觸。

下面，對本實(shí)施方式所涉及的電子部件安裝裝置1的動作的一個例子進(jìn)行說明。圖11是表示本實(shí)施方式所涉及的電子部件安裝方法的一個例子的流程圖?？刂撇?3取得被稱為配置方案的安裝條件(步驟SP1)。安裝條件包含向基板P進(jìn)行安裝的電子部件C的種類。在本實(shí)施方式中，安裝條件包含僅對第1電子部件Ca進(jìn)行安裝的條件、及對第1電子部件Ca和第2電子部件Cb這兩者進(jìn)行安裝的條件的至少一個。安裝條件存儲于存儲裝置37，控制部73從存儲裝置37取得安裝條件。此外，也可以由作業(yè)者對輸入裝置38進(jìn)行操作，由此向控制部73輸入安裝條件。

檢測器36對設(shè)置于第2傳動帶31B的定位標(biāo)記35進(jìn)行檢測。由檢測器36得到的定位標(biāo)記35的檢測結(jié)果被輸出至定位部72。定位部72基于檢測器36的檢測結(jié)果而對第2電動機(jī)19B進(jìn)行控制，實(shí)施第2傳動帶31B的定位(步驟SP2)。定位部72基于定位標(biāo)記35的檢測結(jié)果，對第2傳動帶31B的位置進(jìn)行調(diào)整，以使得定位標(biāo)記35配置于基準(zhǔn)點(diǎn)(原點(diǎn))。

控制部73基于所取得的安裝條件，判定是否對第2電子部件Cb進(jìn)行安裝(步驟SP3)。即，控制部73基于所取得的安裝條件，判定是僅對第1電子部件Ca進(jìn)行安裝，或?qū)Φ?電子部件Ca和第2電子部件Cb這兩者進(jìn)行安裝。

在步驟SP3中判定為對第2電子部件Cb進(jìn)行安裝的情況下(步驟SP3：Yes)，即，在判定為對第1電子部件Ca和第2電子部件Cb這兩者進(jìn)行安裝的情況下，控制部73將安裝頭100移動至部件供給區(qū)域，通過多個第1吸附單元10A的各個吸附單元同時對多個第1電子部件Ca進(jìn)行保持。在通過多個第1吸附單元10A的各個吸附單元對多個第1電子部件Ca進(jìn)行保持后，控制部73將安裝頭100移動至安裝區(qū)域，將多個第1電子部件Ca安裝于基板P(步驟SP4)。此外，控制部73也可以將安裝頭100移動至部件供給區(qū)域，在通過多個第1吸附單元10A及第2吸附單元10B分別同時對多個第1電子部件Ca進(jìn)行保持后，將安裝頭100移動至安裝區(qū)域，將多個第1電子部件Ca安裝于基板P。

接下來，控制部73將安裝頭100移動至部件供給區(qū)域，通過第2吸附單元10B對第2電子部件Cb進(jìn)行保持。在通過第2吸附單元10B對第2電子部件Cb進(jìn)行保持后，控制部73將安裝頭100移動至安裝區(qū)域，將第2電子部件Cb安裝于基板P(步驟SP5)。此外，在由第2吸附單元10B保持的第2電子部件Cb與由第1吸附單元10A保持的第1電子部件Ca不發(fā)生干涉的情況下，第1吸附單元10A也可以對第1電子部件Cb進(jìn)行保持而安裝于基板P。

此外，在將第1電子部件Ca及第2電子部件Cb這兩者向基板P進(jìn)行安裝的情況下，控制部73可以在將第2電子部件Cb安裝于基板P后，將第1電子部件Ca向基板P進(jìn)行安裝。

在步驟SP3中，在判定為不對第2電子部件Cb進(jìn)行安裝的情況下(步驟SP3：No)，即，在判定為不對第2電子部件Cb進(jìn)行安裝，對第1電子部件Ca進(jìn)行安裝的情況下，控制部73將安裝頭100移動至部件供給區(qū)域，通過多個第1吸附單元10A及第2吸附單元10B分別同時對多個第1電子部件Ca進(jìn)行保持。在通過多個第1吸附單元10A及第2吸附單元10B分別對多個第1電子部件Ca進(jìn)行保持后，控制部73將安裝頭100移動至安裝區(qū)域，將多個第1電子部件Ca安裝于基板P(步驟SP6)。

如以上說明所述，根據(jù)本實(shí)施方式，設(shè)置第1電動機(jī)19A、和以比第1電動機(jī)19A高的輸出產(chǎn)生動力的第2電動機(jī)19B。因此，使用通過第1電動機(jī)19A產(chǎn)生的動力而工作的第1吸附單元10A，能夠?qū)⑿⌒碗娮硬考吹?電子部件Ca高速地進(jìn)行安裝。另外，使用通過第2電動機(jī)10B產(chǎn)生的動力而工作的第2吸附單元10B，能夠?qū)⑿⌒碗娮硬考吹?電子部件Ca及大型電子部件即第2電子部件Cb順利地進(jìn)行安裝。

另外，在本實(shí)施方式中，多個吸附單元10的軸13以等間隔進(jìn)行配置，因此在僅將第1電子部件Ca向基板P進(jìn)行安裝的情況下，能夠使用第1吸附單元10A及第2吸附單元10B這兩者，同時對多個第1電子部件Ca進(jìn)行保持而實(shí)施安裝。

如上所述，通過設(shè)置第1電動機(jī)19A及第2電動機(jī)19B，多個軸13以等間隔進(jìn)行配置，從而電子部件安裝裝置1能夠應(yīng)對將第1電子部件Ca及第2電子部件Cb這兩者進(jìn)行安裝的安裝條件、及僅將第1電子部件Ca進(jìn)行安裝的安裝條件這兩種安裝條件。能夠應(yīng)對各種生產(chǎn)方式，因此提高電子部件安裝裝置1的通用性。

另外，根據(jù)本實(shí)施方式，設(shè)置下述部件：第1驅(qū)動帶輪29A，其與第1電動機(jī)19A的輸出軸191連接；第1傳動帶31A，其由第1驅(qū)動帶輪29A支撐；第1從動帶輪30A，其經(jīng)由第1傳動帶31A而與第1驅(qū)動帶輪29A連結(jié)，與第1軸13A連接；第2驅(qū)動帶輪29B，其與第2電動機(jī)19B的輸出軸191連接；第2傳動帶31B，其由第2驅(qū)動帶輪29B支撐；以及第2從動帶輪30B，其經(jīng)由第2傳動帶31B而與第2驅(qū)動帶輪29B連結(jié)，與第2軸13B連接。第2驅(qū)動帶輪29B的外徑比第1驅(qū)動帶輪29A的外徑大，第2驅(qū)動帶輪29B的重量比第1驅(qū)動帶輪29A的重量大。通過增大第2驅(qū)動帶輪29B的外徑及重量，從而使第2驅(qū)動帶輪29B的旋轉(zhuǎn)慣性矩變大。因此，在通過與第2驅(qū)動帶輪29B連結(jié)的第2吸附單元10B的吸嘴11將第2電子部件Cb移動的情況下，抑制晃動的發(fā)生。因此，抑制將第2電子部件Cb向基板P進(jìn)行安裝時的定位精度的降低。另外，無需在等待晃動收斂后進(jìn)行安裝，因此能夠?qū)崿F(xiàn)安裝時間的縮短化。

另外，根據(jù)本實(shí)施方式，第1電動機(jī)19A產(chǎn)生用于使第1軸13A旋轉(zhuǎn)的動力，第2電動機(jī)19B產(chǎn)生用于使第2軸13B旋轉(zhuǎn)的動力?；蝿釉谑褂晌?1保持的第2電子部件Cb旋轉(zhuǎn)時發(fā)生的可能性高。通過將與用于使第2軸13B旋轉(zhuǎn)的第2電動機(jī)19B連接的第2驅(qū)動帶輪29B的旋轉(zhuǎn)慣性矩增大，從而能夠抑制晃動的發(fā)生。

另外，根據(jù)本實(shí)施方式，第1電動機(jī)19A與多個第1吸附單元10A相對應(yīng)而設(shè)置多個，第2電動機(jī)19B與第2吸附單元10B相對應(yīng)地設(shè)置。另外，第2電動機(jī)19B的數(shù)量比第1電動機(jī)19A的數(shù)量少。通過使高輸出的第2電動機(jī)19B的數(shù)量少于低輸出的第1電動機(jī)19A的數(shù)量，從而能夠抑制安裝頭100的大型化，抑制安裝頭100消耗的電力。另外，通過第1電動機(jī)19A與多個第1吸附單元10A相對應(yīng)而設(shè)置多個，從而第1吸附單元10A的定位精度提高。

另外，根據(jù)本實(shí)施方式，多個第1驅(qū)動帶輪29A和第2驅(qū)動帶輪29B沿X軸方向配置，相鄰的第1驅(qū)動帶輪29A與第2驅(qū)動帶輪29B之間的距離Gb比相鄰的第1驅(qū)動帶輪29A與第1驅(qū)動帶輪29A之間的距離Gc大。如上所述，高輸出的第2電動機(jī)19B的外形比低輸出的第1電動機(jī)19A的外形大的可能性高。通過使相鄰的第1電動機(jī)19A的輸出軸191與第2電動機(jī)19B的輸出軸191之間的距離比相鄰的第1電動機(jī)19A的輸出軸191與第1電動機(jī)19A的輸出軸191之間的距離大，從而使相鄰的第1驅(qū)動帶輪19A的中心軸與第2驅(qū)動帶輪19B的中心軸之間的距離Gb比相鄰的第1驅(qū)動帶輪19A的中心軸與第1驅(qū)動帶輪19A的中心軸之間的距離Gc大，通過第1傳動帶31A將與第1電動機(jī)19A的輸出軸191連接的第1驅(qū)動帶輪29A和與第1軸13A連接的第1從動帶輪30A連結(jié)，通過第2傳動帶31B將與第2電動機(jī)19B的輸出軸191連接的第2驅(qū)動帶輪29B和與第2軸13B連接的第2從動帶輪30B連結(jié)，由此能夠一邊將第1電動機(jī)19A和第2電動機(jī)19B沿X軸方向順利地配置，一邊將多個吸附單元10的軸13沿X軸方向等間隔地配置。另外，通過使距離Ga比距離Gc小、或使距離Ga與距離Gc相等，從而能夠?qū)崿F(xiàn)安裝頭100的小型化。

另外，根據(jù)本實(shí)施方式，具備：定位標(biāo)記35，其設(shè)置于第2傳動帶31B；檢測器36，其對定位標(biāo)記35進(jìn)行檢測；以及定位部72，其基于檢測器36的檢測結(jié)果，控制第2電動機(jī)19B，以對第2傳動帶31B進(jìn)行定位。在驅(qū)動帶輪29與從動帶輪30經(jīng)由傳動帶31連結(jié)的情況下，由于傳動帶31的移動誤差或制造誤差等，有可能使與驅(qū)動帶輪29的旋轉(zhuǎn)量對應(yīng)的從動帶輪30的旋轉(zhuǎn)量從目標(biāo)值或預(yù)測值偏離。特別地，如果存在用于對保持大型電子部件即第2電子部件Cb的吸嘴11進(jìn)行驅(qū)動的第2從動帶輪29B的旋轉(zhuǎn)誤差，則第2電子部件Cb的旋轉(zhuǎn)方向(θZ方向)的位置誤差與電子部件C的尺寸成正比而顯著地顯現(xiàn)，引起向基板P進(jìn)行安裝的第2電子部件Cb的位置誤差。在第2傳動帶31B設(shè)置定位標(biāo)記35，由檢測器36對該定位標(biāo)記35進(jìn)行檢測，由此能夠進(jìn)行包含第2傳動帶31B的原點(diǎn)復(fù)位的定位。

另外，根據(jù)本實(shí)施方式，第1吸附單元10A在X軸方向上配置于第2吸附單元10B的兩側(cè)，第2吸附單元10B不配置于端部。在多個吸附單元10沿X軸方向配置的情況下，在對第2電子部件Cb進(jìn)行保持的第2吸附單元10B的吸嘴11配置于最端部的情況下，由該吸嘴11保持的第2電子部件Cb有可能與周圍的部件接觸。設(shè)為在第2吸附單元10B的兩側(cè)配置第1吸附單元10A，不將第2吸附單元10B配置于端部，從而抑制下述情況，即，由于將吸嘴11從第1吸附單元10拆下、或?qū)⑽?1沿+Z方向移動，而導(dǎo)致由第2吸附單元10B的吸嘴11保持的第2電子部件Cb與周圍的部件接觸。

另外，根據(jù)本實(shí)施方式，控制部73對第1吸附單元10A及第2吸附單元10B進(jìn)行控制，以使得在通過多個第1吸附單元10A將多個第1電子部件Ca向基板P進(jìn)行安裝前或安裝后，通過第2吸附單元10B將外形尺寸比第1電子部件Ca大的第2電子部件Cb安裝于基板P。由此，通過由高輸出的第2電動機(jī)19B進(jìn)行驅(qū)動的第2吸附單元10B，將大型電子部件即第2電子部件Cb順利地安裝于基板P，通過由第1電動機(jī)19A進(jìn)行驅(qū)動的第1吸附單元10A，將小型電子部件即第1電子部件Ca以低消耗電力高速地安裝于基板P。

另外，根據(jù)本實(shí)施方式，控制部73對第1吸附單元10A及第2吸附單元10B進(jìn)行控制，以使得通過多個第1吸附單元10A及第2吸附單元10B將多個第1電子部件Ca安裝于基板P。由此，能夠通過包含第1吸附單元10A及第2吸附單元10B的多個吸附單元10，將小型電子部件即多個第1電子部件Ca高速地安裝于基板P。

此外，在本實(shí)施方式中，可以使Z驅(qū)動裝置15的多個旋轉(zhuǎn)電動機(jī)17中的特定的旋轉(zhuǎn)電動機(jī)17的輸出比其他旋轉(zhuǎn)電動機(jī)17的輸出大。另外，可以使與高輸出的旋轉(zhuǎn)電動機(jī)17連接的驅(qū)動帶輪24的外徑及重量比與低輸出的旋轉(zhuǎn)電動機(jī)17連接的驅(qū)動帶輪24的外徑及重量大。

此外，在本實(shí)施方式中，6個吸附單元10中的1個吸附單元10是第2吸附單元10B。也可以為6個吸附單元10中的2個或3個吸附單元10是第2吸附單元10B。在設(shè)置多個第2吸附單元10B的情況下，優(yōu)選在第2吸附單元10B和第2吸附單元10B之間設(shè)置第1吸附單元10A。由此，即使通過2個第2吸附單元10B同時對第2電子部件Cb進(jìn)行保持，也會抑制第2電子部件Cb與第2電子部件Cb的接觸。

＜第2實(shí)施方式＞

對第2實(shí)施方式進(jìn)行說明。在下面的說明中，對與上述的實(shí)施方式相同或等同的結(jié)構(gòu)要素標(biāo)注相同的標(biāo)號，簡化或省略其說明。

在上述的實(shí)施方式中，第1電動機(jī)19A與多個第1吸附單元10A相對應(yīng)而設(shè)置多個，第2電動機(jī)19B也與第2吸附單元10B相對應(yīng)地設(shè)置。如圖12所示的示意圖所示，也可以通過由1個第1電動機(jī)19A產(chǎn)生的動力，使多個吸附單元10A沿θZ方向旋轉(zhuǎn)。由1個第1電動機(jī)19A產(chǎn)生的動力經(jīng)由由1個無端傳動帶構(gòu)成的第1傳動帶31A，傳遞至多個第1吸附單元10A。第1傳動帶31A由多個第1從動帶輪30A支撐。第2吸附單元10B通過由第2電動機(jī)19B產(chǎn)生的動力而沿θZ方向旋轉(zhuǎn)。另外，在該情況下，如果設(shè)置對多個第1吸附單元10A各自沿θZ方向的移動進(jìn)行檢測的編碼器(未圖示)，則旋轉(zhuǎn)方向(θZ方向)的位置誤差變得更小。